DE2256018B2 - Anordnung zum behandeln, insbesondere zum aetzen von gegenstaenden - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Behandein, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen, die eine Vielzahl von einzelnen Behandlungsstationen umfaßt, durch die die zu behandelnden Gegenstände kontinuierlich befördert werden.

Es ist üblich, für das ÄtLen von Platinen für gedruckte Schaltungen und das Atzen von anderen Gegenständen sowie für die damit verbundenen Behandlungsschritte eine Anordnung vorzusehen, die neben der eigentlichen Ätzstation beispielsweise auch Spül- bzw. Wässerungsstationen und/oder Trocknungsstationen usw. umfaßt. In Fällen, bei denen besondere Anordnungen erwünscht sind, beispielsweise wenn längere Ätzzeiten oder eine größere Kapazität erwünscht sind, ist es bekannt, Mehrfach-Ätzanordnungen hintereinander in einer Produktionslinie anzuordnen, um eine Verlängerung beispielsweise der effektiven Ätzkammerlänge zu erreichen.

Rei diesen nach dem Stand der Technik bekannten Anordnungen wurde zwar durch die verschiedensten Größen and Ausführungsfonnert versucht, eine inöglichst optimale Anpassung an den jeweiligen Bedarfsfall zu erreichen. Dennoch hat es sich in der Praxis herausgestellt, daß die Flexibilität und Anpassungsfähigkeit dieser bekannten Anlagen nicht ausreicht, um den überwiegenden Teil der konkret auftretenden Bedarfsfälle ohne Ober- bzw. Unterdimensionierung genau abzudecken. Insbesondere der häufig notwendig werdende nachträgliche Umbau bzw. die nachträgliche Erweiterung bereits vorhandener Anlagen läßt sich im allgemeinen nicht ohne tiefgreifende, zu langen Stillstandszeiten führende, mit hohen Kosten verbundene bauliche Maßnahmen durchführen. Ein besonderes Problem ergibt sich hierbei auch aus der Tatsache, daß d^:e einzelnen Behandlungsstationen jeweils ihre eigenen Fördereinrichtungen für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände besitzen, wobei jede dieser Fördereinrichtungen ihr eigenes, teueres Antriebsaggregat umfaßt, das beim Zusammenstellen der einzelnen Stationen zu einem Gesamtsystem oft nur unter Schwierigkeiten an die Transportgeschwindigkeit und Kapazität der anderen Antriebsaggregat angepaßt werden kann.

Auf diesem Stand der Technik aufbauend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen der eingangs genannten Art zu schaffen, die es ermöglicht, schnell und wirkungsvoll eine Anlage zu konstruieren und aufzubauen, die auf den jeweiligen Kundenbedarf genau zugeschnitten ist und auch nachträglich durch einfachste Maßnahmen erweitert bzw. variiert werden kann.

Zur Lösung dieser Aufgabe nach der Erfindung wird vorgesehen, daß die an den nach dem Baukastenprinzip als Moduln ausgebildeten Behandlungsstationen befindlichen, sich jeweils über nahezu die gesamte Länge der Behandlungsstationen erstreckenden, zum Antrieb der für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehenen Fördereinrichtungen dienenden und zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente mit Zahnrädern bestückten Wellen an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden durch Zusammenstecken drehfest miteinander verbindbar sind.

Durch diese erfindungsgemäße Anordnung wird es möglich, das in der Fördertechnik an sich bekannte Baukastenprinzip in besonders einfacher Weise auf Anlagen anzuwenden, in denen beispielsweise Platinen für gedruckte Schaltungen geätzt und weiteren Vorbereitungs- und Nachbehandlungsschritten unterworfen werden. Es können sehr schnell und wirtschaftlich kundenorientierte, »maßgeschneiderte« Konstruktionen von Ätzanlagen entworfen und aufgebaut werden, die im allgemeinen mit nur einem einzigen Antriebsaggregat für sämtliche, an den einzelnen Behandlungsstationen zum Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehene Fördereinrichtungen auskommen. Darüber hinaus wird dem Anwender die Möglichkeit gegeben, eine einmal gekaufte Anlage mit dem steigenden Bedarf wachsen zu lassen bzw. neuen Erfordernissen anzupassen, ohne daß die bereits vorhandenen Anlagenteile dadurch an Wert oder Brauchbarkeit verlieren bzw. teuren Änderungseingriffen unterworfen werden müssen.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung ist darin zu sehen, daß eine nach diesem Baukastenprinzip aufgebaute Ätzanlage auch dann mit

nur einem einzigen Antriebsaggregat für sämtliche Fördereinrichtungen auskommt, wenn nachträglich einzelne Behandlungsstationen an beliebigen Stellen der Anlage hinzugefügt bzw. herausgenommen werden.

Aus der US-PS 3066396 ist zv/ar eine aus Untereinheiten bestehende Montagebank bekannt, die durch das Aneinanderfügen einer beliebigen Anzahl von solchen Untereinheiten in gewünschter Weise verlängert bzw. verkürzt werden kann. Diese Druckschrift beschäftig sich jedoch in keiner Weise mit den mit einer _ro Flüssigkeitbehandlung der durchlaufenden Teile verbundenen Problemen und unterscheidet sich auch hinsichtlich der Art und Weise, wie die einzelnen Komponenten antriebsmäßig zu einem Gesamtsystem verbunden werden, von der beanspruchten Anordnung.

In der DT-OS 14 81 3!3 ist ein Fördertisch für eine Vorrichtung zum beidseitigen Behändem, insbesondere zum Ätzen flacher Gegenstände mittels gesprühter Flüssigkeiten beschrieben. Dieser Fördertisch weist eine Vielzahl von sich quer zur Förderrichtung erstreckenden Förderwalzen auf, die von einem gemeinsamen Motor über eine gemeinsame Förderkette angetrieben werden. Die ganze Anordnung stellt eine in sich völlig geschlossene Einheit dar und es sind dieser Druckschrift keinerlei Hinweise zu entnehmen, auf welche Weise 2s mehrere solcher Einheiten in einem Baukastensystem aneinandergefügt und antriebsmäßig miteinander verbunden werden könnten.

Auch die in der US-PS 27 48 919 beschriebene Rollen bzw. Walzenförderstrecke, bei der einzelne Walzen y, durch axiale Verschiebung des an ihrem einen Ende angebrachten Kegelzahnrades von der gemeinsamen Antriebswelle entkoppelt werden können, so daß sie nur noch leer mitlaufen, gibt keinerleit Hinweise auf eine Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe.

Das gleiche gilt auch für die Artikel aus dem »Industrie-Anzeiger« 1961. Nr. 73, Seite 30. und der »Metalloberfläche« 1961, Heft 7, Seiten 209 bis 212. in denen nur ganz allgemein davon die Rede ist, daß z. B. Galvanisieranlagen nach dem Baukastenprinzip aufgebaut sein können. Insbesondere hinsichtlich der Art der Beförderung der zu behandelnden Gegenstände bestehen hier tiefgreifende Unterschiede zum Erfindungsgegenstand, da die hierfür vorgesehene Fördereinrichtung bei Galvanisierar lagen eine selbständige, von den Behandlungsstationen vollständig getrennte, über diesen angeordnete Vorrichtung bildet, die dazu eingerichtet ist, an ihr aufgehängte Gegenstände weiterzutransportieren und in bestimmten zeitlichen bzw. räumlichen Abständen über eine vorgegebenen Höhe abzusenken und in dieser Lage für einige Zeit zu belassea Eine solche Anlage ist nicht für die kontinuierliche Weiterbeförderung der zu behandelnden Gegenstände, wie sie in Ätzanlagen erforderlich ist, geeignet; sie wird von einem Umbau der Behandlungsanlage selbst nur dann betroffen, wenn die Anzahl der Fahrwerke geändert wird.

Eine vorteilhafte Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden einen nicht kreisrunden, insbesondere einen rechteckigen Querschnitt besitzten. Hierdurch ergibt sich beim Zusammenstecken der einzelnen Behandlungsstationen ein besonders wirksamer, in beiden Drehrichtungen mechanisch stabiler Eingriff für die drehfeste Verbindung der an den einzelnen Moduln befindlichen Antriebswellen. Finp hesonders leicht zu handhabende und für schnelle Umrüstungen geeignete Anordnung ergibt sich dadurch, daß zur drehfesten Verbindung der Wellen an ihren an den Berührungsstellen der Moduln befindlichen Enden Hülsen vorgesehen sind, deren innere öffnung an die Querschnittsform der Wellen angepaßt ist und die im Gleitsitz auf die Wellen aufschiebbar sind. Durch die Verwendung dieser Hülsen können die einander gegenüberliegenden Enden benachbarter Wellen identische Querschnitte besitzen, so daß sich eine unterschiedliche Ausformung der beiden Enden einer einzelnen Welle erübrigt und die Variabilität der Anordnung erhöbt wird.

Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Anordnung ist vorgesehen, daß die Hülsen einen integralen Bestandteil eines der zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente dienenden Zahnräder bilden. Hierdurch wird es möglich, auch in unmittelbarer Nähe der Berührungssteilen der Moduln Förder- und Führungselemente vorzusehen, die durch entsprechende, auf den Antriebswellen angeordnete Zahnräder mittelbar oder direkt angetrieben werdea

Besonders einfach gestaltet sich die aus Antriebswellen und Antriebszahnrädern bestehende Anordnung, wenn die Hülsen mit ihrer Länge genau auf den Soll-Abstand aufeinanderfolgender Zahnräder abgestimmt sind. In diesem Fall kann die Antriebswelle durchgehend z. B. mit einem rechteckigen Querschnitt ausgebildet sein und die auf ihr erforderlichen Antriebszahnräder werden beim Zusammenbau der Vorrichtung auf die Antriebswelle aufgeschoben und durch die zwischen ihnen befindlichen, als Distanzelemente dienenden Hülsen auf dem erforderlichen Soll-Abstand gehalten.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung beschrieben, >n dieser zeigt

F i g. 1 eine Seitenansicht einer Ätzanordnung, die mit dem erfindungsgemäßen Förderantrieb ausgestattet ist,

F i g. 2 eine Draufsicht eines Bausteins der in F i g. 1 gezeigten Anordnung im allgemeinen längs Linie U-II in Fig.l,

F i g. 3 eine Seitenansicht der am oberen Ende der F i g. 2 dargestellten Antriebsanordnung im allgemeinen längs Linie UI-IIl in F ig.2,

F i g. 4 eine perspektivische Ansicht der in F i g. 3 dargestellten Antriebsanordnung,

F i g. 5 eine vergrößerte Querschnittsansicht durch eine Kegelradanordnun? gemäß der Erfindung im allgemeinen längs Linie V-V in F i g. 2,

F i g. 6 eine Stirnansicht des in F i g. 5 dargestellten Lagers im allgemeinen längs Linie Vl-VI in F i g. 5,

F i g. 7 eine Querschnittsansicht durch ein Drucklager gemäß der Erfindung im allgemeinen längs Linie VIl-VIIinFig. 2und

Fig.8 einen Längsschnit* durch ein Paar von Antriebszahnrädern und ein Drucklager im allgemeinen entlang Linie VIlI-VIIl in F i g. 2.

Nach Fig. 1 umfaßt ein Beiz- bzw. Ätzsystem 10, im folgenden Ätzanordnung 10 genannt, einen Eingangsförderer-Baustein 11, einen Ätz-Baustein 12, einen Behandlungsfluid-Wiedergewinnungsbaustein 13, einen rezirkulierenden Spül- bzw. Wässerungsbaustein 14, zusätzliche Wässerungs- bzw. Spülbausteine 15 und 16, Abdeckungs- oder Ätzgrund- bzw. Schutz-Abstreifbzw. -Abziehbausteine 17 und 18, einen Trockner-Baustein 20 und einen Ausgangsbaustein 21. Alle Bausteine 11 bis 18,20 und 21 sind in Längsrichtung hintereinander

angeordnet und jeder ist mit einer Fördereinrichtung versehen, die zum Fördern von zu ätzenden Gegenständen von links nach rechts durch die Anordnung mit verschiedenen Bausteinen dient, wie es in F i g. 1 dargestellt ist. S

FQr die Beschreibung des Ausführungsbeispiels sind die Funktionen der individuellen Bausteine insoweit, als sie voneinander abweichen, nicht von kritischer Bedeutung, außer insoweit, als alle Bausteine zusammenwirken, um eine Ätzanordnung zu bilden, die so ausgelegt sein kann, daß sie einen weiten Bereich von Erfordernissen erfüllt. So kann es in einigen Fällen erwünscht sein, zwei oder mehr Ätz-Bausteine 12 zu benutzen oder weniger Spül- bzw. Wässerungsbausteine 14, 15 und 16 und mehr Trockner-Bausteine 20 zu ij benutzen, usw. Im Betrieb der Anordnung 10 werden zu ätzende Gegenstände auf dem Eingangsförderer-Baustein 11 angeordnet und entlang diesem mittels eines Förderersystems gefördert, das sich drehende, quer angeordnete Stäbe bzw. Stangen mit daran angebrach- ao ten sich drehenden Rädern umfaßt, um zu dem Ätzbaustein 12 gefördert zu werden

Geeignete Abschnitte der zu ätzenden Gegenstände, beispielsweise wenn es Tafeln bzw. Platten für gedruckte Schaltungen sind, sind vorher mittels Maske ij abgedeckt worden oder es ist auf diese eine Schutzschicht aufgebracht worden, so daß die nicht abgedeckten Abschnitte frei sind, um geätzt zu werden, während die abgedeckten Abschnitte nicht geätzt werden; dabei werden die nicht abgedeckten Abschnitte der Gegenstände mit Eisen(III)-chlorid oder einem anderen geeigneten Ätzmittel geätzt, das auf die Gegenstände mittels Düsen, Strahlen oder irgendeines anderen geeigneten Ätzmittel-Zuführsystems in dem Ätz-Baustein 12 aufgebracht wird, wenn die Gegenstände durch den Baustein 12 gefördert werden. Die Gegenstände werden kontinuierlich gefördert als nächstes zu der Ätzmittel-Wiedergewinnungseinrichtung 13, wobei Strahlen von Luft od. dgl. das Ätzmittel für eine Rücklieferung durch irgendeine nicht gezeigte geeignete Einrichtung zurück zu der Ätzstation oder dem Baustein 12 wiedergewinnen. Die Gegenstände werden dann kontinuierlich beispielsweise zu einer Reihe von Spül- bzw. Wässerungsbausteinen 14,15 und

16 geliefert wobei Wasser oder irgendein anderes geeignetes Spülfluid auf die Gegenstände aufgebracht wird, um von diesen restliches Ätzmittel abzuspülen. Während der kontinuierlichen Förderung der Gegenstände könnend diese dann zu einer Reihe von Schutzschicht-Entfernungsstationen wie den Stationen

17 und 18 gefördert werden, wobei die Maske oder Schutzschicht die vorher auf die Gegenstände aufgebracht worden ist von diesen durch Anwendung eines geeigneten Lösungsmittels od. dgl entfernt werden kann; die Gegenstände werden dann zu einer Trock- SS nungsstation 20 gefördert, wo heiße Luft od. dgL benutzt werden kann, um die Gegenstände zu trocknen und diese dann zu einer Ausgangsstation 21 zu liefern. Wie oben erwähnt worden ist. kann jegliche Anzahl von den obenerwähnten Bausteinen benutzt werden, entweder te einzeln oder in Kombination, um die gewünschte Behandlung in einer Ätzanordnimg zu erhalten, wie auch Duplikate solcher Bausteine benutzt werden können, falls es erwünscht ist

AFIe Bausteine sind miteinander in im wesentlichen der gleichen Weise und durch die gleichen Verbindungsmittel und Fluchtungs-Mittel vrbn, wie deren Antriebssysteme in ähnlicher Weise verbunden sind, so daß es lediglich erforderlich ist, im einzelnen die Verbindungsweise eines gegebenen Bausteins mit dessen benachbarten Bausteinen zu beschreiben, wobei diese Verbindungsweise in allgemeiner Weise anwendbar ist Das Fördersystem für die Ätzanordnung 10 wird in üblicher Weise mittels eines geeigneten Elektromotors od. dgl. angetrieben, der mit einer Antriebsstange (oder einer Vielzahl von Stangen), die nur einem gegebenen Baustein zugeordnet ist, verbunden ist, wodurch alle Antriebsmittel für die verschiedenen Bausteine dadurch angetrieben werden, da diese Antriebsmittel untereinander verbunden sind.

Im folgenden wird Bezug genommen auf die F i g. 2 bis 4, in denen ein Wässerungs- bzw. Spülbaustein 15 besonders im einzelnen dargestellt ist. Der Baustein 15 weist einen Bausteinkörper 22 auf, der in strichpunktierten Linien an dem oberen und unteren Ende der F i g. 2 aus Gründen der Klarheit dargestellt ist, um nicht andere Merkmale der Darstellung in Fig.2 zu verdecken.

Ein Paar von Rahmenteilen 23 und 24 werden oenutzt, die in geeigneter Weise mit dem Bausteinkörper 22 durch nicht im einzelnen dargestellte Mittel verbunden sind.

Zwischen den Rahmenteilen 23 und 24 erstreckt sich eine Vielzahl von Förderstangen 25, die in Querrichtung mit Abstand angeordnete drehbare Glieder 26 aufweisen, die in bezug auf die Stangen 25 für eine Drehung mit diesen starr angebracht sind. Die drehbaren Glieder 26 können ausgesparte Ausschnitte an ihrem Umfang (nicht mit Bezugsziffer bezeichnet) aufweisen, wie es in F i g. 5 dargestellt ist um einen wirksameren Antrieb für ihnen zugeführte und von ihnen weg geförderte Gegenstände zu bilden.

Die Enden der Stangen 25 sind in geeigneten Stützbzw. Lagergliedern 27 gelagert die allgemein von einei Polyvinylchlorid-Konstruktion sind, um einem Ätzmitte wie Eisen(IH)-chlorid od. dgl. zu widerstehen Die meisten, wenn nicht alle Glieder der Konstruktion ir den verschiedenen Bausteinen bestehen entweder au« Polyvinylchlorid, Polyäthylen oder weisen eine Titan-Konstruktion zu dem gleichen Zweck auf.

Das Lagerglied 27 ist ein in einem Stück gegossene; bzw. geformtes Glied von im allgemeinen zylindrischei Konstruktion, das an seinem einen Ende eine Schultei 28 aufweist die gegen eine Oberfläche des Rahmentei les 23 angeordnet ist und freigelassene oder unter schnittene Bereiche 30, wie sie in den Fig.5 und ί dargestellt sind, zwischen Loch- bzw. öffnungs-Beruh rungs-Abschnitten 31 umfaßt wobei ebenfalls Löchei bzw. Offnungen 32 vorgesehen sind, die mit dei ausgesparten Bereichen 30 und den Bereichen 31 zusammenwirken, tan einen gewünschten Bastizitätsbe trag bzw. -wert für die Glieder 27 vorzusehen, um derei Preßpaßsitz-Eingriff mit Bohrungen oder Öffnungen X der Rahmenteile 23, wie es in den Fig.5 und i dargestellt ist. zu erleichtern. Dadurch ist ein leichte Entfernen und Austauschen der Lagerglieder 27, wem es erforderlich ist, möglich und wird ebenfalls da Austauschen einer gesamten Antriebsstange 25 von Zei zu Zeit erleichtert

Entlang einer Seite des Bausteins 15 ist ein Kegeln« 35 vorgesehen, das an der Stange 25 im Preßsitz fes angebracht ist. wobei das Kegelrad 35 einen Umfang 31 aufweist, der abgeschrägt ist, um mit abgeschrägte Abschnitten 36 aller Zähne des Zahnrades 35 einen in aligemeinen geraden, kreisförmigen Umdrehungszylni der zu bilden, der eine Achse in der linie mit der Achs

(ο

der Stange oder Welle 25 aufweist.

Zwischen dem gezahnten Abschnitt des Kegelrades 35 und der Schulter 28 des Lagergliedes 27 ist ein mit Umfangszähnen versehenes Zahnrad 37 vorgesehen, um, falls es erwünscht ist, mit einem anderen dazu passenden Zahnrad 38 zu kämmen, das an einem Ende einer Welle 40 getragen wird, auf der eine Walze 45 od. dgl. angebracht ist, im allgemeinen an einem Ende eines Bausteins, um das Flachlegen bzw. Planlegen eines durch den Baustein 15 geförderten Gegenstandes oder dessen Vorschub zu dem nächsten benachbarten Gegenstand zu erleichtern. Somit wird die Förderwalze 45 durch die Zahnräder 37 und 38 von dem Kegelradabschnitt 35 angetrieben.

Das Kegelrad 35 wird von einem weiteren Kegelrad 41 angetrieben, das bevorzugt integral konstruiert ist mit einer Hülse als Abstandsglied 42 und im allgemeinen aus Polyvinylchlorid aufgebaut ist außer, wenn ein solches Zahnrad 41 gegen ein Drucklager 43 angeordnet wird, wie es nachfolgend beschrieben wird.

Die Zahnräder 35 sind somit angetriebene Zahnräder und die Zahnräder 41 Antriebszahnräder.

Die Antriebszahnräder 41 sind auf einer geeigneten Antriebswelle 44 angebracht, die im allgemeinen von einer Titankonstruktion ist und einen rechtwinkligen Querschnitt aufweist, für eine Formschlußberührung mit einer rechtwinkligen öffnung 48 in dem Zahnrad 41. Die Öffnung 48 mit rechtwinkligem Querschnitt erstreckt sich durch die HuLe 42, die im allgemeinen integral mit dem Zahnrad 41 hergestellt ist, wie es oben beschrieben worden ist.

Die Antriebswelle 44 besteht somit im allgemeinen aus einem einzigen, in Längsrichtung gerichteten Glied, das sich im wesentlichen von einem Ende des Bausteins zu dem anderen erstreckt, obgleich dasselbe aus einer Vielzahl von Stangenabschnitten 44 bestehen kann, die miteinander in rechtwinkligen öffnungen 48 der Zahnräder 41 oder Hülsen 42 verbunden sein können.

Es ist im allgemeinen erwünscht, um die Wirkung der Gleitreibung auf ein Minimum herabzusetzen, einige der Antriebszahnräder, insbesondere die, welche drehende Abschnitte in Berührung mit nicht drehenden Abschnitten aufweisen, in Polyäthylenkonstruktion vorzusehen, wie da5 Zahnrad 46. das eine Oberfläche 47 in Berührung mit einer Oberfläche 49 des Drucklagerblokkes 43 aufweist, um Axialdruck durch die gesamte Antriebsanordnung für den Baustein 15 aufzunehmen. Im allgemeinen besteht das Zahnrad 46 zusammen mit dem zugeordneten als Hülse ausgebildeten Abstandshalter 50 zwischen sich selbst und dem benachbarten Zahnrad 41 aus einer Polyäthylenkonstruktion und es weist ebenfalls eine rechtwinklige durch es hindurchgehende öffnung auf, um einen Antriebseingriff mit einer Welle 44 zu erleichtern, die eine im allgemeinen rechtwinklige Querschnittskonfiguration aufweist

Es wird somit ebenfalls ein Zahnrad 46 benutzt, um ein angetriebenes Zahnrad, wie das Zahnrad 35 anzutreiben.

Die Drucklager 43 sind an einem Rahmenteil 23 des Bausteinkörpers durch geeignete mit Gewinde versehene Verbindungsglieder 52 angebracht, wie es in F i g. 7 dargestellt ist, und sie dienen neben dem Aufnehmen eines in Längsrichtung gerichteten Druckes ebenfalls dazu, die Positionierung der Förderstange 25 aufrechtzuerhalten, indem sie die Positionierung der Zahnräder 41, 46 und der von diesen getragenen Hülsen 42, 50 relativ zu dem Rahmenteil 23 aufrechterhalten.

Es können somit verschiedene der Bausteine verbun-

den sein für einen Antriebseingriff aller Stangen 25 und Förderwalzen 45 durch eine gemeinsame Quelle; dabei kann an in Längsrichtung mit Abstand angeordneten Enden der Bausteine die Antriebswelle 44 mit einer Antriebswelle 44 eines benachbarten Bausteins durch ein geeignetes Zahnradglied 41 verbunden sein, das eine integral verbundene Abstandshülse 42 aufweist oder gewünschtenfalls kann die Hülse 42 von dem Zahnrad 41 getrennt sein, wobei es jedoch in jedem Fall

ίο beispielsweise das linke Ende einer Antriebswelle 44, wie es in F i g. 3 dargestellt ist, und ebenfalls das rechte Ende einer nächst benachbarten Antriebswelle 44 von einer nächst folgenden Einheit oder einem solchen Baustein, wie dem in Fig. 3 gezeigten Baustein 16 aufnimmt.

Benachbarte Bausteine, wie die Bausteine 15 und 16 sind in Fluchtung gebracht, damit die durch die sich drehenden Glieder 26 gebildeten Fördermittel für alle dieser Einheiten eine gemeinsame planare bzw. ebene Förderfläche aufweisen und damit ebenfalls die Antriebswellen 44 für diese in richtiger Weise fluchten, wobei männliche und weibliche Ausrichtungsglicder bzw. Ausrichtungsglieder in Form von Steckern und Dosen, bevorzugt Paßstifte bzw. Zylinderstifte 55 benutzt werden, die geeignet sind für ein Einsetzen in geeignete Sacklöcher wie bei 56 bei einer Bewegung. z. B. der Bausteine 15 und 16 zueinander. Die Bohrungen

56 können an einem Ende eines Rahmens 23 vorgesehen sein und die Dübel oder Stifte 55 von einem benachbarten Ende eines angrenzenden Rahmens vorspringen wie dem Rahmen 23 für die Einheit 16, wie es in F i g. 3 dargestellt ist. Ein gegebener Rahmen kann zwei solche vertikal mit Abstand angeordnete Ausrichtungseinrichtungen (Dübel oder öffnungen für die Dübel) aufweisen und die Ausrichtungseinrichtungen sind für jeden der Rahmenteile 23 und 24 vorgesehen wie es in F i g. 2 klar dargestellt ist.

Verbindungsblöcke 57 werden von einem Ende jeder Einheit, beispielsweise dem rechten Ende der in F i g. 7 dargestellten Einheit 15 getragen, die nach rechts vor dieser vorspringen und geeignet sind, linke Enden vor Rahmenteilen 23 und 24 einer nächst benachbarter Einheit 16 zwischen sich und gegen diese aufzunehmen wie es in F i g. 2 dargestellt ist.

Die linken Enden der nächst benachbarten Einheiten wie der Einheit 16, wie es in F i g. 2 dargestellt ist, sine mit Spielraum-Öffnungen 58 vorgesehen, so daß, wem die Einheit 16 mit ihren Dübelstiften 55 in der Sacklöchern 56 angeordnet in Fluchtung gebracht ist

So solche öffnungen 58 mit Sacklöchern 60 in den Blocket

57 fluchten, damit Schrauben 61 darin aufgenommei werden können, um benachbarte Bausteine miteinande fest zu verbinden, wie es in F i g. 2 dargestellt ist für dii Verbindung benachbarter Bausteine 14 und 15 miteinan

SS der, und um eine richtige Positionierung benachbarte Bausteine, die mit dem richtigen Längsabstand relati zueinander befestigt sind, zu gewährleisten und um zi verhindern, daß die Dübelstifte 55 sich aus ihre öffnungen 56 freiarbeiten.

Die Fluchtung und Verbindung angrenzender bzv benachbarter Bausteine miteinander kann leicht aus geführt werden, um die Bausteine selber zu verbinde und eine wirksame Verbindung der Antriebseinrichtun für deren Fördersysteme zu gewährleisten und aufrech!

zuerhalten.

Die Dübelstifte 55 können ebenfalls von eine Titan-Konstruktion sein, wie die Blöcke 57 ebenfall entweder aus Titan oder einem anderen Materis

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bestehen, das den Ätzmitteln od. dgl. widersteht.

Ein Endbaustein in einem gegebenen System weist im allgemeinen nur Ausrichtungsmittel, Verbindungsmittel und ein für eine Verbindung mit einem benachbarten Baustein geeignetes Antriebsglied an seinem einen Ende auf, während die Bausteine, wie die Bausteine 12 und 13, die zwischen anderen Bausteinen in einem System angeordnet sind, wie es in Fig. 1 dargestellt ist, solche Verbindungs-, Ausrichtungs- und Antriebs-Verbindungs-Einrichtungen an beiden Enden aufweisen.

Erfindungsgemäß können mehrere der Bausteine zusammen ohne die Anwendung eines Ätzbausteines als solchem in einem System benutzt werden, beispielsweise für Reinigungszwecke od. dgl. in Verbindung mit Systemen, bei denen Ätzen als solches nicht erwünscht

oder nicht erforderlich ist.

Weiterhin wird der Begriff »Ätzen« in seinem weiten Sinne verstanden und umfaßt nicht nur das Entfernen von Metall, sondern auch das selektive Entfernen eines Substratmaterials, ob ein solches Material metallisch oder nichtmetallisch (beispielsweise ein polymeres Material od. dgl.) ist. Andere Typen von Systemen, die unter eine solche Definition des Begriffs »Ätzen« fallen können Entwicklungsprozesse, beispielsweise bei der

ίο Entwicklung von lichtempfindlichem Schutz- bzw Abdecklack für die Arbeit bei gedruckten Schaltunger oder für eine Benutzung bei graphischen Arbeitsgänger bzw. Druckvorgängen, wie in der Lithographie, derr Tiefdruck und der photomechanischen Vervielfältigung umfassen.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Anordnung zum Behandeln, insbesondere zum Ätzen von Gegenständen, die eine Vielzahl von einzelnen Behandlungsstationen umfaßt, durch die die zu behandelnden Gegenstände kontinuierlich befördert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die an den nach dem Baukastenprinzip als Bausteine ausgebildeten Behandlungsstationen (11-18, 20, 21) befindlichen, sich jeweils über nahezu die gesamte Länge der Behandlungsstationen (11—18,20,21) erstreckenden, zum Antrieb der für den Weitertransport der zu behandelnden Gegenstände vorgesehenen Fördereinrichtungen (25,26) dienenden und zur Kraftübertragung auf die Forcier- und Führungselemente (25,45) mit Zahnrä dem (41,46) bestückten Welle (44) an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden durch Zusammenstecken drehfest miteinander verbindbar sind

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden einen nicht kreisrunden Querschnitt besitzen.

3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Wellen (44) zumindest an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden einen rechteckigen Querschnitt besitzen.

4 Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur drehfesten Verbindung der Wellen (44), insbesondere an ihren an den Berührungsstellen der Bausteine befindlichen Enden, Hülsen (42,50) vorgesehen sind, deren innere öffnung an die Querschnittsform der Wellen (44) angepaßt ist und die im Gleitsitz auf die Wellen (44) aufschiebbar sind.

5. Anordnung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (42, 50) einen integralen Bestandteil eines der zur Kraftübertragung auf die Förder- und Führungselemente (25, 45) dienenden Zahnräder (41,46) bilden.

6. Anordnung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülsen (42, 50) mit ihrer Länge genau auf den Soll-Abstand aufeinanderfolgender Zahnräder (41,46) abgestimmt sind.