DD210592A3 - Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung - Google Patents
Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung Download PDFInfo
- Publication number
- DD210592A3 DD210592A3 DD81232986A DD23298681A DD210592A3 DD 210592 A3 DD210592 A3 DD 210592A3 DD 81232986 A DD81232986 A DD 81232986A DD 23298681 A DD23298681 A DD 23298681A DD 210592 A3 DD210592 A3 DD 210592A3
- Authority
- DD
- German Democratic Republic
- Prior art keywords
- hjih
- ammohhh
- pactbop
- solution
- dielectrica
- Prior art date
Links
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 title abstract 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 title abstract 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 title 1
- UGTJLJZQQFGTJD-UHFFFAOYSA-N Carbonylcyanide-3-chlorophenylhydrazone Chemical compound ClC1=CC=CC(NN=C(C#N)C#N)=C1 UGTJLJZQQFGTJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N (S)-malic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-REOHCLBHSA-N 0.000 abstract 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N Dextrotartaric acid Chemical compound OC(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C(O)=O FEWJPZIEWOKRBE-JCYAYHJZSA-N 0.000 abstract 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- GJYJYFHBOBUTBY-UHFFFAOYSA-N alpha-camphorene Chemical compound CC(C)=CCCC(=C)C1CCC(CCC=C(C)C)=CC1 GJYJYFHBOBUTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 abstract 2
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 2
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 abstract 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 abstract 2
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 abstract 2
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 abstract 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 abstract 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 abstract 1
- BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N alpha-hydroxysuccinic acid Natural products OC(=O)C(O)CC(O)=O BJEPYKJPYRNKOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 abstract 1
- 235000011090 malic acid Nutrition 0.000 abstract 1
- 239000001630 malic acid Substances 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Loesung zur Aktivierung der Oberflaeche von Dielektrika vor der chemischen Metallisierung. Die Loesung enthaelt Kupfersulfat, Natrium-, Kalium- bzw. Ammoniumhypophosphit, Ammoniumfluorid und Ammoniak, sowie Apfel- oder Weinsaeure im folgenden Verhaeltnis (g. I oben -1): Kupfersulfat 50 bis 100; Natrium-, Kalium- bzw. Ammoniumhypophosphit 50 bis 100; Ammoniumfluorid 30 bis 40; Ammoniak (25 %ige Wasserloesung) 60 bis 100; Apfel- oder Weinsaeure 25 bis 50.
Description
- a - ν λ j y B
OIIHCAHHE Η3ΟΕΡΕΤΕΗΗίϊ K ABTOFCKOW GBMJiETEJIBCTBy 3aHBJieHo: 02.04.80
3aHBKa: Ii 2921543/22-02 MKH2 C 23 C 3/02 ABTopn: Ä.H.KoBajmoBa, S.M.KypaHOBa, H.A.33aJIHiIHHa, G.H.ryceB
Ha3Bamie H30opeTeHHji: PAGTBOP ME AKTLiBHPOBAHHiI
nOBEPXHOGTH ÄH3JIEKTPHK0B MBTMJIiISAE(HEl!
H300peTeHne othochtch κ EaneceHHio
ΠΟΚρΗΤΗβ Ha JIHBJieKTpHKIi, B ^aCTHOCTZ- K paCTBOpaM JI1JISl aKT2BHpOBaHHH ΠΟΒβρΧΗΟΟΤϋ OTSJieKTpHKOB Πβρθ^ Χ3ΜΗ"ΊβΟ-
Η3ΒβΟΤΘΗ paCTBOp
nepeji XHMn^ecKot MeTajum3arpiet, pEOKHCJiyio MeJiB, ΓΗποφοοφθΤ niejio^Horo MeTajuia, ojd;ho-φοοφορΗοκίΐαΐΗΑ KajniS, φτορκοτΗΐ aMMOHnt u
boäehä pacTBop), KOTopHt nasdojiee κ npe^jioseHHOMy no Texnn^ecKOMy cymecTBy ξ
raeMOMy pesyjE&TaTy (I) .
pacTBop. oOJiajiaeT HejcocTaTO-1IHo bh cnocoÖHOCTLKi τε. cTaöajttHocTLm' β pado Te.
iIpea?ioseHHHt pacTBop OTJiKHaeTOH οτ HssecTHoro,. co iüepaamero mej& cepHOKZCJiyio, ΓΗΠοφοοφϋτ HaTpsn, Kajuis HJI2 aMMOHHü, φΤΟρΗΟΤΚδ aMMOHHW H 3MTMaK ΤβΜ, ^TO, C ΠΟΒΚΙΠΘΗΗϋ aKTHBEpjTOmefi cnOCOÖHOCTH Z CTaOHJEbHOC-
pa.cTBopa, oh aonojiHHTejiEHO co.nepssiT ÄÖJio^myD hjih
KiicjioTy npn cJiejiyioiiieM οοοτηοιπθηηη κομποηθητοβ, γ/λ:
Nie job cepHOKüGJiaü . 50-100
ΓζποφοοφΗΤ
HJIH aMMOHHH 50-IO
^ φΤΟρίΙΟΤΗΑ aMMOHHH . 30-40
aMMHaK (25$-hhh boähhh
pacTBop) 60-120
HOJIO^HaH HJIH BHHHaH
KHCJiOTa 25-50.
PaCTBOp ΓΟΤΟΒΗΤ Π3ΓΤΘΜ OTSeJILHOrO paCTBGpeHHH KOM-
ποηθητοβ β BOAe npn 50-60°C, nocjie tiero oxjiasaaioT ro 30°, pacTBopH cJiHBaioT a nepeMeniHBaiOT, a 3aTeM. npn nepe-
B paCTBOp ÄByXGCHOBHHe OKCHKHCJIOTH - BHH-
HJiH HOJiOHHaH, npesoTBpamaiOT ocaaweHHe γη,π;ροοκηοη η
OCHOBHOS COJIH ΜΘ^Η 3a ΟΗβΤ 00pa30BaHHH C Het BHyTpH-· KOMmieKCHHX coeÄHHeHHH:.
Hpa HcnojiB3OBaHHH pacTBopa.3aroTOBKH, HanpHMep, ns
φOJtBΓHpOBaHHOΓ0 CTeKJIOHJiaCTHKa C OTBepCTHHMH 3a^HlIiaiOT MapmajiHTOM, ooe33mpHBaiOT β iKeJio^HOM pacTBope cocTaBa: TpHHaTpntdboc^T 30-35 r/ji, coaa KajiLnHHapoBaHHan - . 30-35 ν/JL, MOiomee cpeacTBO. "CHHTaHOJi" - 3-5 r/ji β τβ-ΗβΗΗΘ 3-5 MHH, nOCJie ΗβΓΟ ΠρθΜΗΒ3Κ3Τ B TOpjTieS 2 XOJIOaHO Böse, a 3aTeJi.no,HBepraH)T TpaBJieHHH. TpaBJienne ocymecTB-JiHK)T β pacTBope, coÄepscameM aMMOHHÄ cepnoKzcjiHH 200-250 r/ji Έ. cepHyio KHCJioTy 9-3 r/ji B Te^enne 0,7-1,5 MHHyT, nOCJie ^ero IUiaCTHHKPI npOMHBaiOT H CHHMaiOT TpaBHJIL HHft uiJiaM β pacTBope cepHot khcjioth (mi0TH0CT& 1,84) 20-50 γ/λ a. BHOBL npOMHBaiOT BOÄOH. ΠΟΛΓΟΤΟΒΛΟΗΗΗβ TaKHM
oöpasoM noÄJEoaKH aKTHBHpysjT β pacTBopax, cocTas κοτορκχ β TaojiHne I β cooTBeTCTBHH c npzMepaMH 1-3.
CJocTaB pacTBopa, τ/π jj^
JCJIOBHH OÖpaÖOTKH Γ" 2 3
cepHOKHCJiaH 50 70 100
»Λ Λ f* -Q f*
~ ο- -jT ^ ^ ^ sj W
| I | 2 | I | 50 | 3 | 4 |
| φTOpHCTHf aMMOHHf | 30 | 35 | 40 | ||
| ΓΗΠΟφΟΟφΗΤ HaTpHH, KaJIHi | 60 | ||||
| HJIH aMMOHHH | 70 | 100 | |||
| aMMHaK (25^-HHÄ ΒΟαΗΗΗ | 25 | ||||
| paCTBOp) ,MJI | 1-3 | 90 | 120 | ||
| HOJIOHHaH KHCJIOTa HJIH | 18-25 | ||||
| BHHHaa KHCJiOTa | 35 | 50 | |||
| BpeMH odpadoTKH, mhh | 1-3 | 1-3 | |||
| TeMnepaTypa, 0C . . . | 18-25 | 18-25 |
B.yKa3aHHHX pacTEopax TepMoodpaÖoTKe npn TeMnepaType II0-I20°C β TeqeHHe 10-15 mhh., a 3aTeM npoM&BaBT η npoTHpaiOT nopojioHOBOK rydKof. ......
XHMHsecKoe MejmeHHe ocymecTBJiHioT H3 pacTBopoB β Te^eKHe 20-30 mhh. OMe^HeHHHe
β cepHOH KHCJioTe (nji.1,84) 20-50 r/ji β Te-30-40 ceK. H 3aTeM μθαηητ sJieKTpojiHTHHecKH Ha 5-7 MKM.
no HCIiHTaHHK) H30öpeTeHHoro pacTBopa npejiCTaB-β TaoJiHiie 2.
. Taöjnma 2
paCTBOpOB, PaCTBOpH Pl3BeCTHHt
ποκρητηη - - corjiacHo pacTBop
npHMepaM 1-3 ΤπροτοτΗπ)
1. CTaöHJiBHOcTL He MeHee He dojiee pacTBopa 2-x Mecnnes qacoB
2. AKTHBHpyiomaH cno- EHCOKan. B Te- HeBBTcoKan, coöhoctl pacTBopa Henne Bcero spe- το TpedyeT ποβ-
ΜΘΗΗ HCnETaHKii ΤΟρΗΟΓΟ 3KTHBH-
Λ / Λ- / ν FS fs
He TpeÖOBaJIOGi pOBaHHH
noBTopHoro npoBe-
3. Ka^ecTBO MeTaji-Bee oTBepcTHü Hadjno^aeTCH He-
ΠρΟΚρΗΤΗβ OT-
sejiBHHX OTBepc-
THÄ.
KaK.'BEWHO-H3 ^aHHHX TaojiHiiH, BHine yicaaaHHH-e pacT-Βορκ aKTHBHpoBaHiM oOJiasaDT xopöinet aKTHBHpyionieÄ CnOGOÖHOCTiiO H. OTaöÜJILHOCTLlO. ΠρΗ HCHOJIL30B3HEH B Te^e-HHe He Menee 2-x MecHneB. OöpaöaTHBaeMEre ^eTaJm He TpeöyioT ποβτορηογο aKTHBHpoBaHHH, Bee OTBepcTHJi 3aMe-TaJUIH3HpOBaHH. -
PacTBopH MoryT ohtl acnojiB3OBaHEi TeMiepaTypN 120
Claims (1)
- — O — al«, "^ .,4. .tj \J %i * JΦ0ΕΜ7ΙΔ Μ30ΕΡΕΤΞΗΗΗ . .'.PaCTBOp RJJJI aKTHBHpOBaHHH nOBepXHOCTH JIH3JieKTpHK0B XHMHHecKOH MeTajDiH3aiiHeH, co^epaEamHit μθαβ cepHO-KHCJiyK), ΓΗΠΟφΟΟφΗΤ Η3ΤρΗΗ, KaJIHH HJIH aMMOHHH, φΤΟρΗΟΤΗΐ aMMOHHii. H aMMHaK, OTJMHaHUHSCH ΤβΜ, HTO, C IieJIBS ΠΟΒΗ— IIieHHH aKTHBHpyiOnieiT CnOCOÖHOCTH H CTaOHJILHOCTH paCTBO-, OH- ÄOnOJIHHTeJIBHO COflepSCHT HÖJIOHHyiO HJIH BHHHyK) npH cjie,nyK!meM cooTHoineHHH κομποηθητοβ, γ/ji: Me,m> cepHOKHCJiaH - . 50-100ΓΗΠΟφΟΟφΗΤ HaTpHH, K3JIHH,HJIH aMMOHHH 50-100aMMOHHH 30-40(25^-HHS 30ÄHHHpacTBop) 60-120HOJIOHHaH HJIH BHHHaH KHCJIOTa 25-50. HCTOHHHKH ΗΗφθρΜ3ΙΙΗΗ, ΠρΗΗΗΤΗβ BO BHHMaHHe ΠρΗ3KcnepTH3e:I. AsTopcKoe CBHAeTeJDbCTBO CCCP B 738430 no 3anE-Ke j* 2642462/13-21, KJiacc C 25 D 3/38, 1978.25^1983*10072-1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD81232986A DD210592A3 (de) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD81232986A DD210592A3 (de) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD210592A3 true DD210592A3 (de) | 1984-06-13 |
Family
ID=5533281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD81232986A DD210592A3 (de) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | Loesung zur aktivierung der oberflaeche von dielektrika vor der chemischen metallisierung |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD210592A3 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002022272A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-21 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| WO2005019939A1 (en) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | Mallinckrodt Baker Inc. | Stripping and cleaning compositions for microelectronics |
| AU2001287369B2 (en) * | 2000-09-13 | 2005-09-22 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
-
1981
- 1981-09-02 DD DD81232986A patent/DD210592A3/de not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002022272A1 (en) * | 2000-09-13 | 2002-03-21 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| AU2001287369B2 (en) * | 2000-09-13 | 2005-09-22 | Mintech Chemical Industries Pty Ltd | Aqueous copper composition |
| WO2005019939A1 (en) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | Mallinckrodt Baker Inc. | Stripping and cleaning compositions for microelectronics |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3874634T2 (de) | Ueberzugsmaterial fuer den medizinischen gebrauch. | |
| DE69205350T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Tintenstrahl-Druckerkopfes. | |
| DE3207920C2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines elektrostatischen Relais | |
| DE3204602C2 (de) | ||
| DE69222110T2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Halbeiteranordnung, wobei auf der Oberfläche einer Halbleiterscheibe aus einem Prozessgas eine Materialschicht abgeschieden wird | |
| EP0700259A1 (de) | Bürstenteil für eine zahnbürste | |
| DE2641752A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines feldeffekttransistors | |
| DE60219701T2 (de) | Konfekt mit Rauhstruktur zur Behandlung von Halitose | |
| DE102004037288A1 (de) | Element, umfassend zwei Elektroden aus jeweils einem elektrisch leitfähigen nanoskaligen Material, und dessen Verwendung | |
| EP1113068A3 (de) | Granulares Alkalischichtsilicat-Compound | |
| DE3877370T2 (de) | Gesinterter aluminiumnitridkoerper mit metallhaltiger schicht und verfahren zu seiner herstellung. | |
| BR0206659A (pt) | Método para preparar um ácido alcanodicarboxìlico por oxidação de cicloalcanol e/ou cicloalcanona com uma solução aquosa de ácido nìtrico | |
| DE102021106952A1 (de) | Dbc-substrat für leistungshalbleitervorrichtungen, verfahren zum herstellen eines dbc-substrats und leistungshalbleitervorrichtung mit dbc-substrat | |
| DE69937032T2 (de) | Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zur Herstellung | |
| DE2154654C3 (de) | Spannungsteilerschaltungsanordnung und Verfahren zu deren Herstellung | |
| DE2426392C3 (de) | Verfahren zur Erzeugung eines Umwandlungsüberzuges auf einer Aluminiumoberfläche mit sechswertiges Chrom enthaltenden Lösungen | |
| DE1614760C3 (de) | Halbleiteranordnung | |
| CH637795B (de) | Verfahren zur herstellung poroeser faeden, die nach dem verfahren erhaltenen faeden sowie deren verwendung. | |
| DE19624315C2 (de) | Verfahren zum Ätzen von Strukturen in einer Siliziumschicht | |
| DE857604C (de) | Verfahren zur Herstellung eines Schaedlingsbekaempfungsmittels | |
| DE2632942A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines halbleiterplaettchens oder eines halbleiterchips | |
| Blankenburg | Die politische Spaltung der westdeutschen Arbeiterschaft | |
| DE19926599C2 (de) | Lösung zum Ätzen von Silizium und Verfahren zum Ätzen von Silizium | |
| EP0141072A3 (de) | Aminoalkyl-imidazothiadiazol-alkencarbonsäureamide, neue Zwischenprodukte zu ihrer Herstellung, ihre Herstellung und ihre Verwendung in Arzneimitteln | |
| DE10124496C2 (de) | Verfahren zur Durchführung chemischer Reaktionen unter periodisch veränderten Temperaturen |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ENJ | Ceased due to non-payment of renewal fee |