DD49755A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Fixieren von Körpern, vorzugsweise Halbleiterplättchen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Fixieren von Körpern, vorzugsweise Halbleiterplättchen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB2211119A (en) * 1987-05-26 1989-06-28 Fmtd Fab Mach Taill Diamants Rotary fixing device for fixing by freezing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2211119A (en) * 1987-05-26 1989-06-28 Fmtd Fab Mach Taill Diamants Rotary fixing device for fixing by freezing
GB2211119B (en) * 1987-05-26 1991-06-05 Fmtd Fab Mach Taill Diamants Rotary attachment means.

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