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GEBIET DER
ERFINDUNG
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Diese
Erfindung betrifft Ventilstrukturen und insbesondere Absperrschieberstrukturen,
bei denen das Zurückziehen
einer Gegenplatte relativ zum Zurückziehen einer Dichtungsplatte
verzögert
wird, um einen Druckausgleich zu ermöglichen und den Verschleiß an den
Dichtungsflächen
zu verringern.
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HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
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Herkömmliche
Absperrschieberstrukturen umfassen ein Ventilgehäuse mit einer Fluidleitung und
einem Ventilsitz, eine Dichtungsplatte, die zwischen einer offenen
Position und einer geschlossenen Position in der Fluidleitung beweglich
ist, und einen Stellgliedmechanismus zum Bewegen der Dichtungsplatte
zwischen der offenen und der geschlossenen Position. Die Dichtungsplatte
steht mit dem Ventilsitz in Eingriff und dichtet die Fluidleitung
in der geschlossenen Position ab. Die Dichtungsplatte kann von der
geschlossenen Position in eine zurückgezogene Position bewegt
werden und dann geradlinig in die offene Position bewegt werden.
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Absperrschieber
werden in einer breiten Vielfalt von Anwendungen verwendet. Verschiedene
Anwendungen können
Flüssigkeiten,
Gase und Vakuum beinhalten. Viele Anwendungen erfordern eine lange
Betriebslebensdauer mit einer häufigen
Zyklusführung
zwischen der offenen und der geschlossenen Position und eine geringe
Teilchenerzeugung. Ein Beispiel einer solchen Anwendung liegt in
einer Anlage zum Verarbeiten von Halbleiterwafern. Da die Halbleiterbauelementgeometrien
in der Größe abnehmen
und die Schaltungsdichten zunehmen, sind Halbleiterwafer gegen eine
Teilchenverunreinigung immer empfindlicher. Komponenten innerhalb
der Vakuumumhüllung
der Verarbeitungskammer wie z. B. Absperrschieber sind potentielle
Quellen für
eine Teilchenverunreinigung. Ferner kann der Ausfall eines Absperrschiebers
erfordern, dass alles oder ein Teil einer Halbleiterfertigungslinie
abgeschaltet wird, wodurch der Durchsatz nachteilig beeinflusst
wird. Folglich sind eine lange Betriebslebensdauer und eine geringe
Teilchenerzeugung wichtige Absperrschiebereigenschaften.
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Ein
weiteres potentielles Problem bei Absperrschiebern betrifft den
Stoß und
die Schwingung, die auftreten können,
wenn das Ventil geöffnet
oder geschlossen wird. Der Stoß und
die Schwingung können
eine empfindliche Anlage in der Nähe des Absperrschiebers beschädigen oder
deren Betrieb unterbrechen. Es wurde beobachtet, dass der durch
die Betätigung
von Absperrschiebern des Standes der Technik erzeugte Stoß die künstliche
Kohle aus dem Inneren von Tieftemperatur-Vakuumpumpen losrütteln kann.
Folglich ist es erwünscht,
den Stoß und
die Schwingung, die durch Absperrschieber erzeugt werden, zu begrenzen.
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Ein
Absperrschieber mit einer geradlinig beweglichen Dichtungsplatte
ist im US-Patent Nr. 4 052 036, herausgegeben am 4. Oktober 1977
an Schertler, offenbart. Die Dichtungsplatte und eine Gegenplatte
sind durch Blattfedern zueinander hin vorgespannt. Das Stellglied
trägt eine
Reihe von Rollen, die mit Aussparungen in der Dichtungsplatte und
in der Gegenplatte in Eingriff stehen. Wenn die Dichtungsplatte
und die Gegenplatte eine Stopposition erreichen, bewegt sich das
Stellglied weiter, was die Rollen aus den Aussparungen drückt und
die Dichtungsplatte und die Gegenplatte in Richtung der geschlossenen
Position bewegt. Die Dichtungsplatte steht mit einem Ventilsitz
in Eingriff und die Gegenplatte steht mit einer Stützfläche in Eingriff.
Die Gegenplatte sieht eine Abstützung
für die
Dichtungsplatte in der geschlossenen Position vor und verhindert,
dass die Dichtungsplatte durch eine Druckdifferenz über dem
Ventil vom Ventilsitz weggedrückt wird.
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Wenn
Absperrschieber mit dieser Konstruktion geöffnet werden, werden die Dichtungsplatte
und die Gegenplatte gleichzeitig zurückgezogen. Dies lässt die
Dichtungsplatte unabgestützt,
wenn die Dichtung zwischen der Dichtungsplatte und dem Ventilsitz
unterbrochen wird. In Gegenwart einer Druckdifferenz über dem
Ventil wird die unabgestützte
Dichtungsplatte in die Rollen und die Gegenplatte gedrückt. Dies
verursacht einen Stoß,
der empfindliche Komponenten beschädigen kann und der Teilchen
im System lösen
kann. Außerdem
kann der Elastomerring an der Dichtungsplatte einer Abnutzung oder
Reibung ausgesetzt werden, wenn die Dichtungsplatte vom Ventilsitz
zurückgezogen
wird. Eine solche Abnutzung oder Reibung kann einen Verschleiß des Elastomerrings
erzeugen und die Betriebslebensdauer des Absperrschiebers verringern.
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Wenn
beim Absperrschieber von
US 4
487 393 das Ventil unter Verwendung eines Stellgliedes geöffnet wird,
wird eine Gegenplatte parallel zu einer Stützfläche des Ventilgehäuses bewegt
und nach der Parallelverschiebung der Gegenplatte relativ zur Stützfläche wird
eine Dichtungsplatte von einem Ventilsitz auf der entgegengesetzten
Seite des Ventilgehäuses
zurückgezogen.
Nachdem die Gegenplatte bereits um einen Abstand entlang der Achse
des Stellgliedes bewegt wurde, wird die Dichtungsplatte zusammen
mit der Gegenplatte in der Richtung des Stellgliedes bewegt.
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US 4 314 579 schlägt einen
Absperrschieber vor, bei dem eine Dichtungsplatte und eine Gegenplatte
gleichzeitig durch ein Stellglied betätigt werden. Für ein Lösen der
Dichtungsplatte vom zugehörigen
Ventilsitz ist am Einlass Druck erforderlich.
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Der
Absperrschieber von
DE
420 047 B umfasst einen Zylinder, der eine Dichtungsplatte
aufnimmt. Wenn das Ventil geöffnet
wird, wird zuerst die Dichtungsplatte vom Ventilsitz zurückgezogen
und dann der Zylinder mit der Dichtungsplatte aufwärts bewegt.
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Beim
Absperrschieber von
DE
100 25 615 A1 werden eine Dichtungsplatte und eine Gegenplatte
in einer synchronen Bewegung zurückgezogen und
dann werden die Dichtungs- und die Gegenplatte aus dem Fluiddurchlass
herausgezogen. Dichtungsplattenuten und Gegenplattennuten sind auf
derselben Höhe
angeordnet und weisen dieselbe symmetrische Kontur auf, was bedeutet,
dass keine Verzögerung
zwischen dem Rückzug
der Dichtungsplatte und der Gegenplatte besteht.
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Folglich
besteht ein Bedarf für
einen verbesserten Absperrschieber mit einem Aufbau, der eine sanfte
und zuverlässige
Betätigung
vorsieht, und für ein
Verfahren zum Betätigen
eines Absperrschiebers.
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Die
Erfindung ist in den Ansprüchen
1 bzw. 9 definiert. Spezielle Ausführungsbeispiele sind in den abhängigen Ansprüchen dargelegt.
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ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
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Gemäß einem
ersten Aspekt der Erfindung wird ein Ventil bereitgestellt. Das
Ventil umfasst ein Ventilgehäuse
mit einer Fluidleitung, welches einen Ventilsitz und eine Stützfläche festlegt,
eine Dichtungsplatte, eine Gegenplatte, ein Stellglied zum Bewegen
der Dichtungsplatte und der Gegenplatte zwischen einer offenen Position
und einer geschlossenen Position, und einen Kopplungsmechanismus, der
wirksam zwischen die Dichtungsplatte, die Gegenplatte und das Stellglied
gekoppelt ist. In der geschlossenen Position steht die Dichtungsplatte
mit dem Ventilsitz in abgedichtetem Eingriff und die Gegenplatte
mit der Stützfläche in Eingriff.
Der Kopplungsmechanismus zieht die Gegenplatte von der Stützfläche nach
dem Zurückziehen
der Dichtungsplatte vom Ventilsitz zurück, wenn das Ventil geöffnet wird.
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In
einem Ausführungsbeispiel
umfasst der Kopplungsmechanismus eine oder mehrere Dichtungsplattennuten
in der Dichtungsplatte, eine oder mehrere Gegenplattennuten in der
Gegenplatte, Rollenelemente, die beweglich im Stellglied angebracht sind,
und eine oder mehrere Federn zum Vorspannen der Dichtungsplatte
und der Gegenplatte zu zurückgezogenen
Positionen hin. Die Rollenelemente bewegen sich entlang der Dichtungsplattennuten
und der Gegenplattennuten, wenn sich das Stellglied zur geschlossenen
Position hin oder von dieser weg bewegt. Die Dichtungsplattennuten
und die Gegenplattennuten weisen jeweils einen flachen Teil und
einen tiefen Teil auf. Übergänge zwischen
den flachen Teilen und tiefen Teilen in den Dichtungsplattennuten sind
in einer Richtung der Stellgliedbewegung relativ zu Übergängen zwischen
den flachen Teilen und den tiefen Teilen in den Gegenplattennuten
versetzt. In einem Ausführungsbeispiel
weisen die Dichtungsplattennuten und die Gegenplattennuten jeweils
einen relativ abrupten Übergang
zwischen dem flachen Teil und dem tiefen Teil auf. In einem anderen
Ausführungsbeispiel
weisen die Dichtungsplattennuten jeweils einen relativ allmählichen Übergang
zwischen dem flachen Teil und dem tiefen Teil auf und die Gegenplattennuten
weisen jeweils einen relativ abrupten Übergang zwischen dem flachen
Teil und dem tiefen Teil auf.
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Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum Betätigen eines
Absperrschiebers bereitgestellt, bei dem in einer geschlossenen
Position eine Dichtungsplatte mit einem Ventilsitz in Eingriff steht
und eine Gegenplatte mit einer Stützfläche in Eingriff steht. Das
Verfahren umfasst die Schritte des Zurückziehens der Dichtungsplatte
vom Ventilsitz und des Zurückziehens
der Gegenplatte von der Stützfläche nach
dem Zurückziehen
der Dichtungsplatte vom Ventilsitz.
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Durch
Zurückziehen
der Dichtungsplatte vom Ventilsitz, bevor die Gegenplatte von der
Stützfläche zurückgezogen
wird, wird ermöglicht,
dass irgendeine Druckdifferenz über
dem Ventil ausgeglichen wird. Somit wird ein Aufprallen der Gegenplatte auf
die Stützfläche vermieden,
wenn die Dichtung unterbrochen wird. Außerdem wird die Dichtungsplatte vom
Ventilsitz im Wesentlichen senkrecht zum Ventilsitz zurückgezogen
und Reibung und Verschleiß der Dichtungsflächen werden
begrenzt.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Für ein besseres
Verständnis
der vorliegenden Erfindung wird auf die zugehörigen Zeichnungen Bezug genommen,
die durch die Bezugnahme hierin aufgenommen werden und in denen
gilt.
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1 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht eines ersten Ausführungsbeispiels
eines erfindungsgemäßen Absperrschiebers
in einer geschlossenen Position dargestellt;
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2 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht des Ventils von 1 in
einer ersten zurückgezogenen
Position gezeigt;
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3 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht des Ventils von 1 in
einer zweiten, zurückgezogenen
Position gezeigt;
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4 ist
eine Vorderansicht des Ventils von 1;
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5 ist
eine Vorderansicht, teilweise im Querschnitt, der Dichtungsplatte
und des Stellgliedes des Ventils von 1;
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6 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels
eines in einer geschlossenen Position dargestellten erfindungsgemäßen Absperrschiebers;
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7 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht des in einer ersten zurückgezogenen
Position dargestellten Ventils von 6; und
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8 ist
eine teilweise Querschnitts-Seitenansicht des in einer zweiten zurückgezogenen
Position dargestellten Ventils von 6.
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AUSFÜHRLICHE
BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Ein
erstes Ausführungsbeispiel
eines erfindungsgemäßen Absperrschiebers
ist in 1–5 gezeigt.
Gleiche Elemente in 1–5 weisen dieselben
Bezugsziffern auf.
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Ein
Absperrschieber 10 umfasst ein Ventilgehäuse 12 mit
einer Fluidleitung 14 zum Durchlass eines Gases oder einer Flüssigkeit
und einem Flansch 15 zur Befestigung des Ventils an anderen
Systemkomponenten. Der Gasdruck kann im Fall von Vakuumanwendungen
des Absperrschiebers niedrig sein. Das Ventilgehäuse 12 legt einen
Ventilsitz 16 zum Eingriff mit einer Dichtungsplatte fest,
wie nachstehend beschrieben. Das Ventilgehäuse 12 legt auch eine
Stützfläche 18 zum
Eingriff mit einer Gegenplatte fest, wie nachstehend weiter beschrieben.
Die Fluidleitung 14 kann im Allgemeinen zylindrisch, quadratisch,
rechteckig sein oder eine beliebige andere geeignete Form aufweisen.
Der Ventilsitz 16 und die Stützfläche 18 können jeweils
die Form einer Oberfläche
aufweisen, die die Fluidleitung 14 umgibt.
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Der
Absperrschieber 10 umfasst ferner eine Dichtungsplatte 20,
eine Gegenplatte 22 und eine Stellgliedanordnung 32 und
kann ein Ventilstellglied 34 wie z. B. einen Luftzylinder
umfassen. Bei einer alternativen Anordnung ist das Stellglied 34 gegen
einen Griff oder eine andere geeignete Vorrichtung für die manuelle
Betätigung
des Absperrschiebers ausgetauscht. Die Stellgliedanordnung 32 umfasst
eine Welle 40, die an einem Ende mit dem Ventilstellglied 34 verbunden
ist. Das entgegengesetzte Ende der Welle 40 ist mit einem
Stellgliedelement 44 verbunden.
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Die
Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 sind
auf entgegengesetzten Seiten des Stellgliedelements 44 angeordnet.
Ein Elastomerring 64 ist in einer Nut in der Dichtungsplatte 20 zum
Erzeugen einer vakuumdichten Abdichtung zwischen dem Ventilsitz 16 und
der Dichtungsplatte 20, wenn das Ventil geschlossen ist,
angebracht. Die Gegenplatte 22 steht mit der Stützfläche 18 in
der geschlossenen Position in Kontakt, wie in 1 gezeigt.
Die Gegenplatte 22 kann ein Entlüftungsloch 66 zum
schnellen Druckausgleich umfassen.
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Ein
Kopplungsmechanismus 50 ist zwischen dem Stellgliedelement 44,
der Dichtungsplatte 20 und der Gegenplatte 22 angeordnet.
Der Kopplungsmechanismus 50 steuert die Bewegung der Dichtungsplatte 20 und
der Gegenplatte 22 zwischen der geschlossenen und der zurückgezogenen
Position, wie nachstehend beschrieben. Wie nachstehend beschrieben,
umfasst der Kopplungsmechanismus 50 Rollen 52,
Nuten in der Dichtungsplatte 20 und der Gegenplatte 22 und
eine oder mehrere Federn, die zwischen die Dichtungsplatte 20 und
die Gegenplatte 22 gekoppelt sind. Die Rollen 52,
die Kugeln sein können,
sind beweglich in Öffnungen 46 und 48 im Stellgliedelement 44 angebracht.
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Der
Kopplungsmechanismus 50 umfasst mindestens eine Feder 70,
die an einem Ende an der Dichtungsplatte 20 befestigt ist
und am anderen Ende an der Gegenplatte 22 befestigt ist.
Die Feder 70 spannt die Dichtungsplatte 20 und
die Gegenplatte 22 zueinander hin vor. Wenn das Ventil
geschlossen wird, wird die Feder 70 verformt, wie in 1 gezeigt,
wodurch eine Rückstellkraft
erzeugt wird, die die Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 gewöhnlich zueinander
hin zieht. Es ist selbstverständlich,
dass Blattfedern, Tellerfedern, Schraubenfedern oder beliebige andere
geeignete Federn innerhalb des Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung
verwendet werden können.
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Die
Dichtungsplatte 20 ist mit einer Nut 80 und einer
Nut 82 versehen. Die Gegenplatte 22 ist mit einer
Nut 84 und einer Nut 86 versehen. Die Nuten 80, 82, 84 und 86 sind
so angeordnet und geformt, dass sie mit den jeweiligen Rollen 52 in
Eingriff stehen. Jede der Nuten weist einen tiefen Teil, der eine zurückgezogene
Position der jeweiligen Platte festlegt, einen flachen Teil, der
die geschlossene Position der jeweiligen Platte festlegt, und einen Übergang zwischen
dem tiefen Teil und dem flachen Teil auf. Die Nut 80 umfasst
beispielsweise einen tiefen Teil 80a, einen flachen Teil 80b und
einen Übergang 80c zwischen
dem tiefen Teil 80a und dem flachen Teil 80b.
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Unter
der Steuerung der Stellgliedanordnung 32 und des Ventilstellgliedes 34 sind
die Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 zwischen
einer in 1 gezeigten geschlossenen Position,
in 2 und 3 gezeigten zurückgezogenen
Positionen und einer offenen Position (nicht dargestellt) beweglich.
In der offenen Position sind die Dichtungsplatte 20 und
die Gegenplatte 22 von der Fluidleitung 14 weg
in einen oberen Teil 12a (4) des Ventilgehäuses 12 bewegt,
um den Durchlass einer Flüssigkeit
oder eines Gases zu ermöglichen.
In der geschlossenen Position steht die Dichtungsplatte 20 mit dem
Ventilsitz 16 in abgedichtetem Eingriff, wodurch der Durchlass
einer Flüssigkeit
oder eines Gases durch die Fluidleitung 14 gesperrt wird.
Die zurückgezogenen
Positionen von 2 und 3 werden nachstehend
im einzelnen erörtert.
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Bei
der Betätigung
bewegt die Welle 40 die Dichtungsplatte 20, die
Gegenplatte 22 und das Stellgliedelement 44 von
der in 1 gezeigten geschlossenen Position in die in 2 gezeigte
erste zurückgezogene
Position und dann in die in 3 gezeigte
zweite zurückgezogene
Position. In der in 1 gezeigten geschlossenen Position
stehen die Rollen 52 mit den flachen Teilen der Nuten 80, 82, 84 und 86 in
Eingriff. Dies bewirkt, dass die Dichtungsplatte 20 mit
dem Ventilsitz 16 in abgedichtetem Eingriff steht, und
bewirkt, dass die Gegenplatte 22 mit der Stützfläche 18 in
Eingriff steht. Die Gegenplatte 22 sieht eine Abstützung für die Dichtungsplatte 20 in der
geschlossenen Position vor und verhindert, dass eine Druckdifferenz über dem
Ventil 10 die Dichtungsplatte 20 vom Eingriff
mit dem Ventilsitz 16 wegdrückt.
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Der
Kopplungsmechanismus 50 ist dazu ausgelegt, eine vorteilhafte
Bewegung der Dichtungsplatte 20 und der Gegenplatte 22 vorzusehen, wenn
das Ventil geöffnet
wird.
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Insbesondere
wird das Ventil durch Speisen des Stellgliedes 34 und Bewegen
der Welle 40 und das Stellgliedelements 44 nach
links in 1–3 geöffnet. 2 stellt
die Bewegung in eine erste zurückgezogene
Position dar, in der die Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 zurückgezogen
ist und die Gegenplatte 22 mit der Stützfläche 18 in Eingriff
bleibt. In der ersten zurückgezogenen
Position ist die Ventildichtung unterbrochen und irgendeine Druckdifferenz über dem
Ventil wird ausgeglichen. Da die Gegenplatte 22 mit der
Stützfläche 18 in
Eingriff bleibt, ist das Zurückziehen
der Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 im Wesentlichen
senkrecht zum Ventilsitz 16 und die Reibung und der Verschließ des Elastomerrings 64 werden
begrenzt. Ferner wird das Aufprallen der Gegenplatte 22 auf
die Stützfläche 18 vermieden,
da die Gegenplatte 22 in der ersten zurückgezogenen Position von 2 mit
der Stützfläche 18 in
Eingriff bleibt.
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Wenn
die Welle 40 und das Stellgliedelement 44 weiter
nach links bewegt werden, nimmt das Ventil eine zweite zurückgezogene
Position ein, wie in 3 gezeigt, in der die Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 und
die Gegenplatte 22 von der Stützfläche 18 zurückgezogen
ist. Die Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 können dann
in die offene Position von der Fluidleitung 14 weg oder
in eine teilweise offene Position bewegt werden. Somit ist der Kopplungsmechanismus 50 derart
ausgelegt, dass die Gegenplatte 22 nach dem Zurückziehen
der Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 von der
Stützfläche 18 zurückgezogen
wird. Die Verzögerung
zwischen dem Zurückziehen
der Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 und dem
Zurückziehen
der Gegenplatte 22 von der Stützfläche 18 hängt von
der Geschwindigkeit des Stellgliedes 34 und von der Konstruktion
des Kopplungsmechanismus 50 ab. Die Verzögerung wird
vorzugsweise so ausgewählt,
dass sie ausreicht, um zu ermöglichen,
dass sich irgendeine Druckdifferenz über dem Ventil ausgleicht.
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Die
Funktionsweise des Kopplungsmechanismus 50, um die Ventilbetätigung vorzusehen,
wie in 1–3 gezeigt,
wird nun beschrieben. Wie dargestellt, weisen die Nuten 80 und 82 in
der Dichtungsplatte 20 tiefe Teile, die in der Richtung
der Stellgliedbewegung langgestreckt sind, auf und weisen Übergänge 80c bzw. 82c zwischen
den tiefen Teilen und den flachen Teilen auf, die in der Richtung der
Stellgliedbewegung relativ zu den Übergängen 84c und 86c in
den Nuten 84 bzw. 86 versetzt sind. Wenn das Stellgliedelement 44 während des
Ventilöffnens
nach links bewegt wird, bewegen sich die Rollen 52 entlang
der flachen Teile der jeweiligen Nuten 80, 82, 84 und 86,
wobei die Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 anfänglich in
ihren geschlossenen Positionen ortsfest bleiben. Die Übergänge 80c und 82c sind
relativ zu den Übergängen 84c und 86c versetzt,
so dass die Rollen 52 zuerst mit den tiefen Teilen der
Nuten 80 und 82 in der Dichtungsplatte 20 in
Eingriff kommen, wie in 2 gezeigt. Die Feder 70 bewirkt,
dass die Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 zurückgezogen
wird. In der ersten zurückgezogenen
Position von 2 bleiben die Rollen 52 in den
flachen Teilen der Nuten 84 und 86 in der Gegenplatte 22 und
die Gegenplatte 22 bleibt mit der Stützfläche 18 in Eingriff.
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Wenn
das Stellgliedelement 44 weiter nach links bewegt wird,
wie in 3 gezeigt, bewegen sich die Rollen 52 in
die tiefen Teile der Nuten 84 und 86 und die Gegenplatte 22 wird
von der Stützfläche 18 zurückgezogen.
Während
dieser Bewegung bewegen sich die Rollen 52 entlang der
langgestreckten tiefen Teile der Nuten 80 und 82 in
der Dichtungsplatte 20 und die Dichtungsplatte 20 bleibt
in der zurückgezogenen
Position. Die Feder 70 hält die Dichtungsplatte 20 in
den tiefen Teilen der Nuten 80 und 82 und hält die Gegenplatte 22 in
den tiefen Teilen der Nuten 84 und 86, wenn die
Dichtungsplatte 20 und die Gegenplatte 22 in Richtung
der offenen Position bewegt werden. Somit sieht die Anordnung der
Rollen 52 und Nuten 80 und 82, die Übergänge aufweisen,
die von den Übergängen in
den Nuten 84 und 86 versetzt sind, die gewünschte Bewegung,
die in 1–3 gezeigt
ist, vor.
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Es
ist selbstverständlich,
dass verschiedene Mechanismen verwendet werden können, um die in 1–3 dargestellte
und vorstehend beschriebene Ventilbewegung zu erzielen. Die Rollen,
die mit den Nuten in der Dichtungsplatte 20 in Eingriff
stehen, können
beispielsweise von den Rollen versetzt sein, die mit den Nuten in
der Gegenplatte 22 in Eingriff stehen. Ferner können verschiedene
Nutformen und Rollenarten innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung
verwendet werden. Der Kopplungsmechanismus bewirkt im Allgemeinen,
dass die Gegenplatte von der Stützfläche nach
dem Zurückziehen
der Dichtungsplatte vom Ventilsitz zurückgezogen wird.
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Ein
zweites Ausführungsbeispiel
eines Absperrschiebers gemäß der Erfindung
ist in 6–8 gezeigt.
Gleiche Elemente in 1–8 weisen
dieselben Bezugsziffern auf. Das Ausführungsbeispiel von 6–8 unterscheidet
sich von dem Ausführungsbeispiel
von 1–3 hauptsächlich bezüglich der
Form der Nuten in der Dichtungsplatte 20. In dem Ausführungsbeispiel
von 1–3 weisen
die Nuten 80 und 82 in der Dichtungsplatte 20 und
die Nuten 84 und 86 in der Gegenplatte 22 relativ
abrupte Übergänge 80c, 82c, 84c und 86c zwischen
den flachen Teilen und den tiefen Teilen auf. In dem Ausführungsbeispiel
von 6–8 ist
die Dichtungsplatte 20 mit Nuten 180 und 182 mit
Rampen oder allmählichen Übergängen zwischen
den flachen Teilen und den tiefen Teilen versehen. Dies ermöglicht,
dass die Dichtungsplatte 20 vom Ventilsitz 16 mit
einer sanften, nicht-abrupten Bewegung zurückgezogen wird. Wie in dem Ausführungsbeispiel
von 1–3 wird
die Dichtungsplatte 20 zuerst vom Ventilsitz 16 zurückgezogen,
wie in 5 gezeigt, und anschließend wird die Gegenplatte 22 von
der Stützfläche 18 zurückgezogen,
wie in 6 gezeigt. Es ist selbstverständlich, dass die Nuten in der
Dichtungsplatte 20 und der Gegenplatte 22 eine
Vielzahl von Gestalten innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung
aufweisen können.
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Es
sollte selbstverständlich
sein, dass verschiedene Änderungen
und Modifikationen der in den Zeichnungen gezeigten und in der Beschreibung beschriebenen
Ausführungsbeispiele
innerhalb des Schutzbereichs der Erfindung, wie in den Ansprüchen definiert,
vorgenommen werden können.
Folglich ist vorgesehen, dass alle in der obigen Beschreibung enthaltenen
und in den zugehörigen
Zeichnungen dargestellten Angelegenheiten als in einer erläuternden
und nicht begrenzenden Hinsicht betrachtet werden.