DE3442061C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3442061C2 DE3442061C2 DE19843442061 DE3442061A DE3442061C2 DE 3442061 C2 DE3442061 C2 DE 3442061C2 DE 19843442061 DE19843442061 DE 19843442061 DE 3442061 A DE3442061 A DE 3442061A DE 3442061 C2 DE3442061 C2 DE 3442061C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- subject
- focusing system
- ray
- radiation
- scattering angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 17
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 claims description 2
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- 241001282736 Oriens Species 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000002083 X-ray spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003733 fiber-reinforced composite Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000012783 reinforcing fiber Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/207—Diffractometry using detectors, e.g. using a probe in a central position and one or more displaceable detectors in circumferential positions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum zerstörungsfreien Prü
fen von Bauteilen inhomogener Werkstoffe bezüglich material- und orien
tierungsspezifischer Dichteverteilung mittels monochromatischer Rönt
genstrahlenuntersuchung und Detektorabbildung.
Neben den bekannten Grobstrukturuntersuchungen mittels Röntgenstrahlen
ist schon ein Feinstrukturverfahren vorgeschlagen worden (P 33 40 790),
in dem ein geeigneter mit monochromatischer Röntgenstrahlung erzeugter
Reflex in einem Bauteil aus faserverstärktem Verbundwerkstoff zur Mes
sung bzw. Registrierung benutzt wird. Ähnlich wie bei Grobstrukturun
tersuchungen kommen beim Durchstrahlen alle Schichtdicken eines unter
suchten Bauteiles zur Wirkung, aber im Gegensatz zum herkömmlichen
Verfahren werden nicht die Absorptionseigenschaften, sondern die orien
tierungsabhängigen Fähigkeiten der Schichten Feinstrukturreflexe zu
erzeugen ausgenutzt. Im Unterschied zur Grobstrukturuntersuchung wer
den nicht die durchgehende Primärstrahlung beobachtet, sondern die
durch Interferenz der Netzebenen erzeugten Reflexe, die je nach Lage
der Fasern einer Schicht reflektiert werden oder nicht. Die Schichten
eines Bauteiles aus Verbundwerkstoff kommen hier also trotz gleicher
Absorption unterschiedlich zur Wirkung.
Wie die DE-OS 29 33 047 zeigt, können polykristalline und flüssige Proben
mit Röntgendiffraktionsverfahren in ihrer Struktur untersucht werden.
Dabei wird das Strahlungsbündel einer Röntgenquelle mit einem Monochro
mator auf den Umfang eines Goniometerkreises fokussiert, in dessen
Zentrum die um die eine Achse senkrecht zur Ebene des Goniometerkreises
drehbare Probe angeordnet ist. Mittels einer Detektoranordnung können
am Umfang des Goniometerkreises strukturspezifische Winkel und Intensi
täten der am Präparat gebeugten Strahlung gemessen werden. Zur Erfassung
von Verstärkungsfasern sowie deren Orientierung innerhalb eines
Verbundwerkstoffes ist das Diffraktionsverfahren aber nicht geeig
net.
Weiterhin ist es aus der US-PS 31 60 749 bekannt, mit einem Spektrometer
die Wellenlänge einer Röntgenstrahlung oder den Gitterabstand eines
Kristalls zu messen. Dazu werden dort die Röntgenstrahlen durch eine
sich drehende Kristallanordnung auf einen sich mit doppelter Winkel
geschwindigkeit um die gleiche Achse drehenden Detektor geleitet, so
daß bei bekannter Wellenlänge der Gitterabstand, oder bei bekanntem
Gitterabstand die Wellenlänge der Röntgenstrahlung gemessen werden
kann.
Schließlich ist es aus J. Phys. E: Sci. Instrum, Vol 14, 1981, Heft 1,
Seiten 95 bis 98 bekannt, das Streuverhalten gasförmiger Proben mit
Röntgenstrahlen zu untersuchen. Dazu wird dort ein gekrümmter Kristall
analyser und ein positionsempfindlicher Detektor benutzt, womit eine
Auflösung von ein Paar eV im Energiebereich von 10 keV erzielt werden kann, ohne Verluste
der beobachteten Intensität zu erleiten.
Ein solches Meßverfahren ist aber zur dreidimensionalen Erfassung
von Verstärkungsfasern in Verbundwerkstoffen nicht geeignet.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum zer
störungsfreien Prüfen von Bauteilen inhomogener Werkstoffe zu schaffen,
das in der Lage ist, auch räumliche Lagen verschiedener Schichten
zu registrieren. Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale
des Anspruchs 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Maßnahme ermöglicht durch den Einsatz eines fo
kussierenden Systems, Bauteile inhomogener Werkstoffe in der dritten
Dimension zu untersuchen. Für das fokussierende System können ge
wölbte Kristallmonochromatoren oder totalreflektierende Röntgenspie
gel eingesetzt werden, wobei im sekundärseitigen Brennpunkt ein Meß
spalt, z. b. ein Detektor zum Auswerten angeordnet wird. Eine Bewe
gung des Prüflings relativ zum fokussierenden System ermöglicht dann,
Bauteile inhomogener Werkstoffe in allen drei Raumrichtungen zu un
tersuchen.
Weiterbildungen und vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind
den Unteransprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung wird anhand der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 das Prinzip zum dreidimensionalen Prüfen inhomogener Werkstof
fe,
Fig. 2 registrierte Reflexe eines untersuchten Verbundwerkstoffes
mit drei Schichten verschiedener Faserorientierung,
Fig. 3 das Prinzip für die Funktionsweise eines gewölbten Kristall
monochromators,
Fig. 4 das Schema einer Feinstrukturstreukammer,
Fig. 5 das registrierte Signal einer untersuchten Probe,
Fig. 6 das Prinzip zur Untersuchung auf der Rückseite unzugängli
cher Proben und
Fig. 7 ein weiteres registriertes Signal einer Probe.
Zunächst wird auf die Fig. 3 Bezug genommen, welche die Funktionswei
se eines gewölbten Kristallmonochromators zeigt. Auf einem Kreis mit
dem Radius R liegen die Ecken ABC eines Dreiecks. Mit dem Mittelpunkt
M des Kreises ergeben sich drei gleichschenklige Dreiecke ABM, BCM
und CAM, welche die Seitenwinkel α, β, γ haben. Die Summe der Innen
winkel des Dreiecks ABC ist 180° = 2 (α + β + γ). Nimmt man AB als
Basis des Dreiecks ABC, so hat der Innenwinkel bei C für alle Lagen
von C auf dem Kreis oberhalb der Basis AB den Wert
2ϕ = α + γ = 90° - β
Der Streuwinkel 2ϑ eines von A nach C gehenden und dort nach B ge
beugten Strahles ist also
2ϕ = 90° + β
ER NB=1<
Der in der Mitte zwischen A und B liegende Punkt D definiert als
Winkelhalbierende des bei C liegenden Winkels 2ϕ die Gerade CD, weil
der Winkel ACD gleich dem Winkel DCB ist. Alle Kreise, deren Mittel
punkt D ist, haben in jedem beliebigen auf dem Kreis ABC liegenden
Punkt C eine Tangente, die, als Spiegel benutzt, einen von A nach C
gerichteten Strahl nach B reflektiert.
Dieses ist das Prinzip eines gewölbten Monochromators, welcher für
einen bestimmten Braggwinkel ϑ gebaut und durch die Größe des Win
kels β definiert ist. Bei üblichen Quarzkristallmonochromatoren hat
2ϑ Werte von <15°, d. h. β ist negativ und die Basis AB liegt ober
halb des Mittelpunktes M. Der Kreis, auf dem die Brennpunkte A, B und
die Oberfläche des gewölbten Kristalles liegen, wird Fokussierungs
kreis genannt.
Fig. 4 zeigt schematisch die Funktionsweise einer Feinstrukturstreu
kammer mit Monochromator. In diese zylindrische Kammer ist ein Rönt
genfilm eingelegt. Die im Brennfleck der Röntgenröhre entstehende
Strahlung wird im Monochromator auf einen am hinteren Zylinderrand
liegenden Brennstrich fokussiert. Beide Brennflecke und die Ober
fläche des Monochromators liegen auf dem zuvor genannten Fokussie
rungskreis. Auf der Eingangsseite der Streukammer ist ein dünnes
Pulverpräparat als Prüfling angebracht. Die von diesem Prüfling un
ter dem Braggwinkel 2ϑ gestreute Strahlung kommt für alle Werte von
2ϑ fokussiert auf einen anderen Punkt des Röntgenfilmes zur Wirkung.
Man erkennt die Stellen, wo die beiden Randstrahlen die Probe durch
dringen, als Basis AB gemäß Fig. 3 wieder, wobei der auf der Zylin
derkammer liegende Strahlenbrennpunkt als möglicher Punkt C nach Fig.
3 gilt. Die übrigen Punkte C liegen dann auf einem zweiten durch die
Filmoberfläche verlaufenden Fokussierungskreis.
Der Erfindung liegt nun der Gedanke zugrunde, den kurzarmigen Brenn
strich eines Monochromators nicht in eine Röntgenstrahlenquelle, son
dern in den bestrahlten Probanden, und zwar an die Stelle zu legen,
so daß man durch die dort erzeugte Röntgenreflexion weitere Informa
tionen erhalten kann. Der Monochromator nach Fig. 4 erscheint in Fig.
1 als Monochromator 4, der sich seine Strahlung aus dem Gebiet 3
holt. Ein weiterer Vorteil besteht noch darin, daß der Mo
nochromator 4 wegen seiner gewölbten Form ein von einem Punkt im Ge
biet 3 erzeugtes Strahlenbündel auf einmal erfassen kann. Dies ist
aber für Faserverbundwerkstoffe von besonderer Bedeutung, weil diese
Stoffe aus Mikroparakristallen bestehen, die nur diffuse Reflexe er
zeugen. Auf dem Wege vom Monochromator 4 zum Detektor 5 steht nun im
Gegensatz zu Fig. 3 kein Proband mehr im Raum, sondern die Informa
tion, welche die Lage der untersuchten Stelle des Probanden angibt.
Gemäß Fig. 1 stehen nun die Kohlenstoffasern der Schicht 8 senkrecht
zur Zeichenebene, während sie in der Schicht 9 parallel zur Zeichen
ebne liegen, d. h. sie liegen im Gegensatz zu dem sog. 002-Reflexen
der Schichten 8 nicht in reflexfähiger Lage. Mit Hilfe eines Fein
triebes 10 kann man nun den Prüfling durch die Untersuchungsstelle 3
fahren und somit im Detektor 5 alle Stellen des Verbundwerkstoffes
untersuchen. Es ist daher möglich, die örtliche Lage der Schichten zu
erkunden und dieses gleichzeitig elektronisch oder über einen Szin
tillationszähler registrieren zu lassen. Folglich können auf einem
Registrierstreifen zwei Maxima mit einem der Schichtdickendistanz
des Prüflings 7 entsprechenden Abstand abgebildet werden. Würde man
den Probanden 7 nach Fig. 1 um 90° seiner Oberflächennormale drehen,
so kommt die Schicht 9 in eine reflexionsfähige Lage, und auf dem Re
gistrierstreifen erscheint ein Maximum. Um den Reflex 002 einer Kohlen
stoffaser wirklich im Detektor auffangen zu können, muß der Mono
chromator 4 mit dem Detektor 5 in eine reflexionsfähige Lage gebracht
werden. Dazu sind beide auf einer gemeinsamen Unterlage, z. B. auf
einem Support, fest angebracht, der mittels eines Feintriebes 10 um die
Fokussierungsstelle 3 gedreht werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren arbeitet, wie in Fig. 1 gezeigt, mit
Transmission. Die Reflexe treten auf der der Röntgenröhre abgewandten
Seite aus. Besonders gute Meßergebnisse ergeben sich dann, wenn die
in einem Verbundwerkstoff erzeugten Reflexe senkrecht aus dem Probanden
austreten. Es gelangt dann zum Detektor 5 ein Minimum der störenden
Streustrahlung. Der Eingangsspalt am Detektor 5 ist zudem einstell
bar, d. h. auf optimales Auflösungsvermögen und Intensität ausricht
bar. Fig. 5 zeigt ein Beispiel, bei dem sechs reflektierende Schichten
erkennbar sind, wobei zwischen der Schicht 3 und 4 offenbar eine größere
Lücke existiert.
Das Verfahren kann aber auch in Reflexion angewandt werden, wenn in
Fig. 1 der Verbundstoff z. B. um fast 90° im Uhrzeigersinn um die
Achse 3 gedreht wird (Fig. 6). Das ist von entscheidender Bedeutung
für die Untersuchung größerer, auf der Rückseite unzugänglicher Werk
stücke. Fig. 7 zeigt ein Beispiel des schon in Fig. 5 gezeigten Verbund
stoffes. Benachteiligt sind die tiefer liegenden Schichten, weil Primär
strahl und reflektierter Strahl einen längeren Weg durch den Testkörper
zurückzulegen haben. Fig. 7 zeigt ein Beispiel mit Molybdän-Strahlung,
wo die elfte Schicht nur noch schwach erkennbar ist. Es ist hierbei
sehr genau zu erkennen, daß einmal fünf, das andere Mal nach Drehung
um 90° sechs reflektierende Schichten identifiziert werden, unter der
Voraussetzung, daß diese Drehung um eine Achse parallel zur Schichtnormale
erfolgt.
Die Erfindung hat schließlich den Vorteil, mit einer
weiteren Vorrichtung alle beim Reflexionsverfahren er
faßten Schichten mit gleicher Intensität zu registrieren.
Dazu wird eine Schirmplatte 11 parallel zum Prüfling 7
vor die aus dem Verbundkörper austretende Reflexe 12
und 13 so angebracht, daß seine parallel zum Fächerstrahl
justierte Kante 14 den Strahl der von der hinteren Schicht
kommt, gerade noch vorbeiläßt. Da die übrigen vom Schirm
erfaßten Strahlen aber Wege durchlaufen, die im Vergleich
zum Prüfling kürzer sind, ist die Schirmplatte 11 zur
Anpassung mit einem doppelt so großen Röntgenstrahl-
Absorptionskoeffizienten wie der Testkörper versehen.
Die Einstellung auf "Tiefenschärfe", an welcher Schicht
also der Grenzstrahl 13 erzeugt werden soll, erfolgt durch
den an der Schirmplatte 11 angebrachten Feintrieb 15.
Claims (14)
1. Verfahren zum zerstörungsfreien Prüfen von Bauteilen in
homogener Werkstoffe bezüglich material- und orientierungsspezifi
scher Dichteverteilung mittels monochromatischer Röntgenstrahlen
untersuchung auf der Basis der Röntgenfeinstrukturanalyse und
Detektorabbildung, dadurch gekennzeichnet,
daß ein fokussierendes System (4) die von einem Probanden (7) ge
beugte Röntgenstrahlung in einem geeigneten Streuwinkelbereich für
eine nachfolgende Auswertung sammelt, daß im sekundärseitigen
Brennpunkt des fokussierenden Systems (4) ein Meßspalt (5) ange
ordnet ist und daß die Messung durch definierte Relativbewegung
zwischen Proband (7) und fokussierendem System (4) in Richtung der
Probendicke erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als fokussierendes System (4) ein gewölbter Kri
stallmonochromator eingesetzt ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß als fokussierendes System (4) ein totalreflek
tierender Röntgenspiegel eingesetzt ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Intensität der Röntgenstrahlung im Meßspalt
(5) mit einem ein elektrisches Signal erzeugenden Detektor erfaßt
wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß das fokussierende System (4) und der Meßspalt
(5) auf einer gemeinsamen Unterlage montiert sind, und daß die um eine
zur Strahlungsrichtung senkrechte Achse drehbare Unterlage auf ei
nen materialspezifischen Streuwinkel (2ϑ) justiert ist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch
gekennzeichnet, daß das fokussierende System (4) und der Meßspalt
(5) Strahlungswerte als Funktion des Streuwinkels (2ϑ) registrieren,
und daß ein Feinsieb die gemeinsame Unterlage um die Achse
dreht.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß der Einfallswinkel der Primärröntgenstrahlung
auf den Probanden (7) größer als der Streuwinkel (2ϑ) der benutzten
Reflexe ist, wodurch die Werkstoffprüfung durch Transmission er
folgt.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die im Probanden (7) erzeugten Röntgenreflexe
nahezu senkrecht aus der Rückseite des Probanden (7) austreten und
eine Transmissionsprüfung ermöglichen.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß der Einfallswinkel der Primärstrahlung auf den
Probanden (7) kleiner als der zur Prüfung benutzte Streuwinkel (2ϑ)
ist, wodurch die Prüfung in Reflexion erfolgt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß in vorderen Schichten des Probanden (7) erzeugte
Reflexe (12) durch einen parallel zur Schichtoberfläche liegenden
Ausgleichsschirm (11) mit gegenüber dem Probanden (7) verdoppeltem
Absoprtionsvermögen geleitet wird, wodurch die im Probanden einen längeren Weg
durchlaufenden Reflexe (13) der hinteren Schichten mit gleicher In
tensität registriert werden.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß der Ausgleichsschirm (11) mit einem Feintrieb
(15) derart justierbar ist, daß die Kante (14) des Ausgleichsschirmes
(11) den von der hinteren Schicht des Probanden (7) kommenden Aus
trittstrahl (13) gerade noch unbeeinflußt durchläßt.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß mehrere fokussierende Systeme gleichzeitig cha
rakteristische Streuwinkelbereiche unterschiedlichster Werkstoffe
berücksichtigen.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß mehrere fokussierende Systeme gleichzeitig ver
schieden orientierte Reflexlagen eines Werkstoffes berücksichtigen.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß ein einstellbarer Meßspalt (5) als Ein
trittsfenster des fokussierenden Systems (4) angebracht wird.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843442061 DE3442061A1 (de) | 1984-11-17 | 1984-11-17 | Verfahren zum zerstoerungsfreien pruefen inhomogener werkstoffe |
| EP19850902446 EP0201507A1 (de) | 1984-11-17 | 1985-05-07 | Verfahren zum zerstörungsfreien prüfen von bauteilen inhomogener werkstoffe |
| GB08617437A GB2181630B (en) | 1984-11-17 | 1985-05-07 | Method for the non destructive testing of parts of non homogeneous material |
| JP60502189A JPS62500802A (ja) | 1984-11-17 | 1985-05-07 | 不均質な材料の部材の非破壊検査方法 |
| PCT/DE1985/000147 WO1986003005A1 (fr) | 1984-11-17 | 1985-05-07 | Procede de le controle non destructif de pieces en materiau non homogene |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19843442061 DE3442061A1 (de) | 1984-11-17 | 1984-11-17 | Verfahren zum zerstoerungsfreien pruefen inhomogener werkstoffe |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3442061A1 DE3442061A1 (de) | 1986-05-28 |
| DE3442061C2 true DE3442061C2 (de) | 1990-12-20 |
Family
ID=6250539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19843442061 Granted DE3442061A1 (de) | 1984-11-17 | 1984-11-17 | Verfahren zum zerstoerungsfreien pruefen inhomogener werkstoffe |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0201507A1 (de) |
| JP (1) | JPS62500802A (de) |
| DE (1) | DE3442061A1 (de) |
| GB (1) | GB2181630B (de) |
| WO (1) | WO1986003005A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4430615A1 (de) * | 1994-08-17 | 1996-02-22 | Deutsches Elektronen Synchr | Verfahren und Vorrichtung zur abbildenden Pulverdiffraktometrie |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6704390B2 (en) * | 2000-05-29 | 2004-03-09 | Vladimir Kogan | X-ray analysis apparatus provided with a multilayer mirror and an exit collimator |
| JP5081556B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2012-11-28 | 株式会社リガク | デバイシェラー光学系を備えたx線回折測定装置とそのためのx線回折測定方法 |
| EP2442097A4 (de) * | 2009-07-01 | 2014-04-23 | Rigaku Denki Co Ltd | Röntgenvorrichtung, verfahren zu ihrer verwendung und röntgenbestrahlungsverfahren |
| JP5838114B2 (ja) | 2012-04-02 | 2015-12-24 | 株式会社リガク | X線トポグラフィ装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2805341A (en) * | 1954-07-12 | 1957-09-03 | Andrew R Lang | Diffractometer |
| US2887585A (en) * | 1955-05-17 | 1959-05-19 | Philips Corp | X-ray diffraction method and apparatus |
| US3160749A (en) * | 1962-10-19 | 1964-12-08 | Philips Corp | Spectrometer with novel plural crystal arrangement |
| DE2933047C2 (de) * | 1979-08-16 | 1982-12-30 | Stoe & Cie. GmbH, 6100 Darmstadt | Verfahren und Vorrichtung der Röntgendiffraktion |
-
1984
- 1984-11-17 DE DE19843442061 patent/DE3442061A1/de active Granted
-
1985
- 1985-05-07 JP JP60502189A patent/JPS62500802A/ja active Pending
- 1985-05-07 GB GB08617437A patent/GB2181630B/en not_active Expired
- 1985-05-07 EP EP19850902446 patent/EP0201507A1/de not_active Ceased
- 1985-05-07 WO PCT/DE1985/000147 patent/WO1986003005A1/de not_active Ceased
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4430615A1 (de) * | 1994-08-17 | 1996-02-22 | Deutsches Elektronen Synchr | Verfahren und Vorrichtung zur abbildenden Pulverdiffraktometrie |
| DE4430615C2 (de) * | 1994-08-17 | 1998-04-02 | Deutsches Elektronen Synchr | Verfahren und Vorrichtung zur abbildenden Pulverdiffraktometrie |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3442061A1 (de) | 1986-05-28 |
| GB8617437D0 (en) | 1986-08-28 |
| GB2181630A (en) | 1987-04-23 |
| EP0201507A1 (de) | 1986-11-20 |
| GB2181630B (en) | 1989-01-11 |
| JPS62500802A (ja) | 1987-04-02 |
| WO1986003005A1 (fr) | 1986-05-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3134552C2 (de) | Röntgendiffraktometer | |
| DE69018838T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenanalyse. | |
| DE2933047C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung der Röntgendiffraktion | |
| EP0068045B1 (de) | Kristall-Röntgen-Sequenzspektrometer | |
| DE2714397A1 (de) | Verfahren und vorrichtung fuer messungen an duennen filmen mit spiegelnden oberflaechen unter verwendung von infrarotstrahlung | |
| DE2415403A1 (de) | Vorrichtung zum messen von mechanischen spannungen auf der oberflaeche eines koerpers aus polykristallinem material | |
| DE68916168T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Analyse einer Oberfläche. | |
| AT511103B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur untersuchung der röntgenografischen eigenschaften von proben | |
| DE2748501C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erstellung von Texturtopogrammen | |
| DE2103318A1 (de) | Photometer | |
| DE69128501T2 (de) | Einrichtung zum Nachweis metallischer Unreinheiten auf der Oberfläche eines Halbleitereinkristalls mit Verwendung der Fluoreszenz-Röntgenstrahlentotalreflektion | |
| EP0360150A2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung der effektiven Oberflächenrauhigkeit polierter optischer Proben durch Messung der integralen Streustrahlung | |
| DE3442061C2 (de) | ||
| DE102008048917A1 (de) | Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem optischen Debye-Scherrer-System und Röntgendiffraktionsmessverfahren für diesen Apparat | |
| EP1647840A2 (de) | Röntgen- oder neutronenoptisches Analysegerät mit variabel ausgeleuchtetem Streifendetektor | |
| DE3789813T2 (de) | Pulverdiffraktionsverfahren und -vorrichtung. | |
| DE10125454B4 (de) | Gerät zur Röntgenanalyse mit einem Mehrschichtspiegel und einem Ausgangskollimator | |
| DE69728258T2 (de) | Röntgenstrahlspektrometer mit kristallanalysator mit teilweise konstantem und ilweise variablem krümmungsradius | |
| DE69510734T2 (de) | Röntgenspektrometer mit streifendem ausfallwinkel | |
| DE2440376A1 (de) | Teilchengroessen-analyse von polydispersen systemen mit hilfe der laserlichtstreuung | |
| WO2015028365A1 (de) | Analyseverfahren zur ermittlung der typen und konzentrationen biologischer partikel | |
| DE602005002348T2 (de) | Verfahren zur messung von teilcheneigenschaften mittels interferenzstreifenanalyse und entsprechende vorrichtung | |
| DE4137673C2 (de) | Röntgenreflektometer | |
| DE4430615C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur abbildenden Pulverdiffraktometrie | |
| AT520381A1 (de) | Röntgenvorrichtung und Verfahren zur Kleinwinkelstreuung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: HENTSCHEL, MANFRED P., DR., 1000 BERLIN, DE |
|
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |