DE3675149D1 - Verfahren und vorrichtung von magnetoplasmas mit grossem volumen. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung von magnetoplasmas mit grossem volumen.

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William Boswell
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Australian National University
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JPS55134175A (en) * 1979-04-06 1980-10-18 Hitachi Ltd Microwave plasma etching unit
JPS5779621A (en) * 1980-11-05 1982-05-18 Mitsubishi Electric Corp Plasma processing device

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