DE2919902C2 - Vorrichtung zum Überziehen von Pulver mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials - Google Patents

Vorrichtung zum Überziehen von Pulver mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials

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DE2919902C2
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Miles Patrick Drake
Sarah Yvonne Harlow Essex Hughes
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International Standard Electric Corp
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/223—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating specially adapted for coating particles
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    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
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Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Vorrichtung zum Oberziehen von Pulverteilchen mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials, bestehend aus einer Vakuumkammer, einer Verdämpfungsvorrichtung für das Oberzugsmaterial, die in der Vakuumkammer angordnet ist, und einem unterhalb der Verdampfungsvorrichtung in der Vakuumkammer angeordneten Behälter für die zu beschichtenden Pulverteilchen, sowie einer Vibrationsvorrichtung für den Behälter, dadurch gekennzeichnet,.daß sowohl die Verdampfungsvorrichtung als auch die Vibrationsvorrichtung im Deckel der Vakuumkammer angeordnet sind, daß der Behälter mittels eines Stabes an der Vibrationsvorrichtung befestigt ist und daß der Stab so bemessen ist, daß er durch die Vibrationen im Resonanz gerät.
    20
    Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Überziehen von Pulverteilchen mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials, bestehend aus einer Vakuumkammer, einer Verdampfungsvorrichtung für das Überzugsmaterial, die in der Vakuumkammer angeordnet ist, und einem unterhalb der Verdampfungsvorrichtung in der Vakuumkammer angeordneten Behälter für die zu beschichtenden Pulverteilchen, sowie jo einer Vibrationsvorrichtung für den Behälter.
    Solche Vorrichtungen dienen zum Überziehen von gepulverten oder granulierten Materialien mit metallischen oder nichtmetallischen dünnen Schichten. Die überzogenen Teilchen werden beispielsweise bei der J5 Herstellung von gewissen Typen von Kondensatoren benötigt.
    Aus der Veröffentlichung »Re Metallica«, Band 4, viertes Planseseminar (Pulvermetallurgie in der Atomtechnik), 1962, ist eine solche Vorrichtung bereits bekannt.
    Aufgabe der Erfindung ist es, eine solche Vorrichtung derart auszubilden, daß sowohl die Verdampfungsvorrichtung als auch die Vibrationsvorrichtung und der Behälter leicht zugänglich sind und daß bei geringem Energieverbrauch die zu beschichtenden Teilchen einer starken Vibration ausgesetzt sind.
    Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß sowohl die Verdampfungsvorrichtung als auch die Vibrationsvorrichtung im Deckel der Vakuumkammer angeordnet sind, daß der Behälter mittels eines Stabes an der Vibrationsvorrichtung befestigt ist und daß der Stab so bemessen ist, daß er durch die Vibrationen in Resonanz gerät
    Die Erfindung soll anhand der Figur näher erläutert werden.
    Ein oben offener Behälter 1 wird von einem Arm 2 gehalten, der wiederum an dem unteren Ende eines Stabes 3 angebracht ist. Das obere Ende des Stabes 3 ist an einer Vibrationseinrichtung 4 befestigt, welche ihrerseits in dem Deckel 5 einer Vakuumkammer 6 angebracht ist. Der Deckel 5 trägt auch eine Elektronenstrahlquelle 8, die mit dem Überzugsmaterial versehen ist. Der Behälter 1 ist teilweise mit dem Pulver 7 gefü'it, das überzogen werden soll. Die Anordnung ist so getroffen, daß die Schwingungen von der Vorrichtung 4 über den Stab 3 auf den Arm 2 übertragen werden, der so bemessen ist, daß er in Resonanz gerät, so daß der Behälter 1 während des Niederschiagens des Materials in Schwingungen gebracht wird. Das Niederschlagen findet jedoch nur auf der oberen Fläche der Pulverteilchen 7 statt. Durch die Vibration wird erreicht, daß das Pulver in dem Behälter durcheinandergewirbelt wird, so daß alle Pulverteilchen zu der einen oder anderen Zeit an die Oberfläche der Pulvermasse kommen und daß so alle Teilchen überzogen werden.
    Beispielsweise kann Aluminiumoxidpulver mit einer Metallschicht, wie z. B. Tantal, überzogen werden, so daß das Pulver für die Herstellung gewisser Typen von Kondensatoren verwendet werden kann. Anstelle der Elektronenstrahlniederschlagung kann auch eine thermische Verdampfung verwendet werden.
    Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DE2919902A 1978-05-25 1979-05-17 Vorrichtung zum Überziehen von Pulver mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials Expired DE2919902C2 (de)

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GB2245378 1978-05-25

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DE2919902A1 DE2919902A1 (de) 1979-11-29
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CN110573648A (zh) * 2017-04-28 2019-12-13 冯·阿登纳资产股份有限公司 固体颗粒源、处理系统和方法

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US4792353A (en) * 1986-10-10 1988-12-20 Massachusetts Institute Of Technology Aluminum oxide-metal compositions

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110573648A (zh) * 2017-04-28 2019-12-13 冯·阿登纳资产股份有限公司 固体颗粒源、处理系统和方法

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