DE4201811C2 - Vorrichtung zum wiederholten Abgeben von abgemessenen Flüssigkeits-Teilmengen - Google Patents

Vorrichtung zum wiederholten Abgeben von abgemessenen Flüssigkeits-Teilmengen

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum wiederholten Abge­ ben von abgemessenen Flüssigkeits-Teilmengen aus einem Tank zu einem Verbraucher, mit Mitteln zum periodischen Füllen und Entleeren eines im wesentlichen mit dem gesamten Umfangsrand noch oben offenen Meßbehälters, der einen bodenseitigen Auslaß und eine dessen Füllhöhe bestimmende Überlaufkante aufweist.
Eine derartige Vorrichtung ist in der DE 3 21 662 A1 beschrie­ ben. Der Meßbehälter hat dort einen glatt durchgehenden Rand. Damit ist aber der Nachteil verbunden, daß, bedingt durch die Oberflächenspannung der darin befindlichen Flüssigkeit, die aus dem Behälter abgegebene Flüssigkeitsmenge nicht immer konstant ist, weil die Oberflächenspannung bewirkt, daß die Flüssigkeit in dem Behälter bis zu einer nicht genau kontrol­ lierbaren Höhe ansteigt.
Es ist an sich bekannt, die Überlaufkante eines Meßbehälters mit Vertiefungen auszugestalten. Als Beispiel sei verwiesen auf die deutschen Patentschriften 6 99 821 und 8 26 706 sowie auf die US-Patentschrift 29 51 618. Dort wird die Überlaufkan­ te konstruktionsbedingt durch Durchgangsbohrungen eines im Inneren des Meßbehälters angeordneten Überlauf-Rohres gebildet.
Ausgehend von einer Vorrichtung mit den eingangs genannten Merkmalen liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, diese so auszugestalten, daß eine möglichst genau bemessene Flüssig­ keitsmenge aus dem Meßbehälter abgegeben werden kann.
Die Lösung dieser Aufgabe gelingt erfindungsgemäß dadurch, daß die Überlaufkante durch eine Vielzahl von beabstandeten Aus­ nehmungen in dem Umfangsrand des Meßbehälters gebildet ist.
Durch diese Maßnahmen wird ein zu hoher Flüssigkeitspegel am oberen Umfangsrand des Meßbebehälters, bedingt durch die Oberflächen­ spannung der betreffenden Flüssigkeit, vermieden.
Bevorzugt wird es, wenn der Meßbehälter aus Polytetrafluor­ äthylen (PTFE) besteht.
Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispie­ les näher erläutert. Die Figur zeigt eine teilweise geschnit­ tene Ansicht einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit weiteren Bauelementen.
Die Figur zeigt eine Vorrichtung zum wiederholten Abgeben von abgemessenen Flüssigkeitsteilmengen, die bei einer Vorrichtung zum Mischen von Flüssigkeiten in einem vorbestimmten Verhältnis angewendet wird. Diese Vorrichtung schließt eine Einheit zum Fühlen von Flüssigkeitshöhen A und C einer in einem, einen Meßbehälter 1a aufweisenden Abgabebehälter 1 aus Polytetrafluoräthylen (PTFE) vorhandenen Flüssigkeit ein, eine Flüssigkeits-Abgabevorrichtung zum Abgeben der Flüssigkeit vom Meßbehälter 1a an einen Behälter 17 mit einem chemischen Bad, und zwar in einer Menge, die der Kapazität des Meßbehälters 1a entspricht, und eine automatische Flüssigkeits-Zuführeinheit zum automatischen Zuführen einer Flüssigkeit aus einem chemischen Vorratstank 2 an den Abgabebehälter 1 und somit an den Meßbehälter 1a.
Der Abgabebehälter 1 besteht aus einem äußeren Behälter 1b und dem inneren, nach oben offenen Meßbehälter 1a, dessen Überlaufkante B durch eine Vielzahl von beabstandeten Ausnehmungen 1c in seinem nach oben weisenden Umfangsrand gebildet ist.
Die Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit schließt einen Luftmem­ branfühler 3 ein, der die Höhe der Flüssigkeit im äußeren Behälter 1b fühlt, einen Luftregler 4 zum Regulieren des Drucks von Stickstoffgas derart, daß er der Spezifikation des Luftmembranfühlers 3 entspricht, und ein Nadelventil 5 zum Re­ gulieren der Strömungsrate des Stickstoffgases.
Die Flüssigkeits-Abgabeeinheit schließt den Abgabebehälter 1 ein, der, wie erwähnt, aus dem inneren Meßbehälter 1a und dem äußeren Behälter 1b besteht. Ferner ist eine Leitung 6 aus PTFE mit einem automatischen Ventil 7 vorgesehen, die derart angeordnet sind, daß aus dem inneren Meßbehälter 1a die dort abgemessene Menge der Flüssigkeit abgelassen wird. Eine Rücklauf- Leitung 8 aus PTFE und ein automatisches Ventil 9 führen die Flüssigkeit aus dem äußeren Behälter 1b zum chemischen Vorratstank 2 zurück. Außerdem ist ein Luftfilter 10 vorgesehen.
Die automatische Flüssigkeits-Zuführungseinheit schließt den chemischen Vorratstank 2 ein, der die Flüssigkeit enthält, die vom Meßbehälter 1a abgemessen werden soll, eine Leitung 11 aus PTFE, die mit der Rücklaufleitung 8 des äußeren Behälters 1b und einer in bzw. aus den Vorratstank 2 mündenden Leitung 11 verbunden ist, und ein automatisches Ventil 12, das in der Leitung 11 aus PTFE angeordnet ist, ferner eine Pumpe 13 zum Pumpen der Flüssigkeit vom chemischen Vorratstank 2 zum Abgabebehälter 1, eine Zuführleitung 14 aus PTFE und ein automatisches Ventil 15, die die Flüssigkeit vom chemischen Vorratstank 2 zum Abgabebehälter 1 leiten und einen Leerfühler 16, der fühlt, wenn keine Flüssigkeit im chemischen Vorratstank 2 bzw. der Leitung 11′ vorhanden ist.
Es wird nunmehr der Betrieb der Vorrichtung beschrieben.
Um das Flüssigkeitsniveau zu fühlen, wird der Luftregler 4 der Flüssigkeitshöhen-Fühlereinheit, die mit einem Rohr aus PTFE des Abgabebehälters 1 verbunden ist, zunächst einreguliert derart, daß der Differentialdruck über dem Luftregler 4 etwa gleich 1,4 bar ist. Auch die Stickstoffgas-Strömungsrate am Nadelventil 5 wird auf 2 bis 3 Blasen/Sek. reguliert. Es wird auch geprüft, daß die entsprechenden automatischen Ventile 7, 9, 12 in ihrem Schließzustand sind.
Sodann wird bei eingeschalteter Pumpe 13 und geöffneten Ventilen 12 und 15 geprüft, ob der Fühler 16 Flüssigkeit in der Leitung 11′ feststellt.
Bei vorhandener Flüssigkeit bleiben die Ventile 12 und 15 geöffnet und die Pumpe 13 eingeschaltet, um die Flüssigkeit über die Zuführleitung 14 vom chemischen Vorratstank 2 zum Abgabebehälter 1 zu führen, so daß die Flüssigkeit die Höhe A im Abgabehälter 1 erreicht.
Wenn der Fühler 3 fühlt, daß die Flüssigkeit die Höhe A im Abgasbehälter erreicht hat, gibt er ein elektrisches Signal ab, das den Ventilen 12 und 15 zugeführt wird, um diese zu schließen. Auch die Pumpe 13 wird durch das elektrische Signal angehalten.
Danach wird das Ventil 9 geöffnet und die Flüssigkeit aus dem äußeren Behälter 1b bis zur Höhe C abgelassen. Der Meßbehälter 1a bleibt dabei bis zur Höhe seiner Überlaufkante B mit Flüssigkeit gefüllt.
An seinen oberen Umfangsrand hat der innere Meßbehälter 1a, wie erwähnt, eine Vielzahl von beabstandeten Ausnehmungen 1c, um mögliche Ungenauigkeiten im Volumen, bedingt durch die Ober­ flächenspannung am oberen Umfangsrand des Meßbehälters 1a zu vermeiden, so daß eine genau bestimmte Flüssigkeitsmenge im Meßbehälter 1a enthalten ist.
Anschließend wird das Ventil 7 geöffnet, um die Flüssigkeit vom Meßbehälter 1a dem Behälter 17 zuzuführen. Dadurch wird dem Behälter 17 mit dem chemischen Bad also eine genauere Flüssigkeitsmenge zugeführt.
Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können beispielsweise entionisiertes Wasser und Flußsäure im Verhältnis 100 : 1 gemischt werden. Mit der so hergestellten verdünnten Flußsäure können beispielsweise Leiterplatten geätzt werden.

Claims (2)

1. Vorrichtung zum wiederholten Abgeben von abgemessenen Flüssigkeits-Teilmengen aus einem Tank (2) zu einem Ver­ braucher (chemisches Bad 17), mit Mitteln zum periodi­ schen Füllen und Entleeren eines im wesentlichen mit dem gesamten Umfangsrand noch oben offenen Meßbehälters (1a), der einen bodenseitigen Auslaß (Leitung 6) und eine des­ sen Füllhöhe bestimmende Überlaufkante (B) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Überlaufkante (B) durch eine Vielzahl von beab­ standeten Ausnehmungen (1c) in dem Umfangsrand des Meßbe­ hälters (1a) gebildet ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßbehälter (1a) aus Polytretrafluoräthylen (PTFE) besteht.
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DE (1) DE4201811C2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19625651A1 (de) * 1996-06-26 1998-01-08 Steag Micro Tech Gmbh Vorrichtung zum Mischen von wenigstens zwei Flüssigkeiten
DE10158510A1 (de) * 2001-11-29 2003-06-12 Honeywell Speciality Chemicals Behälterverschluss
DE102007031961A1 (de) * 2007-07-10 2009-01-15 Krones Ag Behälterbehandlungsmaschine und Förderleitungsabschnitt

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5632960A (en) * 1995-11-07 1997-05-27 Applied Chemical Solutions, Inc. Two-stage chemical mixing system
DE29608616U1 (de) * 1996-05-11 1996-08-01 SBF Wasser und Umwelt Zweigniederlassung der Preussag Anlagenbau GmbH, 31228 Peine Mischgefäß
TW310078U (en) * 1996-07-10 1997-07-01 Vanguard Int Semiconduct Corp Replacement structure of hand tools
DE19715974A1 (de) * 1997-04-17 1998-10-22 Merck Patent Gmbh Versorgungssystem für Chemikalien und dessen Verwendung
DE19753286C2 (de) * 1997-12-01 2001-03-01 Steag Micro Tech Gmbh Vorrichtung zum Ausbringen einer Flüssigkeit
US6269831B1 (en) * 1998-03-31 2001-08-07 E. I. Du Pont De Nemours And Company Precision volumetric measuring and mixing apparatus
US6270246B1 (en) * 1998-04-24 2001-08-07 Leon M. Han Apparatus and method for precise mixing, delivery and transfer of chemicals
DE29808213U1 (de) 1998-05-07 1998-09-10 Nieländer, Udo, 09130 Chemnitz Vorratsbehälter für Flüssigkeiten und fließfähige Stoffe mit integrierter(n) Dosierkammer(n) zum Herstellen eines volumetrischen Mischungsverhältnisses unter Berücksichtigung eines eventuellen noch im Vorratsbehälter befindlichen Restgemischfüllstandes
NL1010113C2 (nl) * 1998-09-16 2000-03-17 Hosokawa Ter Braak B V Inrichting voor het portiegewijs doseren van vloeistof.
US7456113B2 (en) * 2000-06-26 2008-11-25 Applied Materials, Inc. Cleaning method and solution for cleaning a wafer in a single wafer process
US7205023B2 (en) * 2000-06-26 2007-04-17 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for chemical mixing in a single wafer process
US6927176B2 (en) * 2000-06-26 2005-08-09 Applied Materials, Inc. Cleaning method and solution for cleaning a wafer in a single wafer process
US6392923B1 (en) * 2001-02-27 2002-05-21 Motorola, Inc. Magnetoresistive midpoint generator and method
US6692143B2 (en) * 2001-03-01 2004-02-17 Robert B. Keller Method and apparatus for mixing corrosive material
US6554162B2 (en) * 2001-05-24 2003-04-29 Chemand Corporation System and method for accurately blending fluids
US6545906B1 (en) 2001-10-16 2003-04-08 Motorola, Inc. Method of writing to scalable magnetoresistance random access memory element
US20040002430A1 (en) * 2002-07-01 2004-01-01 Applied Materials, Inc. Using a time critical wafer cleaning solution by combining a chelating agent with an oxidizer at point-of-use
US7095646B2 (en) 2002-07-17 2006-08-22 Freescale Semiconductor, Inc. Multi-state magnetoresistance random access cell with improved memory storage density
US6956763B2 (en) 2003-06-27 2005-10-18 Freescale Semiconductor, Inc. MRAM element and methods for writing the MRAM element
US6967366B2 (en) 2003-08-25 2005-11-22 Freescale Semiconductor, Inc. Magnetoresistive random access memory with reduced switching field variation
US7129098B2 (en) 2004-11-24 2006-10-31 Freescale Semiconductor, Inc. Reduced power magnetoresistive random access memory elements
DE102007050335A1 (de) * 2007-10-18 2009-04-23 Bayer Technology Services Gmbh Anordnung und Verfahren zur Bereitstellung eines vorzugsweise zeitlich veränderlichen Flüssigkeitsgemisches
KR100954564B1 (ko) * 2008-02-04 2010-04-22 세메스 주식회사 약액 공급 시스템 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
CN104694891A (zh) * 2015-03-24 2015-06-10 京东方科技集团股份有限公司 一种去离子水供给装置
DE102016119010A1 (de) * 2016-10-06 2018-04-12 Biologic Gmbh Verfahren zum Zapfen eines karbonisierten Getränkes, Schankanlage für karbonisierte Getränke sowie Kartuscheneinheit hierzu
CN109224975A (zh) * 2018-09-19 2019-01-18 海南琼洋日用化工有限公司 一种适用于液体产品制备的自动配料系统
TWI895352B (zh) * 2020-02-14 2025-09-01 瑞士商赫孚孟拉羅股份公司 用於液體藥物產物之時間-壓力-充填系統與方法以及其用途
KR102365426B1 (ko) * 2020-02-20 2022-02-21 주식회사 오무전기 집진기용 화재방지 및 소화장치
KR102760975B1 (ko) 2023-02-20 2025-02-04 주식회사 알씨테크 케미컬 공급 장치 및 이를 포함하는 케미컬 공급 시스템

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE448408C (de) * 1926-04-29 1927-08-17 Werner Handelsgesellschaft Drosseleinrichtung an einer Zapfvorrichtung mit Fluessigkeitsmessgefaessen
DE699821C (de) * 1934-10-24 1940-12-06 Martini Hueneke Messgefaess mit UEberlauf
DE826706C (de) * 1950-04-25 1952-01-03 Neue Molkereitechnik G M B H Vorrichtung zum Ausschank gemessener Fluessigkeitsmengen, insbesondere von Milch
US2951618A (en) * 1956-10-19 1960-09-06 Int Minerals & Chem Corp Filling apparatus
US3843099A (en) * 1973-02-26 1974-10-22 Usm Corp Instantaneous rationing means
US4014527A (en) * 1973-12-20 1977-03-29 Mobil Oil Corporation Chemical blending system
US4136970A (en) * 1977-12-15 1979-01-30 Coulter Electronics, Inc. Method and apparatus for regulating the size and frequency of bubbles employed for mixing liquids
DE3214662C2 (de) * 1982-04-21 1984-10-04 Molkerei Elsdorf EG, 2730 Elsdorf Vorrichtung zum automatischen keimarmen Abfüllen von Milch in Flaschen
DE8326388U1 (de) * 1983-09-14 1984-09-20 Sartorius GmbH, 3400 Göttingen Lueftungsfilter fuer container
DE3615859A1 (de) * 1986-05-10 1987-11-12 Edeleanu Gmbh Verfahren zum mischen von partien eines fliessfaehigen mediums und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens
US4845965A (en) * 1986-12-23 1989-07-11 Ecolab Inc. Method and apparatus for dispensing solutions
DE3803085A1 (de) * 1987-02-13 1988-08-25 Harth & Seifert Gmbh Verfahren zur durchmischung von schuettguetern

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19625651A1 (de) * 1996-06-26 1998-01-08 Steag Micro Tech Gmbh Vorrichtung zum Mischen von wenigstens zwei Flüssigkeiten
DE19625651C2 (de) * 1996-06-26 2000-11-30 Steag Micro Tech Gmbh Vorrichtung zum Mischen von wenigstens zwei Flüssigkeiten
DE10158510A1 (de) * 2001-11-29 2003-06-12 Honeywell Speciality Chemicals Behälterverschluss
DE102007031961A1 (de) * 2007-07-10 2009-01-15 Krones Ag Behälterbehandlungsmaschine und Förderleitungsabschnitt

Also Published As

Publication number Publication date
JP3205024B2 (ja) 2001-09-04
JPH05144919A (ja) 1993-06-11
KR920022408A (ko) 1992-12-19
KR930008856B1 (ko) 1993-09-16
US5346302A (en) 1994-09-13
DE4201811A1 (de) 1992-11-19

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