DE19904834A1 - Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Einlagern von dünnen, bruchempfindlichen scheibenförmigen Substraten - Google Patents

Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Einlagern von dünnen, bruchempfindlichen scheibenförmigen Substraten

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    • B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der dünne, bruchempfindliche scheibenförmige Substrate automatisch und beschädigungsfrei aus einem Sägeblock von der Klebestelle abgelöst, vereinzelt und in eine Kassette eingelagert werden.

Description

Bei der Herstellung von Substraten, wie sie beispielsweise für Solarzellen eingesetzt werden, verwendet man Siliziumblöcke oder -säulen, die in dünne Scheiben zersägt werden. Dazu wird der Block oder die Säule auf eine Basisplatte aufgeklebt. Nach dem Sägen haftet die Scheibe an einer Seite nur noch über die Klebestelle auf der Basisplatte. Nachdem der Block vollständig in Scheiben zerteilt ist entsteht ein kammartiges Gebilde, von dem die sehr bruchempfindlichen Scheiben nach dem heutigen Stand der Technik an der Klebestelle von Hand abgebrochen werden. Da die Scheiben nur ca. 0,3 mm dick sind und der Sägespalt auch nicht größer ist, werden bei diesem Ablösevorgang viele Scheiben beschädigt oder zerbrochen.
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung, mit der dünne, bruchempfindliche scheibenförmige Substrate automatisch und beschädigungsfrei aus einem Sägeblock von der Klebestelle abgelöst, vereinzelt und in eine Kassette eingelagert werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß vom Sägeblock (1), der in der Flüssigkeit (5) steht und mit dem Hubwerk (9) nachgeführt werden kann, mit einem Werkzeug (3) an der Flüssigkeitsoberfläche ein Substrat (2) nach dem anderen abgelöst wird und durch die Flüssigkeitsströmung (5.2) über ein rinnenförmiges Wehr (7) in eine Kassette (10) gespült werden kann.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind dem Ausführungsbeispiel zu entnehmen, welches nachstehend in der Figur beschrieben wird.
Fig. 1: Längsschnitt durch die Vorrichtung:
Um den Sägeblock (1), der in dem mit Flüssigkeit (5) gefüllten Becken (4) steht mit dem jeweils obersten Substrat (2) an die Flüssigkeitsoberfläche (5.1) nachzuführen, wird der Sägeblock über den Kragarm (9.1) an dem Hubwerk (9) befestigt. Sobald das oberste Substrat (2) mit dem Werkzeug (3), das sowohl als Meißel aber auch als Laser- oder als Wasserstrahlschneidegerät, Ritz- und Schnittwerkzeug ausgebildet sein kann, abgelöst ist, wird es von der Flüssigkeitsströmung (5.2), die durch seitlich am Sägeblock (1) angebrachte Düsen verstärkt werden kann, erfaßt und über das rinnenförmige Wehr (7) in die Kassette (10) gespült. Die Kassette besitzt links und rechts Führungsschlitze, in denen die einzelnen Substrate aufgenommen werden. Mit dem Hubwerk (8) kann im Takt der Vorrichtung von unten nach oben die nächste Aufnahmeposition bereitgestellt werden. Der Flüssigkeitsstrom (5.2) wird durch die zugeführte Menge am Stutzen (4.1) gesteuert. An den Flüssigkeitsbehälter (4) schließt sich an der Wandung (4.2) eine Auffangwanne (6) an, die den Flüssigkeitsstrom (5.2, 5.3, 5.4) auffängt und am Stutzen (6.1) wieder abführt. Das Ablösen und Transportieren der Substrate im Flüssigkeitsstrom erlaubt eine äußerst behutsame Behandlung ohne Beschädigungsgefahr im Gegensatz zum Abbrechen von Hand, bei der eine Biegebeanspruchung des Substrats nicht zu vermeiden ist und beim Eindringen in den Sägespalt auch schon das nächste Substrat beschädigt werden kann.

Claims (5)

1. Vorrichtung zum Ablösen, Vereinzeln und Einlagern von dünnen, bruchempfindlichen scheibenförmigen Substraten von einem Sägeblock dadurch gekennzeichnet, daß das Ablösen, Vereinzeln und Einlagern in einem Flüssigkeitsstrom geschieht.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß der Sägeblock zum Ablösen der Substrate in einen Flüssigkeitsbehälter gestellt wird.
3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2 dadurch gekennzeichnet, daß das jeweils oberste Substrat des Sägeblocks mit Hilfe eines Hubwerks an die Oberfläche nachgeführt werden kann.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3 dadurch gekennzeichet, daß ein geneigtes rinnenförmiges Wehr die dem Behälter stetig zugeführte Flüssigkeit abführt und damit die Substrate in eine Kassette spült.
5. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß der Flüssigkeitsstrom durch Düsen am Wehreinlauf und am Boden des Wehres verstärkt wird.
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