DE1521250B2 - Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen, mit Quarz oder Metallen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Bedampfen von kleinen Gegenständen, insbesondere Linsen, mit Quarz oder Metallen

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DE1521250B2 DE19661521250 DE1521250A DE1521250B2 DE 1521250 B2 DE1521250 B2 DE 1521250B2 DE 19661521250 DE19661521250 DE 19661521250 DE 1521250 A DE1521250 A DE 1521250A DE 1521250 B2 DE1521250 B2 DE 1521250B2
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    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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