DE3912295C2

DE3912295C2 - Katodenzerstäubungsanlage

Info

Publication number: DE3912295C2
Application number: DE3912295A
Authority: DE
Inventors: Jaroslav Zejda; Manfred Schuhmacher
Original assignee: Leybold AG; Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Current assignee: Oerlikon Deutschland Holding GmbH
Priority date: 1989-04-14
Filing date: 1989-04-14
Publication date: 1997-05-28
Anticipated expiration: 2009-04-15
Also published as: KR920005622B1; KR900016492A; US4943363A; CH681016A5; DE3912295A1; JP2602976B2; JPH02294474A

Description

Die Erfindung betrifft eine Katodenzerstäubungsan lage zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuum kammer, in der ein rotierender Substratträger unterge bracht ist, mit mindestens einer Katodenstation, eine Beladestation und Entladestation.

In der Vakuumverfahrenstechnik, insbesondere in der Dünnschichttechnik ist das Beschichten von Substrater beispielsweise von Compactdisks (CD) bekannt. Die Compactdisks sind ein modernes Speichermedium für digitale Informationen. In einem Sputterprozeß werden die geprägten Kunststoffscheiben mit beispielsweise ei ner Aluminiumschicht von weniger als einem zehntau sendstel Millimeter überzogen. Die hierzu eingesetzte Sputterbeschichtungsanlagen sind ringförmig aufge baut. Über eine Schleuse in einem Sauberraum lädt und entlädt ein Roboter die Anlage. Von der Schleuse aus transportiert ein Substratträger die Substrate durch die ringförmige Prozeßkammer. Das Besputtern erfolgt durch eine Hochleistungszerstäubungskatode, die als Magnetron aufgebaut ist.

Eine solche Anlage wird beispielsweise in dem Pro spekt 12-710.01 der ehemaligen Leybold-Heraeus GmbH beschrieben. Dieses bekannte Katodenzerstäu bungssystem dient zur einseitigen Beschichtung mit ei ner laserreflektierenden Aluminiumschicht. Die Anlage hat eine ringförmige, horizontal angeordnete Vakuum kammer mit Be- und Entladestation, Hochleistungszer stäubungskatode, Transportring mit Plattenaufnahme und dynamischen Schleusen zur Drucktrennung zwi schen Beschichtungskammer und Be- und Entladesta tion.

Der Erfindung liegen folgende Aufgaben zugrunde: Mit der Erfindung soll die Möglichkeit geschaffen wer den, an der Prozeß-, beziehungsweise Vakuumkammer, mehr Katodenstationen, Meßstationen und Stationen mit anderen Funktionen, wie Be- und Entladen der An lage, unterzubringen, als dies bei Anlagen des Standes der Technik möglich ist. Es soll eine raumsparende Lö sung geschaffen werden. Die Anschlüsse für Vakuum, Kühlwasser, Strom und Druckluft sollen extrem kurz werden. Das zur Halterung der Anlage notwendige Ge stell, beziehungsweise Rahmen oder Ständer, soll gleich zeitig als Träger für die Versorgungsleitungen dienen. Es sollen Voraussetzungen für einen extrem kleine Sauberraum geschaffen werden.

Es soll eine Katodenzerstäubungsanlage geschaffen werden, deren Prozeßkammer von allen Seiten leicht zugänglich ist. Insbesondere sollen die Wartungs-, Aus tausch- und Reparaturarbeiten von den beiden großen Seitenflächen der Vakuumkammer einfacher als beim Stand der Technik durchgeführt werden können.

Die Anlage soll nur eine kleine Stellfläche in An spruch nehmen. Insbesondere soll es möglich sein, eine unmittelbare Kopplung im Fertigungsfluß der Katoden zerstäubungsanlage mit anderen Fertigungsanlagen herzustellen.

Die Erfindung macht es sich weiterhin zur Aufgabe, einen verbesserten Schutz gegen das Besputtern von Teilen der Transportvorrichtung für die Substrate zu erzielen. Außerdem soll die Abdichtung der Be- und Entladestation von dem übrigen Teil der Prozeßkam mer verbessert werden.

Es gehört weiterhin zur Aufgabe, die Transportvor richtung für die Substrate leicht zu gestalten, damit kein großer Antrieb im Vakuum der Prozeßkammer notwen dig ist.

Ein wesentlicher Teil der Aufgabe besteht darin, daß eine sehr gute, sichere Trennung des Katodenraums während des Sputtervorgangs vom übrigen Vakuum raum der Anlage erzielt wird.

Ein weiterer wesentlicher Teil der Aufgabenstellung besteht darin, daß die bisher bekannten Transportmittel für die Substrate, wie Transportplatten mit Substratauf nahmevorrichtungen, überflüssig werden. Diese Trans portmittel des Standes der Technik bedürfen einer sehr aufwendigen und genauen Bearbeitung, sie sind daher sehr teuer.

Die gestellten Aufgaben werden erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der Substratträger aus mindestens einer Transportkelle besteht.

Dabei kann vorgesehen werden, daß die Transport kelle einen Substrataufnahmekörper (Aufnahmekörper) umfaßt, der vorzugsweise in Richtung der Achse der Katodenstation, beziehungsweise der Beladestation, be ziehungsweise der Entladestation, bewegbar ist.

Als besonders zweckmäßig hat sich herausgestellt, daß die Transportkelle aus einem vorzugsweise kreis scheibenförmig ausgebildeten Substrataufnahmekörper und einem Arm besteht, der so ausgebildet und ange ordnet ist, daß der Aufnahmekörper in Hinsicht auf die mit ihm zusammenwirkenden Teilen der Anlage, wie Teilen der Zerstäubungskatode, Teilen der Beladesta tion, Teilen der Entladestation während seiner Bewe gung stets parallel zu diesen Teilen ausgerichtet ist.

In Fortführung dieses Gedankens wird vorgeschla gen, daß der Arm elastisch beweglich, insbesondere als federndes Bauteil ausgebildet ist.

Konkretisiert wird dieser Gedanke dadurch, daß der Arm ein Führungssystem, bestehend aus zwei parallel zueinander angeordneten Armelementen, aufweist, daß die Armelemente aus Blattfedern bestehen.

Eine saubere Trennung des Raums der Katodensta tion wird dadurch erreicht, daß der Substrataufnahme körper gegen die Katodenstation anpreßbar ausgebil det ist, daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgese hen ist.

Eine Konzentration des Sputtermaterials auf das Sub strat wird möglich gemacht, indem zwischen Katode einerseits und dem Substrataufnahmekörper und Sub strat andererseits eine Maske angeordnet wird, auf die der Aufnahmekörper und das Substrat durch das Druck organ anpreßbar sind.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird vorgesehen, daß Teile der Katodenstation, insbe sondere der Maske, des Substrataufnahmekörpers und des vorzugsweise als Druckplatte ausgebildeten Druck organs einen Vakuumraum bilden, der vakuumdicht trennbar ist gegenüber dem restlichen Teil der Vakuum kammer der Katodenzerstäubungsanlage.

Das erfinderische Grundprinzip kann in der Weise angewendet werden, daß der Substrataufnahmekörper gegen Teile der Beladestation anpreßbar ausgebildet ist und daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgesehen ist.

In gleicher Weise kann vorgesehen werden, daß der Substrataufnahmekörper gegen Teile der Entladesta tion anpreßbar ausgebildet ist und daß ein Druckorgan für die Anpressung vorgesehen ist.

Um die Transportkellen in Rotationsbewegung zu setzen, wird vorgeschlagen, daß für eine oder mehrere Transportkellen eine in Bezug auf die Katodenzerstäu bungsanlage zentral angeordnete Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, die die Transportkelle um einen be stimmten Winkel schrittweise in der Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage weitertransportiert.

Der Grundgedanke der Erfindung kann bei Vakuum kammern angewendet werden, die waagerecht oder in einer anderen Stellung montiert sind. In einem bevor zugten Ausführungsbeispiel wird vorgeschlagen, daß die Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage senkrecht angeordnet ist, daß die Transportkelle, bezie hungsweise die Transportkellen um eine waagerecht an geordnete Achse rotieren.

Um den im Bereich des Substrataufnahmekörpers auftretenden Gasströmen einen geringen Strömungswi derstand zu bieten und um die Kelle insgesamt leicht zu gestalten, wird vorgeschlagen, daß der Substrataufnah mekörper im wesentlichen die Form einer kreisförmi gen Platte aufweist, die vorzugsweise mit kreisförmigen Ausnehmungen versehen ist.

Mit der Erfindung werden folgende Vorteile erzielt:

Die gestellten Aufgaben werden gelöst. Es wird eine sehr gute, sichere Trennung des Katodenraums wäh rend des Sputtervorgangs vom Vakuumraum der Anla ge erzielt. Die bisher bekannten Transportmittel für die Substrate, wie Transportplatten mit eingebauten Sub strataufnahmevorrichtungen, deren Bearbeitung sehr aufwendig und sehr teuer ist, werden überflüssig. Durch das Kellenprinzip zusammen mit der senkrechten An ordnung der Vakuumkammer werden ausgezeichnete Voraussetzungen dafür geschaffen, daß eine Vielzahl von Stationen (Katodenstationen, Meßstationen, Ent- und Beladestation u. a.) untergebracht werden können. Die Anlage wird also in einem Höchstmaß ausgenutzt.

Weitere Einzelheiten der Erfindung sind der folgen den Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung zu entnehmen. Diese Ausführungsbeispiele werden anhand von sieben Figuren erläutert.

Fig. 1 zeigt in axonometrischer Darstellung ein Aus führungsbeispiel der erfindungsgemäßen Katodenzer stäubungsanlage.

Fig. 2 zeigt in einem Schnittbild einen Teilbereich der Zerstäubungskatode der Anlage nach Fig. 1.

Die Fig. 3 bis 5 zeigen eine Transportkelle.

Fig. 6 zeigt einen Teilbereich der Entladestation der Anlage nach Fig. 1.

Fig. 7 zeigt einen Teilbereich der Ladestation der An lage nach Fig. 1.

Aus Fig. 1 ist die kreisscheibenförmige Ausgestaltung der Vakuumkammer, die mit 1 bezeichnet ist, erkennbar. Die Vakuumkammer ist in einem Rahmen oder Ständer 2 untergebracht. Mit 3 ist die Gesamtheit der Beladesta tion bezeichnet. 4 kennzeichnet die Gesamtheit der Ent ladestation. Mit 5 ist eine geöffnete Katodenstation be zeichnet. Die Beladestation, Entladestation und die Ka todenstation werden anhand der weiteren Figuren be schrieben.

In Fig. 1 ist die Vakuumkammer 1 teilweise geöffnet gezeichnet, so daß eine Transportkelle sichtbar wird. Sie besteht aus dem Arm 6 und dem Substrataufnahmekör per 7. Der Arm ist an einer zentralen Scheibe (Trans portscheibe) 8 angeordnet. Die Scheibe wird von einer Antriebsvorrichtung 9 entsprechend dem Pfeil 10 um einen bestimmten Winkel schrittweise von Station zu Station gedreht. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist die An triebsvorrichtung 9 zentral in Bezug auf die Vakuum kammer angeordnet. Mit 11 ist die zentrale Achse der Vakuumkammer bezeichnet.

Fig. 1 zeigt mehrere Katodenstationen und mehrere Meßstationen zur Überprüfung der Arbeitsweise der Anlage. Die Fig. 2 zeigt Einzelheiten einer Katodensta tion. Die Gesamtheit der Katode ist mit 12 bezeichnet. Sie umfaßt das Target, das mit 13 gekennzeichnet ist. Es handelt sich um eine Hochleistungskatode (Magnetron katode).

Während des Betriebs der Katode bildet sich im Be reich 14 vor der Katode ein Plasma, das durch das Ma gnetfeld der Magnetronkatode verdichtet wird. Aus dem Plasma heraus bombardieren positiv geladene Io nen das Target. Aus dem Target werden Materialparti kel gesputtert. Das Sputtermaterial gelangt auf das Sub strat, das in Fig. 2 mit 15 bezeichnet ist. Zwischen der Katode 12 einerseits und dem Substrat 15 und dem Sub strataufnahmekörper 16 andererseits ist eine Maske 17 angeordnet.

Während des Sputtervorgangs wird durch die Druck platte 18 der Substrataufnahmekörper 16 und das Sub strat in Richtung des Pfeils 20 gegen die Maske gepreßt.

In dieser Situation wird das Sputtermaterial auf das Substrat konzentriert. Andererseits wird vermieden, daß der Substrataufnahmekörper und andere Teile der Transportkelle besputtert werden. Durch die konische Form der Oberfläche 21 der Maske werden der Sub strataufnahmekörper und die anderen Teile der Trans portkelle abgeschattet. Gleichzeitig wird eine gute Schichtdickengleichmäßigkeit erzielt. Mit 19 ist der An trieb für die Druckplatte 18 bezeichnet. Der Antrieb ist mittels O-Ring 22 an der Wand der Vakuumkammer abgedichtet.

Die Wände 23, 24, 25 der Katodenstation, die Katode selbst, die Maske 17, der Substrataufnahmekörper 16 und die Druckplatte 18 bilden während des Sputtervor gangs einen isolierten Vakuumraum 27, der gegenüber dem restlichen Vakuumraum 26 der Katodenzerstäu bungsanlage getrennt ist.

Mit 28 ist ein Vakuumanschluß bezeichnet, der zur Evakuierung des soeben beschriebenen isolierten Kato denvakuumraums 27 dient. Mit 29, 30, 31, 32 sind O-Rin ge bezeichnet, die der Abdichtung des Katodenvakuum raums dienen.

In Fig. 2 sind die Wände 33, 34 der Vakuumkammer der Katodenzerstäubungsanlage dargestellt. 35 ist eine Antriebsscheibe, beziehungsweise Transportscheibe, für den Arm der Transportkelle. Die Transportkelle selbst besteht aus einem Arm und dem beschriebenen Substrataufnahmekörper. Der Arm besteht aus zwei Armelementen 36, 37, die als Blattfedern ausgebildet sind. Die Blattfedern sind, wie aus Fig. 2 ersichtlich, par allel angeordnet.

Durch diese parallele Anordnung beschreibt der Sub strataufnahmekörper 16 eine parallele Bewegung wäh rend des Anpreßvorgangs, die man als "paralleles Ver setzen" bezeichnen kann. Außerdem sind die Blattfe dern 36, 37 so lang ausgebildet, daß keine nennenswerte Verkürzung des Kellenarms, beziehungsweise des Radi usses eintritt, das heißt, in Radialrichtung gibt es keinen nennenswerten Versatz.

Alternative Ausführungsformen in Hinsicht auf die parallele Anordnung zweier Blattfedern sind möglich.

Es kommt in jedem Fall darauf an, daß zwei parallele Armelemente so angelenkt sind, daß der flächige Sub strataufnahmekörper 16 in Hinsicht auf die mit ihm zu sammenwirkenden, beziehungsweise an ihn anliegen den flächigen Teile der Druckplatte 18 und der Maske 17 während seiner Bewegung stets parallel ausgerichtet bleibt.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich, ist 11 die Rotationsachse, um die die Transportkellen in Takten, das heißt, schritt weise rotieren. Antriebsorgan ist eine innere Scheibe (Transportscheibe) 8. In der Ausführungsform gemäß Fig. 2 trägt diese Transportscheibe die Bezugsziffer 35. Die Bewegung, beziehungsweise das Takten um einen gewissen Winkel, wird mit hoher Genauigkeit durch ei nen Präzisionsschalttisch bewirkt, wie er beispielsweise im Werkzeugmaschinenbau eingesetzt wird.

Das Substrat wird durch die Transportkelle schritt weise von der Einschleußstation, beziehungsweise Lade station, zu den Katodenstationen der Anlage transpor tiert.

Während des Sputtervorgangs wird durch die Erfin dung eine sichere Trennung zwischen den Katodenva kuumräumen und dem restlichen Vakuumraum der An lage gewährleistet.

Das Substrat kann einseitig oder beidseitig beschich tet werden. Bei einer beidseitigen Beschichtung ist in einer Station eine Katode gemäß Fig. 2 an der Vakuum kammerwand angeordnet, in einer weiteren Station wird eine Anordnung vorgesehen, die der der Fig. 2 entspricht, jedoch ist dann die Katode links angeordnet.

Das Substrat kann im Substrataufnahmekörper ent weder in der Mitte über ein Zentralloch gehalten wer den oder es kann, wie in Fig. 2 gezeigt, am äußeren Umfang eingeklemmt sein.

Die Fig. 3 bis 5 zeigen die Transportkelle, die aus dem Substrataufnahmekörper, der in diesem Ausführungs beispiel mit 38 bezeichnet ist, und dem Arm, der in sei ner Gesamtheit mit 39 bezeichnet ist, besteht. Der Arm selbst wird aus zwei Blattfedern 40, 41 gebildet, siehe Fig. 5.

Die Fig. 5 ist ein Schnittbild entsprechend der Schnittlinie V/V der Fig. 3. Aus Fig. 5 ist ersichtlich, daß das Substrat, in diesem Ausführungsbeispiel mit 42 be zeichnet, an der rechten Oberfläche des Substrataufnah mekörpers angeordnet ist.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 ist eine andere Position für das Substrat vorgesehen. Nach Fig. 2 ist das Substrat nicht auf einer Oberfläche des Substrataufnah mekörper positioniert, sondern in der Mitte des Sub strataufnahmekörpers.

Fig. 4 zeigt schematisch die Transportkelle nach Fig. 3, nachdem sie durch das Schrittgetriebe 9, siehe Fig. 1, um einen Schritt, beziehungsweise um eine Teilung, wei tertransportiert worden ist, und zwar in Richtung des Pfeils 43.

Mit 44, 45 sind in Fig. 5 je ein O-Ring bezeichnet, die die Funktion des Abdichtens des vom restlichen Vaku umraum 26 der Katodenzerstäubungsanlage während des Sputtervorgangs abgetrennten Katodenvakuum raums 27 durchführen.

Aus Fig. 3 sind sechs kreisförmige Ausnehmungen er kennbar, von denen eine mit 46 bezeichnet ist. Durch sie wird das Gewicht des Substrataufnahmekörpers redu ziert. Außerdem wird der Strömungswiderstand für durchströmendes Gas durch die Ausnehmungen redu ziert.

In Fig. 6 ist eine Entladestation gezeigt. Mit 47, 48 sind die Wände der Vakuumkammer 49 der Anlage be zeichnet. 50 ist die Transportscheibe, die vom Schrittge triebe angetrieben wird. Mit 51, 52 sind die beiden Blatt federn des Arms der Transportkelle bezeichnet. 53 ist der Substrataufnahmekörper. Das Substrat selbst trägt das Bezugszeichen 54. Über die Anpreßvorrichtung 55 wird der Substrataufnahmekörper gegen die Wand 47 gepreßt. Anschließend wird das beschichtete Substrat entnommen.

Fig. 7 zeigt eine Ladestation. Es ist erkennbar, daß durch die Anpreßvorrichtung 56 der Substrataufnahme körper 57 sich im gegen die Wand 58 angepreßten Zu stand befindet. Die zweite Wand der Vakuumkammer der Anlage trägt das Bezugszeichen 59. Die Transport scheibe ist mit 60 bezeichnet. 61, 62 sind die beiden Blattfedern des Arms des Substrataufnahmekörpers 57.

In dieser Position des Substrataufnahmekörpers kann dieser mit einem zu beschichtenden Substrat beladen werden.

Bezugszeichenliste

1 Vakuumkammer
2 Rahmen, Ständer
3 Beladestation
4 Entladestation
5 Katodenstation
6 Arm
7 Substrataufnahmekörper
8 Transportscheibe
9 Antriebsvorrichtung, Schrittgetriebe
10 Pfeil
11 Achse
12 Kathode
13 Target
14 Bereich, Plasma
15 Substrat
16 Substrataufnahmekörper
17 Maske
18 Druckplatte, Druckorgan
19 Antrieb
20 Pfeil
21 Oberfläche
22 O-Ring
23 Wand
24 Wand
25 Wand
26 Vakuumraum
27 Vakuumraum
28 Vakuumanschluß
29 O-Ring
30 O-Ring
31 O-Ring
32 O-Ring
33 Wand
34 Wand
35 Antriebsscheibe, Transportscheibe
36 Armelement, Blattfeder
37 Armelement, Blattfeder
38 Substrataufnahmekörper, Platte
39 Arm
40 Blattfeder
41 Blattfeder
42 Substrat
43 Pfeil
44 O-Ring
45 O-Ring
46 Ausnehmung
47 Wand
48 Wand
49 Vakuumkammer
50 Transportscheibe
51 Blattfeder
52 Blattfeder
53 Substrataufnahmekörper
54 Substrat
55 Anpreßvorrichtung
56 Anpreßvorrichtung
57 Substrataufnahmekörper
58 Wand
59 Wand
60 Transportscheibe
61 Blattfeder
62 Blattfeder.

Claims

1. Katodenzerstäubungsanlage zur Beschichtung von Substraten in einer Vakuumkammer, in der ein rotierender Substratträger untergebracht ist, mit mindestens einer Katodenstation, einer Beladesta tion und Entladestation, dadurch gekennzeichnet, daß der Substratträger aus mindestens einer Trans portkelle besteht.

2. Katodenzerstäubungsanlage nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Transportkelle einen Substrat aufnahmekörper (Aufnahmekörper) (16) umfaßt, der in Richtung der Achse der Katodenstation, der Beladestation oder der Entlade station, bewegbar ist.

3. Katodenzerstäubungsanlage nach Anspruch 1 und/oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Transportkelle aus einem kreisscheibenförmig ausgebildeten Substrataufnahmekörper (16) und einem Arm besteht, der so ausgebildet und angeordnet ist, daß der Aufnahmekörper (16) in Hinsicht auf die mit ihm zusammenwirkenden Teilen der Anlage, wie Teilen der Zerstäubungskatode, Teilen der Beladestation, Teilen der Entladestation während seiner Bewegung stets parallel zu diesen Teilen ausgerichtet ist.

4. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Arm elastisch be weglich, insbesondere als federndes Bauteil aus ge bildet ist.

5. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Arm ein Führungs system, bestehend aus zwei parallel zueinander an geordneten Armelementen, aufweist, daß die Arm elemente aus Blattfedern (36, 37) bestehen.

6. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahme körper (16) gegen die Katodenstation anpreßbar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan (18) für die An pressung vorgesehen ist.

7. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß zwischen Katode einer seits und dem Substrataufnahmekörper und Sub strat andererseits eine Maske (17) angeordnet ist, auf die der Aufnahmekörper (16) und das Substrat (15) durch das Druckorgan (18) anpreßbar sind.

8. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß Teile der Katodensta tion, insbesondere der Maske (17), des Substratauf nahmekörpers (16) und des vorzugsweise als Druckplatte ausgebildeten Druckorgans (18) einen Vakuumraum (27) bilden, der vakuumdicht trenn bar ist gegenüber dem restlichen Teil der Vakuum kammer (26) der Katodenzerstäubungsanlage.

9. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahme körper (57) gegen Teile der Beladestation anpreß bar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan (56) für die Anpressung vorgesehen ist.

10. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahme körper (53) gegen Teile der Entladestation anpreß bar ausgebildet ist, daß ein Druckorgan (55) für die Anpressung vorgesehen ist.

11. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß für eine oder mehrere Transportkellen eine in Bezug auf die Katodenzer stäubungsanlage zentral angeordnete Antriebsvor richtung (9) vorgesehen ist, die die Transportkelle um einen bestimmten Winkel schrittweise in der Vakuumkammer (1) der Katodenzerstäubungsan lage weitertransportiert.

12. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß die Vakuumkammer (1) der Katodenzerstäubungsanlage senkrecht ange ordnet ist, daß die Transportkelle, beziehungsweise die Transportkellen um eine waagerecht angeord nete Achse (11) rotieren.

13. Katodenzerstäubungsanlage nach einem oder mehreren der vorangegangenen Ansprüche, da durch gekennzeichnet, daß der Substrataufnahme körper im wesentlichen die Form einer kreisförmi gen Platte (38) aufweist, die vorzugsweise mit kreis förmigen Ausnehmungen (46) versehen ist.