DD161041A3 - Digitale interferentielle vorrichtung, insbesondere zur pruefung von wegmesswandlern - Google Patents

Abstract

Digitale interferentielle Vorrichtung, insbesondere zur Prüfung von Wegmesswandlern, die vorzugsweise der Ermittlung der Linearit"t, des Messfehlers und der Hysterese von Wegmessger"ten mit einem Messbereich gr"ßer als 100 mm dient. An der Grundplatte sind ein Gestell und eine Grobverstellung befestigt. Zu der Grobverstellung ist in Reihe eine Feinverstellung angeordnet, die einen Rahmen tr"gt. Dieser Rahmen ist über ein Koppelelement mit dem in einer gestellfesten Abschlussplatte eingespannten und zu prüfenden Wegmesswandler gekoppelt. An einem Gestell ist eine Zwischenplatte befestigt und zwischen Abschlussplatte und Zwischenplatte ist ein wegmessendes Interferometer angeordnet und weiterhin sind an der Zwischenplatte fotoelektrische Empf"nger angeordnet, denen eine Vor-Rückw"rts-Z"hleinrichtung, eine Maximum-Minimum-Signalisierungseinrichtung und eine Analoganzeige nachgeschaltet sind.

Description

Titel der Erfindung

Digitale interferentiella Vorrichtung, insbesondere zur Prüfung von Wegmeßwandlern.

Anwendungsgebiet der Erfindung

Das vorliegende Prüfgerät dient vorzugsweise der Ermittlung der !fehler voa Wegmeßwandlern. Insbesondere induktive Wegme.Swa.adler werden in den mechanisches Fertigungsbereichen der Industrie sehr häufig eingesetzt, da-sie sich durch geometrische-Kleinheit auszeichnen und hinsichtlich Meßbereich und Auflösungsvermögen den vielfältigsten Aufgaben leicht angepaßt werden können. Darüber hinaus können mit dem Prüfgerät auch alle anderen 'Meßgeräte der Längemaeß~ technik hinsichtlich ihrer Fehler überprüft werden, wobei die einzige Beschränkung die Größe des Meßbereiches des jeweils zu prüfenden Meßgerätes darstellt, der < 100 am sein sollte. Schließlich ist es auch, möglich, das Prüfgerät als digitales Positioniersystem zu verwenden, wobei es gegenüber anderen Positioniersystemen den Yorzug höchster Genauigkeit und 3?einf ühligkeit bei großem Meßbereich <100 mm hat.

Charakteristik der bekannten technischg'n_Lösun^en

Nach (Werkstatt und Betrieb, 93. Jahrg. 1960, H. 6;.,Seitschrift für Instruaentenkunde 70. Jahrg. 1962, H. 12 und 75. Jahrg. 1967, H. 12) sind Prüfgeräte für Wegmeßwandler

bekannt, denen folgende Merkmale gemeinsam sind: Es ist ein Wegmeßsystem vorhanden, das mit dem {Dastbolzen des zu prüfenden Wegmeßwandlers gekoppelt ist. Der zu prüfende Wegmeßwandler ist im Prüfgerät fest eingespannt und es ist eine Einrichtung zur feinfühligen Wegvorgabe vorhanden, die mit dem Tastbolzen gekoppelt ist· Mit den Einrichtungen zur Wegvorgabe wird der Meßbereich des zu prüfenden Wegmeßwandlers schrittweise durchfahren und bei jedem Schritt die Differenz der von beiden Wegmeßsystemen angezeigten Wege ermittelt, die gleich dem Fehler des zu prüfenden Wegmeßwandlers ist. Damit müssen die Fehler des dem Prüfgerät eigenen Wegmeßsystems etwa um eine Zehnerpotenz kleiner sein als die Fehler des Wegmeßsystems des zu prüfenden Wegmeßwandlers'. Diese Forderung kann nur von interferentiellen Meßsystemen erfüllt werden, weshalb in den bekannten Prüfgeräten und in der vorliegenden Erfindung ausschließlich Interferometer zur Wegmessung verwendet werden.

In den bekannten Prüfgeräten werden im Gegensatz zu der vorliegenden Erfindung Fizeau- bzw. Zweistrahlinterferometer mit zwei ebenen Spiegeln verwendet. Bei einer derartigen Ausführung des Interferometers muß der bewegliche Spiegel während der Wegvorgabe exakt parallel zu sich verschoben werden, da sich sonst Sichtung und Abstand der Interferenzstreifen ändern. Dadurch werden hohe Anforderungen an die konstruktive und technologische Ausführung der Führung des beweglichen Spiegels gestellt»

Der vom beweglichen Spiegel des Interferometers zurückgelegte Weg ergibt sich aus der Anzahl der im Bildfeld vor™ beigewanderten hellen und dunklen Interferenzstreifen. In bekannten Prüfgeräten erfolgt die Registrierung dieser Ordnungsänderungen visuell. Das erfordert eine erhöhte Konzentrationsfähigkeit der Bedienperson und schränkt.zu— gleich die maximale Vorschubgeschwindigkeit der wegvorgebenden Einrichtung stark ein.

Die Pehlerkurve eines Wegmeßwandlers ergibt sich aus der Differenz der' von beiden Wegmeßsystemen angezeigten Wege am Ende jeden Schrittes. Besonders günstig ist es, wenn die zwischen diesen Schratten liegenden Wege gleich groß sind.¹ Bei den bekannten Prüfgeräten ist das exakte Einhalten eines konstanten Schrittabstandes nicht möglich, da die feinfühligkeit der wegvorgebenden Baugruppen infolge mechanisch ineinandergreifender Teile,des unvermeidlichen Spiels in Lagern und gegenseitiger Reibung zwischen metallischen Flächen die präzise Positionierung der wegvorgebenden Einrichtung auf einen bestimmten Punkt nicht erlaubt.

In den bekannten Prüfgeräten sind keine Maßnahmen vorgesehen, die den Einfluß der Temperatur auf die Längenänderung der im Meßkreis liegenden Materialien - vorwiegend Stahl - berücksichtigen. Da die unmittelbare Nähe der Bedienperson am Gerät durch"die visuelle Registrierung der Ordnungsänderungen erzwungen wird, ist mit einer Erwärmung der Stahlstrecken zu rechnen, die zusätzlich durch das zeitlich aufwendige Verfahren der Auswertung begünstigt wird«

Die wegvorgebenden Einrichtungen der bekannten Prüfgeräte sind entweder mechanisch oder mechanisch/hydraulisch. Bedingt durch die visuelle Registrierung der Ordnungsänderungen müssen sie im gesamten Bewegungsbereich relativ feinfühlig sein, so daß mit derartigen Bewegungssystemen eine Beschleunigung des PrüfablaufS₉ wobei die Wegstrecke zwischen den Endpunkten eines PrüfSchrittes-schnell durchlaufen wird und nur die Endpunkte mit einer feinfühligen wegvorgebenden Baugruppe eingestellt werden, nicht möglich ist.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, durch ein hochgenaues Meßverfahren die Prüfung von Wegmeßwandlern mit höchster Auf-

lösung, d.h. Skalenwerten > 0,005 Mm, und mit minimalem Zeitaufwand zu ermöglichen. Die Überprüfung der Anzeige der Wegmeßwandler erfolgt an diskreten Punkten - im folgenden "als Prüfstellen bezeichnet - innerhalb des Meßbereiches, die mit hoher Feinfühligkeit und kleiner Meßunsicherheit eingestellt werden. Damit ist eine Steigerung der Genauigkeit des Prüfergebnisses gegenüber bisher verwendeten Methoden, z.B. der des Tangenslineals, um zwei Zehnerpotenzen gegeben. Weiterhin bestehen aufgrund des im Prüfgerät verwendeten digitalen Meßverfahrens alle Möglichkeiten zur Automatisierung des Meßablaufes bis hin zur automatischen Ermittlung der gewünschten Fehler und deren Ausgabe durch Drucker bzw. grafischer Wiedergabe, z. B. in Form einer Fehlerkurve. Die Automatisierung des Prüfablaufes hat weiterhin 'zum'Vorteil, daß der Prüfablauf sehr schnell vonstatten gehen kann und so der Einfluß sich während dieser Zeit ändernder Umweltbedingungen auf das Prüfergebnis minimal wird.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine digitale interferentielle Vorrichtung, insbesondere zur Prüfung von induktiven Wegmeßwandlern zu schaffen, die die Ermittlung der Fehler dieser Meßgeräte, z. B, des Linearitätsfehlers und der Hysterese, ermöglicht.

Die Erfindung beseitigt die Nachteile der bekannten Lösungen, daß sich z.B. bei der Erzeugung der Wegvorgabe für den zu prüfenden Wegmeßwandler der Keilwinkel zwischen den Interferometerplatten ändert oder eine hochgenaue Führung zur Bewegung des Laufspiegels erforderlich ist oder durch das gewählte Prinzip zur Erzeugung der Wegvorgabe diese entweder sehr feinfühlig und damit auf einen kleinen Meßbereich beschränkt ist oder bei Auslegung für einen größeren Meßbereich an Feinfühligkait einbüßt oder am Beispiel des Tangenslinaals das Abbe'scha Prinzip verletzt wird und dadurch für die genannte Aufgabe zu große Meßfehler entstehen.

oder die Messung der Auswänderung der Interferenzstreif en optisch-visuell vorgenommen werden muß, wodurch hohe Anforderungen an die Konzentrationsfähigkeit der Bedienperson gestellt werden, subjektive Fehler unvermeidbar sind und der Meßvorgang viel Zeit in Anspruch nimmt.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß für die Wegvorgabe zwei getrennte Baugruppen verwendet werden, von denen die eine die Grobverstellung und die andere die [Feinverstellung ausführt, die beide in Reihe zueinander angeordnet sind und die Peinverstellung einen Rahmen trägt, an dem eine Koppelsteile ausgebildet ist, mit der die von diesen Baugruppen erzeugt« Wegvorgabe auf den lastbolzen des zu prüfenden Wegmeßwandlers übertragen wird, der an drei Säulen, die ein Gestell bilden, raumfest angeordnet ist und jenseits der Koppelstelle zwischen Tastbolzen und Rahmen, gemäß dem Abbe'sehen Prinzip, in minimalem Abstand von dieser Koppelstelle sich das Lauftripelprisma des Interferometers befindet und ebenfalls in minimalem Abstand zum Lauftripelprisma die raumfesten Bauteile des Interferometers, der Strahlenteilungswürfel und das Referenztripelprisma angeordnet sind. Die Grobverstellung wird rotatorisch durch eine Schnecke (Schneckenradkombination) angetrieben. Auf der Achse des Schneckenrades befindet sich ein zentral angeordnetes Antriebsritzel, das drei an seinem Umfang im gegenseitigen Winkelabstand von 120 angeordnete gleiche Zahnräder antreibt. Die Achsen dieser Zahnräder sind in einer Gewindemutter gelagert, so daß sich eine translatorische Abtriebsbewegung ergibt ο

Die Feineinstellung besteht aus drei im gegenseitigen Winkelabstand von 120° angeordneten Stäben aus einem piezoelektrischen Material, deren Länge sich beim Anlegen einer elektrischen Spannung ändert. Bei der Prüfung eines Wegmeßwandlers wird die von der Grob- und Peinverstellung erzeugte Wegvorgabe über aen Rahmen und die Koppelstelle auf den Tastbolzen des raumfest eingespannten Wegmeßwandlers übertragen. Diese Wegvorgabe wird gleichzeitig interfero-

metrisch gemessen uad die Zahlung der Ordnungsänderungen erfolgt fotoelektrisch. Die an den Prüfstellen auftretende Differenz zwischen dem vom zu prüfenden Wegmeßwandler angezeigten Weg und dem interferometrisch bestimmten Weg ergibt den Fehler des zu prüfenden Wegmeßwandlers. Die Grobverstellung ermöglicht den schnellen Übergang zwischen zwei aufeinanderfolgenden Prüfstellen, deren Abstand je nach dem. Meßbereich des zu prüfenden Wegmeßwandlers bis zu mehreren Millimetern betragen kann. Die Lage der Prüfstellen ist als Anzahl der Inkrementalschritte des vom Interferometer gesteuerten Vor-Rückwärts-Zählers bekannt. Die Untersetzung der Grobverstellung ist so ausgelegt, daß man das Lauftripelprisma bis auf einen Inkrementalschritt,der -rr- entspricht, an die Prüfsteile heranfahren kann. Um das Lauftripelprisma exakt an der Prüfstelle zu positionieren, wird auf die Feinverstellung umgeschaltet, indem die an den piezoelektrischen Stäben anliegende Gleichspannung so lange geregelt wird, bis die Prüfstelle erreicht ist. Indem die Wegvorgabe von zwei in Reihe zueinander angeordneten und unabhängig voneinander zu betätigenden Baugruppen ausgeführt wird, ergibt sich ein schneller Ablauf des gesamten Prüfverfahrens bei gleichzeitiger Wahrung der Feinfühligkeit des Einfanges der Prüfstellen innerhalb des gesamten Meßbereiches und unabhängig von der Größe des Meßbereiches.

Das Interferenzbild besteht aus hellen und dunklen Streifen und wird von vier fotoelektrischen Empfängern abgetastet, die jeweils um 90 phasenverschoben zueinander angeordnet sind, wenn dem Ordnungsabstand die Phase 3S0° zugeordnet wird. Jeweils zwei Empfänger, die einen gegenseitigen Abstand von 180° besitzen, sind in Differenz zusammengeschaltet und bilden ein Paar. Durch dieses Prinzip der Abtastung eines Abtastpunktes durch zwei Empfänger erhält man die doppelte fotoelektrische Empfindlichkeit, die weitgehende Eliminierung des Gleichspannungsanteils und des Einflusses, von sich ändernden Eigenschaften der Empfänger. Beide Empfängerpaare erzeugen zwei um 90° phasenverschobene Abtastpunkte j die in bekannter Weise die vorzeichenrichtige

Registrierung der Ordnungsänderungen des Interferenzbildes ermöglichen. Weiterhin wird das verstärkte Analogsignal des ersten Abtastpunktes an ein analog anzeigendes Meßinstrument mit Nullpunkt in Meßbereichsmitte gelegt, das bei Zeigerstellung Null signalisiert, daß sich ein heller oderdunkler Streifen des Interferenzbildes symmetrisch zu diesem Abtastpunkt befindet. Diese Symmetrielagen sind die bereits erwähnten Prüfstellen, an denen die Überprüfung der Anzeige der zu prüfenden Wegmeßwandler erfolgt.

Um Fehler zu vermeiden, muß gesichert sein, daß für sämtliche Prüfstellen nur die Symmetrielage eines hellen oder eines dunklen Streifens herangezogen wird» Zu diesem Zweck wird das verstärkte und getriggerte Ausgangssignal des zweiten Abtastpunktes herangezogen, das eine Maximum-Minimum-Signalisiereinrichtung steuert, die signalisiert, zu welchem der beiden Extremwerte des Interferenzbildes der erste Abtastpunkt gerade in Koinzidenz steht»

Ein weiterer Vorteil der Erfindung ist darin zu sehen, daß durch die Verwendung von kippinvarianten Tripelprismen zur Strahlreflexion und eines Strahlenteilungswürfels, an dem Oberflächenspiegel fest angesprengt sind, die zueinander denjenigen Keilwinkel bilden, der für die Erzeugung., des notwendigen Interferenzstreifenabstandes erforderlich ist, eine fehlerverursachende Änderung des Ordnungsabstandes der Interferenzstreifen nicht stattfinden kann, daß durch die Anordnung des Interferometers in minimalem Abstand zum Tastbolzen des zu prüfenden Wegmeßwandlers eine eventuelle Temperaturausdehnung der zwischen der Grundplatte des Prüfgerätes und dem Interferometer liegenden Baugruppen und Materialien, in erster Linie der Grob- und Feinverstellung, des fiahmens und desjenigen Teiles des zweigeteilten Gestells, das sich zwischen Grundplatte und Zwischenplatte befindet, keinerlei Auswirkungen auf das Meßergebnis hat, daß diejenige Strecke des Gestells _s die''.-zwischen der Befestigung des Interferometers und der Sinsparmung des Prüflings liegt und in der sich Längenänderungen infolge

Temperatur fehlerhaft auswirken können, aus einem Material mit minimalem Ausdehnungskoeffizienten, 2« B. Invar, gefertigt ist und daß durch die Aufteilung in zwei wegvorgebende Baugruppen der Prüfbereich relativ groß sein kann und dennoch kein Yerlust an Feinfühligkeit entsteht.

Ausfuhrungsbeispiel

Die Erfindung soll anhand eines Ausführungsbeispiels erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Pig. 1: Gesamtaufbau der Vorrichtung Pig. 2: Auswerteschaltung Pig.' 3: Signalgewinnung

Entsprechend Pig. 1 sind auf einer Grundplatte 1 die Grobverstellung 8 "und das hier aus Säulen bestehende Gestell 2 fest angeordnet. Die Grobνerstellung trägt eine Peinverstellung 9» Süd. der der Rahmen 10 befestigt ist, der die von der Grob- und Peinverstellung vorgegebene Wegänderung über das Koppelelement 12 auf den Tastbolzen 21 des zu prüfenden Wegmeßwandlers 4 überträgt, der in der gestellfesten Abschlußplatte 3 fest eingespannt ist. Jenseits der Koppelstelle zwischen Rahmen und Tastbolzen ist auf der durch die Achse des zu prüfenden Wegmeßwandlers vorgegebenen Geraden in minimalem Abstand zum !lastbolzen das Lauftripelprisma 11 des Interferometers im Rahmen fest angeordnet. Gegenüber diesem Lauftripelprisma befinden sich in ebenfalls minimalem Abstand die raumfesten Bauteile des Interferometers, der Strahlenteilungswürfel 6 und das Referenztripelprisma 7 auf einer Interierometer-Grundplatte 22, die über die Zwischenplatte 5 gestellfest angeordnet ist.

Die für das interferometrische Meßverfahren erforderliche monochromatische Strahlung wird von einem He-Ne-Laser erzeugt, der in der Pigur nicht dargestellt ist, erfährt in einem Teleskop eine Aufweitung und gelangt über einen Umlenkspiegel 23 in den Strahlenteilungswürfel, wo sie in Meßstrahl und Referenzstrahl aufgeteilt wird. Der Meßstrahl gelangt in das Lauftripelprisma 11 und wird von diesem auf den am Strahlenteilungswürfel fest angesprengten Oberflächenspiegel 24 .umgelenkt und von hier in das lauftripelprisma zurückreflektiert, von wo er wieder zurück zur Teilungsschicht gelangt und sich mit dem Referenzstrahl wiedervereinigt, nachdem dieser den analogen Weg

durch das Hef erenztripelprisma durchlaufen hat. Durch die Wiedervereinigung beider Strahlen entsteht das Interferenzbild. Dieses Interferenzbild wird, wie in Figur 3 dargestellt, von vier fotoelektrischen Empfängern 26, 27» 2δ und 29 abgetastet. Diese Empfänger sind im Interferenzbild um ,jeweils 90° versetzt angeordnet, wenn man dem Ordnungsabstand den Winkel 360 zuteilt. Jeweils zwei dieser Empfänger sind in Differenz zusammengeschaltet, nämlich 26 mit 28 und 27 Eiit 29 und bilden zwei Pärchen, die zwei Abtastpunkte repräsentieren₅ die um 90 gegeneinander phasenverschoben sind und die vorzeichenrichtige Zählung der Or dining s änderungen gestatten. Die Eontrolle der Anzeige des zn prüfenden Wegmeßwandlers'mit dem interferometrisch ermittelten Weg erfolgt innerhalb des Meßbereiches an einer bestimmten Anzahl gleichverteilter Prüf stellen P , P^,, P₂ usw. Diese Prüfstellen sind dadurch gekennzeichnet, daß sich das Empfängerpaar 26_s 28 symmetrisch zu einem hellen oder dunklen Streifen des Interferenzbildes befindet. In Figur 3 ist diese Symmetrielage für einen dunklen. Streifen dargestellt. Das verstärkte- Differenzsignal dieses Pärchens wird gemäß Figur 2 an ein analog anzeigendes Meßinstrument I5 mit Nullanzeige in Meßbereichsmitte gelagt, so daß sich für dieses Meßinstrument in der erwähnten Symmetrielage die Anzeige Hull ergibt. Das ist das Kriterium, daß sich das Lauftripelprisma des Interferometers an einer Prüfstelle befindet. Um Fehler zu vermeiden_ä muß gesichert sein, daß bei allen Prüfstellen die gleiche Symmetrielage, d.h. entweder ein heller oder ein dunkler Streifen, an dem Empfängerpaar 26, 28 vorliegt» Diese Aussage ergibt sich aus dem verstärkten und getriggerten Differenzausgangssignal des Pärchens 27, 29» dem gemäß Figur 2 eine Maximum- Miniaum-Signalisiereinrichtung 13 nachgeschaltet ist, die signalisiert, zu welchem der beiden Extremwerte das Bmpfängerpaar 26, 28 in Koinzidenz steht.

Nach Figur 1 wird die Grobverstellung 8 durch die Schnecke 30 angetrieben, die mit dem Schneckenrad 3^ isi Eingriff steht. Auf derselben Achse mit dem Schneckenrad sitzt das

zentral angeordnete Antriebsritzel 19» das mit· drei im gegenseitigen Winkelabstand von 120° angeordneten Zahnrädern 18 im Eingriff steht. Die Achsen dieser drei Zahnräder sind über eine bestimmte Länge als Gewindespindeln 17 ausgeführt, die in eine Gewindemutter 32 eingreifen. Wird über die Schnecke eine Drehbewegung eingeleitet, so wird diese in der Schnecke/Schneckenradkombination 30/31 und in der Zahnradkombination 19/18 insgesamt- 100:1 untersetzt als Drehbewegung an den Gewindespindeln 17"wirksam, derzufolge diese eine translatorische Bewegung in Richtung ihrer Achse ausführen kann und dabei die Yerschiebeplatte 16 mitbewegt wird.

Die Feinverstellung ist auf der Verschiebeplatte 16 aufgebaut. In einer elektrisch isolierenden fassung sind drei Stäbe 20 aus einem piezoelektrischen Material im gegenseitigen Winkelabstand von 120° angeordnet. Diese Stäbe sind in Parallelschaltung an eine Gleichspannungsquelle mit regelbarer Spannung angeschlossen und beim Regeln dieser Spannung tritt eine Änderung der Länge der Stäbe auf.

Durch die günstige Anordnung zwischen wegvorgebenden Baugruppen^ Interferometer und dem zu prüfenden Wegmeßwandler wurde erreicht, daß Dilatationen der Strahlstrecken infolge Änderung der Umgebungstemperatur des Prüfgerätes weitgehend kompensiert werden. Sine Ausnahme stellt die Strecke im Gestell zwischen Abschlußplatte und Zwischenplatte dar. Um diesen !Fehler so gering wie möglich zu halten, ist das Gestell zweigeteilt, wobei die Schnittstelle in Höhe der Zwischenplatte liegt. Der Teil des Gestells zwischen Grundplatte und Zwis.enenplatte kann aus Stahl mit beliebigem Ausdehnungskoeffizienten gefertigt werden, aber der Teil des Gestells zwischen Abschlußplatte und Zwischenplatte wird aus einem Material mit minimalen Ausdehnungskoeffizienten, z. B, Invar, hergestellt« Die Verbindung des zweigeteilten Gestells wird als Preßverbindung ausgeführt. .

Claims (1)

1. Erfindungsanspruch

   Digitale interferentielle Vorrichtung, insbesondere zur Prüfung von Wegmeßwandlern, bestehend aus Laser-Beleuchtungseinrichtung, fotoelektrischen; Interferometer und mechanischelektrischen Baugruppen, dadurch gekennzeichnet, daß an einer Grundplatte (1) ein Gestell (2) und eine Grobverstellung (S) befestigt sind, wobei die Grobverstellung (8) in Kontakt ist mit einer Verschiebeplatte (16), die von drei auf einem Kreis im gegenseitigen Winkelabstand von 120 angeordneten Gewindespindeln (17) getragen ist und auf den Achsen dieser Gewindespindeln gleiche Zahnräder (18) befestigt sind, die mit einem zentralen Antriebsritzel (19) gleichzeitig im Eingriff sind, daß zu der Grobverstellung (S) in Reihe eine Peinverstellung (9) angeordnet ist und die Feinverstellung (9) slit der Verschiebeplatte (16) verbunden ist und drei auf einem Kreis im gegenseitigen Winkelabstand von 120 angeordnete Stäbe (20) aus einem piezoelektrischen Material enthält, die einen Rahmen (10) tragen, der über ein Koppelelement (12) mit dem in einer gestellfesten Abschlußplatte (3) eingespannten und zu prüfenden Wegmeßwandler (4) gekoppelt ist, daß eine gestellfeste Zwischenplatte (5) vorhanden, ist und "sich zwischen Abschlußplatte (33 und Zwischenplatte (5) ein wegmessendes Interferometer (6,7»11) befindet, das in minimalem Abstand zu dem zu prüfenden Wegmeßwandler (4) angeordnet ist, indem das Lauftripelprisma (11) bezüglich des Koppelelementes (12) gegenüber dem zu prüfenden ¥/egmeßwandler (4) im Rahmen (10) befestigt ist und sich der Strahlenteilungswürfel (6) bezüglich des Lauftrip elprismas (11) und des Referenztripelprismas (7) in minimalem und gleichem Abstand befindet, daß an der Zwischenplatte (5) die Interferometer-Grundplatte (22) befestigt ist, auf der die raumfesten Bauteile des Interferometers₃ Strahlenteilungswürfel (6) und Referenztripe!prisma (7) angeordnet sind und diese Interferometer-Grundplatte (22) aus Kieselglas besteht, daß das Gestell (2) aus drei im gegenseitigen Winkelabstand von 120° angeordneten Säulen besteht, die in Höhe der Zwischenplatte (5) "zweigeteilt

   sind und der zwischen Grundplatte (1) und Zwischenplatte (5) und der Abschlußplatte (3) sich befindliche Teil der ι Säulen .aus. einem Material mit minimalem Ausdehnungskoeffizienten^ z. B. Invar, hergestellt ist und die Zwischen platte (5) an der Verbindungsstelle der beiden Teile der Säulen in das Gestell (2) eingefügt ist, daß das Ausgangssignal des fotoelektrischen Empfängerpaares (26,28) auf ein analog -anzeigendes Meßgerät mit Nullpunkt in Meßbereichsmitte gelegt ist und das Ausgangssignal des fotoelektrischen Smpfängerpaares (27₉29) an einen Verstärker (14.1) und einen Trigger (14·2) gelegt ist und diesem eine Maximum-Minimum-Signalisier^einrichtung (13) nachgeschaltet ist.

   flierzu^L-Seiten Zeichnungen