DE3762462D1 - Auf silizium integrierter geber fuer mechanische groessen und dessen herstellungsverfahren. - Google Patents

Auf silizium integrierter geber fuer mechanische groessen und dessen herstellungsverfahren.

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Pierre Andre
Francois Baillieu
Jean-Pierre Brosselard
Alfred Permuy
Francois-Xavier Pirot
Serge Spirkovitch
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Metravib RDS SA
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