DE2620099C2 - Tastkopf mit allseitig auslenkbarem Taster - Google Patents
Tastkopf mit allseitig auslenkbarem TasterInfo
- Publication number
- DE2620099C2 DE2620099C2 DE2620099A DE2620099A DE2620099C2 DE 2620099 C2 DE2620099 C2 DE 2620099C2 DE 2620099 A DE2620099 A DE 2620099A DE 2620099 A DE2620099 A DE 2620099A DE 2620099 C2 DE2620099 C2 DE 2620099C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- leaf springs
- button
- arrangement
- pair
- springs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 24
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- LYKJEJVAXSGWAJ-UHFFFAOYSA-N compactone Natural products CC1(C)CCCC2(C)C1CC(=O)C3(O)CC(C)(CCC23)C=C LYKJEJVAXSGWAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000036316 preload Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen Tastkopf nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei einem aus dem DE-GM 72 31 877 bekannten Tastkopf dieser Gattung sind Taster und Halterung
durch eine Federparallelogrammanordnung miteinander verbunden, deren drei zueinander orthogonale
BlaUfederpaare bzw. Blattfederparallelogramme, von denen jedes eine Tasterbewegbarkeit in Richtung einer
der drei Raumkoordinatenachsen ermöglicht, turmartig übereinander angeordnet sind. Dabei ist das über das
erste Blattfederpaar mit dem halterungsseitigen starren Endglied verbundene erste starre Zwischenglied winkelförmig
ausgebildet.
Bei zwei gegenüber diesem Stand der Technik älteren, aus der DE-OS 19 12 605 bzw. aus der DE-AS
07 270 bekannten Tastkopfkonstruktionen finden jeweils nur zwei zueinander orthogonale Blattfederpaare
zur Ermöglichung einer Tasterauslenkung in zwei zueinander orthogonalen Raumkoordinatenachsen Anwendung.
Bei der bekannten Anordnung nach der DE-OS 1912 605 verbindet das erste Blattfederpaar ein
halterungsseitiges Endglied mit einem winkelförmigen starren Zwischenglied, das ober das zweite Blattfederpaar
mit einem tasterseitigen Endglied verbunden ist, an welchem der Taster befestigt ist, so daß er in den beiden
durch die beiden Blattfederpaare gegebenen Auslenkungsrichtungen auslenkbar ist Die beiden Blattfeder-
paare sind dabei so ineinander geschachtelt, daß die Blattfedern vier Seiten eines parallelepipedförmigen
Raumes bilden.
Bei der aus der DE-AS 22 07 270 bekannten Anordnung sind die beiden Blattfederpaare ebenfalls
derart ineinandergeschachtelt daß die Blattfedern an vier Seiten eines parallelepipedförmigen Raumes liegen,
jedoch ist hier der Taster mittels einer Führung in Längsrichtung seines Tasterschaftes verschiebbar mit
dem tasterseitigen starren Glied der Blattfederanordnung
verbunden, so daß der Taster in allen drei Raumkoordinatenrichtungen auslenkbar ist wobei die
Auslenkbarkeil: in zwei Richtungen durch die Blattfederanordnung und in der dritten Richtung durch die
längsverschiebüche Führung des Tasterschaftes gegeben ist.
Die beiden eben erörterten bekannten Anordnungen nach der DE-OS l€H2 605 und der DE-AS 22 07 270
bieten wegen der beiden ineinandergeschachtelten Blattfederparallelogramme den Vorteil einer kompakten
Konstruktion.
Mit der eingangs erörterten bekannten Anordnung gemäß dem DE-GM 72 31 877 mit drei turmartig
übereinander angeordneten Blattfederparallelogrammen wird dem Bedürfnis entsprochen, die Tasterauslenkbarkeit
in allen drei Koordinatenrichtungen mittels Blattfederparallelogrammen zu realisieren und damit
ein gleichartiges Ansprechverhalten in allen drei Koordinatenrichtungen zu erreichen. Um die Forderung
nach einer Tasterauslenkbarkeit in .»Ilen drei Dimensionen
mit Hilfe von Blattfederparallelogrammen zu realisieren, weicht die aus dem DE-GM 72 31877
bekannte Anordnung von dem aus den beiden genannten älteren Druckschriften bereits bekannten
kompakten kubischen Aufbau ab und wählt stattdessen eine keineswegs mehr kompakte, sondern turmartige
Konstruktion.
Abgesehen von dem demzufolge größeren Raumbedarf weist die aus dem DE-GM 72 31877 bekannte
Konstruktion aber noch einen weiteren Nachteil auf, nämlich die Tatsache, daß der Hebelarm für die
Tasterauslenkungsbewegungen für die drei möglichen Auslenkungsrichtungen unterschiedlich ist, d. h. der
Abstand zwischen der auf den Taster wirkenden Auslenkungskraft und der Reaktionskraft, die an dem
halterungsseitigen der beiden an dem der betreffenden Auslenkungsrichtung zugeordneten Blattfederpaar befestigten
starren Glieder angreift, je nach Auslenkungsrichtung unterschiedlich groß ist.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Tastkopf mit über drei Federparallelogramme allseitig äuslenkbar angeordnetem Taster in Form einer kompakten Anordnung auszubilden.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Tastkopf mit über drei Federparallelogramme allseitig äuslenkbar angeordnetem Taster in Form einer kompakten Anordnung auszubilden.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebene
Anordnung gelöst.
Bevorzugte Ausgestaltungen dieser erfindungsgemäßen Lösung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Zwei Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen
Zwei Ausführungsbeispiele eines erfindungsgemäßen
Tastkopfes Für eine Prüfmaschine werden nachstehend mit Bezug auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es
zeigt
Fig, 1 eine Ansicht der Prüfmaschine mit dem Tastkopf,
F i g, 2 die Blattfederanordn<wg des Tastkopfes,
F i g, 3 einen Schnitt durch den Tastkopf,
F i g. 4 einen Querschnitt in der Ebene IV-IV in F i g. 3,
Fig.5 eine abgewandelte Ausführungsform des
Tastkopfes,
Fig,6 einen Längsschnitt in der Ebene VI-VI in F i g. 5, und
F i g. 7 ein Schaltbild.
Fig. 1 zeigt eine Prüfmaschine mit Schlitten 12, 13
und 14 zur Verschiebung eines Tastkopfes 11 in den X-,
Y- und Z-Richtungen eines rechtwinkeligen Koordinatensystems. Die Schlittenverschiebungswege werden
durch digitale Anzeigeeinrichtungen 124, 134 und 14A angezeigt.
Der Tastkopf 11 weist einen an einer Halterung 16 angeordneten Taster 15 auf, der mittels einer nachstehend
noch beschriebenen Blattfederparallelof/amrnanordnung
in der X-, der Y- und der Z-Richtung relativ zu der Halterung auslenkbar aufgehängt ist
Zur Messung eines Werkstückes 10 wird der Tastkopf durch jeweiliges Verschieben der Schlitten verschoben,
bis das kugelförmige Tasterende 17 die jeweils gewünschte Fläche 18 des Werkstückes berührt
Dadurch wird der Taster aus seiner Nullstellung ausgelenkt (Fig.2), wodurch ein Signal erzeugt wird,
welches die der jeweiligen Schlittenbewegung zugeordnete Anzeigeeinheit stoppt, so daß diese dann die
relative Position der Werkstückfläche 18 mit Bezug auf eine vorgegebene Bezugsposition anzeigt.
Gemäß den Fig.3 und 4 weist die den etwa
stabförmigen Taster 15 mit der Halterung 16 verbindende Blattfederparallelogrammanordnung drei Blattfederpaare
22, 23 und 24 auf, die hintereinandergeschaltet und jeweils in der X- bzw. der Y- bzw. der Z-Richtung
biegsam sind. Dazu liegen die Federn 22 in Ebenen, welche die Y- und die Z-Dimension enthalten, die
Federn 23 liegen in Ebenen, welche die X- und die Z-Dimension enthalten, und die Federn 24 liegen in
Ebenen, welche die X- und die V-Dimension enthalten. Das Blattfederpaar 24 verbindet ein als Teil der
Halterung 16 ausgebildetes halterurgsseitiges starres Endglied 16,4 mit einem winkelförmigen starren
Zwischenglied 25, das Blattfederpaar 23 dieses Zwischenglied mit dnem weiteren starren Zwischenglied
21, und das BIati federpaar 22 das weitere Zwischenglied
mit einem tasterseitigen starren Endglied 20, an
welchem der Taster 15 befestigt ist. Dazu sind die Federn 22 mit ihrem einen Ende 224 am tasterseitigen
Endglied 20 u.nd ihrem anderen Ende 22S am
Zwischenglied 21, die Federn 23 mit ihrem einen Ende 23/4 am Zwischenglied 21 und ihrem anderen Ende 233
am Schenkel 254 des Zwischengliedes 25, und die Federn 24 mit ihrem einen Ende 244 am Schenkel 25S
des Zwischengliedes 25 und ihrem anderen Ende 245 am
halterungsseitigcn Endglied 164 befestigt.
Zur Herstelkng einer kompakten, raumsparenden
Anordnung sind die Federn 22,23 und 24 so angeordnet,
daß der Raum zwischen den beiden Federn eines Federpaares gleichzeitig zum Zwischenraum zwischen
den beiden Federn der anderen Federpaare gehört, d. h.
die Federn der drei Blattfederpaare bilden die sechs Seiten eines parullelepip'jdförmigen Raumes.
Wie dargestellt, liegt das tasterseitige Endglied 20 am
weitesten innen in dem von den Federn 22, 23 und 24 gebildeten Kasten, Der Zwischengliedschenkel 254 und
die diesem benachbarte Feder 24 sind mit Durchbrüchen 28 bzw. 29 versehen, durch welche hindurch der
Taster in das Innere des von den Federn gebildeten Kastens hineinragt Diese Durchbrüche sind jedoch
nicht nötig, wenn der Taster seitlich vom Endglied 20 wegragt, beispielsweise in eine Bohrung 30 eingeschraubt
ist, so daß er in einer X-Z-Ebene verläuft.
ίο Die Federn 22, 23 und 24 spannen den Taster in eine
Nullstellung vor. Diese Nullsteilung ist als diejenige Stellung definiert, welche der Mittelpunkt der Tasterkugel
17 unter dem alleinigen Einfluß der Federn und der Schwerkraft einnimmt, d. h., wenn keine äußere Kraft an
der Tasterkugel 17 angreift Diese Nullstellung ist in Fig.2 mit Vollinien dargestellt Beim Anstoßen der
Tasterkugel an die Fläche 18 des Werkstücks ergibt sich gemäß F i g. 2 in der V-Richtung eine Auslenkung Y1,
die gestrichelt dargestellt ist Infolge der Durchbiegung der Federn, in diesem Fall der Feder« 23, während der
Auslenkung Kl tritt unvermeidlich aui.:h eine Sekundärauslenkung
Zl in der Z-Richtung auf. Grundsätzlich bedingt eine Auslenkung in irgendeiner Dimension eine
sekundäre Auslenkung in mindestens einer weiteren Dimension, und eine wahrheitsgetreue Anzeige der
koordinaienmäßigen Position der Tasterkugel 17 erfordert deshalb, daß alle drei Dimensionen gleichzeitiggemessen
werden.
Das Meßsystem weist gemäß den F i g. 3 und 4 eine Eisenmasse 40 auf, die über einen Schaft 41 am tasterseitigen Endglied 20 befestigt ist und folglich jede Bewegung des Tasters 15 mitmacht Die Masse 40 weist Flächen 42, 43 und 44 auf, welche in die X- bzw. die Y- bzw. die Z-Richtung zeigen und jeweils einem Fühler 45 bzw. 46 bzw. 47 zugewandt sind, die an einem Teil 16fl der Halterung 16 angeordnet sind, jeder Fühler weist eine Induktionsbrücke (Fig.7) auf, so daß eine Verschiebung der Eisenmasse 40 in der jeweils betreffenden Dimension X, Vbzw. Zmeßbar ist.
Das Meßsystem weist gemäß den F i g. 3 und 4 eine Eisenmasse 40 auf, die über einen Schaft 41 am tasterseitigen Endglied 20 befestigt ist und folglich jede Bewegung des Tasters 15 mitmacht Die Masse 40 weist Flächen 42, 43 und 44 auf, welche in die X- bzw. die Y- bzw. die Z-Richtung zeigen und jeweils einem Fühler 45 bzw. 46 bzw. 47 zugewandt sind, die an einem Teil 16fl der Halterung 16 angeordnet sind, jeder Fühler weist eine Induktionsbrücke (Fig.7) auf, so daß eine Verschiebung der Eisenmasse 40 in der jeweils betreffenden Dimension X, Vbzw. Zmeßbar ist.
Jede Induktionsbrücke enthält Spulen 4, B, C und D, von denen die Spulen A und B am Halterungsteil 16ß
nahe der jeweils zugehörigen Fläche 42, 43 bzw. 44 angeordnet und über einen Stecker 48 mit dem an einem
geeigneten feststehenden Ort befindlichen übrigen Teil der Brücke verbunden sind. Die Messung beispielsweise
einer Auslenkung in der V-Richtung erfolgt dadurch, daß durch die Bewegung der Tasterkugel 17 der
Abstand zwischen der Fläche 43 und den Spulen 4 und B des Wandlers 46 und damit der Abgleich der
so zugehörigen Brücke A, B, C, D verändert wird. Dabei wird nur die Bewegung der Fläche 43 in der V-Richtung
gemessen. Eine Bewegung in der X- oder der Z-Richtung hat keinen Einfluß auf den Wandler 46, da
diese letzteren Bewegungen den Abstand zwischen der Fläche 43 und den dieser zugeordneten Spulen 4 und B
nicht verändern.
Die Brücken sind jeweils mit einer Anzeigeeinrichtung 49 bzw. 50 bzw. 51 oder mit einem Rechner 52
verbunden, um die Wandlerausgangssignale in Beziehung mit den Positionen der Schlitten 12,13 und 14 zu
setzen. Beim eben beschriebenen Ausführungsbeispiel sind die Spulen 4 und B jeder Brücke bdda auf der
gleichen Seite der Masse 40 angeordnet.
Bei einer in den Fig. 5 und 6 dargestellten
ft1» abgewandelten Ausf'lhrungsform sind die Spulen 4 und
B jeder Brücke auf entgegengesetzten Seiten einer Masse 140 angeordnet Gemäß der Darstellung ist die
Masse würfelförmig und von einer Kammer H6fl
umgeben, deren Wände die Spulen A und Sder Wandler
45, 46 und 47 an jeweils einander gegenüberliegenden Seiten des Würfels 140 tragen. Der Würfel 140 ist mit
dem Taster 15 über einen U-förmigen Winkel 141 verbunden, der einerseits an dem Schaft 41 und
andererseits derart an einer Kante der würfelförmigen Masse 140 befestigt ist. Die eben beschriebene
Spulenanordnung verbessert die Linearität des Meßergebnisses.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Tastkopf mit einem allseitig relativ zu seiner Halterung auslenkbaren Taster, wobei Taster und
Halterung durch eine Federparallelogrammanordnung miteinander verbunden sind, die drei zueinander
orthogonale Blattfederpaare mit jeweils in parallelen Ebenen liegenden Blattfedern aufweist,
von denen das erste Blattfederpaar ein halterungsseitiges starres Endglied mit einem starren Zwischenglied,
das zweite Blattfederpaar dieses Zwischenglied mit einem weiteren starren Zwischenglied
und das dritte Blattfederpaar das weitere Zwischenglied mit einem tasterseitigen starren
Endglied verbindet, und wobei eines der beiden Zwischenglieder winkelförmig ist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Blattfedern (22, 23, 24) der drei Blattfederpaare an den sechs Seiten eines
parallelepipedförmigen Raumes angeordnet sind
2. Tastkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die aus den Blattfedern (22,23) zweier Blattfederpaare, dem dazwischen liegenden Zwischenglied
(21) und dem zugehörigen Endglied (20) gebildete Anordnung zwischen aen Blattfedern (24)
des anderen Blattfederpaares liegt
3. Tastkopf nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Anordnung in dem von
den Blattfedern (24) des anderen Blattfederpaares, dem mit ihnen verbundenen Endglied (11) und dem
ebenfalls mit ihnen verbundenen anderen Zwischenglied (25) umschlossenen Raum liegt
4. Tastkopf nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß Jas die genannte Anordnung
mit den Blattfedern (24) des anderen Blattfederpaares
verbindende Zwischenglied ^25) winkelförmig ist
und einen Winkelansatz (25A) aufweist, der zwischen einer dieser Blattfedern (24) und dem zu der
genannten Anordnung gehörenden Endglied (20) verläuft.
5. Tastkopf nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das innenliegende, zu
der genannten Anordnung gehörende Endglied (20) das tasterseitige Endglied und das andere, außenliegende
Endglied (11) das halterungsseitige Endglied ist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB20019/75A GB1551218A (en) | 1975-05-13 | 1975-05-13 | Probe for use in displacement measuring apparatus |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2620099A1 DE2620099A1 (de) | 1976-12-02 |
| DE2620099C2 true DE2620099C2 (de) | 1981-10-08 |
Family
ID=10139010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2620099A Expired DE2620099C2 (de) | 1975-05-13 | 1976-05-06 | Tastkopf mit allseitig auslenkbarem Taster |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4084323A (de) |
| JP (1) | JPS51149050A (de) |
| CH (1) | CH594871A5 (de) |
| DE (1) | DE2620099C2 (de) |
| FR (1) | FR2311275A1 (de) |
| GB (1) | GB1551218A (de) |
| IT (1) | IT1063271B (de) |
| SE (1) | SE421452B (de) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0628785A2 (de) | 1993-06-05 | 1994-12-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| US7284337B2 (en) | 2002-10-23 | 2007-10-23 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Probe head for a coordinate measuring machine |
| DE102008011476B3 (de) * | 2008-02-27 | 2009-09-24 | Carl Mahr Holding Gmbh | Federgelenksystem in Sandwichbauweise für mehrdimensionalen Taster |
| DE10250813B4 (de) * | 2002-10-23 | 2014-02-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für Koordinatenmessgerät |
Families Citing this family (81)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE406228B (sv) * | 1977-09-20 | 1979-01-29 | Johansson Ab C E | Legesgivare avsedd for kontrollmetning av ytor |
| JPS54108060U (de) * | 1978-01-17 | 1979-07-30 | ||
| GB2045437B (en) * | 1979-03-30 | 1984-02-08 | Renishaw Electrical Ltd | Coordinate measuring machine |
| FR2458791A1 (fr) * | 1979-06-13 | 1981-01-02 | Seiv Automation | Dispositif de mesure a commande numerique |
| DE2937431C2 (de) * | 1979-09-15 | 1987-02-05 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur Meßwerterfassung an Prüflingen |
| JPS5819501A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-04 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | タッチ信号検出方法および装置 |
| JPS58127110A (ja) * | 1981-10-07 | 1983-07-28 | Toshiba Mach Co Ltd | 計測方法および計測装置 |
| DE3135495C2 (de) * | 1981-09-08 | 1983-11-10 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen |
| JPS58109006U (ja) * | 1982-01-19 | 1983-07-25 | 株式会社 東京精密 | 測定ヘツド |
| JPS5888612A (ja) * | 1982-02-17 | 1983-05-26 | Toyoda Mach Works Ltd | トレ−サヘツド |
| US4451987A (en) * | 1982-06-14 | 1984-06-05 | The Valeron Corporation | Touch probe |
| US4523383A (en) * | 1982-07-28 | 1985-06-18 | Renishaw Electrical Limited | Position sensing apparatus |
| DE3234851C2 (de) * | 1982-09-21 | 1985-11-14 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Dynamischer Tastkopf |
| DE3241747A1 (de) * | 1982-11-11 | 1984-05-17 | Gerhard 6686 Eppelborn Lauer | Vorrichtung zum ermitteln der lage einer ausnehmung an einem groesseren werkstueck, insbesondere aus blech |
| DE3309122A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer messeinrichtungen |
| DE3310345A1 (de) * | 1983-03-22 | 1984-09-27 | M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München | Verfahren und vorrichtung zum messen von werkstuecken in drei dimensionen |
| JPS59220607A (ja) * | 1983-05-30 | 1984-12-12 | Agency Of Ind Science & Technol | 計測装置 |
| JPS6078301A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-05-04 | マウゼル−ベルケ、オベルンドルフ、ゲゼルシヤフト、ミツト、ベシユレンクテル、ハフツング | 多重座標測定機械の測定ヘツド |
| JPS6056209U (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-19 | 三菱重工業株式会社 | 非接触形変位検出装置 |
| CA1276710C (en) * | 1983-11-30 | 1990-11-20 | Kazuo Asakawa | Robot force controlling system |
| DE3417991A1 (de) * | 1984-05-15 | 1985-11-21 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf einer messmaschine |
| JPS6150007A (ja) * | 1984-08-18 | 1986-03-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 表面形状測定用トレ−サ |
| JPH0617766B2 (ja) * | 1984-08-23 | 1994-03-09 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プロ−ブ |
| US4622751A (en) * | 1985-07-16 | 1986-11-18 | Berg John W | Precision electromechanical measuring device |
| GB8607199D0 (en) * | 1986-03-24 | 1986-04-30 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| DE3634689A1 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-14 | Zeiss Carl Fa | Anordnung fuer den gleichzeitigen anschluss mehrerer tastkoepfe vom schaltenden typ an den messarm eines koordinatenmessgeraetes |
| US4866854A (en) * | 1986-12-05 | 1989-09-19 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multiple axis displacement sensor |
| FR2614690B1 (fr) * | 1987-04-28 | 1990-11-09 | Essilor Int | Appareil de lecture de contour, notamment pour monture de lunettes |
| DE3811235A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-10-19 | Wegu Messtechnik | Dynamischer tastkopf |
| GB8728500D0 (en) * | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| US5212646A (en) * | 1987-12-19 | 1993-05-18 | Renishaw Plc | Method of using a mounting for surface-sensing stylus |
| GB8729638D0 (en) * | 1987-12-19 | 1988-02-03 | Renishaw Plc | Mounting for surface sensing device |
| US5152072A (en) * | 1988-02-18 | 1992-10-06 | Renishaw Plc | Surface-sensing device |
| GB8803847D0 (en) * | 1988-02-18 | 1988-03-16 | Renishaw Plc | Mounting for surface-sensing device |
| GB8816358D0 (en) * | 1988-07-08 | 1988-08-10 | Renishaw Plc | Probe for use with measuring apparatus |
| US5189806A (en) * | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
| DE3905952A1 (de) * | 1989-02-25 | 1990-08-30 | Kugelfischer G Schaefer & Co | Mehrkoordinatenmesstaster |
| JPH0769172B2 (ja) * | 1989-09-14 | 1995-07-26 | 株式会社ミツトヨ | 三軸変位構造体 |
| GB9001682D0 (en) * | 1990-01-25 | 1990-03-28 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
| US5390424A (en) * | 1990-01-25 | 1995-02-21 | Renishaw Metrology Limited | Analogue probe |
| US5505005A (en) * | 1990-02-23 | 1996-04-09 | Renishaw Plc | Touch probe |
| US5339535A (en) * | 1990-02-23 | 1994-08-23 | Renishaw Metrology Limited | Touch probe |
| US5390423A (en) * | 1991-01-22 | 1995-02-21 | Renishaw Plc | Analogue probe |
| US5322007A (en) * | 1991-08-15 | 1994-06-21 | Heat And Control, Inc. | Compact, high-capacity oven |
| JPH0792373B2 (ja) * | 1991-09-25 | 1995-10-09 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
| US10361802B1 (en) | 1999-02-01 | 2019-07-23 | Blanding Hovenweep, Llc | Adaptive pattern recognition based control system and method |
| US8352400B2 (en) | 1991-12-23 | 2013-01-08 | Hoffberg Steven M | Adaptive pattern recognition based controller apparatus and method and human-factored interface therefore |
| EP0575666B1 (de) * | 1992-06-23 | 1997-03-19 | Océ-Nederland B.V. | Elektro-optischer Kopf |
| US5430948A (en) * | 1993-07-12 | 1995-07-11 | Vander Wal, Iii; H. James | Coordinate measuring machine certification system |
| DE4325743C1 (de) * | 1993-07-31 | 1994-09-08 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| AU7645694A (en) * | 1993-09-13 | 1995-04-03 | United Technologies Corporation | Force and position controlled manipulator |
| US7268700B1 (en) | 1998-01-27 | 2007-09-11 | Hoffberg Steven M | Mobile communication device |
| US6580964B2 (en) | 1998-10-24 | 2003-06-17 | Renishaw Plc | Calibrations of an analogue probe and error mapping |
| US7904187B2 (en) * | 1999-02-01 | 2011-03-08 | Hoffberg Steven M | Internet appliance system and method |
| US8364136B2 (en) | 1999-02-01 | 2013-01-29 | Steven M Hoffberg | Mobile system, a method of operating mobile system and a non-transitory computer readable medium for a programmable control of a mobile system |
| GB9907643D0 (en) | 1999-04-06 | 1999-05-26 | Renishaw Plc | Measuring probe |
| GB0106245D0 (en) | 2001-03-14 | 2001-05-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
| JP2003065748A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
| GB0126232D0 (en) | 2001-11-01 | 2002-01-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
| GB0201845D0 (en) | 2002-01-26 | 2002-03-13 | Renishaw Plc | Analogue probe |
| US9818136B1 (en) | 2003-02-05 | 2017-11-14 | Steven M. Hoffberg | System and method for determining contingent relevance |
| GB0318388D0 (en) * | 2003-08-06 | 2003-09-10 | Renishaw Plc | Stylus tip for workpiece contacting probe |
| GB0322362D0 (en) * | 2003-09-24 | 2003-10-22 | Renishaw Plc | Measuring methods for use on machine tools |
| SE527248C2 (sv) | 2004-06-28 | 2006-01-31 | Hexagon Metrology Ab | Mätprob för användning i koordinatmätmaskiner |
| GB0611109D0 (en) † | 2006-06-06 | 2006-07-19 | Renishaw Plc | A method for measuring workpieces |
| GB0625260D0 (en) * | 2006-12-19 | 2007-01-24 | Renishaw Plc | A method for measuring a workpiece using a machine tool |
| GB0703423D0 (en) * | 2007-02-22 | 2007-04-04 | Renishaw Plc | Calibration method and apparatus |
| GB0707921D0 (en) | 2007-04-24 | 2007-05-30 | Renishaw Plc | Apparatus and method for surface measurement |
| CN102197274B (zh) * | 2008-10-29 | 2015-03-25 | 瑞尼斯豪公司 | 用于坐标测量系统的方法 |
| EP2665988B1 (de) | 2011-01-19 | 2015-08-12 | Renishaw Plc. | Analoge messsonde für ein maschinenwerkzeug |
| EP2479530A1 (de) | 2011-01-19 | 2012-07-25 | Renishaw PLC | Analoge Messsonde für Maschinenwerkzeugvorrichtung sowie Betriebsverfahren |
| EP2479531A1 (de) | 2011-01-19 | 2012-07-25 | Renishaw plc | Analoge Messsonde für eine Maschinenwerkzeugvorrichtung |
| EP2505959A1 (de) | 2011-03-28 | 2012-10-03 | Renishaw plc | Koordinatenpositionierungsmaschinensteuerung |
| JP6346167B2 (ja) | 2012-04-18 | 2018-06-20 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 工作機械におけるアナログ測定走査方法および対応する工作機械装置 |
| JP6242856B2 (ja) | 2012-04-18 | 2017-12-06 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 工作機械を使用してフィーチャを発見する方法 |
| EP2839242B1 (de) | 2012-04-18 | 2017-08-02 | Renishaw plc | Verfahren zur messung auf einem maschinenwerkzeug und entsprechendes maschinenwerkzeug |
| JP6466847B2 (ja) | 2012-11-14 | 2019-02-06 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | ワークピースを工作機械で測定するための方法および装置 |
| US9797699B2 (en) * | 2013-08-22 | 2017-10-24 | Illinois Tool Works Inc. | Off-axis loadcell force sensing to automatically determine location of specimen features |
| CN105108588B (zh) * | 2015-09-09 | 2019-11-08 | 安徽华星智能停车设备有限公司 | 动态基准点数控加工设备 |
| GB201809631D0 (en) | 2018-06-12 | 2018-07-25 | Renishaw Plc | Measurement method and apparatus |
| EP4386311B1 (de) * | 2022-12-15 | 2026-06-24 | Hexagon Innovation Hub GmbH | Berührungsauslösesonde mit kapazitivem sensor |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2932482A (en) * | 1958-05-26 | 1960-04-12 | Robinson Aviat Inc | Stabilized mounting system |
| GB1211418A (en) * | 1967-11-27 | 1970-11-04 | Ikegai Iron Works Ltd | An automatic tool position compensating system for a numerically controlled machine tool |
| DE1912605C3 (de) * | 1969-03-12 | 1975-09-11 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Vorrichtung zum Halten eines aus Meßsonde und Meßkopf bestehenden MeBorganes für ein Bohrungsinnenmeßgerät |
| CH549438A (fr) * | 1971-03-01 | 1974-05-31 | Far Fab Assortiments Reunies | Dispositif de transmission simultanee des mouvements d'un palpeur a au moins deux organes de lecture. |
| US3990153A (en) * | 1972-01-25 | 1976-11-09 | Michel Calame | Automatic measurement of workpieces |
| DE2242355C2 (de) * | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| DE7231877U (de) * | 1972-08-29 | 1973-10-04 | Zeiss C | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
| JPS5340465B2 (de) * | 1973-07-31 | 1978-10-27 | ||
| DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
-
1975
- 1975-05-13 GB GB20019/75A patent/GB1551218A/en not_active Expired
-
1976
- 1976-05-06 DE DE2620099A patent/DE2620099C2/de not_active Expired
- 1976-05-10 US US05/685,072 patent/US4084323A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-05-10 IT IT23125/76A patent/IT1063271B/it active
- 1976-05-12 FR FR7614236A patent/FR2311275A1/fr active Granted
- 1976-05-12 SE SE7605395A patent/SE421452B/xx not_active IP Right Cessation
- 1976-05-13 JP JP51054776A patent/JPS51149050A/ja active Pending
- 1976-05-13 CH CH602576A patent/CH594871A5/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0628785A2 (de) | 1993-06-05 | 1994-12-14 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| US7284337B2 (en) | 2002-10-23 | 2007-10-23 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Probe head for a coordinate measuring machine |
| DE10250813B4 (de) * | 2002-10-23 | 2014-02-06 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Tastkopf für Koordinatenmessgerät |
| DE102008011476B3 (de) * | 2008-02-27 | 2009-09-24 | Carl Mahr Holding Gmbh | Federgelenksystem in Sandwichbauweise für mehrdimensionalen Taster |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51149050A (en) | 1976-12-21 |
| IT1063271B (it) | 1985-02-11 |
| US4084323A (en) | 1978-04-18 |
| SE7605395L (sv) | 1976-11-14 |
| FR2311275B1 (de) | 1983-01-07 |
| GB1551218A (en) | 1979-08-22 |
| SE421452B (sv) | 1981-12-21 |
| FR2311275A1 (fr) | 1976-12-10 |
| DE2620099A1 (de) | 1976-12-02 |
| CH594871A5 (de) | 1978-01-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2620100C3 (de) | Meßeinrichtung mit Taster | |
| DE2620099A1 (de) | Messeinrichtung | |
| DE2644027C3 (de) | Tastkopf | |
| DE3234471C1 (de) | Mehrkoordinaten-Tastkopf | |
| DE2718506C2 (de) | Mehrkoordinaten-Meßmaschine | |
| DE69121909T2 (de) | Sensor zur Abtastung der Position | |
| DE3234851C2 (de) | Dynamischer Tastkopf | |
| DE2829425B2 (de) | Vorrichtung zum Messen von Beschleunigungen an schwingenden Körpern | |
| DE4232030A1 (de) | Tastsignalfuehler | |
| DE3828713C2 (de) | ||
| DE2701377C2 (de) | Längenmeßtaster mit steuerbar veränderlicher Meßrichtung | |
| EP1721118A1 (de) | Tastkopf f r ein koordinatenmessger t | |
| DE3724137A1 (de) | Messgeraet mit digitalanzeige | |
| DE3412302A1 (de) | Tastkopf fuer eine messmaschine | |
| DE4318741C2 (de) | Mehrkoordinaten-Tastkopf | |
| DE3427413C1 (de) | Tasteinrichtung | |
| DE2727757C3 (de) | Meßtaster | |
| EP1738134A1 (de) | Koordinatenmessgerät zum messtechnischen bestimmen einer koordinate an einem messobjekt | |
| DE2935898C2 (de) | Rotationstransduktor zur Positionsmessung | |
| DE2221648B1 (de) | Auswuchtmaschinenlagerung | |
| DE2643022C2 (de) | Einrichtung zur Messwertabnahme an stranggepreflten Profilen | |
| DE4038698C2 (de) | Meßvorrichtung | |
| DE2400952B2 (de) | FüMhebelmeBgerät | |
| DE3031069C2 (de) | ||
| DE9210815U1 (de) | Taktiler Sensor für Messungen in zwei Richtungen |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OGA | New person/name/address of the applicant | ||
| OD | Request for examination | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8363 | Opposition against the patent | ||
| 8331 | Complete revocation |