DD208200A1 - Ventil fuer vakuumbehaelter - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Ventil, das sowohl eine vakuumdichte Trennung als auch eine Oeffnung an einer oder mehreren Stellen zwischen zwei Kammern eines Vakuumbehaelters bei geringer Baugroesse ermoglicht. Es besteht aus einem mit Oeffningen versehenen Trennflansch zwischen den zwei Kammern, einem ebenfalls mit Oeffnungen versehenen, auf dem Trennflansch drehbar gelagerten Ventilteller, einem Antrieb fuer den Ventilteller sowie Dichtungsmitteln zwischen Trennflansch und Ventilteller. Zahl, Lage und Form der Oeffnungen koennen in bestimmten Grenzen den zu loesenden Aufgaben angepasst werden. So koennen innerhalb eines Vakuumbehaelters verschiedene Bearbeitungsvorrichtungen mit verschiedenen Proben in Verbindung gebracht oder ganz oder teilweise voneinander getrennt werden.

Description

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Ventil für Vakuumbehälter Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft ein Ventil, das sowohl eine vakuumdichte Trennung als auch eine üffnung an einer oder mehreren Stellen zwischen zwei Kammern eines Vakuumbehälters ermöglicht.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Bekannte Vakuumventile sind als Eckventile, Durchgangsventile, Belüftungsventile und andere ausgelegt. Dabei werden Anordnungen mit Schwenkachsen und mit Schiebern verwendet« Bei letzteren ist in der Regel noch eine zweite Bewegungsrichtung, meist mit Zwangsführung, zur Erzielung einer ausreichenden Abdichtung erforderlich (IvI. von Ardenne, "Tabellen der Elektronenphysik, Ionenphysik und Übermikroskopie", Bd. 2, 772), Ebenso sind Pendelschieber bekannt, die jedoch, ähnlich den Plachschieberausführungen, die mehr als doppelte Baugröße der geforderten Durchlaßfläche benötigen* Daraus ergibt sich bei größeren Ausführungen ein erheblicher Materialbedarf und ein hohes Gewicht. Es wurde deshalb vorgeschlagen (US-PS 3 270 434), zwei Kreisplatten mit versetzten Durchlässen aufeinander abzudichten. Dabei wird eine ganze Innenkammer mittels Hubbewegungen bewegt. Auch diese Ausführung ist aufwendig. Die Anordnung einer drehbaren Drosselklappe zwischen den zwei Kammern (DE-PS 1 135 828) hat den Kachteil, daß die Drosselklappe weit ausschwenkt, so daß viel Bewegungsraum erforderlich ist» Schließlich gibt es noch den Vorschlag (DD-WP 149 695), das Ventil aus einer Dichtscheibe und mindestens zwei Ventiltellern aufzubauen, wobei die Dichtscheibe als Trennwand zwischen den beiden

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Kammern lösbar eingespannt ist und die Ventilteller an einer Traverse angeordnet sind. Die Traverse ist fest mit einer Ventilwelle verbunden, die ihrerseits in der Dichtscheibe gelagert ist«

Die bisher bekannten bzw. vorgeschlagenen Vakuumventile ermöglichen meist nur die Zustände "Ventil auf¹¹ oder "Ventil zu", i'ür Kombinationsaufgaben im Vakuum und im Vakuumbehälter erscheint die Anordnung mehrerer bekannter Vakuumventile wenig sinnvoll.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung ist es, zwei Vakuumkammern wahlweise sowohl vakuumdicht voneinander zu trennen als auch bei Bedarf an einer oder mehreren Stellen miteinander zu verbinden

Darlegung des Wesens der Erfindung

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Anordnung zu schaffen, mit der zwei Kammern eines Vakuumbehälters sowohl vakuumdicht voneinander getrennt als auch miteinander verbunden werden können, wobei eine geringe Baugröße der Anordnung anzustreben ist.

Das erfindungsgemäße Ventil für Vakuumbehälter besteht aus einem mit Öffnungen versehenen Trennflansch zwischen den zwei Kammern des Vakuumbehälters, einem ebenfalls mit Öffnungen versehenen, auf dem Trennflansch drehbar gelagerten Ventilteller, einem Antrieb für den Ventilteller sowie Dichtungen zwischen Trennflansch und Ventilteller. Die Abdichtung zwischen Drehteller und Trennflansch erfolgt mit bekannten Mitteln, z. B. mit Hilfe von Nullringen, die entweder am Drehteller oder am Trennflansch befestigt sind. Der Antrieb für den Ventilteller wird so ausgelegt, daß er auch den entsprechenden Andrückdruck des Ventiltellers gegen den Trennflansch bewirkt. Im einfachsten Falle kann der Antrieb

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über eine Achse, die durch eine vakuumdichte Drehdurchführung im Behälterboden oder -deckel geführt wird, erfolgen.

Zahl, Lage und Form der Öffnungen sind sowohl im Trennflansch als auch im Ventilteller in bestimmten Grenzen frei wählbar, so daß das Ventil den vielfältigsten Erfordernissen von Vakuumbehältern angepaßt werden kann· Im einfachsten .Falle befindet sich im Drehteller eine Öffnung, die mit den Öffnungen im Trennflansch nacheinander in Übereinstimmung gebracht werden kann. In der Regel wird jedoch die Zahl der Öffnungen auch im Drehteller größer als 1 sein, dabei ist nur darauf zu achten, daß noch eine vollständige Bedeckung der öffnungen im Trennflansch mit Hilfe des Ventiltellers möglich ist. In der Regel sind die Öffnungen kreisförmig, doch können sie für spezielle Zwecke auch anders geformt sein (Schlitze, Ellipsen usw.). Die Öffnungen brauchen auch nicht alle auf einer Kreisbahn zu liegen.

Das erfindungsgemäße Ventil kann in beliebige Vakuumbehälter eingebaut werden, am besten geeignet sind solche mit kreisförmiger Grundfläche.

Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Ventils können innerhalb einer Vakuumkammer verschiedene Bearbeitungsvorrichtungen mit verschiedenen Werkstücken (Proben) in Verbindung gebracht bzw. wahlweise ganz oder teilweise voneinander getrennt werden. Zum Zwecke der Werkstück-(Proben-)Entnahme kann eine vakuumdichte Abtrennung der beiden Vakuumkammern erfolgen. Es können auch mehrere Pumpsysteme angeschlossen werden, die getrennt voneinander einzeln oder insgesamt zur Erzeugung verschiedener Vakua oder insbesondere verschiedener Pumpzeiten nutzbar sind*

Ausführungsbeispiel

Die Figur zeigt den Schnitt durch einen Vakuumbehälter mit eingebautem erfindungsgemäßem Ventil.

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Das Ventil besteht aus einem Trennflansch 3, der so in den Vakuumbehälter eingebaut ist, daß dieser in die zwei Kammern 1 und 2 geteilt wird, aus einem auf dem'Trennflansch 3 drehbar gelagerten Ventilteller 4, aus Dichtungen 9 zwischen Trennflansch 3 und Ventilteller 4 sowie aus einem Antrieb zum Drehen des Ventiltellers 4 bzw. Anpressen des Ventiltellers 4 an den Trennflansch 3. Im Trennflansch 3 befinden sich drei jeweils um 90° versetzte Öffnungen, ini Ventilteller ebenfalls drei gleich große, um 90° versetzte Durchlässe« Das Zentrum des Ventiltellers 4 ist als Mutter 5 ausgebildet, während das Ende der Drehdurchführungsachse eine Gewindespindel 6 darstellt. Mutter 5 und Spindel 6 besitzen Anschläge 7, die nach einstellbarem Gewindehub zum Eingriff kommen. Somit kann das Gewinde in einer Richtung mittels Anschlag zur Mitnahme der Mutter 5 und damit zum Drehen des Ventiltellers 4 genutzt werden, während in der anderen Richtung das Gewinde zum Anpressen des Ventiltellers 4 an den Trennflansch 3 dient. Um das Anpressen des Ventiltellers 4 in der gewünschten Stellung zu ermöglichen und um die verschiedenen Stellungen des Ventiltellers 4 in bezug auf den Trennflansch 3 zu signalisieren, sind entsprechend der Anzahl der Öffnungen bzw. der erforderlichen Stellungen im vorliegenden Falle fünf Rastpunkte 8 vorgesehen, die zusätzlich Einrichtungen zur Signalgabe enthalten. Bei einer Stellung fallen die drei Öffnungen des Ventiltellers 4 mit den drei Öffnungen im Trennflansch 3 zusammen, bei einer weiteren Stellung (z. B₀ um 45° gegen die erstgenannte verdreht) sind alle Öffnungen verschlossen,und bei den drei übrigen Stellungen sind immer zwei andere Öffnungen geöffnet. Als Dichtungen sind Nullringe 9 eingesetzt, die am Drehteller 4 befestigt sind.

Claims (4)

_ 5 -Erfindungsanspruch 234902 0

1. Ventil für Vakuumbehälter, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem den Vakuumbehälter in zwei Kammern (1; 2) teilenden und mit Öffnungen versehenen Trennflansch (3) ein ebenfalls mit Öffnungen versehener und gegen den Trennflansch (3) abgedichteter Ventilteller (4) drehbar gelagert ist.

2. Ventil nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Zentrum des Ventiltellers (4) als Mutter (5) und das Ende der Drehdurchführungsachse als Gewindespindel (6) ausgebildet sind und beide Anschläge (7) besitzen

3. Ventil nach Punkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Ventilteller

(4) Rastpunkte (8) mit Signalgabe vorgesehen sind.

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