DE1521476B2 - Verfahren zur herstellung metallischer folienblenden, insbesondere aperturblenden fuer elektronenmikroskope - Google Patents
Verfahren zur herstellung metallischer folienblenden, insbesondere aperturblenden fuer elektronenmikroskopeInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Description
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Verfahren zur Herstellung metallischer von weil Silber in an der Pumpe arbeitenden Korpuskueiner
Metallmatrize leicht abhebbarer Folienblen- larstrahlgeräten, beispielsweise Elektronenmikroskoden
für Korpuskularstrahlgeräte, insbesondere 5 pen, unter dem Einfluß des in den Gummidichtungen
Aperturblenden für Elektronenmikroskope, durch vorhandenen Schwefels zur Sulfidbildung neigt.
Vakuumaufdampfen, dadurch gekennzeich- Man kann die Matrize ganz aus den dafür genannn et, daß Kupfer, Silber oder Gold oder eine Edel- ten Metallen aufbauen; es genügt jedoch, lediglich metallegierung auf eine aus Molybdän, Wolfram, diejenigen Flächen der Matrize, die bedampft wer-Tantal oder Chrom bestehende profilierte Fläche io den, aus den genannten Materialien herzustellen.
Vakuumaufdampfen, dadurch gekennzeich- Man kann die Matrize ganz aus den dafür genannn et, daß Kupfer, Silber oder Gold oder eine Edel- ten Metallen aufbauen; es genügt jedoch, lediglich metallegierung auf eine aus Molybdän, Wolfram, diejenigen Flächen der Matrize, die bedampft wer-Tantal oder Chrom bestehende profilierte Fläche io den, aus den genannten Materialien herzustellen.
der Matrize aufgedampft wird. Nach dem Aufdampfverfahren lassen sich Blenden
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- herstellen, deren Abmessungen in Richtung des Korkennzeichnet,
daß eine Matrize verwendet wird, puskularstrahls, d. h. ihre Dicken, erheblich geringer
die im Bereich der Blendenöffnung scharfe Kan- sind als die Dicke der üblichen Platin-Iriten,
dagegen in ihren äußeren Bereichen abgerun- 15 dium-Blenden. Da die Verschmutzungsgeschwindigdete
oder abgeschrägte Kanten besitzt. keit einer Blende von dieser Abmessung abhängt und
Platin als Katalysator bei der Bildung von Kohlen-
wasserstoffschichten wirkt, neigen nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellte dünne Folien-
Die üblicherweise in Korpuskularstrahlgeräten, wie 20 blenden in geringerem Maße zur Verschmutzung als
Elektronenmikroskopen, verwendeten Blenden beste- die üblichen Blenden. Weiterhin besitzen die nach
hen bekanntlich aus Platin-Iridium und besitzen den dem Aufdampfverfahren hergestellten Folienblenden
Nachteil, daß sie leicht verschmutzen. Eine Ver- den Vorteil, daß sie infolge ihres geringen Preises
schmutzung der Blendenöffnung führt bei elektrosta- nicht gereinigt zu werden brauchen, sondern im Falle
tischer Aufladung der Schmutzpartikel leicht zu 25 einer Verschmutzung weggeworfen werden kön-
einem die Auflösung des Gerätes verringernden nen.
Astigmatismus. Die Reinigung der Blenden ist inso- Mit Vorteil wird eine Matrize verwendet, die im
fern unangenehm, als die Blenden dazu nach kurzer Bereich der Blendenöffnung scharfe Kanten, dagegen
Zeit aus dem jeweiligen Gerät entfernt werden müs- in ihren äußeren Bereichen abgerundete oder abge-
sen und eine sichere Reinigung schwierig ist. 30 schrägte Kanten besitzt. Dadurch wird erreicht, daß
Es ist bereits bekannt, Blenden durch Aufdampfen im Bereich der Blendenöffnung lediglich die Stirn-
von Silber auf aus Platin bestehende Matrizen in fläche der Matrize mit dem Folienmaterial bedampft
einem Vakuumbedampfungsgerät herzustellen. Die wird und die zur Erzeugung der Blendenöffnung die-
verwendeten Materialien erschweren jedoch das Ent- nende öffnung in der Matrize frei bleibt, während
fernen der durch die aufgedampfte Schicht gebildeten 35 das Folienmaterial sich auch auf den abgerundete
Folienblende von der Matrize. oder abgeschrägte Kanten besitzenden Bereichen der
Ein Nachteil der Folienblenden ist darin zu sehen, Matrize niederschlägt. Durch die so erzeugten Vor-
daß sie infolge ihrer geringen Stärke mechanisch sehr Sprünge an der Folienblende ist die gewünschte Zen-
empfindlich sind und demgemäß ihre Handhabung trierung derselben in der Trägerblende möglich. Die
schwierig ist. Aus diesem Grunde wird man die Fo- 40 verwendete Matrize ist vorzugsweise so ausgebildet,
lienblenden in einem Blendenträger innerhalb des je- daß ihre abgerundeten oder abgeschrägten Kanten
weiligen Gerätes, beispielsweise eines Elektronenmi- denselben Verlauf wie entsprechende Kanten an der
kroskops, haltern. Trägerblende besitzen.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstel- Die Figur zeigt eine beispielsweise Ausführungs-
lung metallischer von einer Metallmatrize leicht ab- 45 form einer nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
hebbarer Folienblenden für Korpuskularstrahlgeräte, hergestellten Folienblende nach Entfernen von der
insbesondere Aperturblenden für Elektronenmikro- Matrize. Die Folienblende 1 besteht aus Kupfer oder
skope, durch Vakuumaufdampfen. Sie besteht darin, Silber, während die Matrize 2, zumindest an ihren mit
daß Kupfer, Silber oder Gold oder eine Edelmetalle- der aufgedampften Folienschicht in Verbindung ste-
gierung auf eine aus Molybdän, Wolfram, Tantal 50 henden Flächen, aus einem Metall geringer Adhä-
oder Chrom bestehende profilierte Fläche der Ma- sion, wie Molybdän, Wolfram, Tantal oder Chrom,
trize aufgedampft wird. Die hierbei entstehende Pro- gebildet ist. Man erkennt, daß im Bereich der Öff-
filierung der Folienblende dient zu deren Zentrierung nung 3 der Folienblende 1 diese durch Bedamp-
in einer Trägerblende. fen lediglich der Stirnfläche 4 der Matrize 2 her-
Wesentlich ist die gewählte Materialpaarung. Es 55 gestellt ist, während die Öffnung 5 in der Matrize 2
handelt sich bei den für die Matrize gewählten Metal- bei dem Bedampfungsvorgang frei geblieben ist.
len um solche, die eine dünne Oxydschicht aufweisen, Dies beruht darauf, daß die entsprechende Kante der
so daß lediglich eine geringe Adhäsion zwischen der Matrize 2 möglichst scharf ausgebildet ist. Demge-Matrize
einerseits und dem Folienmaterial anderer- genüber ist die Kante 6 in diesem Ausführungsbeiseits
vorliegt und keine Diffusion, wie zwischen Silber 60 spiel abgeschrägt ausgebildet, so daß auch sie beim
und Platin, auftritt. Infolgedessen ist die Folien- Bedampfungsvorgang beschichtet worden ist. Der
blende leicht von der Matrize ablösbar, was im Hin- entsprechende Teil der Lochfolie 1 ist etwa kragenblick
auf die Profilierung, die das Abheben an sich förmig ausgebildet und mit 7 bezeichnet. Dieser
erschwert, von besonderer Bedeutung ist. Teil 7 dient später zur Zentrierung der Folien-
Weiterhin ist es infolge der getroffenen Material- 65 blende 1 in einer Trägerblende im Gerät. Diese
wahl für die Folienblende möglich, diese durch Hart- Trägerblende hat dieselbe Form wie die figürlich dar-
lötung auf der Trägerblende festzulegen. gestellte Matrize 2.
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1521476A1 DE1521476A1 (de) | 1969-07-31 |
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Family
ID=7522256
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19651521476 Expired DE1521476C3 (de) | 1965-09-16 | 1965-09-16 | Verfahren zur Herstellung metallischer Folienblenden, insbesondere Aperturblenden für Elektronenmikroskope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1521476C3 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2436274A1 (de) * | 1974-07-27 | 1976-02-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Elektronenoptisch durchstrahlbare struktur |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4453587A (en) * | 1982-01-13 | 1984-06-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Replication of high power laser mirrors |
| US4857743A (en) * | 1988-08-04 | 1989-08-15 | Electroscan Corporation | Disposable spray aperture |
| DE10137493A1 (de) | 2001-07-31 | 2003-04-10 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur Herstellung einer selbsttragenden elektronenoptisch durchstrahlbaren Struktur und nach dem Verfahren hergestellte Struktur |
-
1965
- 1965-09-16 DE DE19651521476 patent/DE1521476C3/de not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2436274A1 (de) * | 1974-07-27 | 1976-02-12 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Elektronenoptisch durchstrahlbare struktur |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE1521476C3 (de) | 1973-01-04 |
| DE1521476A1 (de) | 1969-07-31 |
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|---|---|---|---|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |