DE2914031B1 - Ultraschallwandler - Google Patents

Ultraschallwandler

Info

Publication number
DE2914031B1
DE2914031B1 DE2914031A DE2914031A DE2914031B1 DE 2914031 B1 DE2914031 B1 DE 2914031B1 DE 2914031 A DE2914031 A DE 2914031A DE 2914031 A DE2914031 A DE 2914031A DE 2914031 B1 DE2914031 B1 DE 2914031B1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
ultrasonic transducer
transducer according
layer
receiving layer
receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2914031A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2914031C2 (de
Inventor
Jaques Dipl-Ing Dr Borburgh
Ingmar Dipl-Phys Dr Feigt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE2914031A priority Critical patent/DE2914031C2/de
Priority to US06/125,371 priority patent/US4354132A/en
Priority to EP80101743A priority patent/EP0017216B1/de
Priority to DE8080101743T priority patent/DE3061665D1/de
Priority to AT80101743T priority patent/ATE2293T1/de
Priority to JP55044028A priority patent/JPS5856320B2/ja
Priority to CA000349174A priority patent/CA1154861A/en
Priority to AU57156/80A priority patent/AU5715680A/en
Publication of DE2914031B1 publication Critical patent/DE2914031B1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2914031C2 publication Critical patent/DE2914031C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0688Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction with foil-type piezoelectric elements, e.g. PVDF
    • GPHYSICS
    • G10MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10KSOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/02Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S310/00Electrical generator or motor structure
    • Y10S310/80Piezoelectric polymers, e.g. PVDF

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Surgical Instruments (AREA)

Description

verschlechtert jedoch gleichzeitig auch den Sendefall, da die Energieabgabe beim Senden wegen der niedrigen Güte der die Sendeschicht bildenden PVF2-Schicht zu gering ist. Um einen etwas besseren Ausgleich zwischen Sendefall und Empfangsfall zu schaffen, wurde bereits ein weiterer Vorschlag unterbreitet, der unter dem Titel »MONOLITHIC SILICON-PVF2 PIEZOELECTRIC ARRAYS FOR ULTRASONIC IMAGING« von den Autoren R. G. Swartz und J. D. Plummer auf dem »Eighth International Symposium on Acoustic Imaging« in Key Biscayne, Florida zwischen dem 29. Mai und 2. Juni 1978 präsentiert wurde. Der in dieser Präsentationsunterlage, insbesondere auf der Seite 15, beschriebene sogenannte »Theta« Array-Wandler besteht aus einem äußeren Ring aus Piezokeramik, der als Sender dient, in dessen Innern mit sehr viel geringeren Abmessungen ein Empfangs-Array aus einer Schicht Polyvinylfluorid (PVF2) angeordnet ist. Die räumlich getrennte Anordnung von Sende- und Empfangsschichten hat den Nachteil fehlender Kompaktheit, woraus wiederum immer noch zu ungünstiges Sende/Empfangsverhältnis resultiert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Ultraschallwandler der eingangs genannten Art dahingehend auszubilden, daß bei optimal kompaktem Aufbau gleichzeitig optimale Ergebnisse für den Sende- und Empfangsfall geschaffen werden.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß erfindungsgemäß die beiden Schichten in Hybridtechnik flächig aufeinanderliegend miteinander verbunden sind.
Die Erfindung betrifft einen Ultraschallwandler,
4ί) bestehend aus einer Sendeschicht aus Material mit relativ hoher dielektrischer Kontante und hoher Schallimpedanz und einer Empfangsschicht aus Material mit relativ niedriger dielektrischer Konstante und niedriger Schallimpedanz.
4' Für herkömmliche Ultraschallwandler, ζ. Β. auch solche in Array-Form mit einer Vielzahl nebeneinander angeordneter Einzelschwinger, wird insbesondere für den medizinischen Anwendungsfall eine kurze Pulsanregung mit hoher Eindringtiefe gefordert. Gleichzeitig
gewinnt aber auch die originalgetreue Pulsverarbeitung im Empfangsfall immer wichtigere Bedeutung, beispielsweise bei der Gewebserkennung etc. Übliche Ultraschallwandler verwenden ein einziges Piezomaterial gleichzeitig als Sender und Empfänger. Die geforderten
Bedingungen sind hier nur mit relativ hohem technologischen Aufwand, z. B. Feinteilung der Einzelschwinger bei der Array-Ausbildung, zu erreichen. Es wurden bereits Versuche unternommen, insbesondere den Empfangsfall zu verbessern. So wurden beispielsweise
anstelle von Piezomaterialien zum Senden und Empfangen Schichten aus Polyvinylfluorid (PVF2) verwendet. Ein Ultraschallwandler dieser Art ist beispielsweise Gegenstand des Aufsatzes »EXPERIMENTAL BROADBAND ULTRASONIC TRANSDUCERS USING PVF2 PIEZOELECTRIC FILM« in der Zeitschrift »ELECTRONICS LETTERS« 5. August 1976, Vol. 12, Nr. 16, Seiten 363 und 364. Dieser vorbekannte Wandler verbessert zwar die Güte des Empfangs. Er

Claims (7)

Patentansprüche: bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeschicht (2) auf der der Empfangsschicht (3) abgewandten Fläche einen Anschluß für den Sender (4) aufweist. "' 8. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß in Sandwich-Bauweise zwischen Sende- (2) und Empfangsschicht (3) Bauteile (8) der Empfangsschaltung, insbesondere Empfangsverstärker, in IC-Bauweise eingelagert 1() sind. 9. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeschicht (2) aus Piezokeramik und die Empfangsschicht (3) aus piezoelektrischer Kunststoffolie gefertigt sind. '' 10. Ultraschallwandler nach Anspruch!}, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangsschicht (3) aus piezoelektrischer Kunststoffolie mit einer Impedanz von etwa 3 ■ 106 Pas/m und einer Güte von etwa 15 gefertigt ist. -» 11. Ultraschallwandler nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Sendeschicht aus Blei-Zirkonat-Titanat oder Blei-Metaniobat gefertigt ist. 12. Ultraschallwandler nach einem der Ansprü- -' ehe 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische Kunststoffolie der Empfangsschicht (3) aus Polyvinylfluorid (PVF2) oder Polyvinylchlorid oder Polycarbonat besteht. 13. Ultraschallwandler nach einem der Ansprü- !l) ehe 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die in Hybridtechnik miteinander verbundene Sendeschicht (2) und Empfangsschicht (3) zusätzlich und vorzugsweise ebenfalls in Hybridtechnik auf einem Dämpfungsträgerkörper (1), vorzugsweise aus ela- !) stischem Gummi od. dgl., angebracht sind.
1. Ultraschallwandler, bestehend aus einer Sendeschicht aus Material mit relativ hoher dielektrischer Konstante und hoher Schallimpedanz und einer Empfangsschicht aus Material mit relativ niedriger dielektrischer Konstante und niedriger Schallimpedanz, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Schichten (2, 3) in Hybridtechnik flächig aufeinanderliegend miteinander verbunden sind.
2. Ultraschallwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangsschicht (3) gleichzeitig Anpassungsschicht für den Sendefall ist.
3. Ultraschallwandler nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangsschicht (3) zur Anpassung an Körpergewebe oder bei Vorschaltung einer Wasserstrecke zur Anpassung an Wasser ausgebildet ist.
4. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Empfangsschicht (3) auf der Sendeschicht (2) unter Zwischenlagerung einer Kontaktierung, z. B. dünne Kontaktschicht oder Leiterbahnen in gedruckter Schaltungstechnik, aufgebracht, vorzugsweise aufgeklebt, ist.
5. Ultraschallwandler nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktierung einen elektrischen Empfangsanschluß zum Empfänger (6) aufweist.
6. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die der Sendeschicht (2) abgewandte Fläche der Empfangsschicht (3) einen Anschluß (7) für Massepotential aufweist.
7. Ultraschallwandler nach einem der Ansprüche 1
DE2914031A 1979-04-06 1979-04-06 Ultraschallwandler Expired DE2914031C2 (de)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2914031A DE2914031C2 (de) 1979-04-06 1979-04-06 Ultraschallwandler
US06/125,371 US4354132A (en) 1979-04-06 1980-02-28 Ultrasonic transducer with a plastic piezoelectric receiving layer and a non plastic transmitting layer
DE8080101743T DE3061665D1 (en) 1979-04-06 1980-04-01 Ultrasonic transducer
AT80101743T ATE2293T1 (de) 1979-04-06 1980-04-01 Ultraschallwandler.
EP80101743A EP0017216B1 (de) 1979-04-06 1980-04-01 Ultraschallwandler
JP55044028A JPS5856320B2 (ja) 1979-04-06 1980-04-03 超音波変換器
CA000349174A CA1154861A (en) 1979-04-06 1980-04-03 Ultrasonic transducer with a piezoelectric plastic receiving layer
AU57156/80A AU5715680A (en) 1979-04-06 1980-04-03 Ultrasonic transducer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2914031A DE2914031C2 (de) 1979-04-06 1979-04-06 Ultraschallwandler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2914031B1 true DE2914031B1 (de) 1980-05-14
DE2914031C2 DE2914031C2 (de) 1981-01-15

Family

ID=6067702

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2914031A Expired DE2914031C2 (de) 1979-04-06 1979-04-06 Ultraschallwandler
DE8080101743T Expired DE3061665D1 (en) 1979-04-06 1980-04-01 Ultrasonic transducer

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8080101743T Expired DE3061665D1 (en) 1979-04-06 1980-04-01 Ultrasonic transducer

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4354132A (de)
EP (1) EP0017216B1 (de)
JP (1) JPS5856320B2 (de)
AT (1) ATE2293T1 (de)
AU (1) AU5715680A (de)
CA (1) CA1154861A (de)
DE (2) DE2914031C2 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2484179A1 (fr) * 1980-06-10 1981-12-11 Cgr Ultrasonic Sonde ultrasonore a deux elements transucteurs et dispositif comportant une telle sonde
DE3149317A1 (de) * 1980-12-22 1982-07-22 Naamloze Vennootschap Philips' Gloeilampenfabrieken, 5621 Eindhoven Anordnung fuer die untersuchung mit hilfe von ultraschallwellen
DE3146949A1 (de) * 1981-11-26 1983-06-01 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München "ultraschallwandler"
EP0205609A4 (de) * 1984-12-31 1987-06-01 Bruel & Kjaer Instr Inc Beschleunigungsempfindliche umwandler.
WO1994013411A1 (en) * 1992-12-11 1994-06-23 University Of Strathclyde Ultrasonic transducer
WO2009088307A1 (en) * 2008-01-09 2009-07-16 Angelsen Bjoern A J Multiple frequency band acoustic transducer arrays

Families Citing this family (40)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0123446Y2 (de) * 1979-10-15 1989-07-19
DE3204829A1 (de) * 1982-02-11 1983-08-18 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Anordnung zur untersuchung mit ultraschall
US4523471A (en) * 1982-09-28 1985-06-18 Biosound, Inc. Composite transducer structure
DE3309234A1 (de) * 1983-03-15 1984-09-20 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschallwandler
GB2141902B (en) * 1983-05-23 1986-09-17 Raytheon Co Composite transducer
US4737939A (en) * 1983-05-23 1988-04-12 Raytheon Company Composite transducer
JPS60107736A (ja) * 1983-11-16 1985-06-13 Ricoh Co Ltd 光ディスクメモリにおける信号読出方法
US4544859A (en) * 1984-07-06 1985-10-01 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Non-bonded piezoelectric ultrasonic transducer
US4695988A (en) * 1984-09-12 1987-09-22 Ngk Spark Plug Co. Ltd. Underwater piezoelectric arrangement
DE3441563A1 (de) * 1984-11-14 1985-05-30 Michael Dipl.-Phys. 5600 Wuppertal Platte Kombinierte ultraschallwandler aus keramischen und hochpolymeren piezoelektrischen materialien
US4654546A (en) * 1984-11-20 1987-03-31 Kari Kirjavainen Electromechanical film and procedure for manufacturing same
JPS60138457A (ja) * 1984-11-30 1985-07-23 Hitachi Ltd 送受分離形超音波探触子
US4634917A (en) * 1984-12-26 1987-01-06 Battelle Memorial Institute Active multi-layer piezoelectric tactile sensor apparatus and method
NL8501908A (nl) * 1985-07-03 1987-02-02 Tno Tastsensor.
JPS62234205A (ja) * 1986-04-04 1987-10-14 Y Ii Data:Kk デジタル磁気記録情報の再生方式
US4841494A (en) * 1987-07-03 1989-06-20 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Underwater piezoelectric arrangement
JPS6456038A (en) * 1987-08-25 1989-03-02 Yokogawa Medical Syst Ultrasonic probe
DE3839057A1 (de) * 1988-11-18 1990-05-23 Fraunhofer Ges Forschung Gruppenstrahler
US4928264A (en) * 1989-06-30 1990-05-22 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Noise-suppressing hydrophones
DE3926346A1 (de) * 1989-08-09 1991-02-14 Rieter Ag Maschf Verfahren und vorrichtung zur ermittlung von mit fremdkoerpern verunreinigtem fasergut
DE4139024C1 (de) * 1991-11-27 1993-04-15 Siemens Ag, 8000 Muenchen, De
US5446333A (en) * 1992-09-21 1995-08-29 Ngk Insulators, Ltd. Ultrasonic transducers
US5389848A (en) * 1993-01-15 1995-02-14 General Electric Company Hybrid ultrasonic transducer
US5536910A (en) * 1993-08-09 1996-07-16 Northrop Grumman Sound, radio and radiation wave-absorbing, non-reflecting structure and method thereof
EP0706835B1 (de) * 1994-10-10 1999-01-20 Endress + Hauser GmbH + Co. Ein Verfahren zum Betrieb eines Ultraschallwandlers und Schaltungsanordnung zur Durchführung des Verfahrens
US5479377A (en) * 1994-12-19 1995-12-26 Lum; Paul Membrane-supported electronics for a hydrophone
US5825117A (en) * 1996-03-26 1998-10-20 Hewlett-Packard Company Second harmonic imaging transducers
US5957851A (en) * 1996-06-10 1999-09-28 Acuson Corporation Extended bandwidth ultrasonic transducer
US5945770A (en) * 1997-08-20 1999-08-31 Acuson Corporation Multilayer ultrasound transducer and the method of manufacture thereof
US6416478B1 (en) 1998-05-05 2002-07-09 Acuson Corporation Extended bandwidth ultrasonic transducer and method
DE19901847A1 (de) * 1998-08-06 2000-02-10 Volkswagen Ag Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Objekten, insbesondere als Einparkhilfe-Assistenz-Vorrichtung in einem Kraftfahrzeug
US6409667B1 (en) 2000-02-23 2002-06-25 Acuson Corporation Medical diagnostic ultrasound transducer system and method for harmonic imaging
JP4904704B2 (ja) * 2005-03-18 2012-03-28 アイシン精機株式会社 荷重検知装置
WO2007085022A2 (en) * 2006-01-20 2007-07-26 Akrion Technologies, Inc. System, apparatus and methods for processing substrates using acoustic energy
WO2008018278A1 (en) * 2006-08-08 2008-02-14 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Ultrasound probe and method for producing ultrasound probe
JP2008188415A (ja) * 2007-01-09 2008-08-21 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 圧電素子、その製造方法、及び当該圧電素子を具備する超音波探触子
JP5348451B2 (ja) * 2008-02-13 2013-11-20 アイシン精機株式会社 荷重検出装置
US8817575B1 (en) * 2011-09-29 2014-08-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Transducer for high pressure environment
US9239386B2 (en) 2011-10-05 2016-01-19 Infineon Technologies Ag Sonic sensors and packages
DE102013205157A1 (de) * 2013-03-22 2014-10-09 Robert Bosch Gmbh Sensoranordnung und Verfahren zur Umfelderfassung eines Fahrzeugs

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2434143A (en) * 1943-04-17 1948-01-06 Chilowsky Constantin Supersonic signal transmitter and receiver
US2625035A (en) * 1945-12-22 1953-01-13 United Aircraft Corp Supersonic inspection device
US2875354A (en) * 1954-01-29 1959-02-24 Branson Instr Piezoelectric transducer
DE1116455B (de) * 1955-03-21 1961-11-02 Sperry Prod Inc Ultraschallwandler zur Aussendung und zum Empfang von mechanischen Impulsen in bzw. aus einem Gegenstand
DE1278520B (de) 1966-03-03 1968-09-26 Siemens Ag Elektromechanischer Wandler, insbesondere Mikrophon, auf MOS-Transistor-Basis
US4217684A (en) * 1979-04-16 1980-08-19 General Electric Company Fabrication of front surface matched ultrasonic transducer array

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2484179A1 (fr) * 1980-06-10 1981-12-11 Cgr Ultrasonic Sonde ultrasonore a deux elements transucteurs et dispositif comportant une telle sonde
DE3149317A1 (de) * 1980-12-22 1982-07-22 Naamloze Vennootschap Philips' Gloeilampenfabrieken, 5621 Eindhoven Anordnung fuer die untersuchung mit hilfe von ultraschallwellen
DE3146949A1 (de) * 1981-11-26 1983-06-01 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München "ultraschallwandler"
EP0205609A4 (de) * 1984-12-31 1987-06-01 Bruel & Kjaer Instr Inc Beschleunigungsempfindliche umwandler.
WO1994013411A1 (en) * 1992-12-11 1994-06-23 University Of Strathclyde Ultrasonic transducer
WO2009088307A1 (en) * 2008-01-09 2009-07-16 Angelsen Bjoern A J Multiple frequency band acoustic transducer arrays
CN101965232B (zh) * 2008-01-09 2014-04-23 海浪科技有限公司 多频带声学换能器阵列

Also Published As

Publication number Publication date
DE3061665D1 (en) 1983-02-24
ATE2293T1 (de) 1983-02-15
EP0017216A2 (de) 1980-10-15
EP0017216B1 (de) 1983-01-19
EP0017216A3 (en) 1980-11-12
CA1154861A (en) 1983-10-04
JPS5856320B2 (ja) 1983-12-14
AU5715680A (en) 1980-10-09
JPS55140392A (en) 1980-11-01
DE2914031C2 (de) 1981-01-15
US4354132A (en) 1982-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2914031B1 (de) Ultraschallwandler
DE3119272A1 (de) "bogenabtastungs-ultraschallwandler-anordnung"
DE60210106T2 (de) Substrat für mikrobearbeitete ultraschallwandleranordnung, das die seitenübertragung von schallenergie begrenzt
EP3256264B1 (de) Schallwandler umfassend eine vielzahl von einzelwandlern und verfahren zu dessen herstellung
DE112007001920B4 (de) Umschalten von Schichten für eine Ultraschallwandleranordnung
DE3443869C2 (de)
DE102008006554A1 (de) Ultraschallsensor mit piezoelektrischem Element und akustischem Anpassteil
EP0040375B1 (de) Ultraschallwandleranordnung
DE3427850A1 (de) Farbstrahlkopf
EP0025092A1 (de) Ultraschallwandleranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE102007047274A1 (de) Ultraschallsensor
DE19926010A1 (de) Piezo-Effekt-basiertes Sicherheitsmerkmal an Wert- und Sicherheitsdokumenten und dazugehöriges Nachweisverfahren
DE19621760A1 (de) Ultraschall-Flüssigkeitsniveaudetektor
EP0166180A1 (de) Hydrophon
WO1999032236A1 (de) Piezoelektrischer schwinger mit temperaturabhängigem bauelement
DE69606609T2 (de) Wandleranordnung für akustische Abbildung
DE19937479A1 (de) Ultraschall-Sensoranordnung
DE3231117A1 (de) Piezoelektrischer koppler, insbesondere elektromechanischer zuendkoppler
WO2021165146A1 (de) Wasserschallwandler
DE7910139U1 (de) Ultraschallwandler
EP0465878A2 (de) Piezokeramischer Ultraschallwandler
DE2757099A1 (de) Hochmolekulare, piezoelektrische anordnung
EP0086531A1 (de) Anordnung zur Untersuchung mit Ultraschall
DE3401979A1 (de) Ultraschall-wandler
DE2314152C2 (de) Piezokeramischer Stoff

Legal Events

Date Code Title Description
8339 Ceased/non-payment of the annual fee