DD236659A3 - Fotoempfindliche dielektrische masse - Google Patents

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DD236659A3
DD236659A3 DD83247832A DD24783283A DD236659A3 DD 236659 A3 DD236659 A3 DD 236659A3 DD 83247832 A DD83247832 A DD 83247832A DD 24783283 A DD24783283 A DD 24783283A DD 236659 A3 DD236659 A3 DD 236659A3
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DD
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pactbop
ochobe
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positive photoresist
quinone diazide
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DD83247832A
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Irina P Stepanova
Vladimir A Sichanov
Natalja A Tichonova
Original Assignee
Ptnii Npo Elektronpribor
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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
  • Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)

Abstract

Die fotoempfindliche dielektrische Masse betrifft vorzugsweise die Elektronik und kann fuer die Herstellung von Dickschichtschaltkreisen Anwendung finden. Ziel der Erfindung ist die Erhoehung des Ausloesungsvermoegens der Masse. Die fotoempfindliche dielektrische Masse besteht aus bleihaltigem Glas und der Loesung eines positiven Fotowiderstands auf der Grundlage von o-Chinondiazidestern in einem organischen Loesungsmittel. Die Neuheit der Masse besteht darin, dass sie zusaetzlich die Loesung von Aethylzellulose in a-Terpineol enthaelt, und dass als Loesung des positiven Fotowiderstands auf der Grundlage von o-Chinondiazidestern in einem organischen Loesungsmittel die Loesung des positiven Fotowiderstands auf der Grundlage von o-Chinondiazidsulfoestern in Dioxan bei folgenden Anteil der Komponenten verwendet wird, Masseteile:Bleihaltiges Glas33,5-65,3Loesung des positiven Fotowiderstands auf der Grundlage vono-Chinondiazidsulfoestern in Dioxan(in Umrechnung auf die Trockensubstanz) 5,0-30,0Aethylzellulose 0,6- 3,0a-Terpineol10,9-28,2.

Description

OMCAHEE Η30ΒΡΕΤΕΗΗΗ K ABTOPCKOMy
: 22.06.81 3aHBKa: 3306279/24-07 MKH3: HOIB 3/08
ABTopH: PI.n.CTenaHOBa, B.A.ÜInxaHOB η H.A.TnxoHOBa 3aflBHTejiB*. ΠροβκτΗΟ-τβχΗΟΛΟΓΕΠίβοκζδ η
MHCTPITyT
Ha3BaHHe H30dpeTeHHH:
Κ0ΜΠ03ΗΙ5ΊΗ H3OopeTeHHe othochtch κ BJieKTpoTexHHKe η mosst Hat-
TH npHMeHeHHe , B ^aCTHOCTH, flJIH H3r0T0BJieHHH TOJICTOIIJie-HO-1IHHX MHKDOCXeM.
H3BeCTHa QOTO^iyBCTBHTeJIBHaH ÄHSJieKTpHTieCKaH ΚΟΜΠΟ-3ΗΠΗΗ n0JIHI'yiepH3anH0HH0r0 Tfflia B BHfle JiaCTH ÄJH TOJICTO-
X MHKpooxeM [l]. OHa cojiepsHT CBHHelicoÄepJKamee , nojiHT^epHoe cBH3yiomee Ha ocHOse nojnraKpEjiaTOB hjih TaKpHjiaTOB, nojiHMepEsaiiHOHHO-cnocooHHe MOHOMepn
pn^a, (XOTOHHHHHaTOp - ΜΘΤΗΙΙΟΒΗΑ 9φΞρ (JeH30H-, HHTHOHTOp - HHTpOSOflHMepHOe.ΟΟΘΑΗΗβΗΗθ, OKHCHOe COe-XpOMa H paCTBOpHTeJIB.
He^ocTaTKarvDs H3BecTH0l κογλπο3ηι]ΗΗ hbjihdtch ee mho-
ΓΟΚΟΜΠΟΗθHTHOCTB, yseJMTOBaEHIaH Tpy^OeiVIKOCTB npHTOTOBJie-HHH nacTH, η cpaBHHTeJiBHO HH3KaH pa3peuiaicmaH cnocodHOCTB. B jiy^iMx πρΞΒ/iepax ynaeToa nojiy^iHTB pa3Mep KanajiOB β cjioe ah 3JIeKTpHKa mappmot 75 mkm η öojiee.
ΠρΟΤΟΤΗΠΟΜ H3O(jpeTeHHH HBJIHeTCH φΟΤΟ^ΒΟΤΒΗΤβJIBHaH
SH3jieKTPH^eCKan κομπο3ηιιηη ähh nojiy^eHHH pejiBecoHoro H30öpaKeHHH β c.Tioe rjia3ypn, BKJiHHaKmaH 31-49 BecoBHX oBEtHeiiooflepscamero cTeKJia η 51-69 BecoBHX -qacTei
ΠΟ3ΗΤΗΒΗΟΓΟ (Ha OCHOBe 3φΗρθΒ O-XHHOH-ÄHa3H23;OB) HJIH HeraTHBHOrO ffi0T0pe3HCTa [2],
η3βθοτηομ κομπο3Ηπηη hbjihiotch ee njioxne peojioraraecKHe xapaKTepticTHKn (HH3Kafl bh3koctl) , hc-KJIBHaKHHe ΠΟΠΟJIB3OBaHHe ,HiJIH HaHe CeHHH 3T0H ΚΟΜΠΟ3ΗΗΗΗ nandojiee y^oOHoro MeTO^a Tpa$apeTHol ne^aTH, η Τ0-ΊΗ3Η pa3pemaE)mafl chocoohoctb pe β cJioe rjia3ypn (125 μκγλ).
•DejiL Η3θόρβτβΗΗΗ - ποΒΗπίβΗΗθ pa3pefflannet cnocooHOc-
TH Q]OTOtIyBCTBPITeJIBHOH · ΚΟΜΠΟ 3HnZH .
ÄOCTHraeTCH TeM, ·ίτο H3BecTHafl φο TpH^:ecKa£ κομπο3ηπηη, coaepsamas CBHHelico^epsaiiiee οτβΐυιο η pacTBop πο3ητηβηογο φοτορββπο-Topa Ha ocHOBe 9φπρθΒ 0-xHH0HflHa3Hjt0B β opraHiraecKOM pacTBopHTejie, ÄonojiHHTejii>HO co^epiiST pacTBop 9THJin;ejijnD-JI03H β o< -TepnHHeojie, a β Ka^ecTBe pacTBopa πο3ητηβηογο φ0Τ0ρθ3Η0Τ3 Ha OCHOBe 3φΗρθΒ 0-XHHOH^Ha 3HJ[OB B OpraHH- qecKOM. pacTBopHTejie OHa co^epKHT pacTBop πο3ητηβηογο ωο-T0pe3HCTa Ha OCHOBe CyJIBC|)O9<|lHpOB - O-XHHOHÄHäSHflOB B
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5,0-30,0 0,6-3,0
v>i -TepnHHeoji 10,9-28,2
CBHHeiicOÄepEamee cTemio HMeeτ cjie£yniTHl 45,5% ΡΔΟ , 29,5^ S/% , 18,5^ ZnQ t 4,Of0 TiQ
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TexHOjioras npnroTOBJieHHH npeflJioseHHoS
η π /. '?
TeJIBHOCTH ÄHBJieKTpiraeCKOH Κ0ΜΠ03ΗΗΗΗ JlJlH. ΠρΗΜβρΟΒ 1-8 o^HHaKOBa η coctoht β GJSsjsjmeM.
B φαρφοροΒΟπ tiaoiKe cMemzBaHJr npeßBapHTejiLHO npiro-TOBJieHHLiM pacTBop 3Tiijii];ejiJiEcui03H β o( -Tepntraeojie c pacT-BOpOM (e nepec^eTe Ha cyxoi οοτβτοκ) πο3ητεβηογο φοτορβ-β ÄHOKcaHe η ,nodaBJimoT CBHHeiicoflepjKaiiiee οτθκλο c
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Γ0 ΠΟΚρΗΤΗΗ 40 MKIvI.
BHCynieHHHM CJIOS ΦοτΟ^ΓΒΟΤΒΞΤΘΛΒΗΟΗ K0MII03HIjEII 9KC-
noHHpynr β Te^eHHe 2 MHHyT Ha ycTaHOBKe c pTyTHofi noi MomHocTBK 375 Bt ^epe 3 öoTOuiaOJiOH c pHCyHKOM ÄJLH ΟΠρβΑθΛΘΗΗΗ pa3pemaS)meH CnOCOOHOCTH, B KO-TOpHH BKJIK)^eHH JIHHHH fflPipHHOS -25-200 MKM H paCCTOflHHeM HHMH 25-300 BiKM. IlOCJie 3KCnOHHpOBaHHH CJIOt ΠρΟΗΒ-
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MH, npOMHBaiOT ^HCTHJIJIHpOBaHHOM BO^OH, CJ1TBaT ΠρΗ 250°C B Te^eHHe 30 MHHyT η BsnraioT β KOHBeilepHOö ne-qn npn MaK-CHMaJiBHoS TervinepaType 7500C. Πρπ btom β ^iHSJieKTpsraecKOM cjioe oopa3yT0TCH KaHaJiH mzpHHoi, n3MepeHHoi Ha mhkpockone η onpeflejiHioiiieM pa3pemaianyio ciiocoohoctb npejyiaraeMoS aOTO^qyBCTBHTeJlBHOH ΚΟ?ΛΠΟ3ΗΟΗΗ.
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ΠϋΞΜβρ, F I I PacTBop aTHjmejLjnojio: β oc -Tepnimeojie I TTTTCT /~*ΤΛΏΤ1^ V IAjJLXX. O Ud-LJ HeHHH) 4,23 46 !CBHHen- ! co^e p- !jitamee ! r f 15,0
2 BHlPaCTBOp Π03ΗΤΗΒΗ0- !ro ffiOTope3HCTa β !flHOKcaHe (b nepec- !•Ίβτβ Ha cyxot i 5,1 66,7 , jKOjnrqecTi .JBO, Γ ! 11,4
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4 7,1 3,57 63,5 13,5 18,63
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TeJILHOt Κ0ΜΠ03ΗΗΗΗ ΠΟ npHMepaM 1-8 H Κ0ΓνΙΠ03ΗΠΗΗ - ΠρΟΤΟ-THna, a TaKKe cpaBHHTeJiLHHe cBOiicTBa npHBeseHnHX cocTa-
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IIacTOoopa3HaH o^eHB bhcoko BH3KaH ΚΟΜΠΟ 3HEJiH, IipH
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KaK BHÄHO H3 πρκΒβΑβΗΗΗχ πρΗ?ίβρθΒ, npe&jiaraeMaji ^TO^iyBCTBHTejiLHaH /LiiajieKTpHHeCKaH ko^jioshiltih BMeeτ όο-jiee BBicoKyio no cpaBHeHHio c η3βθοτηοη paspemaioiiiyio cnocoo ooecne^HBannyio nojijnieHHe KaHaJioB β cjioe
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Ka niHpHHOH 50-65 mkm, h"to no3BOJiHeT hetb iuioTHOCTB pacnojiQseHHfl -ajieivieHTOB β MHKpocxeMax, τθμ caMHM noBHuian cTeneHB HHTerpannn KHX so TpeTBero ypoBHH. JaHHaH kop./dio3hhhh oojiajiaeT xopo ιπημη peojiorH^iecKBMia: xapaKTe pncTEKaMH, nossojiHioipn^H hcnOJIB3OBaTL TyiH HaHeceHHH ΚΟΜΠΟ3FTTWH HaHOOJiee τρβφβρβτΗΟ^ ne^iaTH, a TaKEe TpanHigaoHHoe ÄJIH nOJipieHHH TOJIOTOIUieHO^HHX MHKpOCXeM,

Claims (2)

  1. Η3ΟΒΡΞΤΕΗΗΗ
    pa^ecKafl κόμπο3HmM npen-MymecTBemio jyifl η3γοτοβλθηηη TOjicTonjieHO^iHHX ΜπκροοχβΜ, BKjiKHaMiiiaH" CBHHeiicoÄepsaniee cTeimo η pacTBop πο3ητηβηογο $0T0pe3HCTa Ha οοηοβθ 9φπρθΒ o-xHHOHsnasHÄOB β KOM pacTBopnTejie, OTjin^iaiomaflcJi τβΜ, C ΓζΘΛΒΙΟ ΠΟΒΒΠΠθΗΗΗ pa3pefflaE}Hiefi onOOOÖHOCTH, OHa TeJILHO COPßpKEI paCTBOp 3THJmeJIJIICüI03H B ö< a β Ka^e CTBe pacTBopa πο3ητηβηογο goOTope3HCTa Ha ocHOBe 3φΗρθΒ 0-XHHOH1HHa3BB0B B Opramne CKOM paCTBOp Π03ΗΤΗΒΗ0Γ0.φ0Τ0ρβ3Η0Τ3 Ha OCHOBe o-xHHOHflHa3Hji;oB β flsoKcaHe npn cJieiiyionieM coflepsaHHH komnoHeHTOB, BecoBHx ^acTefr:
    CBZHeiicoÄepsaiiiee cTemio 33,5-65,3
    PaCTBOp Π03ΗΤΖΒΗ0Γ0 Ö0T0pe3HCTa Ha OCHOBe CyJIBÄ03ÄZp0B 0-XHHOH-BHa3imoB β ,HHOEcaHe (b ne pe C^e-Te Ha cyxof ocTaTOK) 5,0-30,0
    3THjmejiJiiöJiO3a. ' 0,6-3,0
    C^ -TepmiHeoji 10,9-28,'2
    HCTO^IHHKH ΗΗφορίαΙίΕΗ, ΠρΗΗΗΤΗβ BO BHHMaHHe ΓφΗ
    1. 1IaTeHT CIIIA JS 39I4I28, KJiacc 96-115, 1974
  2. 2. EaTeHT CDIA te 3573908, miacc 96-34, 1974.
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