DD241500B5 - Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten - Google Patents

Anordnung zur Erzeugung eines Formstrahles in Korpuskularstrahlgeraeten

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DE102008062450B4 (de) 2008-12-13 2012-05-03 Vistec Electron Beam Gmbh Anordnung zur Beleuchtung eines Substrats mit mehreren individuell geformten Partikelstrahlen zur hochauflösenden Lithographie von Strukturmustern

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