DE3923767C2 - Drehmeßgeber - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Drehmeßgeber nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Es ist ein derartiger Drehmeßgeber aus der DE 36 33 574 A1 bekannt, bei dem eine Drehskala mit einem Beugungsgitter verwendet wird, das an dem Umfang einer mit einem Drehteil verbundenen Scheibe angeordnet ist, und bei dem auf das Beugungsgitter ein Laserstrahl gerichtet wird, um durch das Beugungsgitter gebeugte Strahlen zu einem Interferenzstrahl zu überlagern, wobei durch Erfassen einer Änderung der Intensität des Interferenzstrahls ein Drehwin­ kel und eine Drehgeschwindigkeit der Drehskala bzw. des Drehkörpers erfaßt wird.

Fig. 1A und 1B zeigen den Aufbau eines in der DE 36 33 574 A1 beschriebenen herkömmlichen Drehmeßgebers. Die Figuren zeigen einen Laser 1, eine Scheibe 2 als Drehskala mit einem daran gebildeten radialen Beugungsgitter, ein Reflexions­ prisma 3, ein Polarisationsprisma 4, Fotosensoren 51 und 52 und eine Drehachse 6 der Scheibe 2. Nach Fig. 1A wird ein von dem Laser 1 abgegebener Laserstrahl auf eine Stelle M1 auf dem Beugungsgitter der Scheibe 2 im wesentlichen senk­ recht aufgestrahlt. An der Stelle M1 erzeugte, in ±1ter Ordnung gebeugte Strahlen werden an einer ersten Orthogonal­ reflexionsfläche 3a des Reflexionsprismas 3 im rechten Win­ kel reflektiert, an Seitenflachen 3c und 3d des Reflexions­ prismas 3 zweimal total-reflektiert, von einer zweiten Or­ thogonalreflexionsfläche 3b des Reflexionsprismas 3 wiederum im rechten Winkel reflektiert und auf eine Stelle M2 an dem Beugungsgitter der Scheibe 2 gerichtet. Die Fig. 1B zeigt die Strahlenwege der in der ±1ten Ordnung gebeugten Strahlen in dem Reflexionsprisma 3. Die Fig. 1B ist eine Ansicht des in Fig. 1A gezeigten Reflexionsprismas 3 von unten gesehen. Gemäß Fig. 1B werden die an der Stelle M1 entstehenden Strahlen ±1ter Ordnung unter Beugungswinkeln α+ bzw. α- in voneinander verschiedenen Richtungen geleitet und an den Seitenflächen 3c und 3d des Reflexionsprismas 3 totalreflek­ tiert. Die Strahlen überkreuzen sich nahe der Mitte des Reflexionsprismas 3, werden dann wieder an den Seitenflächen 3c und 3d totalreflektiert und aus verschiedenen Richtungen unter Winkeln, die gleich den Beugungswinkeln α+ und α- sind, auf die Stelle M2 an dem Beugungsgitter der Scheibe 2 gerichtet. Auf diese Weise treten an der Stelle M2 die nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen aus dem Beugungsgitter einander überlagert und parallel zu dem von dem Laser 1 auf die Stelle M1 fallenden Licht aus. Die nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten überlagerten Strahlen werden über das Polarisationsprisma 4 von den Fotosensoren 51 und 52 aufgenommen. Sobald sich das Beugungsgitter der Scheibe 2 um eine Gitterteilung dreht, ändern sich die Phasen der in der ±1ten Ordnung gebeugten Strahlen um ±2π. Gleichermaßen ändern sich bei der Drehung des Beugungsgit­ ters um eine Gitterteilung die Phasen der nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen um ±4π. Daher erzeugen bei der Überlagerung und gegenseitigen Interferenz der nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen gemäß Fig. 1A und 1B die Fotosensoren 51 und 52 bei der Drehung des Beugungsgitters der Scheibe 2 um eine Gitterteilung vier Perioden von Sinus­ wellensignalen. Auf diese Weise erzeugen die Fotosensoren 51 und 52 4N Perioden der Sinuswellensignale bei einer Umdre­ hung der Scheibe 2, wobei N die Gesamtanzahl der Gitterele­ mente des Beugungsgitters ist. Nach Fig. 1A und 1B sind die Stellen M1 und M2 in bezug auf die Drehmitte der Drehachse 6 im wesentlichen symmetrisch, so daß selbst bei einer exzen­ trischen Anbringung der Scheibe 2 an der Drehachse 6 ein Meßfehler vermieden ist. Die Fotosensoren 51 und 52 erzeugen ein erstes bzw. zweites Signal mit einer gegenseitigen Pha­ sendifferenz von 90° durch Kombination der Richtung der linearen Polarisation des von dem Laser 1 abgegebenen Laser­ strahls, das Umsetzen zu elliptisch polarisiertem Licht der ±1ten Ordnung durch die Totalreflexion im Reflexionsprisma 3 und das Polarisationsprisma 4. Auf diese Weise kann durch das Vergleichen dieser Signale die Drehrichtung der Scheibe 2 bestimmt werden.

Bei dem vorstehend beschriebenen Drehmeßgeber nach dem Stand der Technik treten folgende Probleme auf:

• (1) Der Strahlenweg der Beugungsstrahlen ist kompliziert und der Zusammenbau sowie die Justierung sind schwierig.
• (2) Die Strahlenwege der interferierenden, in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen überkreuzen einander in dem Reflexions­ prisma 3. Infolgedessen kann leicht ein Meßfehler durch eine Umgebungsänderung wie eine Änderung der Umgebungstemperatur und der Temperaturverteilung entstehen. Je größer der Durch­ messer der Scheibe 2 ist, umso länger sind die Strahlenwege der in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen in dem Reflexions­ prisma 3, nämlich die nicht gemeinsamen Strahlenwege, so daß daher der Fehler umso wahrscheinlicher entsteht.
• (3) Da das Reflexionsprisma 3 auf der Fortsetzung der Dreh­ achse 6 angeordnet ist, ist eine hohle bzw. mittig offene Gestaltung schwierig, die für den Drehmeßgeber zweckdienlich wäre.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, zum Lösen der bei dem Stand der Technik auftretenden Probleme einen Drehmeßge­ ber zu schaffen, der kaum mit durch Umgebungsänderungen verursachten Meßfehlern behaftet ist und der hochgenaue Messungen ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 gelöst.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung wird der Lichtstrahl aus der Lichtquelle durch eine erste Strahlen­ teilervorrichtung in einen ersten Strahl zum Bilden des ersten Beugungsstrahls und einen zweiten Strahl zum Bilden des zweiten Beugungsstrahls aufgeteilt; der erste und der zweite Strahl werden unter vorbestimmten Einfallwinkeln derart auf die erste Stelle gerichtet, daß die Austrittswin­ kel im wesentlichen gleich sind und die Lichtwege des ersten des zweiten Beugungsstrahls identisch werden; der erste und der zweite Beugungsstrahl wird über den gemeinsamen Strah­ lenweg in der gleichen Richtung auf die zweite Stelle ge­ richtet, um den ersten und zweiten nochmals gebeugten Strahl zu erzeugen; der erste und zweite nochmals gebeugte Strahl werden durch eine zweite Strahlenteilervorrichtung einander überlagert und auf die Fotosensorvorrichtung gerichtet.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbei­ spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.

Fig. 1A und 1B zeigen einen Drehmeßgeber nach dem Stand der Technik.

Fig. 2A und 2B zeigen einen Drehmeßgeber gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Fig. 3 und 4 zeigen weitere Ausführungsbei­ spiele des Drehmeßgebers.

Die Fig. 2A zeigt ein optisches System des Drehmeßgebers gemäß einem Ausführungsbeispiel, während die Fig. 2B eine Abwicklung von Strahlenwegen bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2A zeigt. Die Fig. 2A zeigt einen Multimode- Halbleiterlaser, eine Drehskala 2 mit einem daran in Dreh­ richtung ausgebildeten Amplituden-Beugungsgitter, Polarisa­ tionsstrahlenteiler 41 und 42, Fotosensoren 51 und 52, Re­ flexionsspiegel 71 bis 76, eine Viertelwellenlängen- bzw. λ/4-Platte 8, einen Strahlenteiler 9 und Polarisierplatten 101 und 102 mit Polarisationsrichtungen für das einfallende Licht, die gegeneinander um 45° versetzt sind. Die Richtung der linearen Polarisation des Laserstrahls aus dem Laser 1 bildet einen Winkel von 45° zu der Polarisationsrichtung des Polarisationsstrahlenteilers 41. Infolgedessen wird der von dem Laser 1 abgegebene Lichtstrahl von dem Polarisations­ strahlenteiler 41 zu einem Durchlaßlichtstrahl (mit P-Pola­ risation) und einem Reflexionslichtstrahl (mit S-Polarisa­ tion) mit gleicher Intensität aufgeteilt. Die beiden Teil­ strahlen werden auf eine Stelle M1 an dem Beugungsgitter der Drehskala 2 unter einem Winkel bzw. Beugungswinkel θ ge­ richtet, der durch die Gleichung

θ = sin^-1 λ/P (1)

bestimmt ist, wobei λ die mittlere Wellenlänge des Laser­ strahls aus dem Laser 1 ist und P der Gitterteilungsabstand an der Stelle M1 des Beugungsgitters der Drehskala 2 ist. Die Einfallebene der beiden auf die Stelle M1 gerichteten Strahlen ist zu der Richtung der Gitteranordnung des Beu­ gungsgitters der Drehskala an der Stelle M1, nämlich zur Tangentialrichtung parallel.

Durch das Beugungsgitter werden an der Stelle M1 die beiden Strahlen gebeugt. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden nur der durch das Beugen des einen Strahls in +1ter Ordnung gebeugte Strahl und der durch das Beugen des anderen Strahls in -1ter Ordnung gebeugte Strahl benutzt.

Die an der Stelle M1 in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen treten aus der Drehskala 2 in zur Gitterebene des Beugungs­ gitters senkrechter Richtung aus. Die in ±1ter Ordnung ge­ beugten Strahlen werden von dem Spiegel 73 unter rechtem Winkel (parallel zur Gitterebene) reflektiert und auf den Spiegel 74 gerichtet, der an einer Stelle angeordnet ist, die in bezug auf eine Drehmittenachse O der Drehskala 2 zu dem Spiegel 73 im wesentlichen symmetrisch ist. Der Spiegel 74 richtet die in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen auf eine Stelle M2 des Beugungsgitters der Drehskala 2, und zwar in gleicher Richtung senkrecht zur Gitterebene des Beugungsgit­ ters. An der Stelle M2 werden die in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen wiederum in ±1ter Ordnung gebeugt und zu nochmals gebeugten Strahlen, die unter dem Winkel θ gemäß der Glei­ chung (1) austreten. Die nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen werden von den Spiegeln 75 bzw. 76 reflektiert, auf den Polarisationsstrahlenteiler 42 gerichtet und in diesem überlagert, durch die λ/4-Platte 8 hindurch geleitet und von dem Strahlenteiler 9 in zwei Strahlen aufgeteilt, die als Interferenzstrahlen durch die Polarisierplatten 101 und 102 hindurch auf die Fotosensoren 51 und 52 gerichtet wer­ den. Auf diese Weise erzeugen die Fotosensoren 51 und 52 durch fotoelektrische Umwandlung als Ergebnis der Interfe­ renz der nochmals in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen Sinus­ wellensignale.

Anhand der in Fig. 2B gezeigten Strahlenwegabwicklung werden die Strahlenwege der in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen erläutert. Gemäß Fig. 2B wird der durch eine ausgezogene Linie dargestellte Durchlaßlichtstrahl, der durch den Pola­ risationsstrahlenteiler 41 hindurchgetreten ist, zu der Stelle M1 des Beugungsgitters geleitet, an dem er gebeugt wird, so daß er senkrecht aus der Gitterebene des Beugungs­ gitters austritt. Dieser Strahl wird als Beugungsstrahl +1ter Ordnung bezeichnet. Der durch eine gestrichelte Linie dargestellte Reflexionslichtstrahl, der von dem Polarisa­ tionsstrahlenteiler 41 reflektiert wird, wird auf die Stelle M1 gerichtet, an der er derart gebeugt wird, daß er senk­ recht zur Gitterebene des Beugungsgitters der Drehskala 2 austritt. Dieser Strahl wird als Beugungsstrahl -1ter Ord­ nung bezeichnet. Die an der Stelle M1 erzeugten Beugungs­ strahlen ±1ter Ordnung werden überlagert und verlaufen auf dem gemeinsamen Strahlenweg in dem optischen Spiegelsystem, das durch die Spiegel 74 und 75 gebildet ist, zwischen den Stellen M1 und M2. An der Stelle M2 werden die einfallenden Beugungsstrahlen ±1ter Ordnung wiederum in ±1ter Ordnung gebeugt, jedoch werden durch die Funktion des Polarisations­ strahlenteilers 42 nur die durch die ausgezogene Linie und die gestrichelte Linie dargestellten Strahlen auf die Foto­ sensoren 51 und 52 gerichtet. Wenn der in +1ter Ordnung gebeugte P-polarisierte Strahl nämlich der durch die ausge­ zogene Linie dargestellte Strahl , P von der Stelle M1 zu der Stelle M2 geleitet wird, werden dort in ±1ter Ordnung gebeugte Strahlen erzeugt. Von diesen wird der in +1ter Ordnung gebeugte Strahl, nämlich der durch die ausgezogene Linie dargestellte Strahl an dem Spiegel 75 reflek­ tiert, durch den Polarisationsstrahlenteiler 42 geleitet und auf den Fotosensor gerichtet. Der (nicht gezeigte) Beugungs­ strahl -1ter Ordnung wird jedoch von dem Spiegel 76 reflek­ tiert und durch den Polarisationsstrahlenteiler 42 derart hindurchgeleitet, daß er nicht auf den Fotosensor (8, 9, 101, 102, 51, 52) gerichtet wird. Andererseits wird von den in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen, die durch das Zuleiten des in -1ter Ordnung gebeugten S-polarisierten Strahls, nämlich des durch die gestrichelte Linie dargestellten Strahls , S von der Stelle M1 zu der Stelle M2 erzeugt werden, der in -1ter Ordnung gebeugte Strahl nämlich der durch die gestrichelte Linie dargestellte Strahl von dem Spiegel 76 reflektiert, von dem Polarisationsstrahlen­ teiler 42 reflektiert und auf den Fotosensor gerichtet. Der (nicht gezeigte) in +1ter Ordnung gebeugte Strahl wird je­ doch von dem Spiegel 75 reflektiert und von dem Polarisa­ tionsstrahlenteiler 42 derart reflektiert, daß er nicht zu dem Fotosensor geleitet wird. Auf diese Weise werden der durch die ausgezogene Linie dargestellte Strahl der an der Drehskala 2 zweimalig in +1ter Ordnung gebeugt wurde, und der durch die gestrichelte Linie dargestellte Strahl, der zweimalig in -1ter Ordnung gebeugt wurde, in dem Polarisa­ tionsstrahlenteiler 42 überlagert, wonach sie die λ/4-Platte 8, den Strahlenteiler 9 und die Polarisierplatten 101 und 102 durchlaufen, um Interferenzstrahlen zu bilden, die auf die Fotosensoren 51 und 52 gerichtet werden. Die Fotosenso­ ren 51 und 52 geben wie bei dem in Fig. 1A und 1B gezeigten Meßgeber nach dem Stand der Technik je Umdrehung der Dreh­ skala 2 4N Perioden von Sinuswellensignalen ab, wobei N die Gesamtanzahl der Gitterelemente ist. Der aus dem Polarisa­ tionsstrahlenteiler 42 austretende Strahl durchläuft die λ/4-Platte 8 und bildet einen linear polarisierten Strahl dessen Polarisationsrichtung sich mit der Drehung der Dreh­ skala 2 dreht. Da die Polarisationsrichtungen der Polari­ sierplatten 101 und 102 gegeneinander um 45° versetzt sind, geben die Fotosensoren 51 und 52 ein erstes und ein zweites Signal mit einer gegenseitigen Phasendifferenz von 90° ab.

Das erste und das zweite Signal können zum Bestimmen der Drehrichtung der Drehskala 2 ausgewertet werden. Ferner können aus dem ersten und dem zweiten Signal auf elektrische Weise mehrere Signale mit unterschiedlichen Phasenlagen gebildet werden, so daß aus diesen Signalen feiner verteilte bzw. genauere Winkeldaten für den Drehwinkel erzeugt werden können, was die Unterteilung der 4N Perioden beinhaltet.

Gemäß Fig. 2A und 2B haben die an der Stelle M1 des Beu­ gungsgitters der Drehskala 2 erzeugten und die Stelle M2 erreichenden Beugungsstrahlen ±1ter Ordnung den gemeinsamen Strahlenweg. Infolgedessen entsteht durch eine Umgebungsän­ derung wie eine Änderung der Umgebungstemperatur kaum ein Meßfehler. Da im Gegensatz zu dem in Fig. 1A und 1B gezeig­ ten Meßgeber nach dem Stand der Technik die in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen einander nicht überkreuzen, sind die Strahlenwege unkompliziert und der Zusammenbau und die Ju­ stierung sind erleichtert.

Die Fig. 3 zeigt den Drehmeßgeber gemäß einem Ausführungs­ beispiel, bei dem die von dem Beugungsgitter reflektierten Beugungsstrahlen benutzt werden. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 2A und 2B bezeichnen gleiche Elemente. Da die in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen von der Stelle M1 bis zu der Stelle M2 einen gemeinsamen Strahlenweg haben, kann auf einfache Weise ein Reflexions-Drehmeßgeber aufgebaut und ein flacher Drehmeßgeber hergestellt werden.

Die Fig. 4 zeigt eine Abwandlungsform des Ausführungsbei­ spiels nach Fig. 2A und 2B. Das optische System oberhalb der Drehskala 2 ist gleich dem in Fig. 2A gezeigten. Bei der Abwandlungsform wird die erfindungsgemäße Gestaltung für einen hohlen bzw. mittig offenen Drehmeßgeber angewandt. Da bei diesem Ausführungsbeispiel die in ±1ter Ordnung gebeug­ ten Strahlen von der Stelle M1 zu der Stelle M2 einen ge­ meinsamen Strahlenweg haben, kann durch das Hinzufügen von Spiegeln 77 und 78 auf einfache Weise ein Hohlbereich bzw. eine mittige Öffnung 11 der Drehskala 2 umgangen werden.

Bei dem Drehmeßgeber gemäß dem in Fig. 4 gezeigten Ausfüh­ rungsbeispiel kann die Drehachse weggelassen werden. Selbst wenn der Durchmesser der Drehskala 2 groß ist, so daß der Strahlenweg der in ±1ter Ordnung gebeugten Strahlen von der Stelle M1 zur Stelle M2 lang ist, entsteht kaum ein durch Umgebungsänderungen verursachter Meßfehler, da die Strahlen­ wege des Paars von Beugungsstrahlen ein gemeinsamer Strah­ lenweg sind.

Hinsichtlich des bei dem Drehmeßgeber benutzten Beugungsgit­ ters der Drehskala besteht keine Einschränkung auf das sog. Amplituden-Beugungsgitter, so daß auch ein Phasen-Beugungs­ gitter verwendet werden kann. Das Phasen-Beugungsgitter kann ein Hologramm-Beugungsgitter sein, das eine feine Gitterun­ terteilung erlaubt, oder ein Relief-Gitter, das leicht her­ zustellen ist.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen wer­ den für die Messung die in 1ter Ordnung gebeugten Strahlen herangezogen, jedoch können in irgendeiner beliebigen Ord­ nung gebeugte Strahlen benutzt werden. Beispielsweise können in 2ter oder 3ter Ordnung gebeugte Strahlen benutzt werden.

In diesem Fall ist das Winkelauflösungsvermögen des Systems bzw. Drehmeßgebers verbessert.

Bei dem Anwenden des erfindungsgemäßen technischen Konzepts bei einer in der vorangehend genannten DE 36 33 574 A1 gezeigten zylindrischen Drehskala können die in ±1ter Ord­ nung gebeugten Strahlen, die von einer ersten Stelle des auf dem Zylinderumfang gebildeten Beugungsgitters austreten, ohne irgendein optisches System auf die gegenüberliegende zweite Stelle gerichtet und dort nochmals gebeugt werden.

Erfindungsgemäß bilden die Strahlenwege, entlang denen die an der einen Stelle des Beugungsgitters erzeugten Beugungs­ strahlen zu der in bezug auf die Drehmitte des Beugungsgit­ ters symmetrischen, nämlich in bezug auf die Mitte gegen­ überliegenden anderen Stelle geleitet werden, einen gemein­ samen Strahlenweg. Infolgedessen ist das System auf einfache Weise zusammenzubauen und herzustellen, wobei auf einfache Weise ein Reflexions-Drehmeßgeber oder ein hohler bzw. Mit­ telöffnungs-Drehmeßgeber aufgebaut werden kann. Selbst wenn infolge einer Vergrößerung des Durchmessers der Drehskala die Strahlenwege des Paars von Beugungsstrahlen lang sind, entsteht durch Umgebungsänderungen kein Meßfehler.

Claims (15)

1. Drehmeßgeber zum Erfassen eines Drehungszustands einer Drehskala (2), an der in Drehrichtung ein Beu­ gungsgitter ausgebildet ist, wobei an einer ersten Stelle (M1) der Drehskala (2) Strahlenbündel unterschiedlicher Beugungsordnung erzeugt und auf eine zweite Stelle (M2) der Drehskala (2) gelenkt werden, so daß nach erneuter Beugung Strahlenbündel unterschiedlicher Beugungsordnung interferentiell überlagert werden und aus dem Signal eines Photosensors der Drehzustand ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Strahlenbündel aus unterschiedlichen Richtungen auf die erste Stelle (M1) auftreffen und die Richtungen derart vorbestimmt sind, daß diejenigen gebeugten Strah­ lenbündel der zwei einfallenden Strahlenbündel, die an der zweiten Stelle (M2) erneut gebeugt werden, das Beu­ gungsgitter an der ersten Stelle (M1) in gleicher Rich­ tung verlassen und auf einem gemeinsamen Strahlweg zur zweiten Stelle (M2) der Drehskala geführt werden.

2. Drehmeßgeber nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlenbündel durch eine Leitvorrich­ tung (1, 41, 71 bis 74) auf die erste Stelle (M1) und zur zweiten Stelle (M2) geleitet werden, daß eine Über­ lagerungsvorrichtung (42, 75f, 76) die Strahlenbündel interferentiell überlagert, und daß der Photosensor Teil einer Wandlervorrichtung (9, 51, 52, 101, 102) ist.

3. Drehmeßgeber nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Leitvorrichtung (1, 41, 71 bis 74) eine Strahlenvorrichtung (1) zur Abgabe eines Laser­ strahls und ein optisches System (41, 71, 72) enthält, das den Laserstrahl in mehrere Strahlenbündel teilt und die geteilten Strahlenbündel aus verschiedenen Richtungen zu der ersten Stelle (M1) leitet, an der die mehreren Strahlenbündel durch das Beugungsgitter gebeugt und als gebeugte Strahlenbündel infolge der Funktion des opti­ schen Systems einander überlagert in im wesentlichen gleicher Richtung abgegeben werden.

4. Drehmeßgeber nach Anspruch 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlenvorrichtung einen Halbleiter­ laser (1) enthält.

5. Drehmeßgeber nach Anspruch 3 oder 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das optische System einen Polarisa­ tions-Strahlenteiler (41) zum Aufteilen des Laser­ strahlenbündels, einen ersten Spiegel (71), der das von dem Strahlenteiler reflektierte Strahlenbündel zu der ersten Stelle (M1) leitet, und einen zweiten Spiegel (72) enthält, der das durch den Strahlenteiler durchgelassene Strahlenbündel zu der ersten Stelle leitet.

6. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitvorrichtung (1, 41, 71 bis 74) ein optisches Spiegelsystem (73, 74) enthält, das in dem Strahlenbündel zwischen der ersten Stelle (M1) und der zweiten Stelle (M2) angeordnet ist.

7. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitvorrichtung (1, 41, 71 bis 74) das Strahlenbündel und die gebeugten Strah­ lenbündel derart leitet, daß die erste Stelle (M1), und die zweite Stelle (M2) in Bezug auf die Drehmitte (O) der Drehskala (2) symmetrisch sind.

8. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitvorrichtung (1, 41, 71 bis 74) ein optisches Spiegelsystem (73, 74) enthält, das die mehreren gebeugten Strahlenbündel von der ersten Stelle (M1) reflektiert und die gebeugten Strahlenbündel zu der zweiten Stelle (M2) führt.

9. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Überlagerungsvorrichtung (42, 75, 76) zum Bilden des Interferenzstrahls einen Polarisations-Strahlenteiler (42) zum Überlagern der an der zweiten Stelle (M2) nochmals gebeugten Strah­ lenbündel, einen dritten Spiegel (75), der eines der nochmals gebeugten Strahlenbündel reflektiert und auf den Strahlenteiler richtet, und einen vierten Spiegel (76) enthält, der das andere der nochmals gebeugten Strah­ lenbündel reflektiert und auf den Strahlenteiler richtet.

10. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die gebeugten Strahlenbündel und die nochmals gebeugten Strahlenbündel jeweils in ±1ter Ordnung gebeugte Strahlenbündel sind.

11. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die gebeugten Strahlenbündel und die nochmals gebeugten Strahlenbündel jeweils reflek­ tierte gebeugte Strahlenbündel sind.

12. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die gebeugten Strahlenbündel und die nochmals gebeugten Strahlenbündel jeweils durch­ gelassene gebeugte Strahlenbündel sind.

13. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehskala scheibenförmig ist.

14. Drehmeßgeber nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehskala (2) zylinder­ förmig ist.

15. Verfahren zum Erfassen eines Drehungszustands einer Drehskala (2), an der in Drehrichtung ein Beugungs­ gitter ausgebildet ist, wobei an einer ersten stelle (M1) der Drehskala (2) Strahlenbündel unterschiedlicher Beu­ gungsordnung erzeugt und auf eine zweite Stelle (M2) der Drehskala (2) gelenkt werden, so daß nach erneuter Beu­ gung Strahlenbündel unterschiedlicher Beugungsordnung interferentiell überlagert werden und aus dem Signal eines Photosensors der Drehzustand ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Strahlenbündel aus unterschiedlichen Richtungen auf die erste Stelle (M1) auftreffen und die Richtungen derart vorbestimmt sind, daß diejenigen gebeugten Strah­ lenbündel der zwei einfallenden Strahlenbündel, die an der zweiten Stelle (M2) erneut gebeugt werden, das Beu­ gungsgitter an der ersten Stelle (M1) in gleicher Rich­ tung verlassen und auf einem gemeinsamen Strahlenweg zur zweiten Stelle (M2) der Drehskala (2) geführt werden.