DE3203747C2 - Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung - Google Patents
Röntgenfluoreszenz-MeßeinrichtungInfo
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Abstract
Es wird eine Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung beschrieben, bei der zwischen einem in im Strahlengang der Röntgenröhre angeordneten Kollimator und der Meßprobe ein reflektierender Spiegel ortsfest angeordnet ist, der aus einem Material besteht, welches Licht reflektiert, aber für Röntgenstrahlung durchlässig ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung,
die beispielsweise zur Bestimmung der Schichtstärke einer Oberflächenschicht einer Probe
verwendbar ist.
Bei bekannten Meßeinrichtungen dieser Art (F ι g. 1
und 2) ist eine bewegliche Platte 1 vorgesehen, die bei Bestrahlung einer Probe 5 mit Röntgenstrahlung von
einer Röntgenröhre 2 durch eine Drehspule 3 in eine in F i g. 2 dargestellte Lage bewegt werden kann, so daß
Röntgenstrahlung durch einen Kollimator 4 auf eine Probe 5 auffallen kann. Um dabei die Probe 5 mit Röntgenstrahlung
bestrahlen zu können, muß deshalb eine Betätigungseinrichtung vorgesehen werden, um den
Kollimator 4 in eine dem Strahlengang entsprechende Lage vor Bestrahlung der Probe zu bringen. Dabei wird
als nachteilig angesehen, daß ein konstruktiver Aufwand für die Betätigungseinrichtung erforderlich ist und
daß eine Justiereinrichtung für den Kollimator erforderlich ist, damit sich dieser auch nach längerer Benutzung
der Meßeinrichtung in eine relativ zu dem Strahlengang genau einjustierte Lage befindet.
Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung
der eingangs genannten Art unter Vermeidung der genannten Nachteile und Schwierigkeiten derart zu verbessern, daß bei vereinfachter
Konstruktion und mindestens gleicher Meßgenauigkeit eine Beobachtung des Meßpunkts von der
Oberseite der Probe her durchführbar ist. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß im Strahlengang
der Röntgenröhre vor der Probe eine reflektierende Platte ortsfest angeordnet ist, die Licht reflektiert,
aber für Röntgenstrahlung durchlässig ist.
Anhand der Zeichnung soll die Erfindung beispielsweise näher erläutert werden. Es zeigen
F i g. 1 und 2 eine schematische Darstellung einer bekannten Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung in unterschiedlichen
Verschiebungslagen eines Kollimators für die Röntgenstrahlung; und
F i g. 3 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels gemäß der Erfindung.
Bei der in F i g. 3 dargestellten Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung
ist unter einer Röntgenröhre 10 ein Kollimator 11 angeordnet. Zwischen dem Kollimator U
und einer Probe 12 ist eine reflektierende Platte 13 an einem nicht dargestellten Basisteil befestigt. Die reflektierende
Platte 13 besteht aus einem Material, das Licht reflektiert, aber den Durchtritt von Röntgenstrahlung
ermöglicht. Die Platte 13 kann beispielsweise eine mit Aluminium plattierte S1O2-Schicht oder eine mit Aluminium
bedampfte organische Schicht sein, um eine reflektierende Überfläche zu bilden. Von der Röntgenröhre
10 emittierte Röntgenstrahlung gelangt auf die Probe 12 durch die reflektierende Platte 13, und die von der Probe
12 emittierte Fluoreszenzröntgenstrahlung wird mit Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
- Patentanspruch:Rönlgenfluoreszenz-Meßeinrichtung mit einem im Strahlengang der Röntgenröhre angeordneten Kollimator, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Kollimator (11) und der Probe (12) eine reflektierende Platte (13) ortsfest angeordnet ist und aus einem Material besteht, das Licht reflektiert, aber für Röntgenstrahlung durchlässig ist.10 Hilfe einer Nachweiseinrichtung 14 nachgewiesen. Da das von der Probe ausgehende sichtbare Licht von der Platte 13 reflektiert wird, kann der Meßpunkt auf der Probe 12 beispielsweise mit Hilfe eines nicht dargestellten Mikroskops beobachtet werden.Deshalb ist bei der beschriebenen Röntgenfluoreszenz-Meßeinrichtung eine Verschiebungseinrichtung nicht erforderlich, weil die reflektierende Platte ortsfest angeordnet ist, so daß die Konstruktion vereinfacht und die Herstellungskosten verringert werden können. Durch die ortsfeste Anordnung wird ferner auch nach längerer Standzeit und Betriebsdauer eine Durchführung mit Messungen hoher Meßgenauigkeit ermöglicht.
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