DD279979B5

DD279979B5 - Vorrichtung fuer die Ultraschallkontaktierung

Info

Publication number: DD279979B5
Application number: DD30014887A
Authority: DD
Inventors: Manfred Dipl-Ing Bansemir
Original assignee: Css Semiconductor Equipment Gm
Priority date: 1987-02-25
Filing date: 1987-02-25
Publication date: 1994-07-21
Also published as: HU199037B; HUT49238A; FR2611155B3; US4792079A; DE3739957A1; CH673727A5; FR2611155A1

Description

Hierzu 3 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung für die Ultraschali-Drahtkontaktierung, mit der Kontaktstellen mittels Ultraschallschweißen und Drahtbrücken verbunden werden können, beispielsweise Anschlußstellen auf Bauelementeträgern mit den Bondinseln von Halbleiterchips.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

Bei den bekannten Vorrichtungen für die Ultraschali-Drahtkontaktierung wird in der Regel der Draht durch eine hinter der Schweißfläche einer Sonotrode angeordnete schräge Bohrung in Längsrichtung des Ultraschallschwingers zugeführt und geschweißt. Dieses übliche Arbeitsprinzip verlangt, daß vor der Ausführung jeder Drahtbrücke die Verbindungsrichtung ihrer zwei Anschlußstellen mit der Achsrichtung des Ultraschallschwingers in Übereinstimmung gebracht werden muß. Dazu kann entweder die Bauteilaufnahme oder ein den Ultraschallschwinger enthaltender Bondkopf in die erforderliche Richtung eingestellt werden. Bei automatisch arbeitenden Vorrichtungen ist für bestimmte Anwendungsgebiete, z. B. für die Bearbeitung sogenannter Hybrid-Bauelemente die Realisierung durch Einstellen des Bondkopfes vorteilhaft. Bekannte Vorrichtungen dieser Art besitzen einen um eine vertikale, annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode verlaufende Achse drehbaren Bondkopf, der in der Regel auch eine vertikale Hubbewegung ausführen kann. Alle bekannten Ausführungen besitzen außerdem eine in der Nähe der Drehachse liegende optische Anordnung, mit der das zu bearbeitende Bauelement mittels einer TV-Kamera auf einem Monitor abgebildet werden kann.

In der Praxis bekannt und in der Patentschrift US-PS 42 39144 beschrieben, ist eine Vorrichtung, bei der zur radialen Führung des Bondkopfes eine in zwei Radiallagern angeordnete Hohlwelle vorgesehen ist, die einen nach unten gerichteten Steg aufweist. An diesen Steg ist ein in Kugelführungen vertikal beweglicher Schlitten montiert, der den eigentlichen Bondkopf trägt. Für die Ankopplung des Schlittens an den Vertikalantrieb ist eine in der Drehachse liegende Stange vorgesehen. Sie führt durch die

Mittenbohrung eines von oben in die Hohlwelle hineinragenden gestellfesten Zapfens. Dieser Zapfen besitzt außerdem noch eine exzentrisch angeordnete Bohrung, in die unten oin als Objektiv wirkendes Linsensystem eingesetzt ist.

Nachteilig an dieser Ausführung ist, daß die Objektivachse relativ weit neben der Drehachse liegt. Dadurch ergeben sich große Fahrwege zwischen jeweiliger Betrachtungs- und Bondposition für die Anschlußstellen des Bauelementes. Außerdem ergeben sich relativ große Durchmesser für die Radiallagerung, wodurch diese Ausführung ein großes Massenträgheitsmoment besitzt, und das Linsensystem muß einen relativ kleinen Durchmesser aufweisen, wodurch der Einsatz eines normalen Objektivs nicht möglich ist.

In der Praxis bekannt ist weiterhin eine Vorrichtung, bei der der Bondkopf fest an eine aus Radialführung und Antrieb für die Drehbewegung bestehende Baugruppe montiert ist. Diese Baugruppe ist an einem senkrecht geführten Schlitten befestigt, der die Vertikalbewegung ausführt. Nachteilig ist hierbei insbesondere die große in vertikaler Richtung zu bewegende Masse, wodurch die mögliche Arbeitsgeschwindigkeit begrenzt wird.

Ziel der Erfindung

Es ist das Ziel der Erfindung, eine Vorrichtung für die Ultraschall-Drahtkontaktierung zu schaffen, mit Hilfe derer die Arbeitsgeschwindigkeit bei der Herstellung uitraschall-geschweißter Drahtverbindungen mittels automatisch arbeitender Vorrichtungen mit drehbarem Bondkopf gesteigert und gleichzeitig günstige Bedingungen für die automatische Lageerkennung der zu bearbeitenden Bauelemente geschaffen werden.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung für die Drahtkontaktierung mit einer Axial-und Radialführung für den drehbaren Bondkopf zu schaffen, mit der sich gegenüber bisher bekannten Ausführungen eine geringere Gesamtmasse der vertikal bewegten Teile und ein geringe, es Massenträgheitsmoment um die Drehachse ergeben. Weiterhin soll erreicht werden, daß für die optische Abbildung ein übliches leistungsfähiges Mikroskopobjektiv in der Nähe der Drehachse des Bondkopfes eingesetzt wei den kann und dieses Objektiv automatisch in den für eine scharfe Abbildung erforderlichen Abstand zur Ebene der Anschlußstellen am Bauelement gebracht werden kann.

Zur Lösung der Aufgabe wird von einer Drahtkontaktierungsvorrichtung ausgegangen, die einen im wesentlichen aus einem Ultraschallschwinger mit Sonotrode und einem Zangenmechanismus zum Vorschieben und Trennen des Drahtes bestehenden Bondkopf aufweist. Der Bondkopf ist vertikal in Richtung der Sonotrodenachse beweglich und um eine dazu parallele, annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode verlaufende Achse drehbar.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Bondkopf an der unteren Stirnseite eines zentrisch zur Drehachse liegenden Zapfens befestigt ist. Der Zapfen ist in eine Buchse eingespannt. An seiner oberen Stirnseite ist ein zur Einleitung der vertikalen Hubbewegung dienender Flansch befestigt. Die Buchse ist durch einen mit Kugeln bestückten Kugelkäfig spielfrei längsbeweglich in dem Innenring einer als zweireihiges Schrägkugellager wirkenden, spielfrei einstellbaren Radiallagerung angeordnet. An der unteren Stirnseite des Innenringes ist eine Trommel zur Aufnahme von elektrischen Zuleitungen zum Bondkopf und an seiner oberen Stirnseite ein Zahnriemenrad befestigt. Weiterhin ist ein Stift exzentrisch an der Trommel angeordnet, an dem zwei am Bondkopf angeordnete Rollen anliegen.

Im Zahnriemenrad ist ein weiterer Stift so angebracht, daß sein Bewegungsbereich sich mit dem Bewegungsbereich des stegarcigen Endes eines durch Federn in radialer Stellung zur Drehachse gehaltenen Hebels überschneidet.

Weiterhin ist ein fester Anschlag derart angeordnet, daß die Drehbewegung des Hebels fest begrenzt ist. Der Zapfen und der Flansch weisen eine exzentrisch angeordnete, achsparallele Bohrung auf, in deren unterem Bereich ein Mikroskopobjektiv eingeschraubt ist.

Nachstehend soll die Funktionsweise der erfindungsgernäßen Lösung näher beschrieben werden.

Der Innenring des spielfrei einstellbaren zweireihigen Schrägkugellagers dient zur Radialführung und gleichzeitig als Führungsbuchse einer konzentrisch ausgebildeten Längsführung, wobei die Längsführung aus dem Innenring der Radialführung als Außenbuchse, einer an den Enden mit Innenkegeln ausgeführten Innenbuchse und dem dazwischen angeordneten Kugelkäfig mit Kugeln besteht, die die spielfreie Längsführung der Innenbuchse übernehmen.

Der am Zapfen befestigte Flansch dient zur Einleitung der Vertikalbewegung.

Die Kopplung des über den Zapfen in der Längsführung befestigten Bondkopfes mit der Drehbewegung der Radialführung erfolgt dadurch, daß die am Bondkopf angeordneten Rollen beidseitig an dem in der Trommel parallel zur Drehachse angeordneten Stift anliegen. Der Bondkopf folgt damit - unabhängig von seiner momentanen vertikalen Stellung - der Drehbewegung der am Innennng der Radialführung befestigten Trommel.

Um die in der Grundstellung des Bo'ndkopfes erforderliche exakt reproduzierbare Position des Objektivs in einem von der Drehachse ausgehenden x-y-Koordinatensystem zu gewährleisten, wird die Drehbewegung des Bondkopfes in einer Richtung fest begrenzt.

Das geschieht dadurch, daß der im Zahnriemenrad angeordnete Sti't das stegartige Ende des durch die Federn in radialer Richtung zur Drehachse gehaltenen Hebels mitnimmt und gegen den in dieser Bewegungsrichtung angeordneten festen Anschlag drückt. Der feste Anschlag liegt daboi außerhalb des Bewegungsbereiches des Stiftes.

Durch die Anordnung des Mikroskopobjektivs wird erreicht, daß die Einstellung des Objektivabstandes zum Bauelement unmittelbar durch den steuerbaren Vertikalantrieb des Bondkopfes erfolgen kann und dafür keine zusätzlichen Führungs- oder Antriebselemente benötigt werden.

Diese Anordnung erlaubt außerdem, die Objektivachse mit dem minimal zulässigen Abstand zur Drehachse anzuordnen und ergibt damit auch noch bei Verwendung eines üblichen Mikroskopobjektivs einen relativ geringen Durchmesser des in die Längsführung eingesetzten Zapfens. Die dadurch mögliche geringe radiale Ausdehnung der konzentrischen Längsführung ermöglicht im Verein mit der kombinierten Ausführung von Radial- und Längsführung eine gegenüber bisher bekannten Ausführungen sowohl gerringere Gesamtmasse der vertikal bewegten Teile als auch ein geringeres Massenträgheitsmoment um die Drehachse des Bondkoofes.

Bine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß in der exzentrisch angeordneten, achsparallelen Bohrung des Zapfens ein unter 45° zur Bohrungsachse geneigter teildurchlässiger Spiegel angeordnet ist. Weiterhin weisen der Zapfen, die Buchse, der Kugelkäfig, der Innenring sowie der Außenring der als zweireihiges Schrägkugellager wirkenden Radiallagerung in Höhe der Spiegelmitte liegende Querbohrungpii auf. Dies ermöglicht in der bestimmungsgemäßen Grundstellung des Bondkopfes eine Auflichtbeleuchtung des unter dem Mikroskopobjektiv liegenden Objektes mittels einer außerhalb der Radiallagerung angeordneten Beleuchtungseinrichtung.

Eine weitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist derart aufgebaut, daß die elektrischen Zuleitungen sowie ein elektrisch inaktives Zugseil in zwei durch einen Bord getrennten Beroichen dor Trommel und einer weiteren in der Vorrichtung angeordneten drehbaren Trommel jeweils einseitig befestigt und in einander entgegengesetzter Richtung so geführt und teilweise aufgewickelt sind, daß sie jeweils einen Zugstrang eines die beiden Trommeln verbindenden geschlossenen Zugmitteltriebes bilden.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1: eine Seitenansicht der Vorrichtung;

Fig. 2: eine Draufsicht auf die Vorrichtung;

Fig.3: eine Prinzipdarstellung der elektrischen Zuleitungen zum Bondkopf;

Fig.4: einen Schnitt A-A durch die Drehachse des Bondkopfes;

Fig. 5: eine Teilansicht des Bondkopfes und

Fig. 6: eine Teildraufsicht auf die Drehwinkelbegrenzung.

Die Vorrichtung für die Ultraschall-Drahtkontaktierung entsprechend Fig. 1 bis 6 ist über einen Basiskörper 1 in einem in der Zeichnung nicht näher dargestellten Gestell angeordnet, wobei sie entweder ortsfest oder auch an einem in x-/y-Richtung verfahrbaren Tisch montiert sein kann.

Im Basiskörper 1 ist eine Buchse 14 gehalten. Sie stellt den Außenring eines außerdem aus dem Innenring 10, dem Kegel ring 11 und zwei mit Kugeln 12 bestückten Kugelkäfigen 13 bestehenden zweireihigen Kugellagers dar, das als Radialführung für den Bondkopf 2 dient. Auf den Ke jelring 11 ist ein Zahnriemenrad 15 aufgesetzt. Es wird mit Schrauben 16 gegen dan Innenring 10 gezogen und mit zwischen diesen Schrauben liegenden Gewindestiften 17 gegen ihn abgestützt. Durch entsprechende Einstellung der Gewindestifte 17 kann dabei die Radialführung spielfrei eingestellt werden.

Der Innenring 10 dient auch als Außenbuchse einer außerdem aus der Buchse 7 und dem mit Kugeln 8 bestückten Kugelkäfig 9 bestehenden konzentrischen Längsführung.

Der im wesentlichen aus dem Ultraschallschwinger 42 mit Bondrüssel 43 und Sonotrode 44, der Halterung des Ultraschallschwingers und einem hier nicht näher erläuterten Zangenmechanismus 45 zum Vorschieben und Trennen des Drahtes bestehende Bondkopf 2 ist an der Stirnseite eines Zapfens 3 so befestigt, daß die Zapfenachse parallel zur Sonotrodenachse und annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode 44 verläuft.

Der Zapfen 3 ist bis zur Anlage an einen kegligen Absatz in die an den Stirnseiten mit Innenkegeln ausgeführte Buchse 7 eingesetzt. Auf das aus der Buchse 7 austretende Ende des Zapfons 3 ist eine mit kegliger Stirnfläche ausgeführte, geschlitzte Spannhülse 6 aufgeschoben, die geringfügig über das Zapfende übersteht. Ein auf die Spannhülse 6 aufgesetzter Flansch 4 wird durch Schrauben gegen die Stirnseite des Zapfens 3 gezogen und verspannt ihn dadurch gegen die Innenkegel der Buchse 7. Der Flansch 4 dient außerdem zur Einleitung der steuerbaren Vertikalbewegung für den Bondkopf 2. Dazu greifen in seinem äußeren Stirnbereich zwei Rollen 37; 38 an, die über Hebel mit einem Schraubtrieb am auf dem Basiskörper 1 montierten Antriebsmotor 39 verbunden sind.

Zapfen 3 und Flansch 4 weisen eine exzentrische Bohrung 5 auf, in die von unten ein Mikroskopobjektiv 46 eingeschraubt ist.

Über dem Mikroskopobjektiv 46 kann ein unter 45° zur Achse geneigter teildurchlässiger Spiegel 35 eingesetzt sein. In Höhe der Spiegelmitte weisen der Zapfen 3, die Buchse 7, der Kugelkäfig 9, der Innenring 10 und die Buchse 14 Querbohrungen auf.

Durch diese Querbohrungen ist mittels einer außerhalb der Buchse 14 am Basiskörper 1 angeordneten Beleuchtungseinrichtung 36 über den Spiegel 35 eine Autlichtbeleuchtung des unter dem Mikroskopobjektiv 46 liegenden Objektes möglich, wenn sich die Anordnung in der in Fig. 1 dargestellten, der Grundstellung des Bondkopfes 2 entsprechenden Winkelstellung gegenüber der Buchse 14 befindet.

Die steuerbare Drehbewegung für den Bondkopf 2 wird mittels eines Zahnriemens 40 vom auf den Basiskörper 1 montierten Antriebsmotor 41 auf das Zahnrieme'nrad 15 und damit auf den Innenring 10 übertragen. An der unteren Stirnseite des Innenringes 10 ist eine durch Borde in zwei Bereiche getrennte Trommel 19 befestigt. Sie dient zur Befestigung und Führung flexibler elektrischer Zuleitungen 33 zum Bondkopf 2. Die Zuleitungen 33 sind dazu im unteren Bereich der Trommel 19 und einer gleichartigen, am Basiskörper 1 angeordneten Trommel 30 jeweils einseitig befestigt und teilweise aufgewickelt. Im oberen Bereich der Trommeln 19; 30 ist ein elektrisch inaktives Zugseil 34 ebenfalls jeweils einseitig befestigt und in entgegengesetzter Richtung teilweise aufgewickelt. Zuleitungen 33 und Zugseil 34 bilden dabei, wie in Fig.3 dargestellt, jeweils einen Zugstrang eines geschlossenen Zugmitteltriebes. In Fig.3 sind dabei der deutlicheren Darstellung wegen die beiden übereinanderliegenden Bereiche der Trommeln 19; 30 mit unterschiedlichen Durchmessern dargestellt.

Die Trommel 30 ist drehbar in einem Hebel 31 gelagert und bewirkt durch eine an ihm angreifende Feder 32 gleichzeitig die Spannung der Zugstränge.

In der am Innenring 10 befestigten Trommel 19 ist parallel zur Drehachse ein Stift 20 angeordnet. Zwei am Sondkopf 2 angeordnete Rollen 21; 22 liegen seitlich an ihm an und übertragen so die Drehbewegung auf den Bondkopf 2 und den mit ihm verbundenen Zapfen 3. Eine der beiden Rollen 21; 22 ist dabei fest, die andere vorzugsweise unter Federvorspannung angebracht. Die Rolle 22 ist dazu im Ausführungsbeispiel in einem Hebel 23 gelagert, der über Blattfedern 24 angedrückt wird.

Am Basiskörper 1 ist in einer parallel zur Drehachse liegenden Achse 25 ein Hebel 26 gelagert, der ein stegartig ausgebildetes Ende 27 besitzt. Dieses Hebelende 27 wird durch am Hebel 26 angreifende Federn 28 in radialer Stellung zur Drehachse gehalten und reicht in den Bewegungsboreich eines parallel zur Drehachse im Zahnriemenrad 15 angeordneten Stiftes 18 hinein. Das Hebolende 27 kann durch den Stift 18 mitgenommen und gegen die Federn 28 nach außen gedruckt werden. In einer Drehrichtung legt sich das Hebelende 27 dabei gegen einen am Basiskörper 1 angeordneten festen Anschlag 29 und begrenzt damit die Drehbewegung in dieser Richtung. Der Anschlag 29 liegt außerhalb des Bewegungsbereiches des Stiftes 18. In der anderen Drehrichtung wird die Drehbewegung damit nicht begrenzt. Zur Gewährleistung diner exakt reproduzierbaren Winkelstellung in Grundstellung des Bondkopfes 2 wird die Radialführung vom Antriebsmotor 41 mit konstantem Drehmoment gegen die feste Begrenzung gezogen.

In diese Längsnut 4 ist ein Führungsrohr 5 eingelegt, dessen oberes Ende in der Nähe der Drehachse, jedoch außerhalb des optisch wirksamen Bereiches der exzentrischen Bohrung 8, vertikal aus dem Flansch 6 austritt. Darüber ist ein nicht mit der Drehbewegung gekoppeltes Umlenkelemcnt 24 angeordnet, das im Ausführungsbeispiel als geschlossene Drahtöse ausgebildet ist. Das untere Ende des Führungsrohres 5 tritt im Bereich der Bondkopf-Befestigung schräg nach außen geneigt aus dem Zapfen 3 aus.

Am Bondkopf 2 ist ein Umlenkzapfen 27 so angeordnet, daß sein Umfang etwa mit der Richtung der Bohrung 37 im Bondrüssel und der Austrittsrichtung des Führungsrohres 5 tangiert. Der aus horizontaler oder von oben her geneigter Richtung von einer außerhalb der Bondkopfführung am Basiskörpor 1 gehaltenen und hier nicht näher beschriebenen Vorratsspule kommende Bonddraht 40 läuft über das Umlenkelement 24, durch das Führungsrohr 5 und um den Umlenkzapfen 27 zur Bohrung 37 im Bondrüssel 36 und danach durch die Klemmbacken der Zange 38 zur Sonotrode 39.

Die zur Drahtführung dienenden Elemente sind gegen die übrigen Teile der Vorrichtung elektrisch isoliert befestigt oder aus elektrisch isolierendem Material hergestellt. Als Führungsrohr 5 wird vorzugsweise ein Glasrohr verwendst.

Im Ausführungsbeispiel ist der Umlenkzapfen 27 an einem um eine parallel zu ihm liegende Achse 28 schwenkbaren Hebel 29 angeordnet. Durch eine am Hebel 29 angreifende Zugfeder 30 wird der Umlenkzapfen 27 in bezug auf den Bonddraht 40 nach innen bis zur Begrenzung durch einen einstellbaren Anschlag 31 gezogen. Der Hebel 29 weist einen parallel zur Achse 28 liegenden Stift 32 auf. Darüber ist an einem in die Trommel 16 eingesetzten Stift 33 ein in der Höhe verstellbarer Steg 34 angeordnet.

Beim Anheben des ßondkopfes 2 kann der Steg 34 den Stift 32 nach außen drücken und damit auch den Umlenkzapfen 27 in bezug auf den Bonddraht 40 nach außen bewegen. Der Steg 34 ist so eingestellt, daß diese Bewegung im oberen Bereich des Anhebens nach Beendigung einer Drahtbrücke erfolgt. Die Drahtzange 38 ist zu diesem Zeitpunkt geschlossen, und durch die Bewegung des Umlenkzapfens 27 wird Draht von der Vorratsspule nachgezogen.

Beim Ansenken zur Ausführung der folgenden Drahtbrücke bewegt sich der Umlenkzapfon 27 wieder nach innen und bildet eine lose Drahtreserve im Bereich über den Bondrüssel 36. Während der Ausführung der Drahtbrücke braucht dadurch kein Draht von der Vorratsspule nachgezogen werden. In diesem Arbeitszeitraum wird der Bondkopf 2 nur soweit angehoben, daß der Umlenkzapfen 27 in seiner inneren Endlage verbleibt.

In einer anderen, in Fig.2 dargestellten Ausführungsvariante erfolgt die Umlenkung des Bonddrahtes 40 in die Richtung der schrägen Bohrung 37 im Bondrüssel 36 direkt durch das Führungsrohr 5. Der untere Teil des Führungsrohres 5 setzt sich dazu nach seinem Austritt aus dem Zapfen 3 in einem zunächst nach außen und dann nach innen gerichteten Bogen fort und endet etwa in Richtung der Bohrung 37.

Im Ausführungsbeispiel ist weiterhin das Umlenkelement 24 an dem zur Übertragung der Vertikalbewegung auf den Flansch dienenden Hebel 25 angeordnet. Das Umlenkelement 24 folgt dadurch der Vertikalbewegung, und es tritt dabei keine für den Bonddraht 40 wirksame Längenänderung zwischen Umlenkelement 24 und Sonotrode 39 auf.

Claims

1. Vorrichtung für die Ultraschall-Drahtkontaktierung, beispielsweise zum Drahtbonden von Halbleiterbauelementen, bei der ein im wesentlichen aus einem Ultraschallschwinger mit Sonotrode und einem Zangenmechanismus zum Vorschieben und Trennen des Drahtes bestehender Bondkopf vertikal in Richtung der Sonotrodenachse beweglich und um eine dazu parallele, annähernd durch die Schweißfläche am Fuß der Sonotrode verlaufende Achse drehbar gelagert ist, gekennzeichnet dadurch, daß der Bondkopf (2) an der unteren Stirnseite eines zentrisch zur Drehachse liegenden Zapfens (3) befestigt ist, der in einer Buchse (7) eingespannt ist und an dessen oberer Stirnseite ein zur Einleitung der vertikalen Hubbewegung dienender Flansch (4) befestigt ist, daß die Buchse (7) durch einen mit Kugeln (8) bestückten Kugelkäfig (9) spielfrei längsbeweglich in dem Innenring (10) einer als zweireihiges Schrägkugellager wirkenden, spielfrei einstellbaren Radiallagerung angeordnet ist, daß an der unteren Stirnseite des Innenringes (10) eineTrommel (19) zur Aufnahme von elektrischen Zuleitungen (33) zum Bondkopf (2) und an seiner oberen Stirnseite ein Zahnriemenrad (15) befestigt ist, daß weiterhin ein Stift (20) exzentrisch an der Trommel (19) angeordnet ist, daß an diesem Stift (20) zwei am Bondkopf (2) angeordnete Rollen (21; 22) anliegen, daß im Zahnriemenrad (15) ein Stift (18) angebracht ist, daß das stegartig usgebildete Ende (27) eines durch Federn (28) in radialer Stellung zur Drehachse gehaltenen Hebels (26) in den Bewegungsbereich des Stiftes (18) hineinragt, daß weiterhin ein fester Anschlag (29) derart angeordnet ist, daß die Drehbewegung des Hebels (26) in einer Richtung fest begrenzt ist und daß der Zapfen (3) und der Flansch (4) eine exzentrisch angeordnete, achsparallele Bohrung (5) aufweisen, in deren unteren Bereich ein Mikroskopobjektiv (46) eingeschraubt ist.

2. Vorrichtung für die Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß in der exzentrisch angeordneten, achsparallelen Bohrung (5) des Zapfens (3) ein unter 45° zur Bohrungsachse geneigter teildurchlässiger Spiegel (35) angeordnet ist und daß der Zapfen (3), die Buchse (7), der Kugelkäfig (9), der Innenring (10) sowie der Außenring (14) der als zweireihiges Schrägkugellager wirkenden Radiallagerung in Höhe der Spiegelmitte liegende Querbohrungen aufweisen.

3. Vorrichtung für die Ultraschall-Drahtkontaktierung nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß die elektrischen Zuleitungen (33) und ein elektrisch inaktives Zugseil (34) in zwei durch einen Bord getrennten Bereichen der Trommel (19) und einer weiteren in der Vorrichtung angeordneten drehbaren Trommel (30) jeweils einseitig befestigt und in einander entgegengesetzter Richtung so geführt und teilweise aufgewickelt sind, daß sie jeweils einen Zugstrang eines die beiden Trommeln (19; 30) verbindenden geschlossenen Zugmitteltriebes bilden.