DD211428A1 - Verfahren zur herstellung flacher elektronischer anzeigefelder - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung flacher Anzeigefelder, mit dem ein Getter an wirksamen Stellen des aktiven Volumens angebracht werden kann. Ziel der Erfindung ist es, einen zusaetzlichen Glasstutzen auf der Rueckseite des Anzeigefeldes fuer die Unterbringung des Getters zu vermeiden, die Produktion wesentlich zu vereinfachen, das Anzeigefeld wirklich flach zu gestalten und seine elektro-optischen Kenndaten sowie die Lebensdauer zu verbessern. Dazu ist bei Verwendung eines Glaslotes, das unabhaengig von der umgebenden Atmosphaere waehrend des Loetprozesses danach gute Festigkeits- und Dichtigkeitseigenschaften ergibt, und bei Benutzung einer entsprechend gestalteten kontinuierlich arbeitenden Fertigungseinheit das Getter unmittelbar vor dem Zusammenfuegen und Verloeten der Glasplatten aufzubringen. Die Verloetung ist sofort anschliessend unter Vakuum oder bei Schutzgas- oder Fuellgasatmosphaere vorzunehmen. D. erfindungsgemaess hergestellter Getter hat wegen seiner grossen Flaeche u. direkten Nachbarschaft zum aktiven Volumen ausgezeichnete Getterwirkung gegenueber den gasfoermigen Verunreinigungen des Volumens.

Description

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Titel der Erfindung

"Verfahren zur Herstellung flacher elektronischer Anzeigefelder·'

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von flachen Anzeigefeldern mit speziell angeordnetem Getter, welche vorzugsweise bei der Darstellung alphanumerischer Zeichen und grafischer Informationen bis hin zu farbtüchtigen Fernsehbildern Verwendung finden.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Anzeigefelder bestehen in ihrer einfachsten Ausführungsform aus zwei parallel zueinander angeordneten Glasplatten, die einen schmalen Zwischenraum, der entweder mit einem Gasgemisch gefüllt ist oder unter Vakuum steht, hermetisch verschließen. Beide Glasplatten tragen dem beabsichtigten Darstellungszweck entsprechend strukturierte Elektroden, an die im Betrieb elektrische Spannungen angelegt werden können, sowie weitere funktionell notwendige Schichten. Im Falle der Ausführung als Wechselspannungs-Plasmaanzeigefeld ist zwischen den Elektrodenstrukturen und dem Plasmaraum je eine transparente, isolierende Schicht aufge-

bracht, die ihrerseits zu ihrem Schutz und zur Verminderung des Spannungsbedarfes noch mit einer dünnen, sekundäremittierenden Schicht, z. B. MgO, bedeckt ist. Bei Fluoreszenzanzeigen sind die Anodenstrukturen mit Leuchtstoff beschichtet. Die vakuumdichte Verbindung beider Glasplatten erfolgt mittels eines geeigneten Glaslotes bei hinreichend hoher Temperatur. Der definierte Abstand wird mittels Abstandsstücken festgelegt.

Zur Absorption auftretender gasförmiger Verunreinigungen dient ein Getter, das in einer Ausbuchtung des Pumpstutzens angebracht ist. Die Evakuierung und gegebenenfalls die Füllung mit dem Gasgemisch erfolgt über den Pumpstutzen, der am Ende des Prozesses abgeschmolzen wird.

Diesem bekannten Herstellungsverfahren haftet eine Reihe von Nachteilen an, die einer wirtschaftlichen und autoraatisierbaren Produktion und einer wirklich flachen Gestaltung des Anzeigefeldes entgegenstehen·

1. Die einzelnen Verfahrensschritte laufen nacheinander und in verschiedenen Apparaturen (Bedampfungseinrichtungen, Lötofen, Evakuier- und Fülleinrichtung) ab, so da& Zwischentransporte und -lagerungen notwendig sind, die besonders die gegen Atraosphäreneinfluß empfindlichen Schichten, z. B. die MgO-Schicht, nachteilig verändern.

2. Bei der Verlötung der beiden Glasplatten an Luft tritt eine weitere Schädigung der empfindlichen Schichten ein.

3. Das Getter kann erst nach der letzten Evakuierung aktiviert werden. Es muß deshalb dort angebracht sein, wo eine separate Erwärmung möglich ist und das Niederschlagen bzw. Abpumpen der Abprodukte ohne Nachteile für die spätere Funktion erfolgen kann. Im Falle eines

kleinen Abstandes zwischen den Glasoberflächen läßt sich das nur in einem Ansatz auf der Rückseite in Verbindung mit dem Pumpstutzen durchführen.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist ein Herstellungsverfahren für Anzeigefelder, das die vorgenannten Machteile vermeidet und eine einfachere, in diesen Arbeitsgängen autoraatisierbare, Produktion ermöglicht, wobei sich die Streubreite der elektrooptischen Betriebspararaeter verringert und der Gebrauchswert und insbesondere die Lebensdauer der Bauelemente erhöht werden.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung elektronischer Anzeigefelder anzugeben, welches eine automatisierbare Produktion gestattet und zu wirklich flachen Bauelementen mit hohem Gebrauchswert und hoher Lebensdauer führt.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß bei Verwendung eines speziellen Glaslotes, das unabhängig von der umgebenden Atmosphäre während des Lötprozesses seine glastechnischen, mechanischen und elektrischen Eigenschaften nicht verändert und nach dem Lötprozess gute Festigkeits- und Dichtigkeitseigenschaften gewährleistet und bei Benutzung einer entsprechend gestalteten, kontinuierlich arbeitenden, Fertigungseinheit, unmittelbar vor dem Zusammenfügen und Verlöten der Glasplatten bei definierter Atmosphäre, ein flächenhaftes Getter innerhalb des aktiven Volumens aufgebracht und das Anzeigefeld nun ohne weitere Zwischenbelüftung fertiggestellt wird,

Die definierte Atmosphäre kann durch Vakuum oder Füllgas, ζ. B. Edelgas, realisiert werden, wodurch ein gesonderter

Pump- und Füllprozeß entfällt.

Das den genannten Anforderungen genügende spezielle Glaslot kann z. B. folgende Zusammensetzung haben: 83 bis 87 % PbO, 10 bis 15 % B₂O₃, 0,5 bis 1,0 % SiO₂, 0,5 bis 1 % Al₂O₃.

AusfUhrungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.

Bei der Herstellung von Anzeigefeldern für Plasmabetrieb ist erfindungsgeraäß folgender Ablauf durchführbar, der für andere Anzeigefelder, z. B. mit Fluoreszenzanzeige, entsprechend gestaltet werden kann.

1. In den Rezipienten werden die mit den Elektrodenstrukturen und mit einem angeschmolzenen Glaslotrand versehenen Glasplatten eingebracht und in den Heizeinrichtungen geeignet befestigt. Dieser Prozeß kann, wenn der Rezipient als kontinui&rlich arbeitende Fer·· tigungseinheit ausgebildet ist, auch automatisiert verlaufen.

2. Als nächster Prozeßschritt wird der Rezipient evakuiert und mit einem Edelgas gefüllt, in dem mittels einer Hilfselektrode eine Glimmentladung zur oberflächlichen Reinigung der Glasplatten vorgenommen wird.

3. Für den Fall der Herstellung eines AC-Plasmadisplays mit Speicherung werden nun im Hochvakuum transparente Isolierschichten (z. B. bestimmte Gläser) und eine MgQ-Vergütungsschicht auf beiden Glasplatten aufgedampft. Dabei wird durch geeignete Wechselmasken der Rand der Glasplatten von der Bedampfung ausgenommen.

4. Ebenfalls im Hochvakuum wird anschließend aus einem anderen Verdampfer in den Zwischenraum zwischen aktiver Fläche und Glaslotrand bei Anwendung geeigneter Schattentnasken ein Getterspiegel aufgedampft. Dieses Getter hat eine große Oberfläche und ist dem Entladungsraum unmittelbar benachbart, so daß sich eine gute Getterwirkung ergibt.

5. Ohne Zwischenbelüftung werden dann die Glasplatten auf Löttemperatur gebracht, wobei der Rezipient mit einem Gasgemisch von für eine spätere ordnungsgemäße Funktion geeigneter Zusammensetzung und Druck gefüllt wird. Gleichzeitig werden beide Glasplatten einander bis auf den vorgeschriebenen Abstand angenähert, wobei eine Verschmelzung des erweichten Glaslotes mit beiden Glasplatten erfolgt. Es ist zweckmäßig, daß die Aufheizung der Glasplatten bereits bei den vorangehenden Prozeßschritten beginnt. Anschließend wird das fertige Anzeigefeld abgekühlt und dem Rezipienten entnommen .

Der Wechsel der Verdampfer sowie der Schattenmasken wird so vorgenommen, daß entweder die Glasplatten feststehend im Rezipienten und die Masken mit Verdampfern schwenkbar auf einem Karussel angebracht sind oder umgekehrt.

Claims (3)

1. Erfindungsanspruch

   1. Verfahren zur Herstellung flacher elektronischer Anzeigefelder, die aus zwei parallel zueinander angeordneten, mit strukturierten Elektroden und weiteren funktionell notwendigen Schichten versehenen Glasplatten bestehen, die einen mit Gasgemisch gefüllten oder unter Vakuum stehenden Zwischenraum hermetisch verschließen, gekennzeichnet dadurch, daS bei Verwendung eines speziellen Glaslotes, das beim Löten unabhängig von der umgebenden Atmosphäre ist, und bei Nutzung kontinuierlich arbeitender Fertigungseinheiten, unmittelbar vor dem Lötprozess bei definierter Atmosphäre ein flächenhaftes Getter innerhalb des aktiven Volumens aufgebracht und das Anzeigefeld nun ohne weitere Zwischenbelüftung fertiggestellt wird.
2. 2. Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die definierte Atmosphäre durch Vakuum oder Füllgas realisiert wird und dadurch ein gesonderter Pump- und Füllprozeß entfällt.
3. 3. Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß

   das Glaslot beispielsweise besteht aus 83 - 87 .% PbO, 10 - 15 % B₂O₃, 0,5 - 1 % SiO₂, 0,5 - 1 %