DD151476A1 - Verdampferblende in bedampfungsanlagen - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen , die den Verdampfer im direkten Strahlbereich öes Dampfes wahlweise abdeckt, insbesondere für Bedampfungsanlagen nit kleinen Vakuumkammarn. Die Erfindung hat das Ziel, leistungsstarke, insbesondere mehrere, abblendbare Verdampfer gleichzeitig in kleinen Bedampfungsanlagen zu betreiben. Die Aufgabe der Erfindung besteht dariri7~eine Verdampferblende mit geringem Platzbedarf zu entwickeln« Erfindungsgemäß wird die Aufgabe derart gelöst, daß zwei Bleche, vorzugsweise U-förmig, so gelagert sind und gegeneinander bewegt werden können, daß sie sich im geschlossenen Zustand stirnseitig überlappen. - Fig.1

Description

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Verdampferblende in Bedampfungsanlagen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen, die den. Verdampfer im direkten Strahlbereich des Dampfes wahlweise abdeckt, insbesondere für . Bedampfungsanlagen mit kleinen Vakuumkammerη.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Die Verdampferblenden sind zur sicheren und rationellen Prozeßsteuerung aller Bedampfungsanlagen erforderlich. Die Verdampfer bleiben unabhängig von ihrer Art, Widerstandsverdampfer, Tiegelverdampfer oder Elektronenstrahlverdämpfer, während des Prozeßablaufes ständig in Betrieb und das Substrat wird vor unbeabsichtigter Bedampfung mittels einer Blende geschützt. Das ist insbesondere wichtig beim Einsatz von Mehrfachverdampfern und bei der Abscheidung definierter Schichtdicken.

Mehrfachverdampfer werden eingesetzt, wenn sich der Schichtaufbau aus verschiedenen Schichten aufbaut. In diesem lall wird jeweils nur der im Augenblick gewünschte Verdampfer freigegeben, damit der Dampf des betreffenden Verdampfungsmaterials zum Substrat gelangt. Alle anderen, auch auf Verdampfungstemperatur befindliche Verdampfer, sind durch Blenden abgedeckt.

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In vielen Fällen der modernen BedampfungstecJinik kommt es darauf an, daß die Schicht eine genau definierte Dicke von z. T. wenigen Nanometern hat. Auch in diesem Fall sind Verdampferblenden unerläßlich.

Die bekannten Verdampferblenden gliedern sich im wesentlichen in die Schwenkblenden und die Irisblenden. Die am häufigsten verwendeten Schwenkblenden bestehen aus einem Abdeckblech unterschiedlicher geometrischer Form, das radial veränderbar, unmittelbar mit einer Drehdurchführung verbunden ist, die in der Bodenplatte der Vakuumkammer eingebaut und atmosphärenseitig angetrieben wird. Der Nachteil dieser Schwenkblenden besteht insbesondere darin, daß ein konkreter Ort der Drehdurchführung eingehalten werden muß und daß die Schwenkblende im geöffneten Zustand einen großen Kaumbedarf entsprechend der Größe des Abdeckbleches hat.

Die Irisblenden haben einen aus mehreren Segmenten bestehenden, komplizierten und aufwendigen Blendenverschloß, der mechanisch oder elektropneumatisch betätigt wird. Die Öffnung erfolgt konzentrisch. Der Raumbedarf der Irisblenden ist radial zum Verdampfertiegel relativ groß. Beide Formen der beschriebenen Verdampferblenden haben den wesentlichen Nachteil des hohen Raumbedarfes, insbesondere im geöffneten Zustand. Damit ist der Einsatz dieser Blenden in kleinen Anlagen sehr kompliziert bzw. der gewünschte Einsatz von zwei oder mehr Verdampfern ist nicht möglich, da die Blende zu viel Platz benötigt.

Ziel der Erfindung

Die Erfindung hat das Ziel, leistungsstarke, insbesondere mehrere, abblendbare Verdampfer gleichzeitig in kleinen Bedampfungsanlagen zu betreiben.

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Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Verdampferblende in Bedampfungsanlagen zu entwickeln, die, insbesondere im geöffneten Zustand, einen geringen Platzbedarf hat.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch, gelöst, daß die Verdampferblende, die den Dampfstrahlstrom im direkten Weg zum Substrat abblenden soll, aus zwei Blechen besteht, die sich im geschlossenen Zustand stirnseitig überlappen und parallel zu einer der horizontalen Achsen des Verdampfers gegeneinander bewegt werden können. Die zwei Bleche haben dabei ,zusammen mindestens die Abmessung des Verdampfertiegels. Vorzugsweise ist ihre Gestaltung U-förmig bzw. schalenförmig. Gehaltert sind diese Bleche an Je einem Schlitten, der auf einer Führung parallel zur Bewegungsrichtung verschiebbar angeordnet ist. Als spezielle AusfuhrungsVariante ist es auch möglich, zur besseren Ausnutzung der gegebenen Platzverhältnisse, die Führungen der Schlitten zueinander in gleicher Ebene winklig anzuordnen.

Die Bewegung der Blenden erfolgt vorteilhafterweise mittels Seiltrieb, lieben anderen Möglichkeiten hat sich die Führung der Seile, vorzugsweise Stahlseile, mittels flexibler Hüllen bewährt. Damit ist es möglich, unter Ausnutzung der gegebenen Platzverhältnisse, die Verlegung des Seiltriebes sehr willkürlich bis zur Drehdurchführung zu führen. Der eigentliche Antrieb an der Drehdurchführung kann als Handantrieb oder motorischer Antrieb ausgebildet sein. Die erfindungsgemäße Blende kann als selbständige Baugruppe ausgeführt sein oder mit dem Verdampfer baulich gekoppelt. " · Der Vorteil der Erfindung besteht insbesondere darin, daß die konkreten Platzverhältnisse optimal ausgenutzt werdenkönnen. In manchen Fällen benötigt die erfindungsgemäße Blende flächenmäßig gegenüber dem Verdampfer keinen zusätzlichen Raum«

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Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigen

Fig« is eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße

_: Verdampferblende an einem Elektronenstrahlverdampfer 5"ig. 2ϊ den Schnitt A-A in Pig. 1.

In Fig. 1 ist ein Blektronenstrahlverdämpfer 1 mit einer erfindungsgemäßen Blende dargestellt. An der mit einem Drehwinke!motor atmosphärenseitig verbundenen Drehdurchführung ist vakuumseitig eine Seilrolle befestigt (in der Zeichnung der Übersicht wegen nicht dargestellt), an der die Enden eines Zugseiles 2 geklemmt sind. Das Zugseil 2 ist zwischen Drehdurchführung und Anschlußstelle 3 der parallel zur Verdampferlängsachse angeordneten Gleiteinrichtung 4- in flexiblen Stahldrahthüllen 5 geführt, wodurch die Lage der Drehdurchführung in der Vakuumkammer frei wählbar ist. Die GIeiteinrichtung 4 besteht aus zwei übereinanderliegenden Gleitstäben 6 kreisförmigen Querschnittes, auf denen zwei Schlitten 7 aiit daran befestigten U-förmigen Verdampferabdeckungen 8 in entgegengesetzten Richtungen gleiten, indem das Zugseil 2 durch den Drehwinke!motorantrieb wechselseitig in beiden Richtungen gezogen wird. Im geöffneten Zustand der Blende wird dadurch, der zur Verfügung stehende Raum beidseitig der Verdampferlängsachse genutzt. Die Schlitten 7 sind mit keramischen Buchsen 9 auf den Gleitstäben gehaltert und geführt und durch Klemmstücke 10 mit dem Zugseil 2, das über eine Umlenkrolle 11 an der Gleiteinrichtung 4-geführt wird, einstellbar verbunden. Die Verdampferabdeckungen 8 sind zum Zwecke der Reinigung und für unterschiedliche Verdampfergrößen leicht austauschbar.

Fig. 2 zeigt den Schnitt A-A in Fig. 1. Über den Elektronenstrahlverdampfer 1 (nicht als Schnitt dargestellt) sind die U-förmigen Verdampferabdeckungen 8 derart angeordnet, daß der Dampfstrahl sicher abgeblendet wird.

Claims (3)

22 1880 Patentanspruch ·
1. . 1. Verdampferblende in Bedampfungsanlagen, die den Verdampfer im direkten Strahlbereich des Dampfes abdecken_s dadurch gekennzeichnet, daß die Verdampferblende aus zwei Blechen, vorzugsweise U-förmig oder schalenförmig ausgebildet, besteht, die sich im geschlossenen Zustand stirnseitig überlappen und parallel zur Sbene der horizontalen Achsen des Verdampfers gegeneinander bewegt werden können₀
2. 2. Verdampferblende nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zwei Bleche gemeinsam auf einer parallel zur Bewegungsrichtung angeordneten GIeiteinrichtung gelagert sind«
3. 3· Verdampferblende nach Punkt 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Antrieb zur Bewegung der Verdampferblende über einen flexiblen Seilzug erfolgt.

   Hierzuj£._Seiien Zeichnungen