DD149430A1 - Anordnung zur komplexen sauberkeitspruefung eines anordnung zur komplexen sauberkeitspruefung eines lichtdurchlaessigen prueflings lichtdurchlaessigen prueflings - Google Patents

Abstract

Die Erfindung gestattet, bei einem relativ geringen Aufwand den Zeitaufwand fuer die Pruefung zu senken und ermoeglicht eine Sauberkeitspruefung aller Linsenarten. Bei der erfindungsgemaeszen Anordnung ist in dem Strahlengang einer Strahlungsquelle ein Kompensationssystem zwischen einem Objektiv und einem Pruefling angeordnet. Der beeinfluszte Strahlengang wird mittels eines weiteren Objektivs in eine Filterebene und eine Empfaengerebene abgebildet. Die Strahlungsquelle, das Objektiv mit Lochblende, das Kompensationssystem und der Pruefling sind raeumlich starr zueinander angeordnet.

Description

gitel der Erfindung; Anordnung zur komplexen Sauberkeitsprüfung eines lichtdurchlässigen Prüflings

Anwendungsgebiet der Erfindung;

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur komplexen Sauberkeitsprüfung, insbesondere für lichtdurchlässige Prüflinge. Sie kenn überall dort eingesetzt werden, wo eine konkrete Aussage eur Lage und Größe der äußeren und inneren Fehler optischer Bauelemente benötigt wird (z.B. optische Qualitätskontrolle, Filtertechnik usw.).

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen; So ist bekannt, die Dunkelfeldmikroskopie zur Oberflächenprüfung lichtdurchlässiger Bauelemente einzusetzen (Handbuch der Mikroskopie, Beyer, VEB Verlag Technik, Berlin 1973). Durch die relativ schwache Ausleuchtung des Prüflings werden viele schwache Störungen der Oberfläche nicht wahrgenommen. Weiterhin ist ein Kratzer-KlasBifisiergerät für die Beurteilung топ Fehlern auf optischen Oberflächen bekannt (Druckschrift der W.F. Stanley & Co. Ltd.). Hierbei wird ein Laser-Abtast-System zur Beurteilung der Größe des Kratzers benutzt. Der Laserstra'*"¹ wird mit Hilfe einer Zylinderlinse zu einem scharfen Strich Yon 20 /Um Breite fokussiert. Ein schwingender Spiegel zieht diesen Strich rechtwinklig zu seiner Länge zu einem kleinen Rechteck auseinander. Der von der Prüflingsoberfläche reflektierte Laserstrahl fällt auf einen Fotodetektor. Es kann nur das Maximum der StrahlSchwächung gemessen werden.

Bekannt ist weiterhin eine Anordnung zur optischen Filterung für mindestens teilweise transparente Elemente (WP 129 249). Gemäß dieser Anordnung wird die von einer kohärenten Strahlungsquelle, vorzugsweise einem Laser, ausgehende Strahlung mittels eines Mikroobjektivs mit Mikrolochblende in eine divergente Kugelwelle umgeformt. Die Mikrolochblende wird mittels eines Objektivs in eine Filterebene abgebildet. An dieser Stelle befindet sich ein teilweise transparentes oder ein teilweise reflektierendes Filter. Gleichzeitig übernimmt das Objektiv eine Abbildung des zu filternden Elements in eine Empfängerebene, in der ein gefiltertes reelles Bild des zu filternden Elements entsteht. Zur Beobachtung des gefilterten Bildes kann in der Empfangerebene eine Mattscheibe, eine fotografische Schicht oder eine Bildaufnahmeröhre angeordnet sein.

Mit Hilfe dieser Anordnung können nur transparente Elemente und Sammellinsen geprüft werden. Außerdem muß bei der Änderung der Brennweite des Prüflings die räumliche Lage des Objektivs und der Filterebene verändert werden, was unter Produktionsbedingungen einen relativ hohen Justieraufwand erfordert. um die Funktionsfähigkeit der Anordnung zu gewährleisten, ist die Verwendung einer relativ aufwendigen kohärenten Strahlungsquelle, beispielsweise eines Lasers, erforderlich.

Ziel der Erfindung:

Durch die Erfindung sollen die genannten Mängel der bekannten technischen Lösungen behoben und bei einem relativ geringen Aufwand die Prüfzeit der Sauberkeitsprüfung verkürzt werden.

Darlegung des Wesens der Erfindung;

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur komplexen Sauberkeitsprüfung lichtdurchlässiger Prüflinge zu schaffen, die den Zeitaufwand zur komplexen Prüfung verringert und eine Sauberkeitsprüfung aller Linsenarten ermöglicht. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zwischen dem Objektiv mit Lochblende und dem Prüfling ein Kompensationssystem angeordnet ist, und daß der Prüfling

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und das Kompensationssystem räumlich starr mit der Strahlungsquelle und dem nachfolgenden. Objektiv mit Lochblende verbunden ist.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeiepiels näher erläutert werden.

Die von einer,inkohärenten Strahlungsquelle 1 ausgehende Strahlung wird mittels eines Objektivs mit Lochblende 2 in eine divergente Kugelwelle umgeformt und gelangt auf ein

TO XoYbpfcrveationss^e-tfcsb 3. Das К.отргыагЛіоьавзв1і«а 3 b^elniVuEft den Strahlengang so, daß eich zwischen einem im Strahlengang angeordneten Prüfling 4 und einem Objektiv 5 ein bestimmter festgelegter Öffnungswinkel einstellt. Die durch das Kompensationssystem 3 und den Prüfling 4 beeinflußte Strahlung wird mit Hilfe des Objektivs 5 in eine mit dem Objektiv 5 fest verbundene Filterebene 6, die mechanische Mittel zur Ausblendung der 0. BeugungsOrdnung des Bildes erhält, abgebildet. Gleichzeitig übernimmt das Objektiv 5 eine Abbildung des zu filternden Elements in eine Empfängerebene 7, in der ein ge- filtertes reelles Bild des zu prüfenden Elemente entsteht. Das Objektiv 5 und die FiIterebene 6 können auf einer Translationsführung, die bezüglich des Prüflings 4 beweglich ist, befestigt werden, so daß unterschiedliche Schnittebenen der Prüflinge 4 in der Empfeⁿgerebene 7 selektiv scharf dargestellt werden können.

Die Strahlungsquelle 1, das Objektiv mit Lochblende 2, das Kompensationssystem 3 und der Prüfling 4 sind räumlich starr zueinander angeordnet, d.h. der Prüfling 4 und das dem Jeweiligen Prüflingstyp zugeordnete Kompensationssystem 3 können ihre räumliche Lage auch bei verschiedenen Prüflingstypen beibehalten. Die Anordnung kann zur komplexen Sauberkeitsprüfung von lichtdurchlässigen Prüflingen eingesetzt werden. Sie gestattet bei geringem Aufwand eine Senkung der Prüfzeit sowie die Sauberkeitsprüfung aller Linsenarten.

Claims (1)

1. Erfindungsanspruch;

   Anordnung zur komplexen Sauberkeiteprüfung eines lichtdurchlässigen Prüflings, indem ein von einer Strahlungsquelle ausgehendes Lichtbündel ein Objektiv mit Lochblende durchläuft, und dem lichtdurchlässigen Prüfling ein weiteres Objektiv mit einer nachfolgenden PiIterebene und einer Empfangerebene nachgeordnet ist, gekennzeichnet dadurch, daß zwischen dem Objektiv mit Lochblende (2) und dem Prüfling (4) ein Kompensationssystem (3) angeordnet ist, und daß der Prüfling (4) und das Kompensationssystem (3) räumlich starr mit der Strahlungsquelle (1) und dem nachgeordneten Objektiv mit Lochblende (2) verbunden ist·

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