DD297758A7

DD297758A7 - Positionierungseinrichtung fuer die herstellung von halbleiterbauelementen

Info

Publication number: DD297758A7
Application number: DD87300756A
Authority: DD
Inventors: Horst Podeschwa; Joachim Gerard; Wolfgang Schoepe
Original assignee: ��@��k��
Priority date: 1987-03-13
Filing date: 1987-03-13
Publication date: 1992-01-23
Also published as: FR2612108A1; HU203821B; HUT49423A; US4821595A; FR2612108B3; DE3739953A1; CH674685A5

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Positioniereinrichtung fuer die Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere fuer Drahtkontaktierungsgeraete, wobei die Positioniereinrichtung aus einem Kreuztisch mit je einer Antriebseinheit fuer die x- und y-Koordinate. Erfindungsgemaesz liegen beide Antriebseinheiten parallel, wobei jede Antriebseinheit aus einem Antriebsmotor mit Wegmeszsystem 1; 17, die gestellfest an einer Lagerplatte 2; 18 befestigt sind, besteht. Die Lagerplatte 2; 18 nimmt jeweils eine Lagerung 3; 19 fuer die Antriebsspindel 4; 20 auf. Auf der Antriebsspindel 4; 20 befindet sich verdrehgesichert eine Antriebsmutter 6; 22. Auf der Lagerplatte 2 befindet sich eine senkrechte Lagerung 8, die zwei um 90 versetzte Hebel 9; 11 aufnimmt, wobei der Hebel 9 mit der Antriebsmutter 6 und der Hebel 11 mit der x-Fuehrung verbunden ist. Auf der Lagerplatte 18 ist eine senkrechte Lagerung 24 befestigt, die einen Doppelhebel 25 aufnimmt, wobei der Haupthebel 26 mit der Antriebsmutter 22 verbunden ist. Der Haupthebel 26 sowie der Hebel 30 weisen Waelzlager auf, die mit einer auf dem Kreuztisch befestigten Fuehrungsschiene 29 korrespondieren. Mit Hilfe der Erfindung kann die Arbeitsgeschwindigkeit durch die Bewegung geringerer Massen gesteigert werden. Die Positioniereinrichtung laeszt sich gut in die Geraete einpassen. Fig. 1{Drahtkontaktierungsgeraet; Drahtbonden; Positioniereinrichtung; Kreuztisch; Antriebseinheit}

Description

Darlegung de* Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positioniereinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu schaffen, bei der nur geringe Massen bewegt werden, und die sichgut in die Geräte zur Herstellung von Halbleiterbauelementen einfügen läßt. Zur Lösung der Aufgabe wird von einer Positioniereinrichtung ausgegangen, die einen Kreuztisch und je eine x- und y-Antriebaeinheit aufweist.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß beide aus Antriebsmotor mit Wegmeßsystem bestehenden Antriebseinheiten parallel liegen. Der χ Antriebsmotor mit dem Wegmeßsystem ist gestellfest an einer Seite einer Lagerplatte befestigt, die auch die Lagerung für die Antriebsspindel aufnimmt. Auf dor Antriebsspindel befindet sich verdrehgesichert durch einen Führungsstift eine Antriebsmutter, wodurch bei Rotation der Antriebsspindel die Antriebsmutter eine Längsbewegung ausführt. Auf der Lagerplatte befindet sich eine senkrechte Lagerung, die einen justierbaren Hebel mit einem im Hebel befindlichen Wälzkörper aufnimmt, wobei das Wälzlager derart angeordnet ist, daß es mit der Stirnseite der Antriebsmutter korrespondiert. Weiterhin befindet sich auf der Lagerung ein zweiter justierbarer Hebel mit einem Wälzlager am Ende des Hebels, der zum ersten Hebel um 90° versetzt ist, wobei der zweite Hebel über sein Wälzlager mit einem Anschlußstück des Kreuztisches korrespondiert. Die Antriebsmutter und der mit ihr korrespondierende Hebel sowie das Anschlußstück des Kreuztisches mit dem zweiten korrespondierenden Hebel sind über je zwei Federn kraftschlüssig miteinander verspannt. Die y-Antriebseinheit, bestehend aus dem y-Antriebsmotor mit dem Wegmeßsystem ist ebenfalls gestellfest an einer Lagerplatte befestigt, die auch die Lagerung für die Antriebsspindel aufnimmt. Auf der Antriebsspindel sitzt verdrehgesichert durch einen Führungsstift eine Antriebsmutter. Eine an der Lagerplatte befestigte senkrechte Lagerung nimmt einen Doppelhebel auf, wobei der Haupthebel einen im Hebel befindlichen Wälzkörper aufweist, welcher mit der Stirnseite der Antriebsmutter korrespondiert. Am Ende des Haupthebels ist ein Wälzlagerpaar angeordnet, welches mit einer auf dem Kreuztisch befestigten parallel zur x-Koordinate liegenden Führungsschiene korrespondiert. Weiterhin ist der Haupthebel über zwei Federn mit der Antriebsmutter kraftschlüssig verspannt. Ein im Haupthebel gelagerter zweiter Hebel, welcher an seinem Ende ein mit der Führungsschiene korrespondierenden Wälzkörper aufweist, ist über eine Spannfeder, einen Spannbolzen und einen Justierbolzen am Haupthebel verspannt. Bei der Bewegung des x-Antriebes wird die Längsbewegung der Antnabsmutter durch den Winkelhebeltrieb senkrecht zur Antriebsspindelachse umgelenkt und auf die x-Führung des Kreuztisches übertragen, wobei das Übersetzungsverhältnis des Hebelpaares dem optimalen Fahrverhalten des Kreuztisches angepaßt ist.

Die Führungsschiene als Übertragungsglied des y-Antriebes ist dabei genau parallel mit der x-Führung des Kreuztisches ausgerichtet, so daß beim Antrieb der'x-Koordinate eine Verschiebung der Führungsschiene in dem Antriebshebelpaar der y-Koordinate erfolgt.

Bei der Bewegung der y-Antriebseinheit wird die Längsbewegung der Antriebsmutter direkt über den Doppehebel mit dem gleichen Übersetzungsverhältnis wie beim x-Antrieb, dem optimalen Fahrverhalten des Kreuztisches angepaßt, übertragen.

Ausführungsbeispiel

Anhand des folgenden Ausführungsbeispiels soll die Erfindung näher erläutert werden. Die zugehörigen Zeichnungen zeigen

Fig. 1: die Positionierungseinrichtung komplett in der Draufsicht;

Fig.2: die x-Antriebseinheit in der Draufsicht;

Fig. 3: eine Ansicht der Verspannung von Antriebsmutter und Hebel;

Fig. 4: eine Ansicht der Verspannung von dem Anschlußstück an dem Kreuztisch und dem Hebel; Fig. 5: die y-Antriebseinheit in der Draufsicht;

Fig. 6: eine Ansicht der Verspannung von Antriebsmutter und dem Doppelhebel; Fig. 7: eine Ansicht des Hebels mit dem Wälzlagerpaar.

Die Positionierungseinrichtung besteht aus einem Kreuztisch mit der Antriebseinheit für die x-Koordinate und der Antriebseinheit für die y-Koordinate.

Die Antriebseinheit für die x-Ki .. dinate besteht aus dem χ-Antriebsmotor mit Wegmeßsystem 1, der an der Lagerplatte 2 angeflanscht ist, und der Lagerung 3, die die Antriebsspindel 5 aufnimmt, auf der sich die Antriebsmutter 6 verdrehgesichert durch den Führungsstift 7 befindet, wobei eine Wellrohrkupplung 4 x-Antriebsmotor und Antriebssindel δ verbindet.

Eine senkrechte Lagerung 8 auf der Lagerplatte 2, die als zylindrische Buchse ausgebildet sein kann, nimmt den justierbaren Hebel 9 mit dem Wälzlager 10 und einen zweiten justierbaren Hebel 11 mit Wälzlager 12, der um 90° versetzt ist, auf, wobei Hebel 11 mit dem Anschlußstück 13 der x-Führung mit zwei Federn 15 kraftschlüssig verspannt sind.

Bei der Bewegung des x-Antriebes wird die Längsbewegung der Antridbsmutter 6 durch den Winkelhebeltrieb mit den um 90" versetzten Hebel 9 und Hebel 11 senkrecht zur Antriebsspindelachse umgelenkt und auf die x-Führung des Kreuztisches 16 übertragen, wobei das Übersetzungsverhältnis des Hebelpaares dem optimalen Fahrverhalten des Kreuztisches angepaßt ist.

Die Antriebseinheit für die y-Koordinate besteht aus dem Antriebsmotor y mit Wegmeßsystem 17, der an der Lagerplatte 18 angeflanscht ist, und dar Lagerung 19, die die Antriebsspindel 21 aufnimmt, auf der sich die Antriebsmutter 22 verdrehgesichert durch den Führungssdft 23 befindet, wobei β'·ηβ Wellrohrkupplung 20 y-Antriebsmotor und Antriebsspindel 2 verbindet.

Eine senkrechte La jerung 24, die als zylindrische Buchse ausgebildet sein kann, nimmt den justierbaren Doppelhebel 25 auf, bei dem der Haupthebel 26 mit einem Wälzlager 27 ausgerüstet ist, mit der Antriebsmutter 22 mit zwei Federn 32 verspannt ist und ein weiteres Wälzl igerpaar 28 aufnimmt.

Ein zweiter Hebel 30, der an dem Haupthebel 26 gelagert Ist, trägt ebenfalls ein Wälzlager 31 und ist mit dem Haupthebel 26, dem Spannbolzen 34 und der Verspannfeder 33 verspannt, wobei ein Justierbolzen 35 eine Abstandsjustage zwischen dem Wälzlagerpaar 28 und dem Wälzlager 31 gewährleistet, die mit der auf dem Kreuztisch 16 befestigten Führungsschiene 29 in Verbindung stehen.

Die Führungsschiene 29 ist dabei genau parallel zur x-Führung des Kreuztisches ausgerichtet, und der Abstand von dar Lagerung 24 bis zur Spindelachse sowie der Abstand von der Lagerung 24 bis zum Walzlagerpaar 28 bilden das Übersetzungsverhältnis, welches wie bei dem x-Antrieb dem optimalen Fahrverhalten des Kreuztisches angepaßt ist.

Die zusätzliche Verspannung der Hebelsystf/me mit der Lagerplatte hebt mit den Federn 36 und 37 eventuelles Spiel zwischen Antriebsspindel und Antriebsmutter auf.

Claims

1. Positioniereinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, insbesondere Drahtkontaktierungsgoräten, wobei die Positionierungseinrichtung aus einem Kreuztisch mit der Antriebseinheit für die x-Koordinate und der Antriebseinheit für die y-Koordinate besteht, gekennzeichnet dadurch, daß beide aus Antriebsmotor mit Wegmeßsystem bestehenden Antriebseinheiten parallel liegen, daß der x-Antriebsmotor mit dem Wegmeßsystem (1) an einer Seite einer Lagerplatte (2) angeflanscht ist, daß die Lagerplatte (2) eine Lagerung (3) für eine Antriebsspindel (5) aufnimmt, daß sich auf der Antriebsspindel (5) eine Antriebsmutter (6) verdrehgesichert durch einen Führungsstift (7) befindet, daß sich auf einer an der Lagerplatte (2) befestigten, senkrechten Lagerung (8) ein justierbarer Hebel (9)miteinemimHebel (9) befindlichen Wälzlager (10) befindet, wobei der Wälzkörper (10) derart angeordnet ist, daß er mit der Stirnseite der Antriebsmutter (6) korrespondiert, daß sich auf der Lagerung (8) ein zweiter justierbarer Hebel (11) mit einem Wälzlager (12) am Ende des Hebels (11) befindet, der zum Hebel (9) um 90° versetzt ist, wobei der Hebel (11) über das Wälzlager (12) mit einem Anschlußstück (13) korrespondiert, daß weiterhin der Hebel (9) mit der Antriebsmutter (6) durch zwei Federn (14) und der Hebel (11) mit dem Anschlußstück (13)derx-Führung des Kreuztisches durch zwei Federn (15) kraftschlüssig verspannt ist, daß der y-Antriebsmotor mit dem Wegmeßsystem (17) an einer Seite einer Lagerplatte (18) angeflanscht ist, daß die Lagerplatte (18) eine Lagerung (19) für eine Antriebsspindel (21) aufnimmt, daß sich auf der Antriebsspindel (21) eine Antriebsmutter (22) verdrehgesichertdurch einen Führungsstift (7) befindet, daß eine an der Lagerplatte (18) befestigte, senkrechte Lagerung (24) einen Doppelhebel (25) aufnimmt, wobei der Haupthebel (26) einen im Hebel (26) befindlichen Wälzkörper (27) aufweist, welcher mit der Stirnseite der Antriebsmutter (22) korrespondiert, daß am Ende des Haupthebels (26) ein Wälzlagerpaar (28) angeordnet ist, welches mit einer auf dem Kreuztisch (16) befestigten parallel zur x-Koordinate liegenden Führungsschiene (29) korrespondiert, daß der Haupthebel (26) über zwei Federn (32) mit der Antriebsmutter (22) kraftschlüssig verspannt ist, daß weiterhin ein im Haupthebel gelagerter zweiter Hebel (30) des Doppelhebels (25), welcher an seinem Ende einen mit der Führungsschiene (29) korrespondierenden Wälzkörper (31) aufweist, über eine Spannfeder (33), einen Spannbolzen (34) und einen Justierbolzen (35) am Haupthebel (26) verspannt ist.

2. Positioniereinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Übersetzungsverhältnis der Hebelsysteme der x- und y-Antriebseinheit dem optimalen Fahrverhalten des Kreuztisches (16) angepaßt werden kann.

Hierzu

3 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft eine Positionierungseinrichtung für die Herstellung von Halbleiterelementen, insbesondere für Drahtkontaktierungsgeräto, bei denen die Positionierung der Halbleiterbauelemente über einen x-y-Kreuztisch erfolgt.

Charakteristik des bekannten Standes der Technik

Es sind die unterschiedlichsten Positioniereinrichtungen, z. B. der Firmen Delvotec S.A. München, Laser Optronic, Münzen und Sehne eberger AG, Schweiz bekannt, die aus einem Kreuztisch mit je einem x- und y-Antrieb bestehen, webei die Antriebs· und Führungsachsen um 90° versetzt sind. Eine Antriebsachse ist dabei gestellfest gelagert, während die zweite Antriebseinrichtung mit verfahren wird. Bei diesen Lösungen wird immer eine größere Masse verfahren, die die Arbeitsgeschwindigkeit einschränkt. Durch den Versatz der Antriebs- und Führungsachsen um 90° ist ein großer Raumbedarf erforderlich.

Ziel der Erfindung

Das Ziel der Erfindung besteht darin, eine Positioniereinrichtung für die Herstellung von Halbleiterbauelement' ι zu schaffen, die den Genauigkeitsforderungen für Drahtkontaktierungen genügt, optimal hohe Arbeitsgeschwindigkeiten und eine platzsparende Ausführung zuläßt.