DE2922873C2 - Verfahren und Anordnung zur berührungslosen fotoelektrischen Geschwindigkeitsmessung in mindestens einer Meßkoordinate an Oberflächen von starren oder deformierbaren Meßobjekten - Google Patents

Verfahren und Anordnung zur berührungslosen fotoelektrischen Geschwindigkeitsmessung in mindestens einer Meßkoordinate an Oberflächen von starren oder deformierbaren Meßobjekten

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DE2922873C2 DE19792922873 DE2922873A DE2922873C2 DE 2922873 C2 DE2922873 C2 DE 2922873C2 DE 19792922873 DE19792922873 DE 19792922873 DE 2922873 A DE2922873 A DE 2922873A DE 2922873 C2 DE2922873 C2 DE 2922873C2
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Fromund Prof. Dr.-Ing. 3003 Ronnenberg Hock
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ABB Industrie und Automation GmbH
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Messmetallurgie 5802 Wetter De GmbH
Messmetallurgie 5802 Wetter GmbH
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur berührungslosen fotoelektrischen Geschwindigkeitsmessung in mindestens einer Meßkoordinate an Oberflächen von starren oder deformierbaren Meßobjekten gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 oder des Anspruchs 16.
In der Prozeßmeßtechnik benötigt man oft die Information über Objektbewegungen in unterschiedlichen Freiheitsgraden, deren berührungslose Messung bisher dadurch erschwert wird, daß die zu beherrschenden großen Signalbandbreiten bzw. Signalfrequenzverhältnisse nur mit erheblichem elektronischem Aufwand bewältigt werden können oder daß bei Verwendung von kohärentem Licht die Meßunsicherheit durch Störlichtinterferenz besonders in der Form von Specklemodulation zu groß wird (z. B. Verfahren nach DE-PS
16 73403).
Durch die US-PS 3860342 ist ein Laser- Doppler-Anemometer bekannt, bei dem die Laserstrahlung zweier Wellenlängen in zwei je einer Wellenlänge zugeordnete, zueinander senkrechte Strahlungspaare mit parallelen interferenzfähigen Teilstrahlen aufgespalten wird. Die Teilstrahlen werden durch eine optische Anordnung unter fester Winkelbeziehung auf einen gemeinsamen Punkt eines Test-Volumenstromes fokussiert, wo die Teilstrahlen jedes Paares interferieren. Die gestreuten Strahlenteile werden durch die gleiche optische Anordnung gesammelt und auf Fotodioden geführt, deren elektrische Wechselsignale zur Ermittlung der Geschwindigkeitskomponenten ausgewertet werden. Diese Druckschrift bezieht sich also nicht auf eine Geschwindigkeitsmessung an Oberflächen von starren oder deformierbaren Meßobjekten, sondern auf Strömungsmessung mittels an kleinen Streupai akeln oder infolge von Relaisstrahlung an den unter der Wellenlänge liegenden statischen Dichteschwankungen von Gasen oder Flüssigkeiten gestreutem Licht innerhalb eines Testvolumens, in dem ein Interferenzstreifensystem erzeugt wird. Beim Gegenstand dieser Druckschrift werden die Strahlenpaare und Interferenzstreifensysteme durch zwei Wellenlängen so gekennzeichnet, daß diese nach der Wechselwirkung mit den Streupartikeln unterschiedlichen Empfängern zugeordnet und getrennt werden können.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht d?rin, ein Verfahren und eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens der eingangs genannten Art so auszubilden, daß eine sehr genaue, von Störungen unbeeinflußbare Messung der lateralen Geschwindigkeitskomponenten eines Flächenelementes von starren oder deformierbaren Meßobjekten ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird verfahrensmäßig durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst. Eine Anordnung zur Durchführung des Verfahrens ist im Anspruch 16 angegeben.
Vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Aufgabenlösung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Wirkungsweise und Vorteile der Erfindung sollen nachfolgend kurz erläutert werden.
Die Erfindung stellt eine fotoelektrische Bewegungsmessung dar, bei der zwei oder vier Laserstrahlen mit fester Winkelbeziehung auf ein Objekt gerichtet werden. Das am Objekt gebeugte oder gestreute Licht enthält über eine Frequenzverschiebung die Information über die Objektgeschwindigkeit. Die Erfindung gestattet eine sehr genaue und praktisch störungsfreie Messung der Bewegung von Flächenelementen von starren oder deformierbaren Körpern in den zwei lateralen Koordinaten.
Die lateralen Geschwindigkeitskomponenten des Objektes, das ein statistisches Gitter darstellt, bewirken geschwindigkeitsabhängige Wirkungen auf die Frequenz des gebeugten Lichtes (Doppler-Effekt). Nachgewiesen wird dieser Doppler-Effekt durch die Schwebung zweier definiert frequenzverschobener phasenkorrelierter Lichtflüsse.
Die Entwicklung trägerfrequenter optoelektronischer Meßverfahren und Geräte bietet den Vorteil der leichten Signaltrennung bezüglich der zwei Meßkoordinaten. Die Referenzphasenmethode mit Phasenvergleich der Meßsignale liefert gegenüber Amplitudenvergleichsverfahren einfache, zuverlässige Signalperiodenbruchteilbildung. Darüber hinaus arbeitet das Verfahren mit hoher Auflösung und bietet bezüglich Drift und Rauschen Vorteile. Bereits bei der Objektgeschwindigkeit 0 entsteht eine Schwindungsfrequenz, die Trägerfrequenz.
Aus mehreren möglichen Verfahren zur Erzeugung einer Trägerfrequenz sei die Methode mit Hilfe von schwingenden Gittern herausgegriffen. Ein Gitter für jede Koordinate wird mit Hilfe einer Bimorph- oder Multimorph-Piezokeramik zum Schwingen angeregt
Der Vorteil dieser Methode ist die relativ einfache Erzeugung einer Trägerfrequenz. Da die Trägerfrequenz hier aber immer zwischen 0 und einem maximalen Wert schwankt, muß hier für jeweils eine laterale Kooerdinate ein Lock-in-Verstärker eingesetzt werden. Das Gitter hat außerdem den Vorteil, daß es auch eine definierte Strahlaufspaltung bewirkt Es werden vier Strahlen erzeugt, jeweils zwei koplanare für eine Meßkoordinate. Jedes Strahlenpaar muß zur Koordinatentrennung eine unterschiedliche Trägerfrequenz aufweisen. Sind die beiden Strahlen in einem Paar orthogonal zueinander polarisiert, so sind die Teillichtflüsse untereinander nicht interferenzfähig, so daß Störreflexe unschädlich bleiben können. Zusätzlich liefert die Erzwingung der Interferenzfähigkeit durch einen vor den fotoelektrischen Empfängern angeordneten Analysator aus diesem, falls er zwei Auslässe aufweist Gegentaktsignale. So können Laserschwankungen, Schwankungen der Durchlässigkeit des Strahlengangs und Specklemuster durch Subtraktion in einem Differenzverstärker unterdrückt werden.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert werden.
Eine Strahlungsquelle 1, vorzugsweise ein Laser, erzeugt monochromatisches Licht. Der Laser sendet ein Strahlenbündel 2 aus, das durch einen Strahlaufweiter mit Linsen 3 und 4 auf einen, an der Gitterkonstante gemessen, geeigneten Durchmesser gebracht wird Das Linsensystem 5, 9 dient dazu, die vier Strahlenbündel, von denen jeweils zwei koplanar durch Gitter 24 und Gitter 25 erzeugt werden, und deren koplanare Ebenen senkrecht aufeinander stehen, in sich parallel zu machen. Der Einfachheit halber ist nur ein Strahlenpaar 6, 7 für eine Meßkoordinate dargestellt. Der Laser liefert linear polarisiertes Licht. Im Strahl 6 wird die lineare Schwingungsrichtung durch ein A/2-Plättchen 10 um 90° gedreht. Die Position eines Linsenpaares U, 12 zwischen Linsen 9 und 13 zusammen mit der Position der Gitter zwischen den Linsen 5 und 9 legt den Einstrahlwinkel auf das Objekt fest. Für verschiedene Objektabstände muß der Einstrahlwinkel variierbar sein. Das durch die Linsen 13 und 14 gebildete Fernrohr fokussiert die Strahlen 15 und 16 auf ein Objekt 1/, das sich in zwei Koordinaten lateral zur Geräteachse bewegen kann. Als Objekt sind alle Oberflächen zulässig, die die Polarisationsrichtung nur wenig beeinflussen, wie z. B. Metall. Das zurückgestreute oder gebeugte Licht wird wieder durch das Fernrohr gesammelt und läuft auf einen polarisierenden Strahlenteiler 19, dessen Hauptschnitte 45° zu den Hauptschwingungsrichtungen 18 orientiert ist. Aus den beiden Ausgängen erhält man zwei senkrecht zueinander polarisierte Strahlen 20 und 21, in denen jeweils eine Komponente von Strahl 15 und 16 steckt. Das Licht wird von einer Linse 22 auf Fotodetektoren 23 fokussiert. Bei Bewegung des Objektes 17
b5 erhält man auf den Fotodetektoren ein Gegentaktsignal. Werden die beiden Gitter 24 und 25 mit unterschiedlichen Frequenzen V\ und V2, die wesentlich höher als die den nachzuweisenden Obiektbeweeunpen
den Frequenzen sind, in Schwingungen versetzt, so werden schon bei unbewegtem Objekt 17 Gegentaktsignale erhalten. Die den Gitterschwingungen zugeordneten SignalFrequenzspektren werden unter Bezug auf die Gitterbewegungsfrequenzen elektronisch demoduliert. Die 5 durch die Objektbewegung veränderten Signalfrequenzspektren liefern demoduliert die Signale, die die Objektbewegung beschreiben.
Die erfindungsgemäße Anordnung ISBt folgende Varianten zu: to
So kann als Strahlungsquelle 1 elektromagnetischer Wellen ein gepumpter quantenoptischer Oszillator, eine Halbleiter-Strahlungsquelle oder auch eine thermische Strahlungsquelle verwendet werden. Als Strahlenteiler 24,25 eignen sich teiidurchltssige Elemente, wellenbeu- is gende periodische Strukturen in Verbindung mit Ortsfrequenzfilterung und polarisationsabhängiger Teiler wie doppelbrechende oder dünnschichtige Elemente sowie bfindelquerschnittaufspaltende, geometrische Strahlenteiler. Die geteilten Wellen können mit Hilfe strahlumlenkender optischer Bauelemente 9,11,12,13, 14 wie Linsen, ebene und gekrümmte Spiegel oder Prismen auf das Meßobjekt gelenkt werden. Für den Fall, daß die Teilwellen zunächst interferenzfähig sind, läßt sich durch zusätzliche Anordnung geeigneter Bauelemente 1:0, wie die Polarisation oder die zeitliche Kohärenz beeinflussende, die Interferenzfähigkeit unterdrükken. Dieses können z. B. sein: Optisch anisotrope Materialien, bzw. optisch dispergierende Elemente. Zur Erzwingung der interferenzfähigkeit vor der Umformung in elektrische Wechselsignale sind dann entsprechend kompensierende bzw. polarisationsanalysierende oder retardierende Bauelemente zu verwenden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
40
45
50
55
60

Claims (16)

PatcntansprOche:
1. Verfahren zur berührungslosen fotoelektrischen Geschwindigkeitsmessung in mindestens einer s Meßkoordinate an Oberflächen von starren oder deformierbaren Meßobjekten, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei Strahlungsteile aus einer Quelle elektromagnetischer Strahlung ausgeblendet, nicht unmittelbar interferenzfahig ge· ίο macht und aus mindestens zwei Raumwinkelbereichen mit untereinander festen Winkelbeziehungen auf ein den Raumwinkelbereich gemeinsames Flächenelement des Meßobjektes geführt werden, daß die am Flächenelement gestreuten oder gebeugten is Strahlenttile in einen gemeinsamen Raumwinkelbereich umgelenkt und einander überlagert werden, daß die Interferenzfähigkeit der in den gemeinsamen Raumwinkelbereich umgelenkten und überlagerten Strahlungsteile erzwungen wird und daß die Schwebung der interferierenden Strahlungsteile in elektrische Wechselsignale umgeformt wird.
2. Verfahren nach Anspruch t. dadurch gekennzeichnet, daß zwei Strahlungsteile gleicher Frequenz auf das Meßobjekt geführt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jede Meßkoordinate ein koplanares Paar von Strahlungsteilen gleicher Frequenz auf unterschiedliche Teilflächen des Meßobjektes geführt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je Meßkoordinate ein Paar koplanarer Strahlungsteile fester, jedoch paarweise unterschiedlicher Frequenzdifferenz auf das Meßobjekt geführt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je Meßkoordinate ein Paar koplanarer Strahlungsteile variabler Frequenz mit bekannter zeitlicher und räumlicher Abhängigkeit der Frequenz auf das Meßobjekt geführt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsteile zueinander paarweise orthogonal polarisiert werden zur Erzeugung der fehlenden Interferenzfähigkeit.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsteile durch Laufzeitunterschiede zeitlich inkohärent gemacht werden zur Erzeugung der fehlenden Interferenzfähigkeit.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsteile in zeitlich gegen- so einander verschobenen Impulsfolgen auf das Objekt geführt werden zur Erzeugung der fehlenden Interferenzfähigkeit.
9. Verfahren nach Anspruch 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Interferenzfähigkeit der ge- ss streuten oder gebeugten Strahlenteile durch Beeinflussung der Polarisation erzwungen wird.
10. Verfahren nach Anspruch 1, 7 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Interferenzfähigkeit der gestreuten oder gebeugten Strahlenteile durch Verzö- bo gerung der Laufzeit erzwungen wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterscheidung der Signale für die unterschiedlichen Meßkoordinaten die Strahlenteile nach Teilflächen des Objektes getrennt werden.
12. Verfahren nach Anspruch 1, 2, 3. 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterscheidung der Signale für die unterschiedlichen Meßkoordinaten die Strahlenteile nach Raumrichtungen getrennt werden.
13. Verfahren nach Anspruch 1,4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterscheidung der Signale für die unterschiedlichen Meßkoordinaten die Strahlenteile nach Polarisationszuständen getrennt werden.
14. Verfahren nach Anspruch 1, 2,3, 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterscheidung der Signale für die unterschiedlichen Meßkoordinaten die Strahlenteile zeitlich getrennt werden.
15. Verfahren nach Anspruch 1,4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Unterscheidung der Signale für die unterschiedlichen Meßkoordinaten die Strahlenteile frequenzbereichsmäßig getrennt werden.
16. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorhergehenden Ansprüche mit einer Quelle elektromagnetischer Strahlung geeigneter spektraler Leistungsdichteverteilung, mit einem Strahlenteiler, die die Strahlung der Quelle in wenigstens zwei Strahlungsteile aufspaltet, denen unterschiedliche Richtungen zugeordnet sind und mit Strahlenführungsmitteln, die die Strahlungsteile mit fester Winkelbeziehung einander durchdringend in einem Meßobjektraum auf ein gemeinsames Flächenelement eines Meßobjektes führen und die am Objekt gebeugten bzw. gestreuten Strahlenteile sammeln und in einen gemeinsamen Raumwinkelbereich umlenken und auf wenigstens einen opto-elektrischen Umformer führen, dessen Ausgangssignale einer Auswerteelektronik zugeführt werden, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein geometrischer oder physikalischer Strahlenteiler (24,25) zur Erzeugung nichtinterferenzfähiger Strahlungsteile vorgesehen ist, daß die Strahlenführungsmittel (9, 11, 12,13,14) geometrische Strahlenführungsmittel sind, die die Strahlungsteile zumindest paarweise im Meßobjektraum zusammenführen, daß das Objekt (17) durch seine Struktur oder durch künstlich erzeugte wellenbeugende bzw. wellenstreuende Eigenschaften die Richtung der Strahlungsteile verändert und daß ein optisches Bauelement (19) zur Erzwingung der Interferenzfähigkeit der in den gemeinsamen Raumwinkelbereich umgelenkten Strahlenteile vorgesehen ist zur Demodulation der den elektromagnetischen Strahlenteilen durch die Objektbewegung aufgeprägten Signale.
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