DD273430A5

DD273430A5 - Verfahren und Einrichtung zur Beschickung von Flachglas

Info

Publication number: DD273430A5
Application number: DD31923688A
Authority: DD
Original assignee: Pilkington Plc
Priority date: 1987-08-28
Filing date: 1988-08-26
Publication date: 1989-11-15
Also published as: IE61804B1; AR243144A1; JPS6479040A; AU2109288A; EP0305102B1; FI883966L; CZ281365B6; MX172102B; UA25918A1; BR8804341A; ZA886053B; NO883827L; RU2087437C1; EP0305102A3; CA1334498C; PT88352A; NO883827D0; PT88352B; DE3879587D1; DE3879587T2

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch chemische Bedampfung, wobei ein Beschichtungsgas ueber eine heisse Glasflaeche in einer Beschichtungszone durch eine Ablenkvorrichtung, welche eine der Glasflaeche benachbart liegende Flaeche aufweist, vom Glas abgeleitet wird. Die Loesung zeichnet sich dadurch aus, dass ein Strom eines inerten Gases ueber die der Glasflaeche benachbart liegende Flaeche der Ablenkvorrichtung geleitet wird, wodurch die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Beschichtungsgas auf der Flaeche verhindert wird. Fig. 2

Description

Verfahren und Einrichtung zur Beschichtung von Flachglas Anwendungsgebiet der Erfindung,

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch chemisches Bedampfen sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrene·

Charakteristik des bekannten Standes der, Technik

Es ist bekannt, Flachglas mittels chemischer Bedampfung zu beschichten. In der GB-PS 1 507 996 wird ein Verfahren und eine Einrichtung beschrieben, wobei ein Beschichtungsgas auf die Oberfläche eines heißen Glasbandes strömt, und zwar von einer Einrichtung aus, die sich quer zur Oberfläche des zu

beschichtenden Glasbandes und quer zur Bewegungsrichtung despalber: erstreckt« so daß das Gas im wesentlichen parallel zum Glas unter laminaren Strömungebedingungen und gleichmäßig über die gesamte Breite der Oberfläche strömt· Es wird eine Schicht auf der heißen Glasoberfläche aufgebracht, und das verwendete Beechichtungsgae wird entlang eines Abzugskanals« der zwischen stromaufwärts- und stromabwärtsgelegenen Führungewänden gebildet wird» von der Glasoberfläche aus weg nach oben gerichtet· Ein Absaugrohr let im Bereich des oberen Endes des Abzugskanals für die Sammlung des aus diesem austretenden verwendeten Beschichtungsgases vorgesehen* es ist Jedoch nicht mit dem Abzugskanal verbunden·

Wenn das in der GB-PS 1 507 996 beschriebene Verfahren und die Einrichtung für die Ablagerung einer reflektierenden Siliciumachicht auf einem heißen Glasband angewendet wird, stellt sich heraus, daß sich nach einer bestimmten Betriebszeit eine

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siliciumhaltige Ablagerung auf der Unterseite dee stromabwärtegelegenen Fußes eines Führungsteils, das auf dem Weg des Beschichtungsga3es über dem Flachglas liegt und die Beschichtungszone am stromabwärtsliegenden Ende begrenzt und

das verwendete Gas vom Glas wegleitet· Diese Ablagerung berührt schließlich das Glas und zerstört die Schicht« die eich auf dem Gfe^e bildet« so daß der Beechichtungsprozeß unterbrochen, die Einrichtung über dem Glae entfernt und gesäubert werden muß, um die Ablagerung zu entfernen«

Ziel der Erfindung

Die Erfindung hat das Ziel, ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch chemisches Bedampfen sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrene so auszubilden, daß damit eine gleichmäßige Beschichtung des Flachglases über die gesainte Fläche bei einer langen Einsatzdauer der Einrichtung möglich ist.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch chemische Bedampfung, wobei ein Beschichtungegas über eine heiße Glasfläche in einer Beschichtungszone strömt und das Beschichtungegas am stromab«

wärtegelegenen Ende der Beschichtungszone durch eine Ablenkvorrichtung, welche eine der Glasfläche benachbart liegende Fläche aufweist, vom Glas weggeleitet wird, zu schaffen, bei der die Bildung von Ablagerungen im Bereich der Ablenkvorrichtung weitgehend verhindert wird»

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe daedurch gelöst«, daß ein Strom

eines inerten Gaseo über die der Glasfläche benachbart liegende Fläche der Ablenkvorrichtung geleitet wird, wodurch die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Beschichtungsgas verhindert wird.

Der inerte Gasstrom reduziert oder verhindert die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Beschichtungsgas« die sonst auf der der Glasfläche benachbart liegenden Fläche auftreten würde« Der Volumendurchfluß des inerten Gases über jener Fläche beträgt vorzugsweise 50 % des Volumendurchflusses des verwendeten Beschichtungsgasos, das am stromabwärtsliegenden Ende der Bsschichtungszone vom Glas weggeleitet wird«

Der Ausdruck "inertes Gas" wird hierin für die Bezeichnung eines Gases verwendet« das nicht selbst eine Ablagerung auf dem Glas bildet und keiner Reaktion unterliegt« die den Beschichtungeprozeß mit dem verwendeten Beschichtungsgas beeinträchtigt« Der inerte Gasstrom kann sich aus der Atmosphäre zusammensetzen« die die Beschichtungsvorrichtung« in der die Beschichtung vorgenommen wird« umgibt« Wenn eine Schicht auf einem heißen Glasband aufgebracht wird, das schwimmend auf einem Floatbad vorwärtsbewegt wird« so kann eich der verwendete inerte Gasstrom günstigerweise aus der Schutzgasatmosphäre des Floatbades zusammensetzen«

Oer inerte Gasstrom reduziert oder verhindert die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Gas, die sonst auf der der Oberfläche des Glases benachbart liegenden Fläche entstehen würde.

Vorzugsweise wird das verwendete Gas vom Glas weg länge eines

Absaugkanales geleitet« und es wird ein Strom eines inerten Gases über die Oberfläche der Ablenkvorrichtung und längs des Absaugkanales durch Unterdruck am Absaugkanal induziert·

Die Ablenkvorrichtung kann eine Fläche einschließen! die die stromabwärtsliegende Wand des Absaugkanales begrenzt« der sich an die dem Glas benachbarte Fläche anschließt· Öle Ablenkvorrichtung ist vorzugsweise so gestaltet« daß das inerte Gas

glatt über deren Flächen strömen kann, ohne daß sich das inerte Gas und das in der Beschichtungszone v(rwendete Beschichtungsgas mischen.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist für die Beschichtung von Flachglas durch chemisches Bedampfen geeignet· Der Ausdruck "chemisches Bedampfen" wird hierin zur Bezeichnung der Prozesse verwendet, mit denen die Beschichtung durch die Reaktion von einer oder mehreren Gasphasenquellen geschieht« Zum Beispiel kann das Beschichtungsgas ein Gas«, wie beispielsweise ein Metallcarbonyl sein, das pyrolisiert« um sich als Schioht auf de:n Glas abzusetzen, oder ein Gemisch aus Gasen, die miteinander reagieren« wie zum Beispiel Zinntetrachloriddampf und Wasserdampf, das sich als Schicht auf dem Glas absetzte Das Beschichtungsgas kann einen nicht reaktionsfähigen Bestandteil, wie beispielsweise Stickstoff, als Träger besitzen«

Das Vorfahren hat sich als besonders geeignet herausgestellt für den Fall·» daß ein silanhaltiges Gas für das Aufbringen einer Schicht auf das heiße Glas verwendet wird« Silanhaltige Gase können für den Niederschlag einer an sich bekannten reflektierenden Schichte wie ⁸ⁱe in den GB-PS 1 507 465 und GB-PS 1 507 996 beschrieben sind, oder einer siliciumhaltigen und sauerstoffhaltigen Schicht, die eine hohe Lichtdurchlässigkeit

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besitzt und als Sperrschicht für die Verhinderung der Abwanderung von Alkalimotallionen aus dem Glas nützlich ist, verwendet wordene Die Bildung bestimmter derartiger Sperrschichten wird in der GB-PS 2 163 146 A beschrieben.

In weiterer Ausbildung der Erfindung wird eine Einrichtung für die Beschichtung von Flachglas durch (fomische Behandlung, wobei die Anlagerung einer Schicht aus exnem Beschichtungegas erfolgt, geschaffen« die eine Auflage für das zu beschichtende Glas, eine Vorrichtung für die Weiterleitung des Glases auf der Auflage, einen Gaszuführungskanal, der eich quer zum Weg, auf dem sich das Glas fortbewegt, erstreckt und so angeordnet ist, daß ein Beschichtungsgas auf die Oberfläche des heißen Glases in einer Beschichtungszone geleitet wird, eine Ablenkvorrichtung, welche eine der Glasfläche benachbart liegende Fläche für die Ableitung des verwendeten Beschichtungsgases weg vom Glas am stromabwärtsgelegenen Ende der Beschichtungszone, einen Absaugkanal für den Abzug des verwendeten Beschichtungsgases weg von der Glasfläche und eine Absaugvorrichtung für die Entfernung des verwendeten Beschichtungsgases aus dem Absaugkanal umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugvorrichtung mit dem Absaugkanal verbunden ist und die der Glasfläche benachbart liegende Fläche der Ablenkvorrichtung sich in einem vorbestimmten Abstand von der Ober·" fläche des Qases befindet, wodurch mittels der Absaugvorrichtung ein inerter Gasstrom über die Fläche loitbar ist.

Die Ablenkvorrichtung schließt vorzugsweise eine Fläche ein, die die 3tromabwärtegelegene Wand des Abeaugkanales, der sich an jene der Glasfläche benachbart liegende Fläche anschließt, begrenzt und die εο ausgebildet ist, daß sie eine ungehinderte Strömung des inerten Gases gewährleistet, ohne daß eine Mischung des inerten Gases und des verwendeten Beschichtungsgases

in der 3e8chichtungpzone erfolgt.

Die dem Glas benachbart liegende Fläche befindet eich vorzugsweise im wesentlichen parallel zur Oberfläche des Glases und vorzugsweise in oinoi' Entfernung von mindestens 5 mm von dieser entfernt« Dieses erleichtert das Strömen der Außenatmosphäre zwischen der Oberfläche des Glases und der dem Glas benachbart liegenden Fläche« wobei die Atmosphäre als

inertes Gas dient, das über diese Fläche strömt und die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Beschichtungsgas auf dieser verhindert.

Bei einer bevorzugten erfindungsgemäßen Ausführung umfaßt die Einrichtung einen mittleren Formblock sowie ale ein erstes

und ein zweites Seitenteil ausgebildete Formblöcke, die neben dem mittleren Formblock angeordnet sind und zusammen einen im wesentlichen U-förmigen Führungskanal für das Beschichtungsgas bilden, wobei zwischen dem ersten Seitenteil und der otromaufwärtsgelegenen Seitenwand des mittleren Formblocks, zwischen der Unterseite des mittleren Formblocks und der Oberfläche des Glases sowie zwischen der stromabwärtsgelegenen Seitenwand des mittleren Formblocks und dem zweiten Seitenteil der Führungskanal begrenzt ist, und der zwischen der strom· abwärtsgelegenen Seitenwand des mittleren Formblocke und dem zweiten Seitenteil gelegene Teil des Führungskanals den Absaugkanal bildet.

Vorteilhaft ist es_v wenn die Unterseite des das zweite Seitenteil bildenden Formblocks in der Nachbarschaft des Glases von der Oberfläche des Glases durch einen Abstand getrennt ist,, der etwa gleich der Höhe des U-förmigen Führungskanal zwischen der Unterseite des mittleren Formblocks und der Oberfläche dee Glases ist und wenn der Abstand dabei wenigstens 5 mm beträgt.

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Auaführungebelapiele

Die Erfindung wird an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert.» In der zugehörigen Zeichnung zeigen:

Fig. 1: die Vorderansicht im Schnitt durch eine Einrichtung zur Herstellung von Flachglas mit einer quer zur Bewegungsrichtung des Flachglasbandes angeordneten Vorrichtung zum Beschichten desselben;

Fig. 2j die Vorderansicht im Schnitt der Vorrichtung zum Beschichten im vergiößerten Maßstab gemäß Fig. 1;

Fig. 3: die Seitenansicht eines Teiles der Vorrichtung zum Beschichten gemäß Fig. 1 und Fig. 2 in Richtung des Pfeiles III in Fig« 2;

Fig. 4: die Vorderansicht einer Vorrichtung zum Absaugen in Richtung des Ffeiles IV in Fig, 2;

Fig. 5i die Vorderansicht einer Vorrichtung zum Reinigen der Schlitze in der Vorrichtung nach Fig. 4;

Fig. 6: einen Schnitt längs der Linie VI-VI in Fig« 5«

In Fig« 1 ist eine Vorrichtung zur Herstellung von Flachglas in Form einer Floatglasanlage dargestellt«, bei der eine Glasschmelze 1 einem Bad 2 aus geschmolzenem Zinn oder aus einer geschmolzenen Zinnlegierung, die sich in einem Behälter 3 befindet, zugeführt wird« Ein Glasband 4, welches schmaler ist als das Bad 2 aus geschmolzenem Metall, wird auf der· ßad 2 gebildet und von diesem getragen. Das Glasband 4 wird entlang

des Bades 2 fortbewegt und von diesem über angetriebene Zugrollen 5, die nach dem Austritt 6 des Bades 2 angeordnet sind, abgezogen. Eine Schutzgasatmosphäre aus beispieleweise 95 % Stickstoff und 5 % Wasserstoff befindet sich in einem Raum 7 über dem Bad 2« Sie wird durch Rohre 8, die sich abwärts durch die Decke 9 des Behälters 3 erstrecken und mit einem gemeinsamen Verteilerrohr 11 verbunden sind, zugeführt. Entlang dem Bad 2 wird ein Temperaturgefälle von einer Tem- peratur von etwa 1000 ⁰C am Eintritt 12 doe Behälters 3 bis zu einer Temperatur im Bereich von 570 ⁰C bis 650 C an seinem Austritt 6, wo das Glasband 4 abgezogen wird, aufrechterhalten»

Eine Beschichtungsvorrichtung 14 für die Zuführung eines Beechichtungsgases zur Oberfläche des Glaebandea 4 ist quer über dem Weg« auf dem sich das Glasband 4 im Behälter 3 in Richtung seines Austrittes 6 auf dem Bad 2 bewegt« angeordnet. Die Beschichtungsvorrichtung 14 erstreckt sich somit quer zur oberen Fläche des Glasbandea 4 und quer zu seinem Fortbewegungeweg.

Wie in Fig. 2 dargestellt,ist, umfaßt die Beschichtungsvorrichtung 14 eine Gasverteilervorrichtung, die einen umgekehrt U-förmig ausgebildeten Kanal 21 mit Seitenwänden 22 j 23 und einer Decke 24 aufweist. Der Kanal 21 wird durch eine senkrechte Trennwand 25, die an seiner Decke 24 befestigt,, beispielsweise angeschweißt ist, geteilt. Ein Teil 26 ist unten an der Seitenwand 23 waagerecht befestigt und erstreckt sich von da aus nach innen und außen; der sich nach innen erstreU-kende Anschnitt des Teiles 26 bildet mit der Trennwand 25₃ der Seitenwand 23 und der Decke 24 einen rechtwinkligen Kanalteil 27. Die waagerechten Teile 28; 29 erstrecken sich von

der Seitenwand 22 beziehungsweise der Trennwand 25 nach innen und begrenzen zwischen 9ich ein Langloch 30« Ein kleineres umgekehrt U-förmig ausgebildetes Kanalteil 31 liegt in der Mitte zwischen der Seitenwand 22 und der Trennwand 25, wobei es mit den Stirnseiten seiner Seitenwände an den waagerechten Teilen 28; 29 befestigt ist.

Der Kanal 21 und der Kanalteil 31 begrenzen zwischen sich zusammen mit den Teilen 28; 29 einen U-förmig ausgebildeten Kanaltail 32 for dio Durchleitung einer Kühlflüssigkeit, Der Kanalteil 27 dient als Rücklauf für die Kühlflüssigkeit. Die Innenfläche des Kanalleiles 31 begrenzt zusammen mit den abgeschrägten Enden der waagerechten Teile 28; 29 einen Raum, der über das Langloch 30 mit einer Gasstromdrossel 34 in Verbindung steht«

Die an sich bekannte Gasstromdrossel 34 ist in der GB-PS 1 507 996 näher erläutert. Sie umfaßt eine Vielzahl von Metallstreifen, die in Längsrichtung in Form von Sinuswellen gekräuselt sowie senkrecht nebeneinander angeordnet sind und sich über die gesamte Länge der Beschichtungsvorrichtung 14, das heißt quer zum Weg des Glasbandes 4, erstrecken« Die benachbarten gekräuselten Metallstreifen sind phasenverschoben zueinander angeordnet, damit sich eine Vielzahl von senkrechten Kanälen zwischen ihnen ergibt. Diese Kanäle haben eine kleine Querschnittsfläche im Vergleich zur Querschnittsfläche des Raumes 33 des Kanalteiles 31, durch den Beschichtungsgas zugeführt wird, so daß der Druckabfall, wenn Beschiel».ungsgas unter Druck in den Raum 33 eingespeist wird, längs desselben, verglichen mit dem Druckabfall durch die vertikalen Kanäle, klein ist und die Gasstromdrossel 34 das Beschichtungegas aus dem Kanalteil 31 mit einem im wesentlichen gleichförmigen Druck entlang dem Kanal 21 freisetzt·

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Die drei stromaufwärts-, zentral- und stromabwärtsgelegenen Formblöcke 35; 36} 37, vorzugsweise aus Graphit, erstrecken sich über die Breite dee zu beschichtenden Glasbandes 4. Der stromaufwärtsgelegene Formblock 35 ist mittels nicht dargestellter Bolzen am waagerechten Teil 28 befestigt, wogegen der zentralgelegene Formblock 36 durch nicht dargestellte Bolzen an den waagerechten Teilen 26 ; 29 befestigt ist. Der stromabwärtsgelegene Formblock 37 ist mittels Bolzen 48 befestigt, die durch Distanzstücke 40 (Fig_e 2 und 3) hindurchgehen und auf diese Weiso entlang der Beschichtungsvorrichtung 14 in einem vorbestimmten Abstand zu den Blöcken 38, welche vorzugsweise aus Stahl bestehen, und an der Außenfläche der Seitenwand 23 des Kanals 21 befestigt, vorzugsweise angeschweißt sind, angeordnet ist«

Eine obere Reihe von in einem vorbestimmten Abstand zueinander angeordneten Blöcken 39, vorzugsweise aus Stahl, ist auf die Außenseite der Seitenteile 23 des Kanals 21 oberhalb der unteren Blöcke 38 befestigt. Ein weiterer Formblock 41, vorzugsweise aus Graphit, ist auf der hinteren oberen Kante des mittleren Formblocks 36 angeordnet und durch Bolzen 49 an den unteren Blöcken 38 befestigt. Ein weiterer Formblock

42, vorzugsweise au3 Graphit, schließt sich an den Formblock 41 an und ist mittels Bolzen 50 an den oberen Blöcken 39 befestigt. Die Formblöcke 41; 42 erstrecken sich parallel zur Breite des zu beschichtenden Glasbandes 4. Die Formblöcke 35; 37 bilden ein erstes und ein zweites Seitenteil, welche zusammen mit dem mittleren Forinblcck 36 einen im wesentlichen U-förmigen Führungskanal 47a; 47b; 47c für das Beschichtungsgas begrenzen, das vom Raum 33 des Kanalteiles 31 durch die Gasstromdrossel 34 zwischen dem Formblock 35 und der stromaufwärtsgelegenen Seite des mittleren Formblocks 36,zwiscben

der Unterseite des mittleren Formblocke 36 und dem Weg des Glasbandes 4 sowie zwischen der st romabwärtsgelogenen Seite des mittleren Formblocks 36 und dem Formblock 37 strömt« Der Führungskanal 47b, welcher durch die Unterseite des mittleren Formblocks 36 und das Glasband 4 abgegrenzt wird, stellt die Beschichtungszono dar* Der Formblock 37 hat eine Unterseite 43 gegenüber und neben der oberen Fläche des Glasbandes 4, auf der sich in Abwesenheit eines erf indungegeigäßen inerten Gasstromes aus dem Beschichtungsgas eine Ablagerung bilden würde* Der Formblock 37 weist weiterhin eine konvex gekrümmte Fläche 45 auf, die sich an die Unterseite 43 anschließt und den unteren Teil der stromabwärtsgelegenen Wand des Führungskanals 47c begrenzt.

Die Formblöcke 41; 42 begrenzen gemeinsam mit dem stromabwärtsgelegenen Formblock 37 eine Fortsetzung 44 des Führungskanals 47c und bilden mit diesem gemeinsam den Absaugkanal für das Beschichtungsgas* Die Beschichtungsvorrichtung 14 umfaßt weiterhin eine Absaugvorrichtung 60, die anschließend an die Fortsetzung 44 des Führungskanals 47c angeordnet ist» Sie dient zum Absaugen des Beschichtungsgases aus dem Absaugkanal«

Die Beschichtungsvorrichtung 14 weist auch Endblöcke, vorzugsweise aus Graphit, auf, die sich mit den Seitenflächen der Formblöcke 35; 36; 37,· 41 j 42 in Berührung befinden, und die Seiten der Führungskanäle 47a; 47b; 47c seine Fortsetzung 44 begrenzen und so das Entweichen von Beschichtungsgas an den Enden der Gasverteilervorrichtung verhindern.

Die Absaugvorrichtung 60 (siehe Fig« 2 und 4) weist ein quadratisches hohles Profilteil 61« vorzugsweise aus Stahl« auf«

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dessen Seiten 62; 63 geschlossen sind und in dessen Vorderseite ein Schlitz 64 angeordnet ist«, An dieser Vorderseite sind waagerechte Führungsteile 56; 57 mit senkrechten Flanschen 58; 59 befestigt« die an die senkrechten Flächen der Formblöcke 37; 42 anliegen« Sie sind dabei oberhalb und untetalb des Schlitzes 64 befestigt und bilden dadurch einen Gasströmungskanal 55« der eine weitere Fortsetzung des Abzugskanals bis zu dem Schlitz 64 im Profilteil 61 bildet« Durch die Flanschverbindung zwischen der Gasverteilervorrichtung und der Absaugvorrichtung wird ein Entweichen des Beschichtungsgases aus der Beschichtungsvorrichtung 14 vermieden.

Ein rechtwinkliges hohles Profilteil 65 (Fig_e 2) mit einem Schlitz 54« der in dessen Vorderseite geschnitten ist und den Pegel mit den Enden des Schlitzes 64 begrenzt, ist mittels Stäben 66 mitig im Profilteil 61 angeordnet« Waagerechte Platten 67; 68 sind oberhalb und unterhalb der Schlitze 64; an der inneren Vorderseite des Profilteils 61 und auf der

äußeren Vorderseite des Profiltsils 65 befestigt. Eine waagerechte Platte 69 ist zwischen der äußeren hinteren Seite des Profilteils 65 und der inneren hinteren Seite des Profilteils 61 angeordnete Das Profilteil 65 bildet zusammen mit den Platten 68; 69 die Oberseite eines unteren Kanals 70 für eine das Profilteil 61 durchströmende Kühlflüssigkeit. Das Profilteil 65 mit den Platten 67; 69 begrenzt die Untv3rseite eines oberen Kanals 71 für den Rückstrom der Kühlflüssigkeit₀ Ein Einströmkanal 72 und ein Aueströmkanal 73 schließen sich an die Kanäle 70; 71 an.

Das rechtwinklige hohle Profilteil 65 bildet einen flüssigkeitsgekühlten« vorzugsweise wassergekühlten« Gasabsaugkanal

entlang der Breite der Beschichtungevorrichtung 14 und ist durch die Abzugskanäle 75; 76 (Fig. 4) mit einer nicht dargestellten Niederdruckvakuumpumpe verbunden«

Wie in Fig, 4 dargestellt, wird dor Schlitz 64 in dem Profilteil 61 durch in einem bestimmten Abstand voneinander angebrachten Abdeckplatten 77 an der Vorderseite des Kanals unterteilt und damit eingeengt« Die Abdeckplatte!! 77 werden in Richtung zur Mitte des Schlitzes 64 schmaler und lassen Öffnungen frei« um sicherzustellen, daß soweit wie möglich ein gleichförmiger Saugeffekt entlang der Länge der Absaugvorrichtung 60 erzielt wird, wenn an die Abzugskanäle 75 und ein Unterdruck angelegt wird. Waagerechte Streifen 78; 79 sind auf der Vorderseite des Profilteils 61 oberhalb und unterhalb der Abdeckplatten 77 befestigt« und Trägerpletten mit Schlitzen 81 sind über den Öffnungen zwischen den Abdeckplatten 77 im Schlitz 64 angeordnet. Die Schlitze 81 ermöglichen eine Gasströmung aus dem Absaugkanal zwischen den Formblöcken 35) 36; 37; 41; 42 und den waagerechten Führungstellen 56; 57 durch den Schlitz 64 in einen Kanal 82. der zwischen den waagerechten Platten 67; 68 im Profilteil 61 abgegrenzt ist und somit in den Gasabsaugkanal 74 im rechtwinkligen hohlen Profilteil 65.

Bei der praktischen Anwendung neigen die Schlitze 81 in den Trägerplatten 80 dazu, sich durch Feststoffablagerungen aus dem verwendeten Beschichtungsgas teilweise zuzusetzen. Zur Beseitigung derartiger Ablagerungen sind die Schlitze 81 mit Stiften 83 versehen, die so angeordnet sind, daß sie sich in den Schlitzen 81 hin- und herbewegen können. Oeder der Stifte 83 ist in einem Block 84 angeordnet (siehe Fig. 2, 5 und 6), und sie erstrecken sich durch die entsprechenden Schlitze

Die Blöcke 84 sind durch obere und untere waagerechte Streifen 85; 86, vorzugsweise aus Stahl, miteinander verbunden. Die Streifen 85; 86 sind zwischen der inneren Vorderseite des Profilteils 65 (siehe Fig, 2) und einer Halterung, bestehend aus einer oberen und einer unteren waagerechten Platte 88; 09, die durch die senkrechten Stäbe 90 im Profilteil 65 in einem Abstand zueinander gehalten werden, angeordnet· Die waagerechten Streifen 85; 86 sind mit Griffen 91; 92 verbunden« die außerhalb der Seiten 62; 63 des Profilteils 65 liegen (Fig* 4)· Die Hin- und Herbewegung der Streifen 85; 86 innerhalb des Profilteils 65 mit Hilfe der Griffe 91; 92 bewegt die Stifte 83 innerhalb der Schlitze in den Trägerplatten 8C hin und her und entfernt alle Faststoffablagerungen aus den Schlitzen 81 und verhindert somit jdede Blockierung, die sonst auftreten könnte* Die Absaugvorrichtung 60, die an eine nicht dargestellte Niederdruckvakuumpumpe engeschlossen ist, dient, wie bereits dargelegt, dem Absaugen von Beschichtungsgas durch den Absaugkanal, wobei die Absaugvorrichtung 60 es durch die Abdeckplatten veränderlicher Länge ermöglicht, daß ein gleichmäßiger Absaugeffekt parallel zur Breite des Absaugkanals erreicht wird.

Deder der Formblöcke 35; 37, wie auch der mittlere Formblock 36 befindet &ich in einem vorbestimmten Abstand von der Oberfläche des sich auf dem F.id 2 bewegenden Glasbandes 4· Der optimale Abstand zwischen der Unterseite 43 des Formblocks und der Oberfläche des Glasbandes 4 ist je nach dem verwendeten Beschichtungsgas und den Beschichtungsbedingungen verschieden, er b&trägt jedoch gewöhnlich wenigstens 5 mm, damit zwischen der Unterseite 43 und der Glasoberfläche ein Badatmosphärenstrom gezogen werden kann.

Bei der in Fig. 2 dargestellten Beechichtungsvorrichtung endet das zweite aus dem Formblock 37 bestehende Seitenteil kurz vor der Oberfläche des Glasbandes 4« und zwar in einem Abstand, der etwa der Höhe des Führungakanals 47b in der Beschichtungszone zwischen der Unterseite des mittleren Formblocks 36 und der Oberfläche des Glasbandes 4 entspricht. Somit entspricht die Rate des Volumendurchflusses des inerten Gases im Bereich der Unterseite 43, zwischen dieser und der Oberfläche des Glasbandes 4, in den Führungskanal 47c des Absaugkanals hinein« der Rate des Volumendurchflusses des Beschichtungsgases durch den Führungskanal 47b in den Führungskanal 47c.

Im praktischen Einsatz wird die Zuführungsrate dea Beschichtungsgases so eingestellt, daß ein laminarer Durchfluß des Beschichtungsgases parallel zur Oberfläche des Glasbandes 4 unter dem mittleren Formblcck 36 gewährleistet ist. Gleichzeitig wird die Höhe des Formblocks 37 zusammen mit dem durch die Absaugvorrichtung 60 zum Absaugkanal einwirkenden Unterdruck so gewählt, daß ein Badatmosphärenstrom zwischen der Unterseite 43 des Formblocks 37 und dem Glasband 4 abgesaugt

wird« Die Krümmung der Fläche 45_r bei der es sich um die Fortsetzung der Unterseite 43 handelt, ist ähnlich, und ein annäherndes Spiegelbild der Krümmung der stromabwärtsgelegenen Wand des mittleren Formblocks 36 und sorgt für eine laminare Strömung der Badatmosphäre darüber hinweg, ohne daß sich das verwendete Beschichtungsgas mit der Badatmosphäre in dor Beschichtungszone oder im unteren Teil des Absaugkanals mischt« was die gleichmäßige laminare Strömung des Beschichtungsgases parallel zur Oberfläche des Glasbandes 4 unter dem mittleren Formblock 36 stören und eomit die Gfeichmäßigkeit der aufzutragenden Schicht beeinträchtigen könnte.

Die Schlitze 81 >:um Absaugen des verwendeten Besohichtungsgases in der Absaugvorrichtung 60 sind in einem solchen Abstand zueinander angeordnet, daß sichergestellt wird« daß ein im wesentlichen gleichmäßiger Unterdruck auf den Absaugkanal parallel zur Breite des zu beschichtenden Glasbandes einwirkt, so daß über die gesamte Breite des Glases eine

gleichmäßige Beschichtung erreicht wird« Erforderlichenfalls werden die Griffe 91 j 92 zur Bewegung der Stifte 83 in den Schlitzen 81 so hin- und herbewegt, daß Feststoffablagerungen aus dem Beschichtungsgas, die die Schlitze 81 zusetzen, verhindert werden« Die erfindungsgemäbe Lösung ermöglicht es, den Beschichtungsprozeß über längere Zeiträume hinweg durchzuführen, ohne daß es erforderlich wird, diesen fortgesetzt zu unterbrechen, um die Feststoffablagerungen von der Oberfläche der Ablenkung, die das verwendete Beschichtungsgas von der Glasoberfläche weg leitet, zu entfernen« Zum Beispiel wurde die beschriebene Einrichtung für das Beschichten von 6-mm-Floatglas mit einer Siliciumschlcht siebzehn Stunden lang ununterbrochen betrieben, ohne daß es erforderlich war, den Prozeß zu unterbrechen und die Ablagerungen des Siliciums aus der Einrichtung zu entfernen«

Obwohl die erfindungsgemäße Lösung anhand eines Ausführungsbeispieles unter Bezugnahme auf ein Verfahren beschrieben wird, bei dem das Beschichtungsgas cijzu veranlaßt wird, parallel zum zu beschichtenden Glas unter laminaren Strömungebedingungon zu strömen, versteht es sich von selbst, daß sie

auch unter Anwendung anderer Verfahren zur Glasbeschichtung eingesetzt werden kann, bei denen das verwendete Beschichtungsgas am Ende einer Beschichtungszone von der Glasoberfläche weggeleitet wird« Der Ausdruck "verwendetes Beschlchtungsgas" wird hierin zur Bezeichnung eines Gases bermitzt,

dae für die Beschichtung dee Glaees verwendet wird« Diea setzt nicht voraus, daß alle reaktiven Bestandteile im Gas notwendigerweise Verwendung finden,, und tatsächlich kann das durch den Absaugkanal entfernte verwendete BescMchtungs· gas beträchtliche Mengen an nicht verbrauchten Beschichtungs· bestandteilen enthalten«,

Claims

Patentansprüche

1., Verfahren zur Beschichtung von Flachglas durch chemische Bedampfung« wobei ein Beschichtungsgas über eine heiße Glasfläche in einer Beschichtungszone strömt und das verwendete Beschichtungsgas am stromabwörtsgelegenen Ende der Beschichtungszone durch eine Ablenkvorrichtung« welche eine der Glaaflache benachbart liegende Fläche aufweist« vom Glas abgeleitet wird« dadurch gekennzeichnet« daß ein Strom eines inerten Gases über die der Glasfläche benachbart liegende Fläche der Ablenkvorrichtung geleitet wird, wodurch die Bildung einer Ablagerung aus dem verwendeten Beschichtungsgas auf der Fläche verhindert wird«
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das inerte Gas sich aus der Atmosphäre zusammensetzt, die die Beschichtungevorrichtung umgibt, mit der die Beschichtung aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2« dadurch gekennzeichnet« daß die Beschichtung auf einem Floatglasband aufgebracht wird« während dieses über ein Floatbad vorwärtsbewegt wird, und der Strom des inerten Gases aus der Schutzgasatmosphäre des Floatbades besteht«

4» Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Bsschichtungsgas entlang eines Absaugkanales vom Glas weggeleitet wird und ein Strom eines inerten Gases über der Fläche der Ablenkvorrichtung und längs des Absaugkanales mit Hi7'e von Unterdruck, der auf den Absaugkanal einwirkt, induziert wird«
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet« daß die Ablenkvorrichtung eine Fläche einschließt, die die stromabwärtsgelegene Wand des Absaugkanals begrenzt, der sich an die dem Glas benachbarte Fläche anschließt* und die Ablenkvorrichtung so gerormt ist« daß der Strom des inerten Gases glatt über jene Flächen der Ablenkvorrichtung strömt, ohne daß sich das inerte Gas und das verwendete Beschichtungsgas in der Beschichtungszone mischen«

fi. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Beschichtungsgas ein Silan enthält.

7· Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Oa3 mit einer reflektierenden Siliciumschicht beschichtet wird·

8« Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Glas mit einer Schicht, die aus Silicium und Sauerstoff besteht, eine hohe Lichtdurchlässigksit besitzt' und sich als Sperrschicht zur Verhinderung der Wanderung von Alkalimetallionen aus der Glasoberfläche eignet, beschichtet wird·
0. Einrichtung zur Beschichtung von Flachglas durch chemische Behandlung, wobei die Ablagerung einer Schicht aus einem Beschichtungsgas erfolgt, die eine Auflage für das zu beschichtende Glas,, eine Vorrichtung für die Fortbewegung des Glases auf der Auflage, einen Gaszuführungekanal, der sich quer zum Weg, auf dem sich das Glas fortbewegt, erstreckt und so angeordnet ist, daß ein Beachichtungsgaj auf die Oberfläche des heißen Glases in einer

Beschichtungezone geleitet wird, eine Ablenkvorrichtung« welche eine der Glasfläche benachbart liegende Fläche für die Ableitung des verwendeten Beschichtungsgaseo weg vom Glas am st romabwärtagelegenen Ende der Beschichtungszone« einen Absaugkanal für den Abzug dee verwendeten Beschichtungsgases weg von de^Gieeif lache und eine Absaugvorrichtung für die Entfernung des verwendeten Beschichtungsgases aus dem Absaugkanal umfaßt, dadurch gekennzeichnet« daß die Absaugvorrichtung (60) mit dem Absaugkanal verbunden ist und die der Glasfläche benachbart liegende Fläche der Ablenkvorrichtung sich in einem vorbestimmten Abstand von der Oberfläche des Glases befindet« wodurch mittels der Absaugvorrichtung (60) ein inerter Gasstrom über die Fläche leitbar ist«
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet« daß die Ablenkvorrichtung eine Fläche einschließt« die die stromabwärtsgelegene Wand des Absaugkanales, der sich an jene der Glasfläche benachbart liegenden Fläche anschließt« begrenzt« und die so auegebildet ist« daß sie eine ungehinderte Strömung des inerten Gases gewährleistet« ohne daß eine Mischung des inerten Gases und des Beschichtungsgasee in der Beschichtungszone erfolgt«
11. Einrichtung nach Anspruch 9 oder Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die dem GOaθ benachbart liegende Fläche mindestens 5 mm von der Oberfläche des Glases entfernt ist·
12. Einrichtung gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11« gekennzeichnet durch einen mittleren Formblock (36) und als ein erstes und ein zweites Seitenteil ausgebildete Fonnblöcke (35; 37), die neben dem mittleren Formblock (36) angeordnet

sind und zusammen einen im weaontlichen U-förmigen Führungskanal (47a; 47b} 47c) für das Beschichcungsgas bilden, wobei zwischen dem ersten Seitenteil und der stromaufwärtsgelegenen Seitenwand des mittleren Formblocks (36), zwischen der Unterseite des mittleren Formblocks (36) und der Oberfläche des Glases sowie zwischen der stromabwärtsgelegonen Seitenwand des mittleren Formblocks (36) und dem zweiten Seltenteil der Führungskanal (47a; 47b; 47c) begrenzt ist» und der zwischen der stromabwärts· gelegenen Seitenwand des mittleren Formblocks (36) und dem zweiten Seitenteil gelegene Teil des Führungskanals (47c) den Absaugkanal bildet«

13· Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Unterssite (43) des das zweite Seitenteil bildenden Formblocks (37) in der Nachbarschaft des Glaees von der Oberfläche des Glaees durch einen Abstand getrennt ist, der etwa gleich der Höhe des U-förmigen Führungskanals (47b) zwischen der Unterseite des mittleren Formblocks (36) und der Oberfläche des Glases ist.

14· Einrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand wenigstens 5 mm beträgt·

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