DE625444C - Molekularluftpumpe - Google Patents

Description

• Molekularluftpumpe Die Erfindung betrifft eine Molekularluftpump:e, die durch eine im Pumpengehäuse angeordnete Flüssigkeitsturbine angetrieben wird, und besteht darin, daß die Flüssigkeitsturbine zwischen der Molekularluftpumpeund der zugehörigen Vorvakuumpumpe derart angeordnet ist, daß sie im Vorvakuum arbeitet. Dadurch wird der besondere Vorteil erzielt, daß die Flüssigkeitsturbine in einem absoluten Druck von nahezu gleich Null und s=omit mit e=inem hohen Gefälle arbeitet, wodurch die für den Antrieb der Tuxbine, beispiel's'weise einer Wasserturbine, notwendige Wassermenge wesentlich verringert wird. Dex Umstand, daß das Turbinenwasser in den Vorvakuumraum strämt, beeinträchtigt den Vorvakuumdruck praktisch nicht. Denn dieser Druck ist ohnehin. etwa gleich dem Sättigungsdruck des Wassers bei gewöhnlicher Gebrauchstemperatur, so daß, dieses Wasser eine Verschlechterung des Vakuums nicht hervorrufen kann.
• Wenn zur Erzeugung des Vorvakuums eine FlüssigkeitsstraMpumpe dient, kann ein Teil der zur Speisung der Flüssigkeitsstrahlpump,e zugeführten FMsisi;gkeit abgezweigt werden und zum Antrieb der Flüssigkeitsturbine dienen. Man erhält auf diese Weisse .einen au.ßeT-ordentlich einfachen Aufbau.
• Dadurch, daß das zum Antrieb der Flüssigkeitsturbine dienende Wasser durch die Saugdüse der Vorvakuumpumpe hindurch abfließt, wird der Vorvakuumdrudk nicht beeinträchtigt, weil die von der Turbine benötigte Was=sermenge .so klein ist, äaß eine merkliche Verengung des Düsenquerschnittes nicht eintritt.
• Die Zeichnung veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel der Erfindung im Längsschnitt.
• In einem zylindrischen Gehäuse i, an dem oben ein zurr Anschluß an den luftleer zu pumpenden Raum dienender Stutzen 2 - sitzt, ist der mit Schraubengängen versehene Läufex 3 einer Molekularpumpe drehbar gelagert.
• Im Raum 8 unterhalb des Pumpenläufers 3 wird durch eine Flüssigkeitsstrah'lpumpe 9, deren Düse 13 durch einen Stutzen io und eine Leitung i i Druckwasser zugeführt wird, .ein Vorvakuum erzeugt. Durch einen Ringkanal 14 steht die Strablpumpe 9 mit dem Raum 8 in Verbindung. Zum Antrieb des Pumpe=nläufers 3 dient eine F'lüssigkeitsiturbine 4, deren Laufrad auf der Welle 5 angeordnet ist. Die Düse 15 der Flüssigkeitsturbine steht über einen Hahn 12 mit dem Stutzen i o in Verbindung, so daß ein Teil des der Flüssigkeitsstrahlpuxnpe zugeführten Wassers abgezweigt wird und zum Antrieb der Turbine dient. Aus: dem Raum 8 fließt das Wasser durch den Ringkanal' 14 ab.
• Der Pump=enläufer 3 ist oben in einem Halslager 7 gelagert, während das untere Spurlager aus einem feststehenden Zapfen 6 besteht, der von der Büchse 16, die in der Kappe 2o sitzt, umfaßt wird. Der Sockel dies Zapfens 6 ist mit einer Längsbohrung 17 versehen, die in einen mit der Wasserzuleiteng i o in Verbindung stehenden Raum 18 mündet. Eine Querbohrung 19 läßt aus der Längsbohrung 17 Wasser unter die Kappe 2o treten. Das Wasser erzeugt einergeitg Flüssigkeitsreibung zwischen dem Zapfen 6 und der Büchse 16 und wirkt anderseits dem vom Gewicht des Pumpenläufers herrührenden Axialdruck :entgegen, so daß die Reibung betrIehtliich vermindert wird.' Das- dem -Spurlager zugeführte Wasser tritt durch den Ring-Spalt 21 in den Raure 8 aus und wird gemeinsam mit denn Turhinenantrieb!swasser durch den Ringkanal 14 ab geführt. Der Ringspalt 21 ist so eng bemessen, daß die durchtretende Wasser=enge @äußerst gering isft.
• Statt der in der Zeichnung dargestellten Lagerung des Pump.enIiäüfers kann auch eine gleichfalls wenig Reibung aufweisende Steinlagerung verwendet werden.
• Dient die Pumpe zur Absaugung von Dämpfen, die auf Metallteile stark anfressend: wirken, so kann man dass Gehäuse i und den Pumpenläufer 3 aus säurefestem Stoff, beispielsweise aus organischen Preß- oder Spritzwerkstoffen, herstellen. Teile, die einem starken Verschleiß unterliegen, insbesondere die Lagerzapfen, das: Laufrad und die Spritzdüse der Turbine, werden zweckmäßig aus nichtrostendem Stahl hergestellt. Die Spritzdüse kann auch aus Glas. gefertigt sein.

Claims (2)

1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Molekularluftpumpe, die durch eine ixe Pumpengehäuse angeordnete Flüssigkeitsturbine angetrieben wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüsisigkeitsturbäne (q.) zwischen der Molekularluftpumpe (3) und der zugehörigen Vorvakuumpumpe (13) - derart angeordnet ist, daß sie im Vorvakuumdruck arbeitet.
2. 2. Mölekulaxluftpumpe nach Anspruch i, bei der die Vorvakuumpump.e .eine Flüssigkeitsstrahlpumpe ist, dadurch gekennzeichnet, da,B ein Teil der zur Speisung der Flüssigkeitsstrahlpumpe (13) zugeführten Flüssigkeit abgezweigt wird und zum Antrieb der Flüssigkeitsturbine (q.) dient.