DD154037C2 - ARRANGEMENT FOR STRAIGHT AND LEVEL MEASUREMENT - Google Patents

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DD154037C2 DD22490580A DD22490580A DD154037C2 DD 154037 C2 DD154037 C2 DD 154037C2 DD 22490580 A DD22490580 A DD 22490580A DD 22490580 A DD22490580 A DD 22490580A DD 154037 C2 DD154037 C2 DD 154037C2
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Abstract

Bei einer Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung, insbesondere für große Meßflächen, sollen die Meßgenauigkeit und -sicherheit erhöht werden. Deshalb gilt es, eine Anordnung zur Messung der Geometrie von Oberflächen zu schaffen, bei der das Meßergebnis nicht durch auftretende Verkippungserscheinungen des Vertikalwegaufnehmers beeinträchtigt wird. Erfindungsgemäß sitzt der auf der Meßfläche angeordnete Vertikalwegaufnehmer auf einem Zwischenstück auf, an dessen Unterseite ein in der Flucht zum Membranmittelpunkt des Vertikalwegaufnehmers einstellbarer Taster angeordnet ist. Die Erfindung stellt eine Zusatzerfindung zur DD-PS 125 440 dar.In an arrangement for measuring straightness and evenness, in particular for large measuring surfaces, the measuring accuracy and safety should be increased. Therefore, it is necessary to provide an arrangement for measuring the geometry of surfaces, in which the measurement result is not affected by occurring Verkiltungserscheinungen the Vertikalwegaufnehmers. According to the invention arranged on the measuring surface Vertikalwegaufnehmer sits on an intermediate piece, on the underside of which is arranged in alignment with the membrane center of the Vertikalwegaufnehmers adjustable probe. The invention is an additional invention to DD-PS 125 440.

Description

Durch horizontale Lageanordnung des Tasters (Einstellung der erzeugten Exzentntat) wird die Verkippung so beeinflußt, daß sie betragsmaßig mit der unvermeidlichen störenden Verkippungsauswirkungen übereinstimmt jedoch entgegengesetztes Vorzeichen aufweist Auf das Meßsignal des Vertikalwegaufnehmers wirkt somit lediglich eine aus den beiden Verkippungen resultierende Kippungsauswirkung, die in einem fur die Ebenheitsmessung relevanten Kippbereich Null bzw vernachlassigbar gering istBy horizontal positional arrangement of the button (setting the Exzentntat generated), the tilt is influenced so that it corresponds in terms of amount with the unavoidable disturbing Verkippungsauswirkungen but opposite sign has on the measurement signal of the Vertikalwegaufnehmers thus acts only one of the two tilting resulting Kippungsauswirkung, in a fur the flatness measurement relevant tilting range is zero or negligible negligible

Ausfuhrungsbeispielexemplary

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Vertikalwegaufnehmers als Ausfuhrungsbeispiel naher erläutert werdenThe invention will be explained in more detail below with reference to a Vertikalwegaufnehmers shown in the drawing as an exemplary embodiment

Der Vertikalwegaufnehmer besteht aus einem Gefäß 6, das mit einer Flüssigkeitsgefüllt und oben mit einer Membran 10 abgeschlossen ist Auf dem Gefäß 6 sitzt ein Traggestell 14 auf, in dem ein beruhrungsloser Geber 12 angeordnet ist, dessen Fühler eine auf der Membran 10 befindliche ferromagnetische oder elektrisch leitende Schicht 17 darstellt und dessen elektrischer Ausgang über eine Leitung 21 aus dem Traggestell 14 herausgeführt ist Das Gefäße mit einer Rohre zur kommunizierenden Verbindung mit einem weiteren in der Zeichnung nicht dargestellten Vertikalaufnehmer ist auf einem Meßschhtten 5 angeordnet, der eine Bohrung 28 fur einen Taster 29 des Gefäßes 6 enthalt Der Meßschlitten 5 und der Taster 29 sitzen auf einem Zwischenstuck 30 auf das zwei seitliche Koppelstellen 31, 32 fur eine horizontale Fuhrung in x-und y-Koordmatenrichtung aufweist An der Unterseite des Zwischenstuckes 30 ist mittels einer Schraube 33 und einer Unterlegscheibe 34 eine Zwischenplatte 35 befestigt, an deren Unterseite wiederum ein Taster 36 angeordnet ist, der Taster 36 sitzt auf einer zu prüfenden Oberflache 2 auf In vertikaler Fluchtnchtung sind die beiden Taster 29 und 36 um einen Abstand 1 voneinander versetztThe Vertikalwegaufnehmer consists of a vessel 6, which is filled with a liquid and sealed at the top with a membrane 10. On the vessel 6 sits a support frame 14, in which a beruhrungsloser encoder 12 is arranged, the sensor is located on the membrane 10 ferromagnetic or electrical The vessel with a tube for communicating with another vertical receiver, not shown in the drawing, is arranged on a measuring tube 5 which has a bore 28 for a pushbutton 29 The measuring slide 5 and the pushbutton 29 are seated on an intermediate piece 30 which has two lateral coupling points 31, 32 for horizontal guidance in the x and y coordinate direction. On the underside of the intermediate piece 30 is by means of a screw 33 and a washer 34 an intermediate plate 35 befes Tigt, on the underside turn a button 36 is arranged, the button 36 sits on a surface to be tested 2 in vertical alignment, the two buttons 29 and 36 are offset by a distance 1 from each other

Der Taster 36 tastet die zu messende Oberflache 2 ab Vertikale Koordmatenanderungen der Oberflache 2 werden dabei über den Taster 36, das Zwischenstuck 30 mit der Zwischenplatte 35 und über den Taster 29 auf das Gefäß übertragen Je nach Auslenkung der Membran 10 durch die Flüssigkeit 9 des kommunizierenden Gefaßsystems gibt der Geber 12 über die Leitung 21 Signale ab, die in Verbindung mit Signalen eines auf einer Referenzflache angeordneten Vertikalwegaufnehmers in bekannter Weise ausgewertet werden Das Ergebnis dieser Auswertung sind Informationen über vertikale Lagen der jeweils vom Taster 36 berührten Punkte, Linien oder Flachenabschnitte der Oberflache 2 relativ zur vertikalen Lage der in der Zeichnung nicht dargestellten Referenzflache Der Taster 29 ist, wie auch der Geber 12, zentrisch zu einer Zentralachse 37 des Gefäßes 6 angeordnet Aufgrund technologischer Bedingungen und Materialeigenschaften der Membran 10 ist die Antaststelle des Gebers 12 an die Membran 10 in der Praxis nicht exakt zentrisch zur Zentralachse 37 Bei einer Kippung des Gefäßes 6 mit dem Traggestell 14 wurde diese Exzentntat zu Hohenanderungen in der Membranauslenkung an der Antaststelle des Gebers 12 zur Membran 10 fuhren, die der Geber 12 als Fehler bei der Messung der jeweiligen Hohenkoordinate der Oberflache 2 registrieren wurde Um das zu vermeiden, wird an dem Zwischenstuck 30 mit der Zwischenplatte 35, das zwangsläufig die gleichen Kippbewegungen ausfuhrt wie das Gefäß 6 mit dem Traggestell 14, bewußt eine zusätzliche Kippung erzeugt, indem die beiden Taster um den Abstand 1 in der vertikalen Flucht voneinander versetzt sind Die Auswirkung dieser zusätzlichen Kippung ist durch Einstellung des geeigneten Abstandes 1 beeinflußbar Zu diesem Zweck ist die Zwischenplatte 35 an dem Zwischenstuck 30 mittels der Schraube 33 in einer Bohrung 38, die entsprechend groß ausgeführt ist, einstellbar befestigt Mit dieser Einstellung wird die zusätzlich bewirkte Kippungsauswirkung so forciert, daß eine aus den beiden Kippungserscheinungen resultierende Auswirkung innerhalb eines fur die Ebenheitsmessung relevanten Kippbereiches keine durch den Geber 12 registrierte Hohenanderung in der Auslenkung der Membran 10 hervorruft Das Meßergebms der Hohenkoordinatenmessung der Oberflache 2 ist damit unabhängig von Verkippungserscheinungen des Gefäßes 6 mit dem Traggestell 14The button 36 scans the surface 2 to be measured from vertical Koordmatenanderungen the surface 2 are transmitted via the button 36, the intermediate piece 30 with the intermediate plate 35 and the button 29 on the vessel depending on the deflection of the membrane 10 by the liquid 9 of the communicating Gefaßsystems are the encoder 12 via the line 21 signals from which are evaluated in conjunction with signals of a reference surface arranged Vertikalwegaufnehmers in a known manner The result of this evaluation is information on vertical positions of each touched by the button 36 points, lines or surface sections of the surface 2 relative to the vertical position of the reference surface, not shown in the drawing The button 29, as well as the encoder 12, arranged centrally to a central axis 37 of the vessel 6 Due to technological conditions and material properties of the membrane 10 is the probing point of the encoder 12 to the membrane 10th in the practice not exactly centric to the central axis 37 In a tilting of the vessel 6 with the support frame 14, this Exzentntat drove to Hohenanderungen in the diaphragm deflection at the probing point of the encoder 12 to the membrane 10, the encoder 12 as an error in the measurement of the respective Hohenkoordinate the To avoid this, at the intermediate stucco 30 with the intermediate plate 35, which inevitably carries out the same tilting movements as the vessel 6 with the support frame 14, consciously generates an additional tilt by the two buttons by the distance 1 in the The effect of this additional tilting can be influenced by adjusting the appropriate distance 1 For this purpose, the intermediate plate 35 is adjustably attached to the intermediate piece 30 by means of the screw 33 in a bore 38 which is made large accordingly the additionally caused Kippungsauswi tion forced so that an effect resulting from the two tilting phenomena within a tilting range relevant to the flatness measurement causes no registered by the encoder 12 high change in the deflection of the membrane 10 The Meßergebms the Hohenkoordinatenmessung the surface 2 is thus independent of Verkippungserscheinungen of the vessel 6 with the Support frame 14

Claims (1)

Patentanspruchclaim Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung gemäß DD-PS 125440, insbesondere fur große Meßflachen, bei der mindestens zwei auf einer Meß- und einer Referenzflache angeordnete als Vertikalwegaufnehmer wirkende flussigkeitsgefullte Gefäße durch je eine Membran angeschlossen sind, die mit je einem Geber gekoppelt sind und bei der die elektrischen von den Membranauslenkungen abhangigen Gebersignale über einen Differenzbildner einem Meßverstarker zugeführt werden, dessen Ausgang über einen Filter mit einer Registriereinrichtung in Verbindung steht, gekennzeichnet dadurch, daß der auf der Meßflache angeordnete Vertikalwegaufnehmer auf einem an der Unterseite in der Flucht zum Mittelpunkt der Membran versetzbar angebrachten Taster fur die Meßflache aufsitztArrangement for straightness and flatness measurement according to DD-PS 125440, in particular for large measuring surfaces, in which at least two arranged on a measuring and a reference surface acting as Vertikalwegaufnehmer liquid-filled vessels are connected by a respective membrane, which are each coupled to a donor and at the electrical signals dependent on the membrane deflections are fed to a measuring amplifier via a differential former, the output of which is connected to a recording device via a filter, characterized in that the vertical displacement transducer arranged on the measuring surface is in alignment with the center of the membrane on the underside displaceable mounted probe for the measuring surface is seated Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Die Erfindung betrifft gemäß Hauptpatent DD-PS 125440 eine Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung, insbesondere fur große Meßflachen, bei der mindestens zwei auf einer Meß- und einer Referenzflache angeordnete als Vertikalwegaufnehmer wirkende flussigkeitsgefullte Gefäße durch je eine Membran abgeschlossen sind, die mit je einem Geber gekoppelt sind und bei der die elektrischen von den Membranauslenkungen abhangigen Gebersignale über einen Differenzbildner einem Meßverstarker zugeführt werden, dessen Ausgang über einen Filter mit einer Registriereinrichtung in Verbindung stehtThe invention relates according to the main patent DD-PS 125440 an arrangement for straightness and flatness measurement, especially for large measuring surfaces, in which at least two arranged on a measuring and a reference surface acting as Vertikalwegaufnehmer liquid-filled vessels are closed by a respective membrane, each with a Encoders are coupled and in which the electrical dependent of the membrane deflections encoder signals are fed via a difference former a Meßverstarker whose output is connected via a filter with a recording device in combination Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions Gemäß Hauptpatent DD-PS 125440 ist eine Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung bekannt, bei der zwei Vertikalwegaufnehmer auf einer Referenz- und auf einer Meßflache angeordnet sind, die aus einem kommunizierenden Gefaßsystem besteht, das an der Meß- und Referenzstelle Membranen auslenkt In Abhängigkeit dieser Membranauslenkungen werden elektrische Signale erzeugt, die ein Maß fur die relative venkale Lage der Vertikalwegaufnehmer zueinander beinhalten Dabei sitzt der Vertikalwegaufnehmer an der Meßstelle über einen Taster auf der zu prüfenden Meßflache auf Theoretisch sind Vertikalwegaufnehmer invariant gegen Verkippungen, wenn die Antastung der Membranen genau zentrisch erfolgt und der Taster genau zentnsch am Gefäß angebracht ist Praktisch ist das jedoch nicht erreichbar, weil sich durch Inhomogenitäten des Membranmaterials und Toleranzen beim Anbringen des anzutastenden Zentrums der Membran funktional Exzentritaten großer als 0,1 mm ergeben Bei einer Kippung des messenden Vertikalwegaufnehmers als Folge von größeren Unebenheiten auf der Meßflache oder als Folge ungenauer horizontaler Fuhrungen des Vertikaiwegaufnehmers beeinträchtigen Fehleranteile 1 Ordnung, also proportional zur Kippung, das Meßergebnis der Membranausdehnung Das registrierte Meßsignal der Hohenkoordmate ist durch die Kippungsauswirkungen fehlerbehaftet, die Meßgenauigkeit und -sicherheit begrenztAccording to the main patent DD-PS 125440 an arrangement for straightness and flatness measurement is known in which two Vertikalwegaufnehmer are arranged on a reference and on a measuring surface, which consists of a communicating Gefaßsystem which deflects at the measuring and reference point membranes in dependence of this Membrane deflections electrical signals are generated, which include a measure of the relative vertical position of the Vertikalwegaufnehmer each other the Vertikalwegaufnehmer sits at the measuring point via a button on the measuring surface to be tested on theoretical Vertikalwegaufnehmer are invariant against tilting when the probing of the membranes is exactly centric and However, practically this is not achievable, because due to inhomogeneities of the membrane material and tolerances when attaching the center of the membrane to be probed functional eccentricities greater than 0.1 mm result in a tilt of the m eating vertical position transducer as a result of larger unevenness on the measuring surface or as a result of inaccurate horizontal Führungen the Vertikaiwegaufnehmers affect error components 1 order, ie proportional to the tilt, the measurement result of the membrane expansion The registered measurement signal of Hohenkoordmate is affected by the Kippungsauswirkungen error, the accuracy and accuracy limited Ziel der ErfindungObject of the invention Ziel der Erfindung ist die Erhöhung der Meßgenauigkeit und -sicherheitThe aim of the invention is to increase the measurement accuracy and safety Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Gerad-und Ebenheitsmessung gemäß WP125440 zu schaffen, bei der das Meßergebnis nicht durch auftetende Verkippungserscheinungen des Vertikalwegaufnehmers beeinträchtigt ist Erfindungsgemaß wird diese Aufgabe bei einer Anordnung zur Grad- und Ebenheitsmessung, insbesondere fur große Meßflachen, bei der mindestens zwei auf einer Meß- und einer Referenzflache angeordnete als Vertikalwegaufnehmer wirkende flussigkeitsgefullte Gefäße durch je eine Membran abgeschlossen sind, die mit je einem Geber gekoppelt sind und bei der die elektrischen von den Membranauslenkungen abhangigen Gebersignale über einen Differenzbildner einem Meßverstarker zugeführt werden, dessen Ausgang über ein Filter mit einer Registriereinrichtung in Verbindung steht, dadurch gelost, daß der auf der Meßflache angeordnete Vertikalwegaufnehmer auf einem Zwischenstuck mit einem an der Unterseite in der Flucht zurr Mittelpunkt der Membran versetzbar angebrachten Taster fur die Meßflache aufsitzt Durch größere Unebenheiter 1er zu messender Werkstuckoberflachen oder durch Fuhrungsbahnfehler, je nach Art der Fuhrung des beweglichen Vertikalwegaufnehmers, können Verkippungen des Vertikalwegaufnehmers auftreten Bei einer nicht zentrischen Membranantastung, was sowohl durch Membraneigenschaften als auch durch Fertigungs- und Montageungenauigkeiten verursacht werden kann, wurden sich proportional zur Kippung im Meßsignal des Vertikalwegaufnehmers Fehleranteile ergeben Diese Fehleranteile als Folge von an der Antaststelleder Membran auftretenden Hohenanderungen durch Kippung des Vertikalwegaufnehmers werden dadurch eliminiert, daß zu diesen unwillkürlichen Hohenanderungen an einer der Taststelle zur Meßflache zusätzlich angeordneten Einrichtung bewußt Vekippungen hervorgerufen werden Dabei wird der Taster zur Meßflache, der normalerweise, gerade um Verkippungsauswirkungen zu vermeiden, zentrisch am Vertikalwegaufnehmer anzuordnen ist, von der vertikalen Zentralachse des Vertikalwegaufnehmers versetzt angeordnet Auf diese Art und Weise werden bewußt weitere Verkippungen bei der Meßflachenabtastung erzeugtThe invention has for its object to provide a device for straightness and flatness measurement according to WP125440, in which the measurement result is not affected by auftetende Verkippungserscheinungen the Vertikalwegaufnehmers invention, this object in an arrangement for degree and planeness measurement, especially for large measuring surfaces, at the at least two arranged on a measuring and a reference surface acting as Vertikalwegaufnehmer liquid-filled vessels are closed by a respective membrane, which are each coupled to a donor and in which the electrical dependent of the membrane deflections encoder signals are fed via a subtractor a Meßverstarker whose output is connected via a filter with a registration device, thereby solved that the arranged on the measuring surface Vertikalwegaufnehmer on a Zwischenstuck with a at the bottom in the flight to the center of the diaphragm displaceable mounted button for the Meßflache seated by larger Unebenheite r 1er to be measured workpiece surfaces or by Fuhrungsbahnfehler, depending on the nature of the leadership of the movable Vertikalwegaufnehmers, tilting of the Vertikalwegaufnehmers can occur in a non-centric Membranantastung, which caused both by membrane properties as well as by manufacturing and assembly inaccuracies These error components as a result of occurring at the Antaststelleder membrane high elevations by tilting the Vertikalwegaufnehmers are eliminated by deliberately causing vekippungen to these involuntary Hohenanderungen at one of the probe to the measuring surface additionally arranged device In the process, the probe becomes the measuring surface, which normally, precisely in order to avoid tilting effects, is to be arranged centrally on the vertical displacement transducer is vertically offset from the vertical central axis of the Vertikalwegaufnehmers In this way, further tilting in Meßflachenabtastung are deliberately generated
DD22490580A 1980-11-03 1980-11-03 ARRANGEMENT FOR STRAIGHT AND LEVEL MEASUREMENT DD154037C2 (en)

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CH534681A CH654658A5 (en) 1980-11-03 1981-08-18 Arrangement for straight and flatness measurement.
JP14563181A JPS5788303A (en) 1980-11-03 1981-09-17 Linearity/flatness measuring device
FR8120214A FR2493513B1 (en) 1980-11-03 1981-10-28 DEVICE FOR MEASURING THE PLANEITY AND LINEARITY OF A SURFACE, IN PARTICULAR OF LARGE SURFACES
GB8132738A GB2086588B (en) 1980-11-03 1981-10-30 Electrical transducer for testing for straightness and evenness

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4513613A (en) * 1983-06-07 1985-04-30 International Business Machines Corporation Particle detection system
GB2276009B (en) * 1990-04-17 1995-01-04 Logitech Ltd Monitoring and control of surface curvature
CN110057339B (en) * 2019-05-27 2024-12-20 瑞特认证检测集团有限公司 A flatness detection device for engineering

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE504904A (en) * 1950-08-04
GB785720A (en) * 1955-02-18 1957-11-06 Sigma Instr Co Ltd Improvements in or relating to measuring heads for gauges
JPS54125584A (en) * 1978-03-23 1979-09-29 Fanuc Ltd Method of adjusting tracer heads

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Publication number Publication date
CH654658A5 (en) 1986-02-28
FR2493513A1 (en) 1982-05-07
JPS5788303A (en) 1982-06-02
GB2086588B (en) 1984-09-19
FR2493513B1 (en) 1986-06-06
GB2086588A (en) 1982-05-12
DD154037A1 (en) 1982-02-17
DE3128450A1 (en) 1982-06-09

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