DE19836595A1 - Anordnung zur Messung von optischen Spektren - Google Patents
Anordnung zur Messung von optischen SpektrenInfo
- Publication number
- DE19836595A1 DE19836595A1 DE1998136595 DE19836595A DE19836595A1 DE 19836595 A1 DE19836595 A1 DE 19836595A1 DE 1998136595 DE1998136595 DE 1998136595 DE 19836595 A DE19836595 A DE 19836595A DE 19836595 A1 DE19836595 A1 DE 19836595A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optical
- arrangement according
- arrangement
- spectra
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 32
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims description 11
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 2
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 abstract 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 5
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0256—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Die Aufnahme von optischen Spektren erfolgt in zunehmendem Maße mit Hilfe von Zeilenspektrometern. Sie bestehen aus einem optischen Teil zur spektralen Zerlegung der Strahlung und einem elektronischen Teil zur Ermittlung des spektralen Verlaufes. DOLLAR A Der Erfindung liegt das Ziel zugrunde, ein optoelektronisches Bauelement zu schaffen, das in miniaturisierter Form ein komplettes Spektrometer vom optischen Eingang bis zu einer definierten elektronischen Schnittstelle umfaßt. Das wird durch eine Anordnung gelöst, die beide Teile in kompakter Weise umfaßt, wobei die Teile vorzugsweise in Sandwichbauweise übereinander angeordnet sind. Der optische Teil kann in Freistrahl- oder Wellenleitertechnik und der elektronische Teil in einer entsprechenden Miniaturisierungstechnik ausgeführt sein. DOLLAR A Die Abbildung zeigt ein Ausführungsbeispiel der Anordnung. Der Lichtleiter 1 koppelt die Strahlung in den Freistrahlraum 2 der Optoebene ein, der vom Gitter 3 spektral zerlegt und vom Spiegel 4 auf das Empfängerarray 5 in der elektronischen Ebene gelenkt wird. In dieser Ebene befinden sich ein A/D-Wandler 7, ein Mikrocontroller 8 sowie ein Programm- und Datenspeicher 9. Die Schnittstelle 10 in Form von elektrischen Anschlüssen gestattet den Einbau der Anordnung auf Leiterplatten in elektronischen Geräten. DOLLAR A Die Anordnung kann beispielsweise vorteilhaft in Geräteentwicklungen der Farbmeßtechnik, online-Überwachung und Prüfung von Lichtquellen eingesetzt werden. Sie zeichnet sich durch die ...
Description
Die Erfindung betrifft eine miniaturisierte Anordnung zur Messung von optischen
Spektren. Sie setzt sich aus einem optischen und einem elektronischen Teil
zusammen, die dauerhaft miteinander verbunden sind.
Die Aufnahme von optischen Spektren erfolgt in zunehmendem Maße mit Hilfe von
Zeilenspektrometern, bei denen der Eingangsspalt meistens faseroptisch ausgeführt,
das dispersive Element als Gitter gestaltet ist und als Detektor ein Zeilenempfänger
verwendet wird. Beispielhaft sei das Miniaturspektrometer MMS der Fa. Carl Zeiss
genannt, bei dem ein kompakter und stabiler Aufbau durch die präzisionsoptische
Bearbeitung eines transparenten Tragkörpers und der Anordnung von Eingangsspalt,
Gitter und Empfängerzeile an den Frontflächen dieses Körpers geschaffen wird
(DE 40 38 638).
Spektrometerkomponenten lassen sich durch Anwendung moderner Technologien
der Mikrosystemtechnik in einer äußerst platzsparenden Weise herstellen. So nutzt
beispielsweise das LIGA-Spektrometer der Fa. microParts GmbH eine planare
Schichtwellenleiteranordnung, in der sich die Strahlung ausbreitet (DE 195 43 729).
Das Spektrometer ist derartig miniaturisiert, daß es über die elektrischen Anschlüsse
des Zeilenempfängers kontaktiert und gleichzeitig gehaltert werden kann. Es läßt
sich auf Leiterplatten einsetzen, auf denen sich, das Mikrospektrometer umgebend,
die zusätzlich notwendigen elektronischen Bauteile, wie Zeilenansteuerung, Wandler,
Mikroprozessor und Speicher, befinden. Diese Grundanordnung variiert von
Einsatzfall zu Einsatzfall nur wenig, nimmt aber durch ihren Aufbau auf der
Leiterplatte im Gegensatz zum optischen Teil des Mikrospektrometers relativ viel
Platz in Anspruch und erfordert einen beträchtlichen Entwicklungsaufwand.
In einer Reihe von Patentschriften werden Zeilenspektrometer beschrieben, in denen
die Zeilenansteuer- und Auswerteelektronik aus einem Microcontroller, einer
Speicher- sowie einer Ein- und Ausgabemöglichkeit besteht. Beispielhaft hierfür sei
die Patentschrift US 4560275 genannt. Nachteilig bei diesen Anordnungen sind
wiederum der hohe Platzbedarf sowie die hohen Entwicklungsaufwendungen, die
nötig sind, um die Systeme an unterschiedliche Anwendungen anzupassen.
Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt deshalb das Problem
zugrunde, ein optoelektronisches Bauelement zu schaffen, das in miniaturisierter
Form ein komplettes Spektrometer vom optischen Eingang bis zu einer definierten
elektronischen Schnittstelle umfaßt. Im folgenden wird dieses Bauelement als
Spektrenprozessor bezeichnet.
Das Problem wird mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst. Das
Bauelement weist einen optischen und einen elektronischen Teil auf, die mit
modernen Methoden der Aufbau- und Verbindungstechnik dauerhaft miteinander
verbunden sind.
Der optische Eingang des Bauelementes wird entsprechend Patentanspruch 2
vorzugsweise durch einen Lichtwellenleiter gebildet. Dadurch läßt sich der
Spektrenprozessor sehr flexibel an unterschiedliche Meßanordnungen anpassen.
Der Kern der optischen Faser wirkt als Eingangsspalt, durch den die zu
untersuchende Strahlung in den Ausbreitungsraum des Spektrometers gelangt. Die
spektrale Zerlegung erfolgt, wie im Patentanspruch 3 angegeben, vorzugsweise an
einem Reflexions- oder Transmissionsgitter, die Detektion der Signals geschieht
durch einen Zeilenempfänger. Je nach Anwendungsfall können dafür Photodioden- oder
CCD-Arrays eingesetzt werden. In unmittelbarer Nähe zu diesem optischen
Aufbau befindet sich eine miniaturisierte elektronische Schaltung, die, wie in
Anspruch 4 ausgeführt, mindestens die Komponenten für die Ansteuerung des
Zeilenempfängers, einen A/D-Wandler, einen Microcontroller, einen Taktgenerator,
eine Speichereinrichtung sowie eine elektrische Schnittstelle enthält. Im Baustein
können die exemplartypischen Werte des Spektrometers, wie Wellenlängenoffset
und Fitparameter, gespeichert sein. Entsprechend Patentanspruch 5 empfängt der
Spektrenprozessor von einer übergeordneten Steuerung über die bidirektional
arbeitende Schnittstelle spezifische Meßparameter sowie den Befehl zur Triggerung
der Messung. Zu den Parametern gehören z. B. der gewünschte
Wellenlängenbereich und die Integrationszeit. Nach erfolgter Messung werden über
die Schnittstelle die gemessenen spektralen Daten an die Steuerung gesendet. Der
gesamte elektronische Teil ist vorzugsweise in SMD-Technik auf PCB, in
Dickschicht- oder COB-Technik ausgeführt. In einer weitergehenden
Ausführungsform ist er, einschließlich der Empfängerzeile und der
Vorverarbeitungseinheit, in monolithischer Technik hergestellt. Darüber
hinausgehend ist, entsprechend Patentanspruch 6, auch eine monolithische
Integration des Spektrenprozessors mit Hilfe der bekannten Technologien der
Mikroelektronik und Mikrooptik möglich.
Optischer und elektronischer Teil sind dauerhaft derart miteinander verbunden, so
daß Umgebungseinflüsse keinen entscheidenden Einfluß auf die Signalgewinnung
haben. Günstigerweise sind die Komponenten in einem gemeinsamen Gehäuse
untergebracht und/oder gemeinsam vergossen.
Bei Anwendungen der Spektralmessung besteht oftmals das Problem, gleichzeitig
zum eigentlichen Meßspektrum ein Referenzspektrum aufzunehmen zu müssen, z. B.
bei Verwendung einer Blitzlampe. Entsprechend Patentanspruch 7 wird in diesem
Fall der optische Teil zweikanalig ausgeführt. Dadurch können zwei Spektren
gleichzeitig aufgenommen werden, die gemeinsam im elektronischen Teil verarbeitet
und z. B. zueinander ins Verhältnis gesetzt werden. Darüber hinausgehend ist es, wie
in Patentanspruch 8 ausgeführt, möglich, den optischen Teil mit mehr als zwei Kanäle
auszubilden. Dadurch können mehrere Messungen simultan durchgeführt werden,
beispielsweise für bestimmte Anwendungen in der Analysenmeßtechnik.
Der Spektrenprozessor stellt ein kompaktes Bauelement dar, bei dem optischer und
elektronischer Teil sehr gut aufeinander abgestimmt werden können. Das führt für
den Anwender zu Vorteilen bezüglich der Parameter seines Gesamtsystems.
Außerdem verbessert sich die Zuverlässigkeit, Verfügbarkeit und
Servicefreundlichkeit. Weiterhin können aufgrund der klar definierten Schnittstellen
Anwender ohne spezielle Kompetenz auf optischem Gebiet den Spektrenprozessor
in ihren Entwicklungen einsetzen.
Die erfindungsgemäße Anordnung soll nachstehend anhand eines
Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 den schematischen Aufbau des Spektrenprozessors;
Fig. 2 die wesentlichen Bestandteile des Spektrenprozessors.
Das Spektrometerbauelement besteht aus einer optischen und einer elektrischen
Ebene. Beide sind zueinanderjustiert und dauerhaft miteinander verbunden. Der
Spektrenprozessor wird vergossen oder in ein Gehäuse montiert, um ihn vor
Umwelteinflüssen zu schützen.
Fig. 1 zeigt die Bestandteile des Bauelementes. Der optische Eingang ist durch eine
an den Grundkörper gekittete optische Stufenindexfaser 1 mit einem
Kerndurchmesser von z. B. 100 µm ausgeführt. Dabei verläuft die Faserachse parallel
zur Unterlage, z. B. einer Leiterplatte. Dadurch sind konstruktiv günstige Lösungen
des Gesamtsystems möglich. Die Strahlung tritt in den optischen Teil des
Spektrenprozessors ein. Entsprechend der Apertur der Faser breitet sich die
Strahlung im Freiraum 2 aus und trifft auf ein Reflexionsgitter 3, an dem es in seine
spektralen Bestandteile zerlegt und wieder in den Freiraum 2 reflektiert wird. Die
Strahlung trifft schließlich, von einem Spiegel 4 umgelenkt, auf das Photodioden- oder
CCD-Array 5. Dieser Empfänger bildet das Bindeglied zwischen dem optischen
und dem elektronischen Teil des Bauelementes. Der optische Grundkörper ist justiert
zum Zeilenarray angeordnet. Dieses befindet sich auf einem Träger in Form eines
Dickschichtschaltkreises 6. Dieser Schaltkreis enthält einen ND-Wandler 7, einen
Microcontroller 8, einen Programm- und Datenspeicher 9 und weist eine serielle oder
parallele Schnittstelle 10 auf, die in Form von Anschlüssen ausgeführt ist. Ebenso
erfolgt über die Anschlüsse auch die Stromversorgung des Spektrenprozessors.
Durch diese Konstruktion ist das Bauelement auf Leiterplatten und anderen Trägern
direkt einsetzbar. Die Bauform ist derart gewählt, daß auch eine Anwendung bei
Einschubleiterplatten möglich ist. Der Fasereingang ist senkrecht zu den
Anschlüssen angeordnet und die Bauhöhe übersteigt den gewöhnlichen Abstand
zwischen zwei Leiterkarten, z. B. 10 . . . 15 mm, nicht.
In Fig. 2 sind die wesentlichen Bestandteile des Spektrenprozessors nochmals im
Blockschaltbild dargestellt.
Das Herzstück des elektronischen Teils ist der Prozessor. Er steuert das Taktregime
der Zeile und den ADU, ermöglicht spektrale Operationen, wie den Vergleich mit
Referenzspektren, Mittelwertbildung, Driftkompensation, Dunkelwertkorrektur sowie
komplexere mathematische Operationen. Dadurch wird dem Anwender der Aufwand
für derartige, auf dem Gebiet der Spektralmeßtechnik häufig angewandten
grundlegenden Berechnungen, in der Spektrometerkomponente abgenommen. Im
prozessorinternen Parameterspeicher werden die spektrometerspezifischen Fit-
Parameter jeder Komponente gespeichert, so daß die Meßergebnisse bereits
wellenlängenrichtig vorliegen. Im zusätzlichen RAM können gemessene oder
berechnete Daten zwischenzeitlich gespeichert werden, bis sie von der Peripherie
weiterverarbeitet werden. Die Verbindung zur Peripherie erfolgt über eine genormte
bidirektionale serielle oder parallele Schnittstelle bzw. über DMA. Neben der
Ausgabe der vorverarbeiteten Meßergebnisse können über die Schnittstelle die
erforderlichen Meßparameter, wie Wellenlängenbereich und Integrationszeit, sowie
gewünschte Spektrenoperationen mittels eines einfachen Befehlssatzes eingegeben
werden. Beispielsweise läßt sich mit einer kurzen Befehlsfolge die Differenz von zwei
aufeinanderfolgend gemessenen Spektren ermitteln. Damit kann man z. B. die
Dunkelstromkorrektur durchführen und sofort das korrigierte Signal
weiterverarbeiten.
Claims (8)
1. Anordnung zur Messung von optischen Spektren, dadurch gekennzeichnet, daß
sie in kompakter Bauweise einen optischen und einen elektronischen Teil enthält,
die vorzugsweise übereinander in Sandwichbauweise angeordnet sowie
dauerhaft miteinander verbunden sind, wobei der optische Teil in Wellenleiter-
oder in Freistrahltechnik ausgeführt ist und der elektronische Teil eine Einheit zur
Vorverarbeitung der Spektren aufweist und die für den optischen Teil der
Anordnung spezifischen Fitparameter enthält.
2. Anordnung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vorzugsweise
ein Lichtwellenleiter als Eingangsspalt verwendet wird.
3. Anordnung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die spektrale
Zerlegung der Strahlung mittels eines Reflexions- oder Transmissionsgitters und
die Aufnahme des Spektrums durch einen Zeilenempfänger, vorzugsweise ein
Photodioden- oder CCD-Array, erfolgt.
4. Anordnung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
elektronische Teil mindestens eine Empfängerzeile, die elektronischen Elemente
zum Ansteuern und Auslesen dieser Zeile, einen Mikroprozessor, mindestens
eine Speichereinrichtung sowie eine elektrische Schnittstelle besitzt.
5. Anordnung nach Patentanspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Schnittstelle bidirektional ausgeführt ist, der Austausch der binär codierten Daten,
seriell oder parallel erfolgt sowie über die Schnittstelle die gewünschten
Meßparameter, Spektrenoperationen und die Triggerung der Messung
eingegeben und die gemessenen und vorverarbeiteten Spektren ausgegeben
werden können.
6. Anordnung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gesamte
Anordnung oder der elektronische Teil in monolithischer Technik ausgeführt sind
und die optischen Komponenten, die Empfängerzeile sowie die
Vorverarbeitungseinheit oder Teile der genannten Komponenten auf dem Chip
integriert sind.
7. Anordnung nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der optische
Teil zwei Kanäle aufweist, mit denen Meß- und Referenzspektrum gleichzeitig
aufgenommen und im elektrischen Teil des Bauelementes verarbeitet,
insbesondere zueinander in Bezug gesetzt werden können.
8. Anordnung nach Patentanspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der optische
Teil mehr als zwei Kanäle aufweist, mit denen zeitlich parallele Messungen
durchgeführt werden können.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1998136595 DE19836595B4 (de) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | Anordnung zur Messung von optischen Spektren |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE1998136595 DE19836595B4 (de) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | Anordnung zur Messung von optischen Spektren |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE19836595A1 true DE19836595A1 (de) | 2000-02-17 |
| DE19836595B4 DE19836595B4 (de) | 2005-12-15 |
Family
ID=7877336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE1998136595 Expired - Fee Related DE19836595B4 (de) | 1998-08-13 | 1998-08-13 | Anordnung zur Messung von optischen Spektren |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE19836595B4 (de) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1255096A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-11-06 | Acterna Eningen GmbH | Monochromator und optischer Spektrumanalysator mit mehreren Messpfaden |
| DE10217940A1 (de) * | 2002-04-22 | 2003-11-13 | Rainer Bayer | Mikrospektrometer |
| DE10304312A1 (de) * | 2003-02-04 | 2004-08-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Kompakt-Spektrometer |
| WO2004106873A1 (en) * | 2003-05-28 | 2004-12-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector and spectrometer using the same |
| EP2116827A4 (de) * | 2008-03-04 | 2014-01-08 | Hamamatsu Photonics Kk | Spektroskop |
| WO2016115720A1 (zh) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 台湾超微光学股份有限公司 | 光谱仪及其光输入部 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4345840A (en) * | 1980-04-08 | 1982-08-24 | California Institute Of Technology | Method and apparatus for instantaneous band ratioing in a reflectance radiometer |
| DE4038638A1 (de) * | 1990-12-04 | 1992-06-11 | Zeiss Carl Fa | Diodenzeilen-spektrometer |
| DE4122925C2 (de) * | 1991-07-11 | 1994-09-22 | Fraunhofer Ges Forschung | Optisches Spektrometer |
| DE19543729B4 (de) * | 1995-11-23 | 2008-08-21 | Berthold Gmbh & Co. Kg | Spektrometer |
-
1998
- 1998-08-13 DE DE1998136595 patent/DE19836595B4/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1255096A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-11-06 | Acterna Eningen GmbH | Monochromator und optischer Spektrumanalysator mit mehreren Messpfaden |
| DE10217940A1 (de) * | 2002-04-22 | 2003-11-13 | Rainer Bayer | Mikrospektrometer |
| DE10304312A1 (de) * | 2003-02-04 | 2004-08-12 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Kompakt-Spektrometer |
| WO2004106873A1 (en) * | 2003-05-28 | 2004-12-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector and spectrometer using the same |
| US7081955B2 (en) | 2003-05-28 | 2006-07-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector and spectrometer using the same |
| EP2116827A4 (de) * | 2008-03-04 | 2014-01-08 | Hamamatsu Photonics Kk | Spektroskop |
| WO2016115720A1 (zh) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 台湾超微光学股份有限公司 | 光谱仪及其光输入部 |
| US10436639B2 (en) | 2015-01-23 | 2019-10-08 | Oto Photonics Inc. | Spectrometer and optical input portion thereof |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19836595B4 (de) | 2005-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2739585C2 (de) | Spektrophotometer | |
| DE102007044554B3 (de) | Sensorband mit optischer Sensorfaser, Sensor mit diesem Sensorband und Verfahren zum Kalibrieren einer optischen Sensorfaser | |
| DE69114753T2 (de) | Optisches Fehlersuchgerät mit adaptiver Pulslänge. | |
| DE10010213B4 (de) | Optische Meßvorrichtung, insbesondere zur Qualitätsüberwachung bei kontinuierlichen Prozessen | |
| EP0438468B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur glanzmessung | |
| DE3429541C2 (de) | Verfahren zur gleichzeitigen Bestimmung der Wellenlänge und der Strahlungsleistung einer monochromatischen Lichtquelle | |
| EP0878704A1 (de) | Remissionsmessvorrichtung | |
| DE2703319A1 (de) | Opto-elektrische abzweigungsvorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE69117792T2 (de) | Optischer Detektor von Fehlern | |
| WO2003098198A1 (de) | Online-analysator | |
| DE102009058804A1 (de) | Sensor zur Prüfung von Wertdokumenten | |
| DE19824652A1 (de) | Vorrichtung zur Detektion von flüssigchromatographisch getrennten Substanzen mittels UV- oder Fluoreszenzspektren | |
| DE19836595A1 (de) | Anordnung zur Messung von optischen Spektren | |
| EP0332211B1 (de) | Echelle-Spektrometer zur Untersuchung hochaufgelöster Teilspektren eines Echelle-Spektrums | |
| EP0735501A2 (de) | Farbsensoranordnung zum Lesen farbiger Markierungen | |
| EP0359167A2 (de) | Refraktometer mit brechzahlabhängiger Aperturteilung | |
| DE10033609A1 (de) | Vorrichtung sowie Verfahren zur selbsttätigen Adaption einer Lichtsensorik an eine Windschutzscheibe | |
| DE102005041998B4 (de) | Verfahren zur Justage eines abbildenden Elements sowie Messgerät justiert nach einem derartigen Verfahren | |
| WO2016050523A1 (de) | Signalgeber für eine lichtsignalanlage und lichtsignalanlage | |
| DE3622043A1 (de) | Vorrichtung zur farbmessung | |
| DE2946111A1 (de) | Optischer koerper fuer ein lidar-system | |
| EP1156310A1 (de) | Optisches Referenzelement und Verfahren zur spektralen Kalibrierung eines optischen Spektrumanalysators | |
| DE2744678C3 (de) | Vorrichtung zum Diagnostizieren verschiedener Krankheitssymptome und zur Kontrolle des Verlaufs einer Therapie | |
| DE3108239A1 (de) | "anordnung und verfahren zur messung optischer wellenlaengen" | |
| DE3711421A1 (de) | Pruefeinrichtung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8122 | Nonbinding interest in granting licences declared | ||
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |