DD210592A3 - Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Loesung zur Aktivierung der Oberflaeche von Dielektrika vor der chemischen Metallisierung. Die Loesung enthaelt Kupfersulfat, Natrium-, Kalium- bzw. Ammoniumhypophosphit, Ammoniumfluorid und Ammoniak, sowie Apfel- oder Weinsaeure im folgenden Verhaeltnis (g. I oben -1): Kupfersulfat 50 bis 100; Natrium-, Kalium- bzw. Ammoniumhypophosphit 50 bis 100; Ammoniumfluorid 30 bis 40; Ammoniak (25 %ige Wasserloesung) 60 bis 100; Apfel- oder Weinsaeure 25 bis 50.
Description
- a - ν λ j y B
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Ha3Bamie H30opeTeHHji: PAGTBOP ME AKTLiBHPOBAHHiI
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| WO2002022272A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-21 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| WO2005019939A1 (en) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | Mallinckrodt Baker Inc. | Stripping and cleaning compositions for microelectronics |
| AU2001287369B2 (en) * | 2000-09-13 | 2005-09-22 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
-
1981
- 1981-09-02 DD DD81232986A patent/DD210592A3/de not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002022272A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-21 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| AU2001287369B2 (en) * | 2000-09-13 | 2005-09-22 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| WO2005019939A1 (en) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | Mallinckrodt Baker Inc. | Stripping and cleaning compositions for microelectronics |
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