DD136398A1 - Verfahren zur monitorierung von in vakuumbeschichtungsprozessen hergestellten schichtsystemen - Google Patents
Verfahren zur monitorierung von in vakuumbeschichtungsprozessen hergestellten schichtsystemenInfo
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- DD136398A1 DD136398A1 DD20526778A DD20526778A DD136398A1 DD 136398 A1 DD136398 A1 DD 136398A1 DD 20526778 A DD20526778 A DD 20526778A DD 20526778 A DD20526778 A DD 20526778A DD 136398 A1 DD136398 A1 DD 136398A1
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- 238000000034 method Methods 0.000 title 2
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- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD20526778A DD136398B1 (de) | 1978-05-09 | 1978-05-09 | VERFAHREN ZUR MONITORIERUNG VON IN VAKUUMBESCHICHTUNGSPHOZEESEN HERGESTELLTEN SCHiCHTSYSTE,VIEN |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD20526778A DD136398B1 (de) | 1978-05-09 | 1978-05-09 | VERFAHREN ZUR MONITORIERUNG VON IN VAKUUMBESCHICHTUNGSPHOZEESEN HERGESTELLTEN SCHiCHTSYSTE,VIEN |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD136398A1 true DD136398A1 (de) | 1979-07-04 |
| DD136398B1 DD136398B1 (de) | 1982-05-26 |
Family
ID=5512565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD20526778A DD136398B1 (de) | 1978-05-09 | 1978-05-09 | VERFAHREN ZUR MONITORIERUNG VON IN VAKUUMBESCHICHTUNGSPHOZEESEN HERGESTELLTEN SCHiCHTSYSTE,VIEN |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD136398B1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3610733A1 (de) * | 1986-03-29 | 1987-10-01 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren und vorrichtung zur messung der optischen eigenschaften von duennen schichten |
| DE10019258C1 (de) * | 2000-04-13 | 2001-11-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Vakuumbeschichtung bandförmiger transparenter Substrate |
| WO2003021001A1 (de) * | 2001-09-03 | 2003-03-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Verfahren und einrichtung zur herstellung von schichtsystemen für optische präzisionselemente |
-
1978
- 1978-05-09 DD DD20526778A patent/DD136398B1/de active IP Right Grant
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3610733A1 (de) * | 1986-03-29 | 1987-10-01 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren und vorrichtung zur messung der optischen eigenschaften von duennen schichten |
| DE10019258C1 (de) * | 2000-04-13 | 2001-11-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Vakuumbeschichtung bandförmiger transparenter Substrate |
| WO2003021001A1 (de) * | 2001-09-03 | 2003-03-13 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. | Verfahren und einrichtung zur herstellung von schichtsystemen für optische präzisionselemente |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DD136398B1 (de) | 1982-05-26 |
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