DD135216A1 - Verfahren zum ionenplattieren - Google Patents

Verfahren zum ionenplattieren

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Dietmar Schulze
Ruediger Wilberg
Winfried Teubner
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Dietmar Schulze
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4882198A (en) * 1986-11-26 1989-11-21 Optical Coating Laboratory, Inc. System and method for vacuum deposition of thin films
US4951604A (en) * 1989-02-17 1990-08-28 Optical Coating Laboratory, Inc. System and method for vacuum deposition of thin films
DE4228499C1 (de) * 1992-09-01 1993-10-07 Dresden Vakuumtech Gmbh Verfahren und Einrichtung zur plasmagestützten Beschichtung von Substraten
DE4421045A1 (de) * 1994-06-17 1995-12-21 Dresden Vakuumtech Gmbh Einrichtung zur plamagestützten Beschichtung von Substraten, insbesondere mit elektrisch isolierendem Material

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