DD288628A5 - Verschleissfester ueberzug und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

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DD288628A5 DD33380489A DD33380489A DD288628A5 DD 288628 A5 DD288628 A5 DD 288628A5 DD 33380489 A DD33380489 A DD 33380489A DD 33380489 A DD33380489 A DD 33380489A DD 288628 A5 DD288628 A5 DD 288628A5
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Albrecht Leonhardt
Manfred Seidler
Erich Wolf
Manfred Schoenherr
Annemarie Zetzsche
Hermann Mai
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Akademie Der Wissenschaften,De
Zi Fuer Festkoerperphysik Und Werkstofforschung Der Adw,De
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen verschleiszfesten UEberzug und Verfahren zu seiner Herstellung. Objekte, auf die sich die Erfindung bezieht, sind Werkzeuge und Verschleiszteile aus Metallen, Hartmetallen und keramischen Werkstoffen. Ihre Anwendung ist besonders zweckmaeszig bei Schneidwerkzeugen fuer die spanende Formgebung. Erfindungsgemaesz besteht der UEberzug aus einer Folge von alternierenden Einzelschichten mit einer Einzelschichtdicke von 0,2 bis 1 mm und einer Gesamtschichtdicke zwischen 2 und 50 mm, wobei benachbarte Einzelschichten eine unterschiedliche Zusammensetzung aufweisen, und wird hergestellt durch Gasphasenabscheidung, indem die Ausgangsgasmischung mit einem Verhaeltnis der Stoffmengenanteile von V zu Ti im Bereich von 0,006 bis 0,03 waehrend des gesamten Abscheideprozesses der Schichtkombination mit unveraenderter Zusammensetzung sowie unveraenderten Abscheideparametern kontinuierlich durchgefuehrt wird.{verschleiszfester UEberzug; Verschleiszteile; Hartmetalle; Schneidwerkzeuge; alternierende Einzelschichten; Gesamtschichtdicke; unterschiedliche Zusammensetzung; Gasphasenabscheidung; Schichtkombination; Abscheideparameter}

Description

Erfindurgsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Überzug, bestehend aus Titan-Vanadium-Carbiden, -Nitriden,
-Oxicarbiden, -Oxinitriden, -Carbonitriden oder -Oxicarbonitriden, aus einer Folge von alternierenden Einzelschichten mit einer
Einzelschichtdicke von 0,2 bis 1 μιη besteht, die Gesamtschichtdicke zwischen 2 und 50 pm liegt und benachbarte Einzelschichten
eine unterschiedliche Zusammensetzung besitzen. Vorteilhaft ist es, wenn sich die benachbarten Einzelschichten im Titan/
Vanadium-Verhältnis mindestens um 10% unterscheiden. Hergestellt wird dieser Überzug mittels TiCI4, H2, einem oder mehreren Kohlenwasserstoffen, N2 und/oder NH3 und VCI4 oder VOCI3 im Temperaturbereich von 800-12000C durch Abscheidung aus der Gasphase. Erfindungsgemäß wird die Ausgangsgasmischung mit einem Verhältnis der Stoffmengenanteile von V zu Ti im Bereich von
0,006 bis 0,03 während des gesamten Abscheideprozesses der Schichtkombination mit unveränderter Zusammensetzung sowie unveränderten Abscheideparametern kontinuierlich zugeführt.
Es wurde überraschend gefunden, daß in dem angegebenen Konzentrationsbereich trotz Konstanthalten dieser Ausgangsgasmischung und der Abscheidungstemperatur ein Überzug entsteht, der aus einer Folge alternierender Einzelschichten mit unterschiedlicher Zusammensetzung entsteht, was auf einen oszillierenden Abscheidungsmechanismus
schließen läßt. Das Konstanthalten der Verfahrensparameter hat den Vorteil, daß eine hohe Reproduzierbarkeit der Abscheidung
garantiert ist, da Störungen des Wachstumsprozesses, die u.a. bei Änderung der Verfahrensparameter an den
Wachstumsfronten auftreten, entfallen. Vorteilhaft ist auch, daß das Abscheidungsverfahren in jeder Normaldruck-CVD-Anlage
ohne zusätzlichen technologischen Aufwand realisiert werden kann.
Scratch-Tests dieser oben erwähnten HartsVoffschichten auf Hartmetallen ergaben sehr hohe Haftfestigkeiten
(kritische Last Lo 100 N), Delaminationen konnten nicht beobachtet werden. Darüberhinaus haben Biegebruchuntersuchungen
gezeigt, daß die Biegebruchfestigkeit der Hartmetalle durch die Beschichtung mit diesen Überzügen nur geringfügig vermindert wird. Dadurch zeigen auf diese Art beschichtete Hartmetallwerkzeuge eine hohe Stabilität, insbesondere bei schwerem und unterbrochenem Schnitt und können vorteilhaft für Schneidwerkzeuge für die Dreh- und Fräsbearbeitung von Eisenwerkstoffen eingesetzt werden.
Ausführungsbeispiele
1. Hartmetallwendeschneidplatten werden in einen CVD-Reaktor eingebracht und unter Argon auf 1050°C erwärmt. Dann wird bei Normaldruck in den Reaktor eine Gasmischung der Zusammensetzung 4,5 Stoffmengenanteile TiCi4,2,2 Stoffmengenanteile C0Hc 0,2 Stoffmengenanteile n-C7H|8,0,1 Stoffmengenanteile VOCI3 und Rest Hi eingeleitet. Nach einer Beschichtungszeit von 3!> min hat sich eine 30 pm dicke, festhaftende Hartstoffschicht, die aus (Ti, VJoxicarbiden unterschiedlicher Zusammensetzung besteht, gebildet. Nach einerÄtzung In einer konzentrierten HNO3-Lösung besitzt die Schicht folgendes Aussehen. Es zeigen sich etwa 90 Einzelschichten mit einer mittleren Schichtdicke von 0,3pm. Augerspektroskopische Untersuchungen ergaben, daß die Konzentrationen von Titan und Vanadium ein gegenläufiges Verhalten zeigen und zwischen 8 und 23 Stoffmengenanteilen (Vanadium) bzw. 26 und 42 Stoffmengenanteilen (Titan) alternieren. Die Sauerstoffkonzentration korreliert mit Vanadium, die Kohlenstoffkonzentration mit Titan.
2. Auf eine Wendeschneidplatte der Zusammensetzung 68,3 Massenanteile WC, 16,8 Massenanteile TiC, 7,9 Massenanteile TaC/NbC und 7 Massenanteile Co wird nach dem CVD-Verfahren bei Normaldruck eine 10pm dicke Titan-Vanadiumoxicarbonitridschicht mit einer Gasmischung der Zusammensetzung 4,2 Stoffmengenanteile TiCI4, 2,1 Stoffmengenanteilo C6H6,0,2 Stoffmengenanteile n-C7H16,0,1 Stoffmengenr.nteile VOCI3,6,2 Stoffmengenanteile N2 und Rest H* aufgebracht. Der Aufbau dieser Hartstoffschicht ist analog dem 1. Ausführungsbeispiel. Schneidversuche mit dieser beschichteten Wendeschneidplatte mit XeCrNiTi 1810 als Gegenwerkstoff zeigen bei ν = 140in/rnir$,s = 0,4 mm/U und a = 2mm (M10-Bereich eine Verschleißmarkenbreite VB = 0,15mm nach 40min Schnittzeit. Eine vergleichbare TiCxN,,-Schicht, ohne VOCI3-Zusatz hergestellt, zeigte diese Verschleißmarkenbreite bereits nach 25 min Schnittzeit.
3. Auf eine Wendeschneidplatte, bestehend aus WC/Co mit 6 Massenanteilen Co, wird eine TiCx-Hartstoffschicht auf bekannte Art und Weise nach H )m CVD-Verfahren aufgebracht. Dabei wird jeweils nach 90sec Beschichtungszeit für 90see der Gasmischung 0,1 StoVfmengenanteile VOCI3 zugegeben. Nach 13min Beschichtungszeit ist eine 12 μηι dicke festhaftende Hartstoffschicht entstanden. Sie besteht aus 9 Einzelschichten, wobei jede zweite Einzelschicht aus in der Zusammensetzung alternierenden Titan-Vanadium-Oxicarbiden aufgebaut ist. Schneidversuche mit dieser erfindungsgemäßen Schicht mit GGL 25 als Gegenwerkstoff zeigen bei v = 200m/min, s = O,3mm/Uunda = 2 mm gegenüber einer Wendeschneidplatte gleicher Zusammensetzung und einer TiC-Monoschicht eine 50% höhere Verschleißfestigkeit.

Claims (3)

1. Verschleißfester Überzug auf metallischer, hartmetallischer oder keramischer Unterlage, insbesondere für Schneidwerkzeuge und Verschleißteile, aus Titan-Vanadium-Carbiden, -Nitriden, -Oxicarbiden, -Oxinitriden, -Carbonitriden oder -Oxicarbonitriden, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug aus einer Folge von alternierenden Einzelschichten mit einer Einzelschichtdicke von 0,2 bis 1 pm besteht, die Gesamtschichtdicke zwischen 2 und 50pm liegt und benachbarte Einzelschichten eine unterschiedliche Zusammensetzung besitzen.
2. Verschleißfester Überzug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß benachbarte Einzelschichten sich im Titan/Vanadium-Verhältnis um 10% unterscheiden.
3. Verfahren zur Herstellung eines verschleißfesten Überzuges auf metallischer, hartmetallischer oder keramischer Unterlage, insbesondere für Schneidwerkzeuge und Verschleißteile, aus Titan-Vanadium-Carbiden, -Nitriden, -Oxicarbiden, -Oxinitriden, -Carbonitriden oder -Oxicarbonitriden, der aus einer Folge von alternierenden Einzelschichten mit einer Einzelschichtdicke von 0,2 pm bis 1 pm besteht, dessen Gesamtschichtdicke zwischen 2pm und50pm liegt und bei dem benachbarte Einzelschichten eine unterschiedliche Zusammensetzung besitzen, mittels TiCU, H2, einem oder mehreren Kohlenwasserstoffen, Ni und/oder NH3 und VCI4 oder VOCI3 im Temperaturbereich von 8000C bis 12000C durch Abscheidung aus der Gasphase, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsgasmischung mit einem Verhältnis der Stoffmengenanteile von V zu Ti im Bereich von 0,006 bis 0,03 während des gesamten Abscheideprozesses der Schichtkombination mit unveränderter Zusammensetzung sowie unveränderten Abscheideparametern kontinuierlich zugeführt wird.
Anwendungsgebiet der Erfindung
Die Erfindung bezieht sich auf den Verschleißschutz von Werkzeugen und Verschleißteilen aus Metallen, keramischen Werkstoffen und Hartmetallen. Ihre Anwendung ist be! allen Werkzeugen und Verschleißteilen möglich, jedoch bei Schneidwerkzeugen aus Hartmetali für die spanende Formgebung besonders geeignet.
Charakteristik des bokannten Standes der Technik
Es ist bekannt, Werkzeuge und Verschleißteile durch Gasphasenabscheidung mit verschleißhemmenden mehrlagigen Hartstoffschichten unterschiedlicher Zusammensetzung (Schichtkombination aus Karbiden, Oxiden, Nitriden, Karbonitriden, Oxikarbiden, Oxinitriden oder Oxikarbonitriden der Metalle Al und Ti) zu versehen (DE-OS 2253745, DE-OS 2525185). Der Nachteil der so beschichteten Teile besteht darin, daß es aufgrund der zu geringen Haftfestigkeit der Schichten zum Verbundkörper zu einer Verringerung der Verschleißfestigkeit kommt. Dieser Mangel wird nach der DE-AS 2917348 durch Aufbringen einer Hartstoffschicht aus sehr vielen (30 bis ca. 750) dünnen Einzelschichten mit einer Dicke von jeweils 0,02 bis 0,1 pm vermindert. Das wird realisiert durch eine entsprechend der jeweilig abzuscheidenden Einzelschicht ständig wechselnde Ausgangsgasmischung.
Ein Nachteil dieses Verfahrens besteht im hohen technologischen Aufwand und langen Beschichtungszeiten. Ursache dafür sind die zur Schichtherstellung notwendigem sehr kleinen Schichtwachstumsgeschwindigkeiten, die nur im Unterdruckverfahren aufgrund des geringen Stoffangebotes pro Zeiteinheit technisch realisiert werden können. Ein Mangel dieser Schichten besteht in der verminderten mechanischen Festigkeit durch auftretende epitaktische Verwachsungen und Stengelkristalle. Die Ursache, die zum Auftreten von epitaktischen Verwachsungen und Stengelkristallen führt, ist in den sehr kleinen Schichtwachstumsraten zu suchen, din jedoch zur Herstellung dieser Schichten notwendig sind.
Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung besteht in der Erhöhung der Verschleißfestigkeit der beschichteten Verbundkörper, Erhöhung der mechanischen Festigkeit der Schichten und in der Absenkung des technologischen Aufwandes bei der Schichtherstellung.
Darlegung des Wesens der Erfindung
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen verschleißfesten Überzug anzugeben, der eine hohe Haftfestigkeit zum Verbundkörper aufweist und bei dem keine epitaktischen Verwachsungen und Stenge/kristalle auftreten sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung vorzuschlagen, das mit hohen Schichtwachstumsgeschwindigkeiten und im Normaldruckverfahren durchführbar ist.
DD33380489A 1989-10-23 1989-10-23 Verschleissfester ueberzug und verfahren zu seiner herstellung DD288628A5 (de)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0496053A1 (de) * 1991-01-21 1992-07-29 Balzers Aktiengesellschaft Beschichtetes hochverschleissfestes Werkzeug und physikalisches Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von hochverschleissfesten Werkzeugen
US20080261058A1 (en) * 2007-04-23 2008-10-23 Iscar, Ltd. Coated cutting tool, cutting member or wear part

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0496053A1 (de) * 1991-01-21 1992-07-29 Balzers Aktiengesellschaft Beschichtetes hochverschleissfestes Werkzeug und physikalisches Beschichtungsverfahren zur Beschichtung von hochverschleissfesten Werkzeugen
US20080261058A1 (en) * 2007-04-23 2008-10-23 Iscar, Ltd. Coated cutting tool, cutting member or wear part
US8703245B2 (en) 2007-04-23 2014-04-22 Iscar, Ltd. Coated cutting tool, cutting member or wear part

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