DD159225A5 - Verfahren zum aufbringen einer lichtempfindlichen schicht - Google Patents
Verfahren zum aufbringen einer lichtempfindlichen schicht Download PDFInfo
- Publication number
- DD159225A5 DD159225A5 DD81230331A DD23033181A DD159225A5 DD 159225 A5 DD159225 A5 DD 159225A5 DD 81230331 A DD81230331 A DD 81230331A DD 23033181 A DD23033181 A DD 23033181A DD 159225 A5 DD159225 A5 DD 159225A5
- Authority
- DD
- German Democratic Republic
- Prior art keywords
- layer
- substrate
- film
- advancing
- rollers
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 119
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 38
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 29
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 2
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 39
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 14
- 150000003330 sebacic acids Chemical class 0.000 description 14
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 13
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 13
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 9
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 9
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000002585 base Substances 0.000 description 8
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 7
- 150000003504 terephthalic acids Chemical class 0.000 description 7
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 6
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 6
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical class [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Chemical class 0.000 description 5
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 5
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 4
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OPLZHVSHWLZOCP-UHFFFAOYSA-N [2-hydroxy-3-[2-hydroxy-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propoxy]propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(O)COCC(O)COC(=O)C(C)=C OPLZHVSHWLZOCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-phenylmethoxyphenyl)-1,3-thiazole-4-carbaldehyde Chemical compound O=CC1=CSC(C=2C=C(OCC=3C=CC=CC=3)C=CC=2)=N1 OEPOKWHJYJXUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000306 component Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 3
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 150000002531 isophthalic acids Chemical class 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 3
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C=C INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTELLNMUWNJXMQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Polymers OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.CCC(CO)(CO)CO GTELLNMUWNJXMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEORPZCZECFIRK-UHFFFAOYSA-N 3,3',5,5'-tetrabromobisphenol A Chemical compound C=1C(Br)=C(O)C(Br)=CC=1C(C)(C)C1=CC(Br)=C(O)C(Br)=C1 VEORPZCZECFIRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Bis(dimethylamino)benzophenone Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 VVBLNCFGVYUYGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUTBKTUHIQFLPI-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-hydroxyphenyl)propan-2-yl]phenol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 QUTBKTUHIQFLPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001634 Copolyester Polymers 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- KYPYTERUKNKOLP-UHFFFAOYSA-N Tetrachlorobisphenol A Chemical compound C=1C(Cl)=C(O)C(Cl)=CC=1C(C)(C)C1=CC(Cl)=C(O)C(Cl)=C1 KYPYTERUKNKOLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical class C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Chemical class 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002924 oxiranes Chemical class 0.000 description 2
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical class OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N (+)-propylene glycol Chemical compound C[C@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-VKHMYHEASA-N 0.000 description 1
- VTRHYFDNOLMPHD-UHFFFAOYSA-N (1-prop-2-enoyloxycyclohexyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1(OC(=O)C=C)CCCCC1 VTRHYFDNOLMPHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHXSXTIIDBZEKB-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4,5,6,7,8-octamethylanthracene-9,10-dione Chemical compound CC1=C(C)C(C)=C2C(=O)C3=C(C)C(C)=C(C)C(C)=C3C(=O)C2=C1C XHXSXTIIDBZEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOAHJDHKFWSLKE-UHFFFAOYSA-N 1,2-benzoquinone Chemical compound O=C1C=CC=CC1=O WOAHJDHKFWSLKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CWABICBDFJMISP-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-1-en-2-yl)benzene Chemical compound CC(=C)C1=CC(C(C)=C)=CC(C(C)=C)=C1 CWABICBDFJMISP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WDCYWAQPCXBPJA-UHFFFAOYSA-N 1,3-dinitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 WDCYWAQPCXBPJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 1,3-propanediol Substances OCCCO YPFDHNVEDLHUCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035437 1,3-propanediol Drugs 0.000 description 1
- ZENYUPUKNXGVDY-UHFFFAOYSA-N 1,4-bis(prop-1-en-2-yl)benzene Chemical compound CC(=C)C1=CC=C(C(C)=C)C=C1 ZENYUPUKNXGVDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000005208 1,4-dihydroxybenzenes Chemical class 0.000 description 1
- DVFAVJDEPNXAME-UHFFFAOYSA-N 1,4-dimethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C(C)=CC=C2C DVFAVJDEPNXAME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFQPRNVTVMCYEH-UHFFFAOYSA-N 1-amino-3-(4-methoxyphenoxy)propan-2-ol Chemical compound COC1=CC=C(OCC(O)CN)C=C1 KFQPRNVTVMCYEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 1-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2Cl BOCJQSFSGAZAPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVOVXOXRXQFTAS-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-7-propan-2-ylphenanthrene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=C(C(C)C)C=C3C(=O)C(=O)C2=C1C WVOVXOXRXQFTAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 1-naphthylamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1 RUFPHBVGCFYCNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRZPQLZONWIQOJ-UHFFFAOYSA-N 10-(2-methylprop-2-enoyloxy)decyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C LRZPQLZONWIQOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 10H-phenothiazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3SC2=C1 WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PUGOMSLRUSTQGV-UHFFFAOYSA-N 2,3-di(prop-2-enoyloxy)propyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(OC(=O)C=C)COC(=O)C=C PUGOMSLRUSTQGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVPKNMBRVBMTLB-UHFFFAOYSA-N 2,3-dichloronaphthalene-1,4-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(Cl)=C(Cl)C(=O)C2=C1 SVPKNMBRVBMTLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid (2S,3S)-3,4-dimethyl-2-phenylmorpholine Chemical compound OC(C(O)C(O)=O)C(O)=O.C[C@H]1[C@@H](OCCN1C)c1ccccc1 VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 0.000 description 1
- KIJPZYXCIHZVGP-UHFFFAOYSA-N 2,3-dimethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C(C)C(C)=C2 KIJPZYXCIHZVGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHVBLSNVXDSMEB-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CCN(CC)CCOC(=O)C=C QHVBLSNVXDSMEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEWCNXNIQCLWHP-UHFFFAOYSA-N 2-(tert-butylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCNC(C)(C)C BEWCNXNIQCLWHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQZHOBBQNFBTJE-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-3-methylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C(C)C(Cl)=C2 YQZHOBBQNFBTJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPKCTSIVDAWGFA-UHFFFAOYSA-N 2-chloroanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3C(=O)C2=C1 FPKCTSIVDAWGFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004182 2-chlorophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(Cl)=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(CC)=CC=C3C(=O)C2=C1 SJEBAWHUJDUKQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTWDKFNVVLAELH-UHFFFAOYSA-N 2-methylcyclohexa-2,5-diene-1,4-dione Chemical compound CC1=CC(=O)C=CC1=O VTWDKFNVVLAELH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 2-phenylanthracene-9,10-dione Chemical compound C=1C=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=CC=1C1=CC=CC=C1 NTZCFGZBDDCNHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C(C)(C)C)=CC=C3C(=O)C2=C1 YTPSFXZMJKMUJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 2h-oxazine Chemical compound N1OC=CC=C1 BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GGRBZHPJKWFAFZ-UHFFFAOYSA-N 3,4-bis(2-methylprop-2-enoyloxy)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC(OC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C GGRBZHPJKWFAFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTWRFCRQSLVESJ-UHFFFAOYSA-N 3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCOC(=O)C(C)=C HTWRFCRQSLVESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LKHHEMHSIKGIBO-UHFFFAOYSA-N 3-ethylpent-2-enoic acid Chemical compound CCC(CC)=CC(O)=O LKHHEMHSIKGIBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MWKAGZWJHCTVJY-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxyoctadecan-2-one Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC(O)C(C)=O MWKAGZWJHCTVJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCO GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 3-tert-butylbenzene-1,2-diol Chemical class CC(C)(C)C1=CC=CC(O)=C1O JIGUICYYOYEXFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 4-(2-methylprop-2-enoyloxy)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCOC(=O)C(C)=C XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMRDPCUYKKPMFC-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-2,2,5,5-tetramethylhexan-3-one Chemical compound CC(C)(C)C(O)C(=O)C(C)(C)C YMRDPCUYKKPMFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 4-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCOC(=O)C=C JHWGFJBTMHEZME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAMCLRBWHRRBCN-UHFFFAOYSA-N 5-prop-2-enoyloxypentyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCOC(=O)C=C XAMCLRBWHRRBCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKCRIUIBDUVZSP-UHFFFAOYSA-N 7,8,9,10-tetrahydrotetracene-1,2-dione Chemical compound C1CCCC2=C1C=C1C=C3C=CC(=O)C(=O)C3=CC1=C2 RKCRIUIBDUVZSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 9,10-anthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1 RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940076442 9,10-anthraquinone Drugs 0.000 description 1
- YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 9,10-phenanthroquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=O)C3=CC=CC=C3C2=C1 YYVYAPXYZVYDHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N Butylhydroxytoluene Chemical compound CC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C(C(C)(C)C)=C1 NLZUEZXRPGMBCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJRJCKNCXFPBFL-UHFFFAOYSA-N C(C=C)(=O)N.C(C=C)(=O)N.C(COCCO)O Chemical compound C(C=C)(=O)N.C(C=C)(=O)N.C(COCCO)O DJRJCKNCXFPBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021591 Copper(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- VKOUCJUTMGHNOR-UHFFFAOYSA-N Diphenolic acid Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(CCC(O)=O)(C)C1=CC=C(O)C=C1 VKOUCJUTMGHNOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001269524 Dura Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004705 High-molecular-weight polyethylene Substances 0.000 description 1
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004902 Softening Agent Substances 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVGGFVNRRGKACD-UHFFFAOYSA-N [2,2,4-trimethyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)pentyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C(C)C)C(C)(C)COC(=O)C(C)=C TVGGFVNRRGKACD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOGPKCHLHAWNIY-UHFFFAOYSA-N [2-hydroxy-3-(2-hydroxy-3-prop-2-enoyloxypropoxy)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COCC(O)COC(=O)C=C UOGPKCHLHAWNIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 150000001279 adipic acids Chemical class 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical group 0.000 description 1
- 238000005576 amination reaction Methods 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N benzo[a]anthracene-7,12-dione Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O LHMRXAIRPKSGDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- ZPOLOEWJWXZUSP-AATRIKPKSA-N bis(prop-2-enyl) (e)-but-2-enedioate Chemical compound C=CCOC(=O)\C=C\C(=O)OCC=C ZPOLOEWJWXZUSP-AATRIKPKSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- MTAZNLWOLGHBHU-UHFFFAOYSA-N butadiene-styrene rubber Chemical compound C=CC=C.C=CC1=CC=CC=C1 MTAZNLWOLGHBHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010354 butylated hydroxytoluene Nutrition 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920003086 cellulose ether Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M copper(I) chloride Chemical compound [Cu]Cl OXBLHERUFWYNTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940045803 cuprous chloride Drugs 0.000 description 1
- HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N cyclohexene Chemical compound C1CCC=CC1 HGCIXCUEYOPUTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 1
- 235000010944 ethyl methyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical class CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940086559 methyl benzoin Drugs 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920003087 methylethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002832 nitroso derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000020477 pH reduction Effects 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920001483 poly(ethyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001281 polyalkylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001515 polyalkylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 1
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000166 polytrimethylene carbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920001290 polyvinyl ester Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940079877 pyrogallol Drugs 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000012744 reinforcing agent Substances 0.000 description 1
- 239000012763 reinforcing filler Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- CXVGEDCSTKKODG-UHFFFAOYSA-N sulisobenzone Chemical compound C1=C(S(O)(=O)=O)C(OC)=CC(O)=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 CXVGEDCSTKKODG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000368 sulisobenzone Drugs 0.000 description 1
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N tetrachloro-1,4-benzoquinone Chemical compound ClC1=C(Cl)C(=O)C(Cl)=C(Cl)C1=O UGNWTBMOAKPKBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
- B32B37/16—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating
- B32B37/22—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with all layers existing as coherent layers before laminating involving the assembly of both discrete and continuous layers
- B32B37/223—One or more of the layers being plastic
- B32B37/226—Laminating sheets, panels or inserts between two continuous plastic layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B26—HAND CUTTING TOOLS; CUTTING; SEVERING
- B26D—CUTTING; DETAILS COMMON TO MACHINES FOR PERFORATING, PUNCHING, CUTTING-OUT, STAMPING-OUT OR SEVERING
- B26D7/00—Details of apparatus for cutting, cutting-out, stamping-out, punching, perforating, or severing by means other than cutting
- B26D7/18—Means for removing cut-out material or waste
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
- B29C63/0004—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C63/0013—Removing old coatings
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B39/00—Layout of apparatus or plants, e.g. modular laminating systems
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/34—Electrical apparatus, e.g. sparking plugs or parts thereof
- B29L2031/3425—Printed circuits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/16—Drying; Softening; Cleaning
- B32B38/162—Cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0073—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces
- H05K3/0079—Masks not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46, e.g. for photomechanical production of patterned surfaces characterised by the method of application or removal of the mask
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
- Y10T156/1052—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing
- Y10T156/1084—Methods of surface bonding and/or assembly therefor with cutting, punching, tearing or severing of continuous or running length bonded web
- Y10T156/1085—One web only
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/17—Surface bonding means and/or assemblymeans with work feeding or handling means
- Y10T156/1702—For plural parts or plural areas of single part
- Y10T156/1705—Lamina transferred to base from adhered flexible web or sheet type carrier
- Y10T156/1707—Discrete spaced laminae on adhered carrier
- Y10T156/171—Means serially presenting discrete base articles or separate portions of a single article
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Forests & Forestry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
Integriertes Verfahren fuer das Laminieren einer kontinuierlichen Schicht mit fotoempfindlicher Zusammensetzung auf die Oberflaeche jedes Gliedes einer Reihe von Substratelementen und automatisches Abschneiden der Schicht von den Vorder- und Hinterkanten der laminierten Substratelemente.
Description
Integriertes Laminationsverfahren
Die Erfindung betrifft ein Verfahren für das Larainieren einer kontinuierlichen Schicht auf ein Substrat und vor allem ein integriertes Laminationsverfahren, bei dem die laminierte Schicht automatisch beschnitten wird.
^Charakteristik der bekannten technischen Lösungen: r--s In der US-PS 3.469.982 wird ein Fotowiderstandverfahren beschrieben, bei dem eine fotopolymerisierbare, auf einer Folienunterlage befindliche Schicht auf eine Oberfläche gebracht wird, worauf die bildweise Belichtung der Schicht, das Abstreifen der Folienunterlage und das Auswaschen der nicht belichteten Bereiche der Schicht folgen, damit ein widerstandsfähiges Bild zurückbleibt, das die oben genannte Oberfläche bei Behandlungen wie Ätzen oder Elektroplattieren schützt.
In der PS wird die Lösungsbeschichtung mit einer fotopolymerisierbar en Zusammensetzung auf die Folienunterlage, O anschließendes Trocknen und dann Laminieren der resultierenden trockenen Schicht auf eine Oberfläche wie kupferplattierte gedruckte Schaltungsplatten (Beispiel V) als Durchführung des Fοtowiderstandverfahr ens beschrieben. In der handelsüblichen Praxis wird jedoch die getrocknete fotopolymerisierbare Beschichtung, die während der Lagerung und des Versandes an der Unterlage haften bleiben muß, immer zwischen die Folienunterlage und eine Deckfolie eingefügt geliefert, wie es in Beispiel-I des Patentes erläutert wird. Dadurch konnte das Sandwich-Gebilde durch den Hersteller von Fotowiderständen um sich selbst aufgerollt und dem Verbraucher, z. B. dem Hersteller von gedruckten Schaltungen, als eine kompakte, leicht
230331 3
zu gebrauchende Rolle geliefert werden. Durch die Deckfolie konnte die Rolle vom Anwender abgerollt werden. Ohne die Deckfolie würde diese Schicht durch das Pressen der fotopolymerisierbaren Schicht an die Rückseite der Folienunterlage daran festkleben. Polglich könnte die Folie nicht ohne Beschädigung der fotopolymerisierbaren Schicht abgerollt werden. Bei Gebrauch wird die Deckfolie abgestreift und weggeworfen, worauf die oben beschriebene Fotowiderstandverarbeitung folgt. In der US-PS 3.782.939 wird die Notwendigkeit der Deckfolie wegen der angeblichen Klebrigkeit der fotopolymerisierbaren Schicht beschrieben. Tatsächlich braucht sich die Schicht nicht klebrig anzufühlen, sondern kann unter Druck haften, beispielsweise, wenn sie aufgerollt wird.
Die Ausrüstung für die Durchführung des Fotowiderstandverfahrens hat im allgemeinen aus einzelnen Ausrüstungsteilen bestanden, so einer Reinigungseinrichtung, einer Bürsteneinrichtung für das Reinigen der kupfer-plattierten Schaltungsplatten, einem Ofen für das Vorwärmen der Platten, einem Y/alzen-Laminator für die Anwendung von Wärme auf den Fotowiderstand und die Platte, wenn diese miteinander laminiert werden, und einer Belichtungsstation (aktini-Bche Bestrahlung) und einem Lb'sungsmittel-Bntwicklungsapparat. Dabei war die manuelle Beförderung und Anordnung der Schaltungsplatte zwischen jedem Ausrüstungsteil erforderlich, womit Kosten und eine geringere als die verlangte Reproduzierbarkeit verbunden waren und sich ein Ertrags- . verlust bei dem Prozeß ergab.
Es sind verschiedene Versuche zur Automatisierung des Fotowiderstandverfahrens unternommen worden, aber die Automatisierung konnte nur in einem begrenzten Umfang angewandt werden.
230331 3
In der US-PS 3.547.730 wird ein Verfahren und eine Apparatur für die Automatisierung des Fotowiderstandverfahrens beschrieben, zu denen eine Vorrichtung für das fortlaufende Zuführen von geformten Artikeln wie Schaltungsplatten und ein laminator für die Aufnahme der Platten und das Auflaminieren einer .fotoempfindlichen Schicht gehören. Portlaufend laminierte Platten werden durch eine Bahn von Folienunterlage zusammengehalten, und die foioempfindliche Schicht, die sich zwischen den Platten wie in Pig. 2 gezeigt erstreckt, und die Schicht der oberen und unteren ,--> Bahn werden miteinander laminiert und bilden ein "Gelenk" w (Spalte 5, Zeilen 35 - 39). Als nächstes wird die Folienunterlage durch die Walzen 12 und 13 abgestreift. Durch dieses Abstreifen wird die Schaltungsplatte vorwärts bewegt, so daß sie an die vorhergehende Platte anstößt und diese in die Belichtungseinrichtung schiebt. Die Bahn der fotoempfindlichen Schicht, die nach dem Abstreifen der Folienunterlage zwischen aufeinanderfolgenden Platten zurückbleibt, faltet sich in Form eines "Gelenkes" über sich selbst zurück, wenn die Platten zusammenstoßen. Dieses Gelenk kann vor dem Eintreten in die Belichtungseinrichtung mit Hilfe eines Messers abgeschnitten werden.
In der US-PS 3.547.730 werden auch das Reinigen einer * Schaltungsplatte zwischen einer Zuführungsstation und einer Laminierungsstation, das Vorwärmen der Platte und/oder der fotoempfindlichen Schicht zwischen ihrer jeweiligen Zuführungs- und Laminierungsstation sowie Walzen 10 für das Abstreifen der Deckfolie vor dem Laminieren beschrieben.
In der US-PS 4.025.380 wird die fortlaufende Zuführung von Schaltungsplatten auf ein Förderband beschrieben, das sie durch einen Infrarot-Vorwärmer und dann an Meßfühlerschal-
230331 3
tern vorbei, die die Arbeitsweise der LaminiertaIzen und Schneideinrichtungen steuern, die vor dem Laminieren eine .fotoempfindliche Schicht in die erforderliche Länge schneiden und dann die geschnittene Folie (Schicht) auf die Schaltungsplatte laminieren. Das Patent betrifft auch Walzen 63 für das Abstreifen der Deckfolie vor dem Laminieren.
Verbesserungen bei spezifischen Verfahrensschritten sind dargelegt worden. In der US-PS 3.629.036 wird offenbart, daß erhöhte Temperatur, die für das Laminieren eines I'otoviIderständes auf ein Substrat erforderlich ist, Nachteile bringt, die ,sich in einer Beschränkung hinsichtlich der Arten von Fotowiderstand- und Substratmaterialien, die benutzt werden können, zeigen und zu einer schlechten Bindung an das Substrat führen. In dem Patent wird behauptet, daß die Lösung dieser Probleme durch Laminieren bei Raumtemperatur erreicht wird, indem zuerst eine Lösung von gelöstem Widerstand auf das Substrat aufgebracht und anschließend die Laminierung vorgenommen wird. Das Patent sieht eine Ablöseschicht zwischen der Fotowiderstandschicht und ihrer Foiienunterlage vor, damit die Folie von der Fotowiderstandschicht nach dem Laminieren abgestreift werden kann.
In der US-PS 3.794.546 wird die Verwendung einer Klebebahn beschrieben, die an einer Folienunterlage eines fotohärtbaren Elementes haftet, um die Folienunterlage zumindest von dem nicht gehärteten Bereich einer bildweise belichteten fotohärtbaren, an eine Aufnahmefolie laminierten Schicht ablösen zu können.
US-PS 4.075.051 betrifft ein Verfahren für das Selbstablösen einer auf ein Substrat laminierten Fotowiderstandschicht, d. ho der Abschnitt der Schicht, der sich über
230331 3
die Ränder des Substrates hinaus erstreckt, wird ohne Schneidvorgang entfernt. Dazu wird ein flüssiges Schwächungsmittel wenigstens auf den oben genannten Abschnitt der Schicht, aber durchaus auch auf die gesamte Schicht, durch Vorbenetzen des Substrates mit dem Mittel aufgetragen und anschließend entweder die Deckfolie (Folienunterlage) oder eine zusätzliche durchlässige Folie, die eine größere Adhäsion in bezug auf die Schicht hat als die Kohäsionsfestigkeit (infolge des Schwächungsmittels) der Schicht beträgt, abgezogen. Der sich über die Kante des Substrates hinaus erstreckende Abschnitt der Schicht reißt an der Kante des Substrates durch die Wirkung des Abziehens der Deckfolie oder der durchlässigen Folie ab und wird mit der Folie entfernt. Bei dem Schwächungsmittel handelt es sich entweder um ein Lösungsmittel für den Fotowiderstand oder um ein Erweichungsmittel für denselben. Das Patent offenbart die Anwendung eines herkömmlichen Laminators in Walzenform und von Druck und Wärme für das Anhaften der Fotowiderstandschicht an das Substrat.
Ziel der Erfindung^ -
Wenn auch die dem bisherigen Stand der Technik entsprechenden Laminationsverfahren für viele Anwendungszwecke zufriedenstellend sind, so werden doch noch genauere und gleichmäßigere Laminationsverfahren gebraucht, vor allem für die Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten mit einer sehr hohen Zeilendichte.
Darlegung des Wesens der Erfindung:
Die Erfindung betrifft ein integriertes Verfahren für das Laminieren einer durchgehenden Schicht mit fotoempfindlicher Zusammensetzung auf eine Oberfläche jedes Gliedes einer Reihe von Substratelementen und das Abschneiden der Schicht von mindestens einer der Querkanten der laminierten Substratelemente, das folgende aufeinander fol-
2303 3 1 3
gende Schritte umfaßt:
(1) Vorwärtsbewegen einer kontinuierlichen Schicht mit einer Zusammensetzung aus fotoempfindlichem organischem Polymer, wobei die Schicht an einer Seite von einem abstreifbaren Polymerfilm gehalten wird, und eines ersten Substrates zum Spalt eines Satzes von Laminierwalzen; .
(2) Zusammenbringen der nicht unterstützten Oberfläche der gestützten Schicht mit einer Oberfläche des Substratelementes innerhalb des Walzenspaltes unter Druck, um die Schicht auf die Oberfläche des Substratelementes zu laminieren;
(3) Wahlweise Entfernung der Folienunterlage von der Schicht beim Austreten des Substratelementes aus dem Spalt der Laminiertalζen und weitere Vorwärtsbewegung des laminierten Substratelementes, bis die Folienunterläge vollständig von der laminierten Schicht entfernt ist;
(4) wodurch an dem laminierten Substratelement an seiner Längsachse in Vorschubrichtung gezogen wird, wodurch die Bruchfestigkeit der laminierten Schicht und, wenn, vorhanden, der Folienunterlage an der Hinterkante des Substrates quer zur Vorschubrichtung überschritten wird; und
(5.) Wiederholung der Reihenfolge der Schritte (2) bis (4) in bezug auf nachfolgende Substratelemente in der Reihe.
Hach einem bevorzugten Aspekt der Erfindung wird die Folienunterlage von der Schicht beim Austritt aus dem Spalt der Laminierwalzen durch Zurückbiegen der Folie in der Längsachse der vorrückenden Schicht in einem stumpfen Winkel entfernt, wobei der Biegeradius nur so groß ist, daß die Bruchfestigkeit der Schicht an der Vorderkante des Substraten ~ „. „ „ + „ ^ ίίΐ-. λ M<-5/->hvi-i
_ 230331 3
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden durch Bezugnahme auf die vier Figuren umfassende Zeichnung deutlich werden. In der Zeichnung stellen dar:
Fig. 1 eine schematische Zeichnung, die eine bevorzugte AnwendungsmogIi dikeit des erfindungsgemäßen Verfahrens in einem kontinuierlichen Laminationsverfahren zeigt;
Fig. 2 eine schematische Zeichnung, die im Querschnitt ein bevorzugtes Verfahren der Substratbehandlung vor dem Auflaminieren von fotoempfindlichen Schichten zeigt;
Fig. 3 A und B: schematische Zeichnungen, die im Querschnitt ein bevorzugtes Verfahren für-das Abschneiden der fotoempfindlichen Schicht von der Vorderkante von nach dem Verfahren laminierten Substraten zeigen und
Fig. 4 eine schematische Darstellung, die im Querschnitt ein bevorzugtes Verfahren für das Abschneiden der fotoempfindlichen Schicht von der Hinterkante von nach dem erfindungsgemäßen Verfahren laminierten Substraten zeigt.
A. Fotoempfindliches'Schichtelement
Die Erfindung kann mit gutem Erfolg für die !aminierung eines breiten Spektrums von thermoplastischen Schichten angewandt werden. Besonders wertvoll erweist sich die Erfindung für die Laminierung von fotoempfindlichen Widerstandselementen auf Substrate, die für die Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten verwendet werden können. Außerdem eignet sich die Erfindung für das Laminieren von fotoempfindlichen Schichten auf Substrate für die Herstellung von lithographischen Druckplatten.
Für die praktische Anwendung der Erfindung können fotoempfindliche Filmwiderstände der verschiedensten Typen eingesetzt werden. Im allgemeinen sind fotohärtbare,
-230331 3
negativ-wirkende Widerstände fotopolymerisierbar Filme von der in der US-iJS 3.469.982 dargelegten Art und die fotovernetzbaren Elemente von der in der US-PS 3.526.504 offenbarten Art. Positiv-wirkende Widerstandselemente können vom fotosolubilisierbaren Typ sein, z. B. die o-Chinondiazid-Elemente der US-PS 3.837.860, oder vom fotodesensibilisierbaren Typ, z. B. die Bisdiazoniumsalze der US-PS 3.778.270, oder sie können die nitroaromatische Zusammensetzung der GB-PS 1.547.548 aufweisen.
Die bei dem Verfahren verwendete fotoempfindliche Schicht ist vorzugsweise -wäßriges Alkali, das insofern verarbeitbar ist, als b:ä löslich und somit in wäßriger Alkalilösung, z. B. mit 1 Massel/o ITa0COo bei 29,4 0C 90 Sekunden läng bei einem Sprühdruck von 1,38 kg/cm entwickelt werden kann.
Vorzugsweise wird ein Element verwendet, das ein bilderzeugendes, nichtblockendes fotopolymerisierbares Stratum auf einer abstreifbaren Unterlage enthält, wie das in der gleichfalls anhängigen US-Patentanmeldung S. H. 153.639, eingereicht am 27. Mai 1980, beschriebene. Alternativ kann, vor allem, wenn die fotopolymerisierbare Schicht klebrig ist, die übrige Oberfläche des gestützten fotopolymerisierbaren Straturns durch eine entfernbare Deckfolie geschützt werden, oder wenn das Element in Rollenform aufbewahrt wird, kann die Stratumoberflache durch die angrenzende Rückseite der Unterlage geschützt werden. Die fotoempfindliche Zusammensetzung ist in einer Trockenschichtdicke von etwa 0,0003 Zoll ('"-0,0008 cm) bis et«a 0,01 Zoll (^ 0,025 cm) oder mehr vorhanden. Eine geeignete abstreifbare Unterlage, die vorzugsweise einen hohen Grad an luaßhaltigkeit bei TemperaturVeränderungen aufweisen sollte, kann unter einer großen Vielzahl von aus Hochpolymeren bestehenden
230331 3
Folien ausgewählt werden, z. B. Polyamiden, Polyolefinen, Polyestern, Vinylpolymeren und Celluloseestern, und sie kann eine Dicke zwischen 0,00025 Zoll (-'^Ο cm) und 0,008 Zoll (/^ 0,02 cm) oder mehr haben. Eine besonders gut geeignete Unterlage ist eine transparente Polyäthylentherephthalatfolie mit einer Dicke von etwa 0,001 Zoll ( /^ 0,0025 cm).
Y/enn die Erfindung für das laminieren fotoempfindlicher ( ) Schichten angewandt wird, dann muß die Adhäsion (A*) der unbelichteten fotoempfindlichen Schicht an der Polymerunterlage die Bruchfestigkeit (B) äer nicht gestützten fotoempfindlichen Schicht überschreiten. Gleichfalls muß die Adhäsion (Ap) der nicht-belichteten fotoempfindlichen Schicht an dem Substrat die Bruchfestigkeit (B) der nicht gestützten fotoempfindlichen Schicht überschreiten. Außerdem muß, da sich die Polymerunterlage von der laminierten fotopolymerisierbaren Schicht abstreifen lassen muß, die Adhäsion (A2) der Fotoschicht an dem Substrat ebenfalls die Adhäsion (A^) an der Polymerunterlage überschreiten. Mathematisch ausgedrückt ist das: ApT^=- Α/Ξ> Β. ^ Die genaue Ausgewogenheit zwischen diesen Adhäsions- und w Bruchkräften in fotoempfindlichen Systemen kann'durch die Festlegung der relativen Anteile von Monomer ein und Bindemittel erreicht werden.
Wie oben erläutert wurde, wird die fotoempfindliche Schicht vorzugsweise so zusammengestellt, daß sie verhältnismäßig hart und nicht-blockend ist, d. h. sie wird nicht an sich selbst oder an der Folienunterlage mit einer höheren Adhäsionsfestigkeit als die Kohäsionsfestigkeit der Schicht beträgt, festkleben. Infolgedessen ist keine Deckfolie notwendig, um das Festkleben der Schicht an der Folienunterlage im aufgerollten Zustand
-230331 3
des fotoempfindlichen Elementes zu verhindern. Dadurch t/erden Materialkosten gespart, und das Abstreifen der Deckfolie und die Beseitigung der abgestreiften Deckfolie werden überflüssig.
Wenn das Element keine entfernbare Schutzdeckfolie enthält und in Rollenform gelagert v/erden muß, kann ein zusätzlicher Schutz gegen Blocken wahlweise dadurch geschaffen werden, daß die Rückseite der abstreifbaren Unterlage mit einer dünnen Schicht von Ablösematerial wie Wachs oder Silikon versehen wird, um das Blocken mit dem fotopolymerisierbaren Stratum zu verhindern. Alternativ kann die Adhäsion an der beschichteten fotopolymerisierbaren Schicht auch duroh Flammenbehandlung oder Bogenentladungsbehandlung der Unterlagefläche, die beschichtet vier den soll, erhöht werden.
Geeignete entfernbare Schutzdeckfolien, können, wenn sie verwendet.werden, aus der gleichen oben beschriebenen Gruppe der Hochpolymere ausgewählt werden und können den gleichen breiten Dickenbereich aufweisen» Eine Deckfolie aus 0,001 Zoll (/"^0,0025 cm) dickem Polyäthylen ist besonders gut geeignet. Die oben beschriebenen Unterlage- und Deckfolien bieten einen guten Schutz für die fotopolymerisierbar e Widerstandsschicht.
Die fotohärtbare Schicht wird aus Polymerkomponenten (Bindemitteln), Monomerkorcponenten, Initiatoren und Inhibitoren hergestellt.
Geeignete Bindemittel, die als alleinige Bindemittel oder in Kombination mit anderen verwendet werden können, umfassen die folgenden:
.,.230331 3
Polyacrylat- und alpha-Alkylpolyacrylatester, ζ, B. Polymethylmethacrylat und Polyäthylmethacrylat; Polyvinylester, ζ. Β. Polyvinylacetat, Polyvinylacetat/ Acrylat, Polyvinylacetat/LIethacrylat und hydrolysiertes Polyvinylacetat; Äthylen/Vinylacetat-Copolymere; Polystyrol-PoljTnere und Copolymere, z. B, mit Maleinsäureanhydrid und Estern; Vinyldenchlorid-Copolymere, z. B. Vinylidenchlorid/Acrylonitril; Vinylidenchlorid/ Methacrylat- und Vinylidenchlorid/Vinylacetat-Copolymere; Polyvinylchlorid und Copolymere, z. B. Polyvinylchlorid/ Acetat; gesättigte und ungesättigte Polyurethane; synthe-
"-" tische Kautschuke, z. B. Butadien/Acrylonitril, Acrylonitril/Butadien/Styrol-, Kethacrylat/Acrylonitril/Butadien/Styrol-Copolymere, 2-Chlorbutadien-1,3-polymere, chlorierten Kautschuk, und Styrol/Butadien/Styrol-, Styrol/Isopren/Styrol-Blockcopolymere; hochmolekulare Polyäthylenoxide von Polyglycolen mit durchschnittlichen relativen Molekülmassen von etwa 4000 "bis 1 000 000, Epoxide, z. B. Epoxide, die Acrylat- oder Methacrylatgruppen enthalten; Copolyester, ζ. B. diejenigen, die aus dem Reaktionsprodukt eines Polymethylenglycols der Formel HO(CHp)nOH, worin η eine ganze Zahl von 2 bis einschließlich 10 ist, hergestellt wurden, und ("') (1) Hexahydroterephthal-, Sebacin- und Terephthalsäuren, (2) Terephthal-, Isophthal- und Sebacinsäuren, (3) Terephthal- und Sebacinsäuren, (4) Terephthal- und Isophthal-. " säuren, und (5) Gemische von Copolyester!!, hergestellt von den Glycolen und (i) terephthal-, Isophthal- und Sebacinsäuren und (ii) Terephthal-, Isophthal-, Sebacin- und Adipinsäuren; IJylons oder Polyamide, z» B. U-Methoxymethylpolyhexamethylenadipamid; Celluloseester, z. B. Celluloseacetat, Celluloseacetatsuccinat und Celluloseacetatbutyrat; Celluloseäther, z. B. Methylcellulose, Äthylcellulose und Bensy!cellulose; Polycarbonate; PoIyvinylacetal, z. B. Polyvinylbutyral, Polyvinylformal; Polyformaldehyde.
-«-2303-31 3
Das Bindemittel sollte vorzugsweise ausreichend Säureoder andere Gruppen enthalten, damit die Zusammensetzung in wäßrigem Entwickler wie oben beschrieben bearbeitet werden kann, nützliche wäßrig-verarbeitbare Bindemittel umfassen die in der US-PS 3.458.311 und der GB-PS 1.507.704 offenbarten. Brauchbare amphotere Polymere umfassen Interpolymere, die von IT-Alkylacrylamiden oder Methacrylamiden abgeleitet sind, saure fumbildende Comonomere und ein Alkyl- oder Hydroxyalkylacrylat, wie dasjenige in der US-PS 3.927.199 offenbarte, das hier unter Bezugnahme einbezogen wird.
Es empfiehlt sich, HatiL die fotoempfindliche Schicht relativ härter als diejenigen ist, die bisher im allgemeinen zur Verfugung standen. Durch größere Härte der Schicht wird eine bessere Maßhaltigkeit geschaffen und es ist daher weniger notwendig, für eine Unterstützung durch die Folienunterlage zu sorgen.
Geeignete Monomere, die als alleiniges Monomer es oder in Kombination mit anderen verwendet werden können, umfassen folgende: t-Butylacrylat, 1,5-Pentandioläiacrylat, HjE-Diäthylaminoäthylacrylat, Äthylenglycoldiacrylat, 1,4-Butandioldiacrylat, Diäthylenglycoldiacryla't, Hexamethylenglycoldiacrylat, 1,3-Propandioldiacrylat, Decamethylenglycoldiacr3?-lat, Decamethylenglycoldimethacrylat, 1,4~Cyclohexandioldiacrylat, 2,2-Dimethylolpropandiacrylat, Glycerindiacrylat, Tripropylenglycoldiaorylat, Glycerintriacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Pentaerythritoltriacrylat, polyoxyäthyliertes Trimethylolpropantriacrylat und Trimethacrylat und ähnliche Verbindungen wie in US-PS 3.380.331 offenbart5 2,2-Di(phydroxyphenyD-propandiacrylat, Pentaerythritoltetraacrylat, 2,2-Di-(p~hydroxyphenyl)-propandimethacrylat,
23 03 3 1 3
Triäthylenglycoldiacrylat, Polyoxyäthyl-2,2-di-(p-hydroxyphenyl)-propandirnethacrylat, Di-(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl)-äther von Bisphenol-A, Di-(2-methacryloxyäthyl)-äther von Bisphenol-A, Di-(3-acryloxy~2-hydroxypropyl)-äther von Bisphenol-A, Di-(2-acryloxyäthyl)äther von Bisphenol-A, Di-(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl)äther von Tetrachlorobisphenol-A, Di-(2-methacryloxyäthyl)äther von Tetrachlorobisphenol-A, Di-(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl)äther von Tetrabromobisphenol-A, Di-(2-methacryloxyäthyl)äther von Tetrabromobisphenol-A, Di-(3-methacrylcxy-2-dydroxypropyl)äther von 1,4-Butandiol, Di-(3-methacryloxy~2-hydroxypropyl)äther von Diphenolsäure, Triäthylenglycoldirnethacrylat, Polyoxypropyltrimethylolpropantriacrylat (462), Athylenglycolüimethacrylat, Butylenglycoldimethacrylat, 1,3-Propandioldimethacrylat, 1,2,4-Butantrioltrimethacrylat, 2,2,4-Trimethyl-1,3-pentandioldimethacrj^lat, Pentaerythritoltrimethacrylat, 1-Phenyläthylen-1,2-dimethacrylat, Pentaerythritoltetramethacrylat, Trirnethylolpropantriniethacrylat, 1,5-Pentandioldimethacrylat, Diallylfumaraty Styrol, 1,4-p-Dihydroxybenzoldiinethacrylat, 1,4-Diisopropenylbenezol und 1,3,5-Triisopropenylbenzol.
Außer den oben genannten äthylenisch ungesättigten Monomeren kann die fotohärtbare Schicht auch mindestens eine der folgenden durch freie Radikale initiierten, kettentragenden, Additions-polymerisierbaren, äthylenisch ungesättigten Verbindungen mit einer relativen Holekülmasse von mindestens 300 enthalten» Bevorzugte Monomere dieses Typs sind ein Alkylen- oder ein Polyalkylenglycoldiacrylat, das aus einem Alkylenglycol mit 2 bis 15 Kohlenstoffatomen hergestellt vmrde, oder ein Polyalkylenätherglycol mit 1 bis 10 Ätherverknüpfungen, sowie die in der US-PS 2„927.022 offenbarten, z. B. diejenigen mit zahlreichen Additions-polymerisierbaren äthylenischen Verknüpfungen,
230331 3
vor allem, wenn diese als Terminalverknüpfungen vorhanden sind. Besonders bevorzugt werden diejenigen, in den wenigstens eine oder vorzugsweise die meisten derartigen Verknüpfungen mit einem doppelt gebundenem Kohlenstoff konjugiert sind, einschließlich Kohlenstoff doppelt gebunden an Kohlenstoff und an solche Heteroatome wie Stickstoff, Sauerstoff und Schwefel· Hervorragend sind die Stoffe, in denen die äthylenisch ungesättigten Gruppen, besonders die Vinylidengruppen, mit Ester- oder Amidstrukturen konjugiert sind.
Bevorzugte, freie Radikale erzeugende Additionspolymerisations-Initiatoren, die durch aktinisches Licht aktiviert und thermisch bei und unter 185 0C inaktiviert werden können, umfassen die substituierten und unsubstituierten polynuclearen Chinone, bei denen es sich um Verbindungen mit zwei intracyclischen Kohlenstoffatomen in einem konjugierten carbocyclischen Ringsystem handelt, z. B· 9,10-Anthrachinon, 1-Chloranthrachinon, 2-Chloranthrachinon, 2-Methylanthrachinon, 2-Äthylanthrachinon, 2-tert-Butylanthrachinon, Octamethylanthrachinon, 1,4-Kaphthochinon, 9»10-Phenanthrenchinon, 1,2-Benzanthrachinon, 2,3-Benzanthrachinon, 2~Methyl-1,4-Haphthochinon, 2,3-Dichloronaphthochinon, 1,4-Dimethylanthrachinon, 2,3-Dimethylanthrachinon, 2-Phenylanthrachinon, 2-3-Diphenylanthrachinon, ITatriumsalz von Anthrachinonalpha-sulfonsäure, 3-Chlor-2-methylanthrachinon, Retenchinon, 7,8,9,10-Tetrahydronaphthacenchinon und 1,2,3,4-Tetrahj'-drobenz(a)anthrocen-7,12-dion.
Andere, gleichfalls brauchbare Potoinitiatoren, v?enn auch einige davon bei Temperaturen von nur 85 0C thermisch aktiv sein können, werden in der US-PS 2.760.863 beschrieben und umfassen vicinale Ketaldonylalkohole
230331 3
wie Benzoin-, Pivaloin-, Acyloinäther, ζ. B. Senzoinmethylund-äthylather; ot^-Kohlenwasserstoff-substituierte aro-... matische Acyloine, einschließlich^-Methylbenzoin, iiL-Allylbenzoin undoJ-'-Phenylbenzoin. Fotoreduzierbare Farbstoffe und Reduktionsmittel, wie sie in den US-PSn: 2.850.445; 2.875.047; 3.097.096; 3.074.974; 3.097.097 und 3.145.104 offenbart «erden, sowie Farbstoffe der Phenazin-, Oxazin- und Chinonklassen; Kichler's Keton, Benzophenon, 2,4,5-Triphenylimidazolyldimere mit Wasserstoffdonatoren und Gemische davon, wie sie in den US-,-, PSn: 3.427.161; 3.479.185 und 3.549.3^7 beschrieben ver-
den, können als Initiatoren verwendet «erden. In Verbindung mit Fotoinitiatoren und Fotoinhibitoren sind auch Sensibilisatoren nützlich, die in der US-PS 4.162.162 erläutert vier den.
Thermische Polymerisationsinhibitoren, die in fotopolymerisierbar en Zusammensetzungen verwendet werden können, sind: p-Methoxyphenol, Hydrochinon und alkyl- und arylsubstituierte Hydrochinone und Chinone, tert-Butylcatechol, Pyrogallol, Kupferresinat, naphthylamine, β -liaphthol, Kupfer(I)-chlorid, 2,6-di-tert-Butyl-p-cresol, Phenothiazin, Pyridin, ITitrobenzol und Dinitrobenzol, p-Toluchinon und Chloranil. Als 'Järmepolymerisationsinhibitoren sind auch die in US-PS 4»i68e982 beschriebenen Nitrosoverbindungen.
Verschiedene Farbstoffe und Pigmente können zur Verbesserung der Sichtbarkeit des '.Viderstandsbildes zugesetzt werden. Jedes verwendete Färbemittel sollte jedoch vorzugsweise durchlässig für die angewandte aktinische Bestrahlung sein»
-is- 23 03 3 1 3
B, Substratelement
Im allgemeinen sind geeignete Substrate für das die Herstellung gedruckter Schaltungen betreffende erfindungsgemäße Verfahren diejenigen, die mechanische Festigkeit, chemische Beständigkeit und gute dielektrische Eigenschaften aufweisen. So sind die meisten Plattenstoffe für gedruckte Schaltungen hitzehärtbare oder thermoplastische Harze, gewöhnlich mit einem Verstärkungsmittel kombiniert. Hitzehärtbare Harze mit Verstärkungsfüllstoffen werden gewöhnlich für starre Platten verwendet, wogegen thermoplastische Harze oder Verstärkungen im allgemeinen für flexible Schaltungsplatten Verwendung finden. Keramisch und dielektrisch beschichtete Metalle sind ebenfalls vorteilhaft.
Die typische Plattenkonstruktion besteht aus Kombinationen wie Phenol- oder Epoxidharzen auf Papier oder einem Papier-Glas-Verbundstoff sowie Polyester, Epoxid, PoIyimid, Polytetrafluoräthylen oder Polystyrol auf Glas. In den meisten Fällen ist die Platte mit einer dünnen Schicht elektrisch leitenden Metalls plattiert, wovon Kupfer1 das bei weitem gebräuchlichste ist.
Geeignete Substrate für das die Herstellung lithographischer Druckplatten betreffende, erfindungsgemäße Verfahren sind diejenigen mit mechanischer Festigkeit und Oberflächen, die sich in der Hydrophilizität oder der Oleophilizität von den Oberflächen der darauf laminierten übertragenen fotoempfindlichen Flächen unterscheiden. Derartige Substrate werden in der US-PS 4.072.528 beschrieben. Wenn auch zahlreiche Substrate dem vorgesehenen Zweck entsprechen, so werden doch die in der US-PS 3.458.311 offenbarten dünnen anodisierten Aluminiumplatten besonders bevorzugt.
- 230331 3
Wie oben bereits erläutert wurde, muß die Adhäsion der unbelichteten fotoempfindlichen Schicht an den Substraten v/ie Kupfer oder Aluminium (Ap) größer sein als ihre Bruchfestigkeit (B) und ihre Adhäsion an der Unterlage (A-j). Bin hoher Wert für Ap wird auch für viele der erfindungsgemäßen Anwendungsmöglichkeiten gebraucht, bei denen die fotoempfindliche Schicht während der Einwirkung harter chemischer oder mechanischer Bedingungen an dem Substrat haften bleiben muß.
Die für das erfindungsgemäße Verfahren verwendeten Substrate für gedruckte Schaltungen müssen sauber und frei von allen Fremdstoffen sein, damit derartige Stoffe nicht das Benetzen und Kleben an der Oberfläche beeinträchtigen können. Aus diesem Grund wird es häufig erforderlich sein, Substrate für gedruckte Schaltungen vor dem Laminieren mit Hilfe eines oder mehrerer der im Fachgebiet zur Herstellung gedruckter Schaltungsplatten bekannten Reinigungsverfahren zu säubern.
Die jeweilige Reinigungsmethode hängt von der Art der r-\ Verschmutzung ab - organische, Partikel oder metallische. Zu derartigen Methoden gehört das Entfetten mit Lösungsmitteln und Lösungsmittelemulsionen, das mechanische Abbürsten, Eintauchen in Alkali, Ansäuerung und dergleichen, worauf Abspülen und Trocknen folgen.
Die entsprechende Sauberkeit kann sehr einfach durch den Uniform Vater Film Test bestimmt v/erden, bei dem das Substrat in Wasser eingetaucht, aus dem Wasser entnommen und dann die Plattenoberfläche betrachtet wird, \\enn ein einheitlicher ϊ/asser film zu sehen ist, ist die Platte ausreichend sauber, zeigt sich aber ein diskontinuierlicher streifiger Film oder wurden große Tropfen gebildet,
230331 3
dann ist die Platte für die Verwendung in dem erfindungsgemäßen Verfahren nicht sauber genug.
C. Behandlung des Substrates vor der Lamination In dem erfindungsgemäßen Verfahren wird die thermoplastische Schicht mit Hilfe von· Andruckwalzen auf das Substrat laminiert. Bei den meisten Anwendungsfallen und vor allem bei der Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten aus herkömmlichen Fotowiderstandelementen muß die fotoeinpfindliche Schicht des Elementes in einer solchen Weise auf die Substratplatte laminiert werden, daß die Schicht fest daran ohne Einschlüsse und andere Phasendiskontinuitäten wie eingeschlossene Luft oder Flüssigkeiten haftet. Gereinigte Flächen herden möglicherweise unmittelbar nach der Reinigung -wieder schnell unbrauchbar, z. B. durch Oxydation oder Staub. Daher -wird bei einer bevorzugten Ausführung der Erfindung die Oberfläche des Substrates unmittelbar vor der Larninierung zur Verbesserung der Adhäsion zwischen der fotoempfindlichen Schicht und dem Substrat durch die folgenden Schritte behandelt:
a) Auftragen einer dünnen Schicht inerter Flüssigkeit auf die Substratoberfläche unmittelbar vor dem Auflaminieren der fotoempfindlichen Schicht; und
b) Entfernen der dünnen Flüssigkeitsschicht von der Substratoberfläche durch Verdampfen und/oder Absorption in die fotoempfindliche Schicht.
In der entsprechenden gleichfalls eingereichten US-Patentanmeldung S. U. 153.638, eingereicht am 27. Mai 1980, handelt es sich bei der inerten Flüssigkeit um ein Hichtlösungsmittel in bezug auf die thermoplastische Schicht. In einer verwandten Behandlungsmethode, die in der gleichfalls eingereichten US-Patentanroeldung S. IT. 153.637, eingereicht am 27. Mai 1980, beschrieben wird,
230331 3
wird die dünne Schicht der inerten Flüssigkeit auf die Substratoberfläche dadurch aufgebracht, daß die Oberfläche bei einer unter dem Kondensationspunkt der Flüssigkeit liegenden Temperatur mit einem Dampf oder einer gasformigen Dispersion der Flüssigkeit in Berührung gebracht v.'ird. Die zur Bildung des Filmes verwendete inerte Flüssigkeit kann auch auf andere :.7eise aufgebracht werden, zum Beispiel durch Aufstreichen, Auftupfen, Zerstäubungsspray oder durch Aufwalzen unter Verwendung von perforierten porösen Walzen.
Die dünne Flüssigkeitsschicht sollte mindestens 30 Prozent der Substratoberfläche, auf die das Polymere auflaminiert werden soll, und vorzugsweise -wenigstens 80 $ bedecken. Eine im wesentlichen vollständige Bedeckung Y/ird natürlich am besten sein.
Da die Erfindung vorzugsweise in ein kontinuierliches Verfahren, bei dem die Folienunterlage kurz nach der Lamination entfernt wird, integriert -wird, sollte die Flüssigkeitsschicht nur so dick sein, daß die Adhäsion am Substrat fast sofort erfolgt. So sollte die Flüssigkeit nicht die Oberfläche des Substrates überfluten, wie es in der US-PS 4.069.075 beschrieben wird. Übermäßige Flüssigkeit beeinträchtigt die sofortige Adhäsion und dringt außerdem in die normalerweise in einem Substrat für gedruckte Schaltungen vorhandenen sich miteinander verbindenden Hohlräume ein und stellt somit eine Verunreinigung bei den anschließenden Bearbeitungsvorgängen dar.
In der Praxis sollte die dünne Flüssigkeitsschicht so dünn wie irgend möglich sein, um Luft von der Grenzfläche zu verdrängen und die Adhäsion der fotoempfind-
23 0 3 3 1
lichen Schicht zu unterstützen. Wenn auch die Schichtdicke in den einzelnen Fällen etwas variieren wird, was von der Beschaffenheit der Flüssigkeit und den Auftragungßbedingungen abhängt, so wird es im allgemeinen bevorzugt, daß sie dünner als in den, dem bisherigen Stand der Technik entsprechenden Verfahren ist, z. B. 1 bis 50 /um beträgt, wobei die durchschnittliche Schichtdicke etwa 30 /am ist, oder ein bevorzugter Bereich zwischen etwa 10 und etwa 50 /um liegt.
Ein wesentlicher Aspekt der Substratbehandlung ist, daß die aufgebrachte dünne Flüssigkeitsschicht im wesentlichen von der Grenzfläche zwischen der fotoempfindlichen Schicht und dem Substrat während des nachfolgenden Laminiervorganges verdrängt wird. Das geschieht vorwiegend durch Diffusion in die laminierte Polymerschicht. Die genaue Methode, durch die der dünne Flüssigkeitsfilm verdrängt wird, ist natürlich eine Funktion der Flüssigkeit und der Beschaffenheit der verwendeten fotoempfindlichen Schicht und des verwendeten Substrates. Wenn eine etwas flüchtigere Flüssigkeit in Verbindung mit beheizten Laminierwalzen verwendet wird, kann die Beseitigung des Flüssigkeitsfilms teilweise durch Verdunstung erfolgen. Werden andererseits eine weniger flüchtige Flüssigkeit und/oder kühlere Walzen eingesetzt, dann wird geringere Verdunstung stattfinden, und die. Sntfernung des Flüssigkeitsfilmes wird in größerem Ausmaß durch Absorption in die laminierte Polymerschicht erfolgen. Offensichtlich findet bei der Verwendung von nicht-flüchtigen Flüssigkeiten die Entfernung des Flüssigkeitsfilmes im wesentlichen durch Absorption statt. Der genaue Mechanismus, mit dessen Hilfe der Flüssigkeitsfilm entfernt wird, ist nicht kritisch.
Mit Hilfe der oben erläuterten Dünnfilm-Behandlung kann das feste Anhaften selbst relativ harter thermoplaste
23 03 3 1 3
scher Schichten an Substraten erzielt werden, natürlich muß "das Substrat sauber sein. Die Integration des Reinigungsvorganges mit dein Laminiervorgang garantiert die geforderte Sauberkeit. Ohne das Vorhandensein dieses Filmes während der lamination würde die Schicht nicht sofort an dem Substrat haften.
Es empfiehlt sich, den Vorreinigungsvorgang in der integrierten Form auszuführen, wie sie in der gleichfalls anhängigen US-Patentanmeldung S. H. 153.636, eingereicht O am 27. Mai 1980, beschrieben wird.
D. Abschneiden . ..
Wenn die sich vorwärts bewegenden Substratelemente in einer solchen Weise aneinander stoßen, daß im -wesentlichen kein Platz zwischen der Hinterkante der vorausgehenden Platte und der Vorderkante der nachfolgenden Platte bleibt, führt die einfache Anlegung einer längs wirkenden Zugspannung dazu, daß die Schicht gleichzeitig von der Hinterkante der vorausgehenden Platte und der Vorderkante der nachfolgenden Platte abgeschnitten vJird. Wenn andererseits ein solcher Abstand zwischen aufeinander folgenden Platten vorhanden ist, daß eine "Brücke" von fotoempfindlicher Schicht die Lücke zwischen der Hinterkante der vorausgehenden Platte und der Vorderkante der folgenden Platte überspannt, dann müssen die beiden Kanten getrennt abgeschnitten werden. In diesem Pail wird die Zugspannung zum Abschneiden der Vorderkante der Platten vorzugsweise so angelegt, daß die Polienunterläge von der Schicht beim Austreten des laminierten Substratelementes aus dem Spalt der Laminierwalzen entfernt wird, indem die Folie in der Längsachse der vorrückenden Schicht in einem stumpfen Winkel zurückgebogen wird, wobei der Biegeradius nur so groß ist, daß die Bruchfestigkeit der Schicht an der Vorderkante des Substratelementes überschritten wird.
23 03 3 1 3
Ausführungabeispiele: .: ·
Die Erfindung wird anschließend ausführlicher anhand von Beispielen und unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert.
Beispiel I - Widerstand-Eigenschaften Eine Rolle von Potowiderstandfilm ohne Deckfolie wird wie folgt hergestellt:
Es wird eine fotoempfindliche Beschichtungslösung mit folgender Zusammensetzung zubereitet:
-Komponente · Masseteile
(a) 1:1 Copolymer von Styrol und Malein-.
- säureanhydrid, teilweise verestert mit Isobutylalkohol; relative Molekülmasse ca. 20 000; Säurezahl ca. 180 40
(b) Terpolymer, bestehend aus 17 % Athylacrylat, 71 % Methylmethacrylat, und 12 % Acrylsäure; rel. Molekülmasse
ca. 300 000; Säurezahl ca. 105 12,6
(c) Interpolymer, bestehend aus 40 % 1-tert-Octylacrylamid, 34 % Methylmethacrylat,
16 fe Acrylsäure, 6 % Hydroxypropylmethacrylat; und 4 % t-Butylaminoäthylmethacrylat, rel. Molekülmasse ca. 50 000 - 5
(d) Polyoxyäthyliertes Trimethylolpropantriacrylat (20 EoI Äthylenoxid)
(rel. Mol. Masse 1162) 10
(e) Trimethylolpropantriacrylat 12,5
(f) Benzophenon 4
(g) 4,4'-BiStdimethylamino)benzophenon
(Michler's Keton) 0,7
(h) 2,2'-Bis(2-chlorphenyl)-4,4',5,5'-
tetraphenylbiimidazol 3
230331 3
(i) Leuko-Kristallviolett 0,4
(j) Benzotriazol 0,2 (k) 1,4,4-Trimethyl-2,3-diazobicyclo~/3.2.27-
non-2-en-2,3-dioxid 0,0G
(1) Victoria-Grün (G. I. Pigment Green 18). 0,03
(m) Methylenchlorid 200
(n) Methanol 15
In der obigen Beschichtungslösung sind 13 Masseteile Polyäthylenperlen dispergiert, von denen 85 % einen Durchmesser unter 10 /um haben und 15 % zwischen 10 und
/um liegende Durchmesser haben. Das Gemisch wird auf eine 0,00127 cm dicke Polyäthylenterephthalat-Bahn aufgetragen, die auf ihrer Rückseite mit einer dünnen Schicht eines Gemische aus Carnuba-Y/achs und Poly (vinylidenchlorid) versehen ist. Die fotopolymerisierbare Schicht wird bis zu einer Trockendicke von 0,00254 cm getrocknet, und etwa 30,5 Meter des getrockneten beschichteten Elements werden zu einer Rolle aufgewickelt.
Ausführliche Beschreibung der Zeichnung In Pig. 1 der Zeichnung wird jedes Glied einer Reihe von Substratelementen (Platten) für»gedruckte Schaltungen 1 mechanisch in einer kontinuierlichen Weise auf einem Rollenförderer durch eine Reinigungskammer 3 geleitet, in der die obere und untere kupfer-plattierte Fläche davon durch mechanisches Abscheuern unter einem starken Wasserstrahl gereinigt werden. Die Platten bestehen aus glasfaserverstärktem Epoxidharz. Die gereinigten Substratplatten werden weiter durch Führungswalzen 5 transportiert, die wie der Uniform V/ater Film Test ergeben hat, sauber sind, mit deren Hilfe die Seiten der Platten genau ausgerichtet werden. Aus den Führungswalzen 5 tritt jede ausgerichtete Substratplatte aus und wird zwischen Flüssigkeits-Auftragswalzen 6 hindurchgeleitet, in die Dünnschichtflüssigkeit (im vor-
230331 3
liegenden Pall 30 % Athanol/V/asser-Lösung) durch Leitung 7 in das Innere der hohlen Auftragswalzen $ zugeführt wird. Die Auftragswalzen 6 bestehen vorzugsweise aus einem, in einem regelmäßigen lluster perforierten Metallkern, auf dem sich eine harte poröse Polyäthylenmanschette befindet, die mit. einem Baumwolltuch bezogen ist, durch die die Dünnschichtflüssigkeit läuft und auf die Substratplatten aufgetragen wird. Der Flüssigkeitspiegel innerhalb der Auftragswalzen β ist durch eine Auslaßleitung 8 auf festem Hiveau begrenzt. Die Flüssigkeitsschichten haben eine Dicke von 10 bis 50 /um. Die Platte, deren beide Flächen mit einer dünnen Flüssigkeitsschicht überzogen sind, wird dann zu einer Gruppe von oberen und unteren Zuführwalzen 9 geführt, von denen jede die ungeschützte Oberfläche einer kontinuierlich gestützten, fotoempfindlichen Schicht 11 an die dünne Flüssigkeitsschicht auf dem Substratelement heranbringt. Ein bevorzugter Walzenantrieb für den Vorschub der Substratelemente wird in der gleichfalls anhängigen US-Patentanmeldung S. H. ... (PD-1899), eingereicht am 17· Februar 1981, auf die hier verwiesen wird, beschrieben.
Wahlweise Zuführwalzen 9 führen die fotoempfindlichen Schichten-ohne nennenswerten Druck an die Oberflächen des Substratelementes heran, unmittelbar bevor die Schicht und das Substrat zu dem Spalt, der laminierwalze!! gelangen. Alle überschüssige Flüssigkeit wird von der Substratoberfläche entfernt, indem eine Perle am Spalt beim Durchlaufen des Elementes zwischen den Zuführwalzen 9 gebildet wird. Auf diese Weise wird Feuchtigkeit zwischen der Flüssigkeitsschicht und dem Substrat zurückgehalten, und die Wärmeeinwirkung wird auf die kurze Zeitspanne innerhalb des Spaltes beschränkt. Im Falle eines Stillstandes wird der Umfang der fo.toempfindlichen Schicht, die thermischem Abbau ausgesetzt ist,
230331 3
Die Zuführwalzen 9 sind mechanisch mit dem für den Vorschub der Platten 1 benutzten Mechanismus in einer solchen Weise verbunden, daß die Platten bei ihrem Eintritt in die Zuführwalzen 9 aneinander geschoben werden und daher keine nennenswerte Brückenbildung durch den Film 11 zwischen den Hinter- und Vorderkanten jeder Platte stattfinden kann. Die wie in Beispiel 1 beschrieben hergestellten gestützten fotoempfindlichen Schichten werden von Transportwalzen 12 zugeführt. Die aneinander stoßenden Platten 1 mit den darauf befindlichen gestützten .fotoempfindlichen Schichten 11 werden dann durch /3ie Spalten beheizter Laminierwalzen 13 vorwärtsbewegt, in denen die fotoempfindliche Schicht 11 Druck und Hitze ausgesetzt wird, durch die die dünne Flüssigkeitsschicht von dem Substrat durch Absorption in die fotoempfindliche Schicht entfernt wird. Die Temperatur der Oberfläche der IJaminierwalzen beträgt etwa 230 0F, und die lineare Geschwindigkeit der Platten durch den Laminator beträgt etwa 6 Fuß je Minute. Die !aminierung ist etwa 40 Sekunden nach dem Reinigen der Platte beendet. Ein bevorzugter Betätigungs-Kurbelmechanisffius zum öffnen und Schließen der Laminierwalzen wird in der gleichfalls anhängigen US-Patentanmeldung S. IT. (PD-1900), eingereicht am >' 17. Februar 1981, auf die hier verwiesen wird, beschrieben.
Die laminierten Platten 1, die immer noch aneinander stoßen, werden mit gleichmäßiger Geschwindigkeit zwischen Keilen 15 hindurchbefördert. Am Ausgang der Keile 15 wird die Poly(äthylenterephthalat)-Bahn 17 an der Außenfläche des kontinuierlichen Films gleichmäßig von dem Substrat in einem stumpfen Winkel (hier 150°) zurückgezogen, wodurch die fotoempfindliche Schicht in einer geraden Linie längs der Vorderkante der Platte 1 abgeschnitten wird. Die Bahn 17 wird durch die Wirkung von Aufnahmewalzen 19 und die Vorschubwirkung der Platte
Dorn—Snhlßif kUOülunSS—
-*- 230331 3
mechanismus für die Aufrecht erhaltung der richtigen Spannung an der Aufnahmewalze wird in der gleichfalls anhängigen US-Patentanmeldung S. N. (PD-1901), eingereicht am 17. Februar 1981, auf die hier verwiesen wird, beschrieben»
Je weiter die Substratplatte 1 aus den Keilen 15 austritt, umso mehr wird fortlaufend fotoempfindliche Schicht freigelegt, bis die Platte zu einem Paar kupplungsgetriebenen Schneidwalzen 21 gelangt, die sie an ihren Seiten erfassen und sich mit einer höheren Geschwindigkeit drehen als die lineare Geschwindigkeit der vorrückenden Platte beträgt, bis sie die Plattenseiten festhalten. Die Schneidwalzen laufen dann mit Hilfe einer Schleifkupplung, die den Unterschied in den Antriebsgeschwindigkeiten ausgleicht, mit der linearen .Geschwindigkeit der Platte. Die Schneidwalzen 21 üben eine Zugspannung auf die Schichten aus, die dazu führt, daß die thermoplastischen Schichten an der Hinterkante der Platte bei deren Austritt aus den Keilen 15 glatt abgeschnitten wird. Ein alternative und eher bevorzugte Einrichtung für das Pesthalten des laminierten und abgeschnittenen Substratelementes wird in der US-Patentanmeldung S. U. (PD-1902), eingereicht am 17. Februar 1981, auf di'e hier verwiesen wird, beschrieben. Wenn das Abschneiden der Hinterkante beendet ist, wodurch die vorausgehenden und nachfolgenden Platten in der Reihe getrennt werden, ist die laminierte Platte für die Schaltungsherstellung nach herkömmlichen Fotowiderstandtechniken fertig.
Pig. 2 ist eine schematische Darstellung im Querschnitt einer bevorzugten Methode zur Durchführung des erfindungsgemäßen Laminierungsschrittes, bei der nach dem Aufbringen eines dünnen Flüssigkeitsfilmes 100 die an
-230331 3
der Folienunterlage 104 anhaftende fotoempfindliche Schicht 102 auf das Substrat 106, das mit einer dünnen Kupferschicht 107 beschichtet ist, durch Hindurchleiten durch die Laminierwalzen 108 und 110 laminiert wird. Die Festigkeit der Klebverbindung (Ap) zwischen der Kupferschicht 107 des Substrates und der fotoempfindlichen Schicht 102 überschreitet die Festigkeit der Klebverbindung (A^) zwischen der fotoempfindlichen Schicht 102 und der Unterlage 104.
Fig. 3 ist eine schematische Darstellung im Querschnitt einer bevorzugten Methode für das Abschneiden der Vorderkante des laminierten Substrates 106, bei der die vorrückenden Substrate in der Reihe einen Abstand aufweisen, liach dem Verlassen der Laminierwalzen werden die Unterlage 104 und die fotoempfindliche Schicht 102 in einem stumpfen Winkel und mit einem kleinen Radius über den Keil 112 so zurückgezogen, daß die Bruchfestigkeit (B) der fotoempfindlichen Schicht 102 an der Vorderkante des Substrates 106 überschritten wird, wodurch die Schicht 102 an der Vorderkante von Substrat 106 abbricht, wie es in Fig. 3B gezeigt wird. Für diesen Vor-V ) gang ist A1 größer als Ap» das einerseits größer als B ist.
Fig. 4 ist eine schematische Darstellung im Querschnitt der Methode für das Abschneiden der Hinterkante des laminierten Substrates 106, wenn die vorrückenden Substrate in der Reihe einen Abstand aufweisen. Beim Entfernen der Unterlage von der Hinterkante von Substrat 106 wird eine längsgerichtete Zugspannung senkrecht zur Hinterkante, d. h. parallel zum Vorschub und in dessen Richtung, durch Ziehen an der Vorderkante des Substrates so angelegt, daß die Bruchfestigkeit (B) der fotoempfindlichen Schicht 102 an der Hinterkante überschritten wird.
23 03 3 1 3
Obwohl das oben beschriebene erfindungsgemäße Verfahren kontinuierlich ausgeführt wird, wird man erkennen, daß das Verfahren ebenso gut intermittierend durchgeführt werden kann.
Es empfiehlt sich, daß die in dem Verfahren verwendete thermoplastische Schicht relativ härter als die meisten fotoerapfindlichen Schichten ist. Durch die Härte wird die Schicht auch verhältnismäßig spröde, d.h. die Schicht verliert unter starker Scherung offensichtlich durch eine Verminderung der Viskosität an Festigkeit, wodurch die Schicht eine gedehnte Beschaffenheit aufweist*· Das Verfahren nutzt insofern diesen Vorteil, als die Schicht nach der Dehnung der Schicht nach dem Laminieren an der Substrathinterkante bricht und sich nicht beliebig ausdehnt und unregelmäßig bricht, wie es bei weichen Schichten der Fall sein würde.
Kach einem bevorzugten Aspekt wird das Verfahren gleichzeitig auf beiden Seiten der Reihe der Substrate ausgeführt, so daß die fotopolymerisierbare Schicht auf beide Seiten der Substrate auflaminiert wird. In diesem Fall ist es besonders wichtig, daß keine Flüssigkeit in den Hohlräumen des Substrates vorhanden ist, damit nicht die Laminationswärme die Flüssigkeit verdampft und dazu führt, daß sich die "Zelte" von fotoempfindlicher Schicht über den Hohlräumen in dem Substrat ausdehnen und platzen. Es empfiehlt sich auch, daß die Reihe der Substrate so dicht ist, daß die federgespannten Laminierwalzen, die normalerweise für die Lamination verwendet werden, zwischen den Substraten nicht aufeinander laufen können. Dadurch wird das Verkleben der beiden, sich zwischen aufeinanderfolgenden Substraten erstreckenden fotopolymerisierbaren Schichten verhindert, das heißt die "Gelenke" zwischen aufeinanderfolgenden Substraten, da ein solches
sfilbst-Abschneiden der Vor-
23 03 3 1
derkante beim Entfernen der Unterlagefolie stören wird. Alternativ kann der Druck an den Laminierwalze!! reduziert werden, um das Verkleben der Schicht auf ein Kindestmaß zu senken. Es wird jedoch bevorzugt, daß die "Gelenkigkeit" selbst zur Erleichterung der Selbst-Abschneidefunktion auf einem Mindestwert gehalten wird.
Beispiel II - Herstellung einer lithographischen Druckplatte
/- ;, Eine fot©empfindliche Beschichtungsmischung wurde hergestellt und wie in Beispiel I aufgetragen, nur wurden anstelle der dabei verwendeten Perlen 16 Masseteile Polyäthylenperlen von 1 Mikrometer (Microfine VIII - \ F. Gold, Warenzeichen der Dura Commodities Corporation, Harrison, IT. Y.) in der Beschichtungslösung dispergiert. Die Oberfläche einer 0,023 crn dicken Aluminiumplatte wurde mit Wolframkarbidbürsten in Wasser unter Verwendung des Mechanischen Reinigungssystems Chemcut, Modell 107 (Warenzeichen der Chemcut Corporation, State College, PA) abgebürstet, und die gescheuerte Oberfläche wurde mit der fotoempfindlichen Schicht laminiert und die Schicht wie in Beisniel I beschrieben abgeschnitten.
Die laminierte und abgeschnittene Platte wurde belichtet, indem die fotoempfindliche Schicht 60 Sekunden lang durch ein Halbton- und Zeilendiapositiv .UV-Strahlung von einer 2000 W Impuls-Xenon-Lichtbogenquelle in einem Flip-Top-Plattengerät ausgesetzt wurde. Die unbelichteten Flächen wurden vollständig durch Entwicklung in einer 1 feigen wäßrigen Lösung von Natriumcarbonat entfernt, um ein Halbton-Polymerbild mit komplementären Bildbereichen von blanker Aluminiumoberfläche zu erhalten. Die entstandene lithographische Druckplatte wurde wie üblich mit Lydel Finishing Solution (LDFS) (Warenzeichen von E. I. du Pont de ITemours and Company, WiI-
.230331 3
mington, DE) gummiert und auf einer Offset-Druckpresse, Modell 380 von A. B. Dick angebracht. Unter Anwendung herkömmlicher Druck- und Kopierlösungen konnten von der Druckplatte mindestens 3500 Kopien in guter Qualität hergestellt werden.
Claims (8)
- 2303 3 1 3533 53
Erfindungsanspruch:.Integriertes Laminationsverfahren zum Aufbringen einer durchgehenden Schicht aus einer lichtempfindlichen Zusammensetzung auf die Oberfläche eines jeden Teils einer Serie von Substratelementen und zum Abschneiden der Schicht von zumindest einer der Querkanten der beschichteten Substratelemente, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:a) Vorrücken einer durchgehenden Schicht aus einer lichtempfindlichen organi lchen Polymerzusammensetzung.. wobei die Sctiicht auf einer Seite lediglich durch einen abstreifbaren Polymerfilm getragen wird., und weiter Vorrücken der getragenen Schicht und eines ersten Substratelements zum Walzenspalt eines Satzes von Aufpreßwalzen;b) in Berührung bringen mit der Oberfläche des Substratelements innerhalb des U'alzenspal ts unter Druck., um so das Aufbringen der Schicht auf der Oberfläche des Substratelements zu bewirken;c) Wahlweises Entfernen des stützenden Films von der Schicht., nachdem da; beschichtete Substrat aus dem Spalt der Beschichtungswalzen ausgetreten ist und weiteres Vorwärtsbewegen des beschichteten Substratelements., bis der stützende Film vollständig von der aufgewalzten Schicht entfernt 13 t.d) Strecken des bewalzten Substratelements in Richtung seiner Längsachse und in seiner Bewegungsrichtung bis zur Bruchfestigkeit der bewalzten Schicht und., wenn der tragende Film den Endrand des Substrats erreicht hat.. Strecken senkrecht zur Vorwärtsbewegung., und230331 3c) Wiederholen der Folge der Verfahrensschritte a bis d bezüglich der nachfolgenden Substratelemente der Serie. - 2. Integriertes Verfahren nach Punkt !.,.gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:a) Vorrücken einer durchgehenden Schicht aus einer lichtempfindlichen organischen Polymerzusammensetzung.. wobei die Schicht auf einer Seite lediglich durch einen abstreifbaren Polymerfilnr getragen wird, und weiteres Vorrücken der getragenen Schicht und eines ersten Substrat-elements zum Walzenspalt eines Satzes von Aufpreßwalzen;b) In Berührung bringen mit der Oberfläche des Substratelements innerhalb des IValzenspaltes unter Druck., um so da$l Aufbringen der Schicht auf der Oberfläche des Substratelements zu bewirken;c) Entfernen des stützenden Films von der Schicht., nachdem das beschichtete Substrat aus dem Spalt der Beschichtungswalzen ausgetreten ist und weiteres Vorwärtsbewegen des beschichteten Substratelements., bis der stützende Film vollständig von der aufgewalzten Schicht entfernt ist;d) Strecken des bewalzten Substratelements in Richtung seiner Längsachse und in seiner Bewegungsrichtung bis zu Bruchfestigkeit der bewalzten Schicht und., wenn der tragende Film den Endrand des Substrats erreicht hat. Strecken senkrecht zur Vorwärtsbewegung; undc) Wiederholen der Folge der Verfahrensschritte a bis d bezüglich der nachfolgenden Substratelemente der Serie.23 03 3 1 3
- 3. Verfahren nach Punkt 2.. gekennzeichnet dadurch., daß zwischen den Substratelementen einer Serie jeweils ein Abstand vorhanden ist. wobei die Führungskante eines jeden Elements während des Verfahrensschrittes c) abgeschnitten wird, und zwar indem der Film entlang der Längsachse der vorwärtsbewegten Schicht in einem stumpfen Winkel abgebogen wird., wobei der Biegeradius ausreichend klein ist. damit die Bruchfestigkeit des Bandes an der Führungskante des Substratelements überschritten wird.
- 4. Verfahren nach Punkt 1.. gekennzeichnet dadurch, daß die nicht abgestützte Oberfläche der abgestützten Schicht und die Oberfläche des zu beschichtenden Substratelements un mittelbar vor dem Verfahrensschritt b) ohne Druck miteinander in Berührung gebracht werden.
- 5. Verfahren nach Punkt 1. gekennzeichnet dadurch, daß. vor dem Verfahrensschritt b) auf die Oberfläche des Substratelements eine dünne Schicht einer inerten Flüssigkeit aufgebracht und diese Schicht anschließend durch Absorption durch die lichtempfindliche Zusammensetzung während des Verfahrensschrittes b) entfernt wird.
- 6. Verfahren nach Punkt 1. gekennzeichnet dadurch, daß beide Oberflächen des Substgfratelements gleichzeitig beschichtet (laminiert) werden.
- 7. Verfahren nach Punkt 1 oder 2. gekennzeichnet dadurch., daß ' der tragende Film mittels angetriebener Abzugswalzen entfe~.rnt wird.
- 8-r Verfahren nach Punkt 1. gekennzeichnet dadurch., daß der Streckvorjgang des beschichteten Substnatelements während des Verfahrensschrittes d) erfolgt, indem· das Element durch Reibkontakt zwischen den Seiten des Elements und einem Paar von angetriebenen Walzen ergriffen und vorwärts-230331 3bewegt wird..· wobei die Walzen um eine Achse rotieren, die senkrecht auf der Ebene der vorvvärtsbewegten Substrateleniente steht.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US15363480A | 1980-05-27 | 1980-05-27 | |
| US06/244,792 US4378264A (en) | 1980-05-27 | 1981-03-27 | Integrated laminating process |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD159225A5 true DD159225A5 (de) | 1983-02-23 |
Family
ID=26850721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD81230331A DD159225A5 (de) | 1980-05-27 | 1981-05-27 | Verfahren zum aufbringen einer lichtempfindlichen schicht |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4378264A (de) |
| EP (1) | EP0041642B2 (de) |
| BR (1) | BR8103223A (de) |
| CA (1) | CA1169347A (de) |
| DD (1) | DD159225A5 (de) |
| DE (1) | DE3165976D1 (de) |
| HU (1) | HU181618B (de) |
| IE (1) | IE52117B1 (de) |
| PL (1) | PL231362A1 (de) |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4460427A (en) * | 1981-09-21 | 1984-07-17 | E. I. Dupont De Nemours And Company | Process for the preparation of flexible circuits |
| US4504566A (en) * | 1982-11-01 | 1985-03-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Single exposure positive contact multilayer photosolubilizable litho element with two quinone diazide layers |
| US4495014A (en) * | 1983-02-18 | 1985-01-22 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Laminating and trimming process |
| GB2157193B (en) * | 1984-04-10 | 1987-08-19 | Nitto Electric Ind Co | Process for peeling protective film off a thin article |
| CA1263125A (en) * | 1984-06-01 | 1989-11-21 | Hans-Guenter E. Kuehnert | Apparatus for the automatic feeding of a laminating station |
| DE3420429A1 (de) * | 1984-06-01 | 1985-12-05 | ELTI Apparatebau und Elektronik GmbH, 6106 Erzhausen | Verfahren zum laminieren eines films unter druck und waerme und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3420409A1 (de) * | 1984-06-01 | 1985-12-05 | ELTI Apparatebau und Elektronik GmbH, 6106 Erzhausen | Laminierstation |
| US4592816A (en) | 1984-09-26 | 1986-06-03 | Rohm And Haas Company | Electrophoretic deposition process |
| DE3510852A1 (de) * | 1985-03-26 | 1986-10-09 | ELTI Apparatebau und Elektronik GmbH, 6106 Erzhausen | Greifereinrichtung in einer laminiervorrichtung |
| DE3538117A1 (de) * | 1985-10-26 | 1987-04-30 | Hoechst Ag | Trennvorrichtung fuer platten |
| US4744847A (en) * | 1986-01-29 | 1988-05-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Film trimming of laminated photosensitive layer |
| US4839261A (en) * | 1986-09-29 | 1989-06-13 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Photocurable laminate |
| US4714504A (en) * | 1986-10-10 | 1987-12-22 | Ibm Corporation | Process of laminating a photosensitive layer of a substrate |
| DE3736509A1 (de) * | 1987-10-28 | 1989-05-11 | Hoechst Ag | Vorrichtung zum laminieren und schneiden von fotoresistbahnen |
| JPH01160085A (ja) * | 1987-12-16 | 1989-06-22 | Somar Corp | 薄膜の張付方法及びその実施装置 |
| JPH01160084A (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-22 | Somar Corp | 薄膜の張付方法及びその実施装置 |
| JPH0659965B2 (ja) * | 1988-01-30 | 1994-08-10 | ソマール株式会社 | 薄膜の張付装置 |
| US4981549A (en) * | 1988-02-23 | 1991-01-01 | Mitsubishi Kinzoku Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for growing silicon crystals |
| EP0336358B1 (de) * | 1988-04-04 | 1995-12-20 | Somar Corporation | Vorrichtung zum Verbinden von dünnen Filmen |
| KR900702481A (ko) * | 1988-06-21 | 1990-12-07 | 원본미기재 | 휴대용 전자 토큰 제조방법 |
| US4976817A (en) * | 1988-12-09 | 1990-12-11 | Morton International, Inc. | Wet lamination process and apparatus |
| US4971894A (en) * | 1989-02-13 | 1990-11-20 | International Business Machines Corporation | Method and structure for preventing wet etchant penetration at the interface between a resist mask and an underlying metal layer |
| JPH0651360B2 (ja) * | 1989-06-04 | 1994-07-06 | ソマール株式会社 | 薄膜の張付方法及びその装置 |
| US6001893A (en) * | 1996-05-17 | 1999-12-14 | Datacard Corporation | Curable topcoat composition and methods for use |
| US6268109B1 (en) | 1999-10-12 | 2001-07-31 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Composite photosensitive element |
| US6400589B2 (en) * | 2000-01-12 | 2002-06-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Control apparatus for a power supply circuit including plural converter |
| US7000313B2 (en) * | 2001-03-08 | 2006-02-21 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Process for fabricating circuit assemblies using electrodepositable dielectric coating compositions |
| US8065795B2 (en) | 2001-03-08 | 2011-11-29 | Ppg Industries Ohio, Inc | Multi-layer circuit assembly and process for preparing the same |
| US6713587B2 (en) | 2001-03-08 | 2004-03-30 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Electrodepositable dielectric coating compositions and methods related thereto |
| US7228623B2 (en) * | 2001-03-08 | 2007-06-12 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Process for fabricating a multi layer circuit assembly |
| US6951707B2 (en) * | 2001-03-08 | 2005-10-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Process for creating vias for circuit assemblies |
| US6671950B2 (en) | 2001-03-08 | 2004-01-06 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multi-layer circuit assembly and process for preparing the same |
| JP2003320764A (ja) * | 2002-02-27 | 2003-11-11 | Tokushu Paper Mfg Co Ltd | 平版印刷版用合紙及びその製造方法 |
| US6824959B2 (en) * | 2002-06-27 | 2004-11-30 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Process for creating holes in polymeric substrates |
| US20060213685A1 (en) * | 2002-06-27 | 2006-09-28 | Wang Alan E | Single or multi-layer printed circuit board with improved edge via design |
| EP1520454B1 (de) * | 2002-06-27 | 2012-01-25 | PPG Industries Ohio, Inc. | Ein- oder mehrschichtige leiterplatte mit vorstehenden sollbruch-laschen und verfahren zu deren herstellung |
| US7297209B2 (en) * | 2003-12-18 | 2007-11-20 | Nitto Denko Corporation | Method and device for transferring anisotropic crystal film from donor to receptor, and the donor |
| JP2005221743A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの製造法及びプリント配線板の製造法 |
| US7252733B2 (en) * | 2004-05-04 | 2007-08-07 | Eastman Kodak Company | Polarizer guarded cover sheet with adhesion promoter |
| US7887667B2 (en) * | 2008-05-08 | 2011-02-15 | Neenah Paper, Inc. | Heat transfer materials and methods of making and using the same |
| KR101511584B1 (ko) * | 2008-09-25 | 2015-04-13 | 해성디에스 주식회사 | 롤 투 롤 반도체부품 제조장치 및 그에 적용되는 이송방법 |
| CN105667055B (zh) * | 2016-01-14 | 2018-02-09 | 朗华全能自控设备(上海)股份有限公司 | 一种基材与覆盖膜压合的压合系统及压合工艺 |
| US20240109280A1 (en) * | 2021-03-17 | 2024-04-04 | Automatic Lamination Technologies S.R.L. | Laminator device for pliable sheet semi-finished products and method for producing said pliable semi-finished products |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3261686A (en) * | 1963-04-23 | 1966-07-19 | Du Pont | Photopolymerizable compositions and elements |
| US3498788A (en) * | 1966-07-05 | 1970-03-03 | Polaroid Corp | Novel laminations for identification cards |
| US3469982A (en) * | 1968-09-11 | 1969-09-30 | Jack Richard Celeste | Process for making photoresists |
| US3615448A (en) * | 1969-01-14 | 1971-10-26 | Grace W R & Co | Lithographic printing plate and method of preparation |
| US3629036A (en) * | 1969-02-14 | 1971-12-21 | Shipley Co | The method coating of photoresist on circuit boards |
| US3785817A (en) * | 1970-10-05 | 1974-01-15 | A Kuchta | Transfer of photopolymer images by irradiation |
| US3775112A (en) * | 1971-06-10 | 1973-11-27 | Eastman Kodak Co | Photopolymerizable material containing starch and process of using |
| DE2634560A1 (de) * | 1976-07-31 | 1978-02-02 | Hoechst Ag | Verfahren und vorrichtung zur trennung von verbunden |
| US4069076A (en) * | 1976-11-29 | 1978-01-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Liquid lamination process |
| US4075051A (en) * | 1976-11-29 | 1978-02-21 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method of trimming photoresist film |
-
1981
- 1981-03-27 US US06/244,792 patent/US4378264A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-05-25 BR BR8103223A patent/BR8103223A/pt unknown
- 1981-05-25 IE IE1163/81A patent/IE52117B1/en unknown
- 1981-05-25 DE DE8181104013T patent/DE3165976D1/de not_active Expired
- 1981-05-25 EP EP81104013A patent/EP0041642B2/de not_active Expired
- 1981-05-26 HU HU811577A patent/HU181618B/hu unknown
- 1981-05-26 CA CA000378301A patent/CA1169347A/en not_active Expired
- 1981-05-27 DD DD81230331A patent/DD159225A5/de unknown
- 1981-05-27 PL PL23136281A patent/PL231362A1/xx unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4378264A (en) | 1983-03-29 |
| EP0041642B2 (de) | 1987-09-02 |
| BR8103223A (pt) | 1982-02-16 |
| EP0041642A3 (en) | 1982-02-17 |
| IE811163L (en) | 1981-11-27 |
| EP0041642A2 (de) | 1981-12-16 |
| HU181618B (en) | 1983-10-28 |
| CA1169347A (en) | 1984-06-19 |
| DE3165976D1 (en) | 1984-10-18 |
| IE52117B1 (en) | 1987-06-24 |
| PL231362A1 (de) | 1982-02-01 |
| EP0041642B1 (de) | 1984-09-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DD159225A5 (de) | Verfahren zum aufbringen einer lichtempfindlichen schicht | |
| US4405394A (en) | Laminating process | |
| DE2752900C2 (de) | Verfahren zum Aufbringen eines trockenen Photoresistfilms auf ein Substrat | |
| EP0041640B1 (de) | Photopolymerisierbare Mischung | |
| US3984244A (en) | Process for laminating a channeled photosensitive layer on an irregular surface | |
| US4495014A (en) | Laminating and trimming process | |
| EP0105421B1 (de) | Lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial und Verfahren zur Herstellung einer Photoresistschablone | |
| EP0040843B1 (de) | Laminierungsverfahren | |
| JPS59189341A (ja) | 基材上に光硬化した物質の独立部分を形成させる方法 | |
| DE2756693B2 (de) | Verfahren zur Herstellung von gedruckten Schaltungen | |
| DE3131448A1 (de) | Fuer die herstellung von photoresistschichten geeignete photopolymerisierbare aufzeichnungsmasse | |
| DE2544553A1 (de) | Vakuum-laminierverfahren | |
| EP0040842B1 (de) | Laminierungsverfahren | |
| EP0141921A1 (de) | Durch Strahlung polymerisierbares Gemisch und daraus hergestelltes Kopiermaterial | |
| US4071367A (en) | Channeled photosensitive element | |
| EP0041643B1 (de) | Sich an den Kanten eines festen Substrats selbst abschneidende, photoempfindliche Schichten | |
| EP0041639B1 (de) | Laminierverfahren | |
| EP0318780A2 (de) | Lichtempfindliche Druckplatte für den Flexodruck | |
| DE68920186T2 (de) | Photopolymerisierbare Zusammensetzungen. | |
| DE1522515B1 (de) | Verfahren zur Herstellung fotografischer reliefartiger Aufzeichnungen. | |
| DE60034196T2 (de) | Gewickelte Lagerrolle eines lichtempfindlichen Verbundelements | |
| DE1471687A1 (de) | Verfahren zur Bilduebertragung auf thermischem Wege | |
| DE3825782A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines trockenfilm-photoresists | |
| JPH0222372B2 (de) | ||
| DE2438467A1 (de) | Druckwerkzeug zur verwendung in einem fotodruckverfahren |