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Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung mit einem Detektor für eine zu
messende Menge x, der zum Erzeugen von zwei Meßsignalen I&sub1; und I&sub2; dient, die mit
der zu messenden Menge x zusammenhängen gemäß x = (I&sub1;-I&sub2;)/(I&sub1;+I&sub2;), und diese
Meßanordnung enthält außerdern eine Bearbeitungsschaltung zum Umsetzen der
Meßsignale I&sub1; und I&sub2; in ein Ausgangssignal U(x), dessen Wert von der zu messenden
Menge x abhängig ist.
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Ein Beispiel einer derartigen Anordnung wird in Technisches Messen tm,
53, Nr. 7/8, S. 286...292, beschrieben, wobei insbesondere auf Fig. 6 und auf die
zugeordnete Beschreibung verwiesen wird. In dem erwähnten Beispiel besteht der
Detektor aus einem stellenabhängigen Detektor (PSD), der zwei Ströme I&sub1; und I&sub2; als
Meßsignale erzeugt. Die Verarbeitungsschaltung enthält einen Subtrahierkreis und einen
Addierkreis, die Signale proportional dem Unterschied I&sub1;-I&sub2; bzw. der Summe I&sub1;+I&sub2; der
Meßsignale erzeugen. Die Ausgänge dieser Kreise sind mit den Eingängen eines
Analogteilers verbunden, der ein Ausgangssignal proportional (I&sub1;-I&sub2;)/(I&sub1; +I&sub2;) liefert.
Gefunden wurde, daß die erwähnte Verarbeitungsschaltung und ähnliche
Verarbeitungsschaltungen zufriedenstellende Ergebnisse bieten, wenn die gestellten
Anforderungen hinsichtlich der Geschwindigkeit und des dynamischen Gebiets des
Meßsystems nicht besonders schwer sind.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßanordnung der
eingangs erwähnten Art zu schaffen, die sehr strenge Anforderungen hinsichtlich der
Geschwindigkeit und des dynamischen Bereichs erfüllen kann. Zur Lösung dieser
Aufgabe ist die erfindungsgemäße Anordnung dadurch gekennzeichnet, daß die
Bearbeitungsschaltung einen ersten und einen zweiten Logarithmuswandler enthält,
deren Eingänge sich zum Empfangen eines ersten bzw. eines zweiten Eingangssignals
eignen, die sich proportional zum ersten Meßsignal I&sub1; bzw. dem zweiten Meßsignal I&sub2;
verhalten, und ihre Ausgänge mit einem ersten bzw. einem zweiten Eingang eines
Subtrahierkreises verbunden sind.
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In der erfindungsgemäßen Anordnung werden die Lögarithmen der
Meßsignale direkt geformt (möglicherweise nach einer Vorbereitung, wie z.B. einer
Stromspannungsumsetzung) und dies ergibt stark reduzierte Dynamik dieser Signale.
Der Betrieb der Lögarithmuswandler ist sehr schnell und die verhältnismäßig langsame
Kombinierung eines Addierkreises, eines Subtrahierkreises und eines Analogteilers kann
unterbleiben.
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Der Subtrahierkreis nach den Lögarithmuswandlern liefert ein
Ausgangssignal, das log((1+x)/(1-x)) proportional ist, wenn keine weiteren Schritte
ausgeführt werden, worin x die zu messende Menge ist. Für verhältnismäßig geringe
Werte von x (beispielsweise x < 0,6) gibt dies beispielsweise:
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Daher läßt sich dieses Ausgangssignal leicht in vielen Fällen anwenden. In anderen
Fallen jedoch kann es wünschenswert sein, über ein Ausgangssignal zu verfügen, das
auch für größere Werte von x linear von x abhängig ist. Ein derartiges Ausgangssignal
liefert ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Meßanordnung, die
dadurch gekennzeichnet ist, daß der Subtrahierkreis zum Bestimmen der
Hyperboltangente des Unterschieds zwischen den Signalen an seinem ersten und seinem
zweiten Eingang dient.
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Ein weiteres Ausführungsbeispiel, in dem die Hyperboltangentenfunktion
verhältnismäßig einfach im Subtrahierkreis verwirklicht wird, ist dadurch
gekennzeichnet, daß der Subtrahierkreis einen ersten und einen zweiten Bipolartransistor
(T&sub1;, T&sub2;) enthält, die in einer Differenzverstärkerkonfiguration verbunden und deren
Basisklemmen mit dem ersten bzw. dem zweiten Eingang verbunden sind, und diese
Transistoren mit einem Steuerkreis zum Konstanthalten ihrer Temperatur thermisch
verbunden sind.
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Diese und weitere Merkmale der Erfindung werden nachstehend anhand
der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen
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Fig. 1 ein Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels einer
erfindungsgemäßen Meßanordnung,
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Fig. 2 schematisch ein Ausführungsbeispiel eines geeigneten Detektors zur
Verwendung in der Meßanordnung nach Fig. 1,
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Fig. 3 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispiels eines
Strom/Spannungswandlers,
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Fig. 4 ein volständiges Schaltbild eines Strom/Spannungswandlers im
Aufbau anhand des Prinzips nach Fig. 3,
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Fig. 5 ein Schaltbild zur Veranschaulichung des Prinzips eines
Ausführungsbeispiels eines Subtrahierkreises, und
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Fig.6 ein vollständiges Schaltbild eines Subtrahierkreises im Aufbau auf
der Basis des Prinzips nach Fig. 4.
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Die Meßanordnung, die in Form eines Blockschaltbilds in Fig. 1
dargestellt ist, enthält einen Detektor 1 für eine zu messende Menge x. Der Detektor 1
kann beispielsweise ein stellenabhängiger Detektor nach der Beschreibung mit weiteren
Einzelheiten unten anhand der Fig. 2 sein. Weitere Beispiele in dieser Hinsicht sind eine
doppe1te Photozelle (Zweifachzelle) und ein optischer Magnetfelddetektor nach der
Beschreibung in EP-A 0 216 163. Der Detektor 1 erzeugt zwei Meßsignale I&sub1; und I&sub2;,
die sich zur zu messenden Menge x entsprechend nachstehender Gleichung verhalten:
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x = (I&sub1;-I&sub2;)/(I&sub1;+I&sub2;) (1)
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Bei einem stellenabhängigen Detektor werden die Meßsignale I&sub1; und I&sub2; durch
elektrische Ströme gebildet. Diese Meßströme gelangen an eine Verarbeitungsschaltung
3 zum Umsetzen dieser Ströme in ein Ausgangssignal U(x), dessen Wert von der zu
messenden Menge x abhängig ist.
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Die Verarbeitungsschaltung 3 enthält einen ersten
Strom/Spannungswandler 5, der einen ersten Meßstrom I&sub1; in eine erste Meßspannung
V&sub1; umsetzt, und einen zweiten Strom/Spannungswandler 7, der den zweiten Meßstrom
I&sub2; in eine zweite Meßspannung V&sub2; um setzt. Die Meßspannungen V&sub1; und V&sub2; sind
proportional den Strömen I&sub1; bzw. I&sub2;. Die Meßspannungen V&sub1; und V&sub2; gelangen an die
Eingänge eines ersten Lögarithmuswandlers 9 bzw. eines zweiten Lögarithmuswandlers
11, deren Ausgänge Spannungen liefern, die log V&sub1; bzw. log V&sub2; proportional sind.
Diese Ausgänge sind mit dem ersten Eingang 12A bzw. mit dem zweiten Eingang 12B
eines Subtrahierkreises 13 verbunden.
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Der Subtrahierkreis 13 kann ein einfacher, bekannter
Analogsubtrahierkreis sein, der den Unterschied zwischen den beiden Signalen an seinen
Eingängen 12A und 12B bestimmt. Da die Meßspannungen V&sub1; und V&sub2; proportional den
Meßströmen I&sub1; und I&sub2; sind, ist das vom Subtrahierkreis 13 an seinem Ausgang erzeugte
Ausgangssignal gleich:
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Der Wert des Ausgangssignals U(x) verhält sich also logarithmisch zu der
zu messenden Menge x, worin A ein Proportionalitätsfaktor ist. Dieses logarithmische
Verhältnis zwischen U(x) und x ist für viele Anwendungen vorteilhaft. Jedoch für
weitere Anwendungen wird ein lineares Verhältnis bevorzugt. In derartigen Fallen kann
das Signal U(x) unter Verwendung einer Recheneinrichtung (nicht dargestellt) in ein
Signal umgesetzt werden, das sich beispielsweise mit Hilfe einer Nachschlagtabelle
linear zu x verhält. Jedoch kann der Subtrahierkreis 13 auf andere Weise derart
aufgebaut werden, daß das Ausgangssignal U(x) proportional der Hyperboltangente des
Unterschieds zwischen den Signalen log V&sub1; und log V&sub2; an seinen beiden Eingängen ist.
Ein Beispiel eines derartigen Subtrahierkreises wird mit weiteren Einzelheiten
nachstehend anhand der Fig. 4 erläutert. Da allgemein:
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beträgt, ist das Ausgangssignal U(x) in diesem Fall direkt proportional der zu
messenden Menge x.
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In Fig. 2 ist schematisch ein stellenabhängiger Detektor (PSD) dargestellt,
der als Detektor in der Meßschaltung nach der Beschreibung anhand der Fig. 1
verwendbar ist. Der PSD besteht aus einer Platte 15 aus reinem Silizium, die eine
Dicke von ungefähr 0,25 mm hat und bei der an einer Seite eine p-Schicht 17
angebracht ist, wobei an der anderen Seite eine n-Schicht 19 angebracht ist, und so eine
p-i-n-Struktur bildet. An der Seite der p-Schicht ist der PSD mit zwei Meßkontakten 21
und 23 zum Erhalten eines stellenabhängigen Signals versehen. In diesem Beispiel ist
die n-Schicht mit einem einzigen Stromversorgungskontakt 25 versehen. Auch bekannt
sind PSDs mit zwei oder mehreren Kontakten auf einer oder auf beiden Seiten. Siehe
beispielsweise IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. SC-13, Nr. 3, S. 392...399.
Es sei bemerkt, daß die Abmessungen in der vertikalen Richtung in Fig. 2 stark
übertrieben dargestellt sind.
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Wenn ein Lichtbündel 27 in einen Punkt zwischen den beiden
Meßkontakten 21 und 23 landet, werden Stromträgerpaare 29 erzeugt, die die
Meßkontakte 21, 23 bzw. den Stromversorgungskontakt 25 über die p-Schicht und die
n-Schicht erreichen. Wenn eine Spannungsquelle 33 mit der richtigen Polarität zwischen
dem Stromversorgungskontakt 25 und einem Bezugspunkt 31 angeschlossen wird und
die Meßkontakte 21 und 23 werden mit dem Bezugspunkt 31 über Amperemeter 35 und
37 angeschlossen, lösen die erzeugten Ladungsträger 29 einen Photostrom Iph vom
positiven Pol der Spannungsquelle 33 zum Stromversorgungskontakt 25 aus. Dieser
Photostrom wird auf die Meßkontakte 21 und 23 verteilt, so daß die Amperemeter 35
und 37 die Meßströme I&sub1; bzw. I&sub2; messen, wobei I&sub1; + I&sub2; = Iph ist. Der Wert der
Meßströme I&sub1; und I&sub2; ist von der Stelle abhängig, an der das Lichtbündel 27 auf die
Schicht 17 landet. Die Meßkontakte 21 und 23 befinden sich in einem Abstand L von
der Mitte M des PSD und das Lichtbündel 27 landet auf die Schicht 17 in einem
Abstand d von der Mitte, wobei d von +L (das Lichtbündel fällt auf den PSD nahe bei
dem linken Meßkontakt 21) bis -L sich ändern kann (das Lichtbündel fällt auf den PSD
nahe beim rechten Meßkontakt 23). Die Meßströme I&sub1; und I&sub2; sind dabei gleich
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I&sub1; = Iph (1+d/L)/2 (4)
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I&sub2; = Iph (1-d/L)/2 (5)
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Die Gleichung (1), worin d/L=x ist, wird durch Teilen des Unterschieds der
Gleichungen (4) und (5) durch ihre Summe erhalten.
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Aus obiger Beschreibung geht hervor, daß der Betrieb des PSD analog
dem eines Potentiometers ist, dessen Schleifer mit einer Stromquelle verbunden ist,
während seine festen Kontakte mit einem Bezugspunkt verbunden sind. Die Position des
Schleifers kann von einer zu messenden Menge abhängig gemacht werden
(beispielsweise von einem Druck oder einer Temperatur) und das Potentiometer kann als
der Detektor 1 in der Meßanordnung nach der Figur aufgenommen werden. Der PSD
kann auf ähnliche Weise als Detektor verwendet werden, beispielsweise in einem
Abstandsmesser nach der Beschreibung im erwähnten Artikel in Technisches Messen
tm, 53, Nr. 7/8.
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Wenn wie bei einem PSD die Meßsignale I&sub1; und I&sub2; Meßströme sind, ist
es im allgemeinen wünschenswert, diese Signale in Meßspannungen V&sub1; und V&sub2; vor der
Weiterverarbeitung umzusetzen. Dazu werden Strom/Spannungswandler 5 und 7
verwendet, die beispielsweise aus einem Operationsverstärker mit Rückkopplung
bestehen können, wobei der Meßstrom an den invertierenden Eingang gelegt wird (siehe
beispielsweise ATM, Blatt A 6343-9 (Juli), S. 137, Fig. 1). Ein Nachteil dieser Lösung
ist, daß durch die Streukapazität des Rückkopplungswiderstandes (die aus
Rauscherwägurigen groß gewählt wird) die Bandbreite auf wenige Megahertz beschränkt
wird. Daher wird vorzugsweise ein rauscharmer Stromverstärker verwendet,
beispielsweise nach der Beschreibung in Electronica 83/20 (Oktober 21, 1983), S.
39...49. Das Prinzip der Schaltung ist in Fig. 3 dargestellt. Wenn die Verstärkung des
Verstärkers 39 unendlich hoch ist, und wenn Z&sub1; » Z&sub0; ist, so ist Iu = Z&sub1;/Z&sub0;.Ii.
Wenn Iu durch einen geeigneten Widerstandswert geführt wird, entsteht eine Sparmung,
die proportional Iu und damit proportional Ii ist.
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In Fig. 4 ist ein vollständiges Schaltbild eines Ausführungsbeispiels des
ersten Strom/Spannungswandlers 5 dargestellt, der nach dem Prinzip anhand der Fig. 3
aufgebaut ist. Zi ist die Parallelverbindung von R&sub3;&sub5;, C&sub1;&sub2; und der Streukapazität von
R&sub3;&sub5;, die etwa 0,2 pF beträgt. Z&sub0; ist das Netzwerk, das aus R&sub4;&sub6;, R&sub4;&sub7;, R&sub4;&sub8; und C&sub2;&sub4;
besteht, wobei R&sub4;&sub6; und R&sub4;&sub8; in bezug auf R&sub4;&sub7; klein sind, so daß Z&sub0; hauptsächlich durch
R&sub4;&sub7; und C&sub2;&sub4; bestimmt wird. Es wird aus dem erwähnten Artikel in Electronica klar,
daß die Stromverstärkung der Schaltung im wesentlichen unabhängig von der Frequenz
ist, wenn das Verhältnis Z&sub1;/Z&sub0; eine Realzahl ist (in der Schaltung nach Fig. 3). Dies ist
der Fall, wenn die RC-Produkte dieser beiden Impedanzen gleich sind. In der Schaltung
nach Fig. 4 ist R&sub3;&sub5; gleich 100 kX und C&sub2;&sub0; gleich 1 pF, so daß das RC-Produkt von Z&sub1;
(unter Berücksichtigung der Streukapazität von 0,2 pF) gleich 1,2 x 10&supmin;&sup7; ist. R&sub4;&sub7; ist
gleich 1 kX und C&sub2;&sub4; beträgt 120 pF, so daß das RC-Produkt von Z&sub0; ebenfalls 1,2 x 10&supmin;&sup7;
beträgt. Das Verhältnis Z&sub1;/Z&sub0; ist dabei gleich C&sub2;&sub4;/(C&sub2;+0,2 pF) = 100.
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Die Werte und Typennumnmern der Bauteile in einem praktischen
Ausführungsbeispiel der Schaltung nach Fig. 4 sind folgende:
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R&sub3;&sub1;: 22 Ω
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R&sub3;&sub2;: 270 Ω
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R&sub3;&sub3;: 100 Ω
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R&sub3;&sub4;: 1 MΩ
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R&sub3;&sub5;: 100 kΩ
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R&sub3;&sub6;: 1 MΩ
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R&sub3;&sub7;: 4,7 kΩ
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C&sub1;&sub1;: 220 nF
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C&sub1;&sub2;: 1 pF
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C&sub1;&sub3;: 220 nF
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C&sub1;&sub4;: 25 pF
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C&sub1;&sub5;: 10 nF
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C&sub1;&sub6;: 100 nF
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C&sub1;&sub7;: 10 nF
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R&sub3;&sub8;: 75 Ω
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R&sub3;&sub9;: 1 kΩ
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R&sub4;&sub0;: 33 kΩ
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R&sub4;&sub1;: 470 Ω
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R&sub4;&sub2;: 2,7 kΩ
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R&sub4;&sub3;: 4,7 kΩ
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R&sub4;&sub4;: 10 kΩ
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R&sub4;&sub5;: 820 Ω
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R&sub4;&sub6;: 33 Ω
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R&sub4;&sub7;: 1 kΩ
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R&sub4;&sub8;: 51 Ω
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D&sub1;: BZX 79C15
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A&sub1;: AD 548
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C&sub1;&sub8;: 33 nF
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C&sub1;&sub8;: 100 nF
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C&sub2;&sub0;: 100 nF
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C&sub2;&sub1;: 220 nF
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C&sub2;&sub2;: 220 nF
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C&sub2;&sub3;: 100 nF
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C&sub2;&sub4;: 120 nF
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C&sub2;&sub5;,C&sub2;&sub6;: 2,2 uF
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T&sub1;&sub1;: SST 4416
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T&sub1;&sub2;: BC 840
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T&sub1;&sub2;: BC 550
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T&sub1;&sub4;,T&sub1;&sub6;: BC 856
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T&sub1;&sub5;: BC 846
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Der Detektor 1 ist zusammen mit T&sub1;&sub1;, R&sub3;&sub4;, C&sub1;&sub2;, R&sub3;&sub5; und entsprechenden
Bauteilen des zweiten Strom/Spannungswandlers 7 (nicht dargestellt) auf einer ersten
Leiterplatte 41 angebracht, wobei die weiteren Bauteile des ersten
Strom/Spannungswandlers 5 auf einer zweiten Leiterplatte 43 angebracht sind. Für den
zweiten Strom/Spannungswandler 7 ist eine zweite Leiterplatte (nicht dargestellt)
vorgesehen, die der Leiterplatte 43 entspricht. Der Ausgangsstrom Iu der Schaltung
(siehe Fig. 3) wird mit Hilfe des Widerstandes R&sub4;&sub8; in eine Ausgangsspannung
umgesetzt, die an den ersten Lögarithmuswandler 9 gelegt wird.
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In dieser Konfiguration beträgt der Rauschpegel 8 nA in einer Bandbreite
von 20 MHz. Der maximale Eingangsstrom I beträgt 800 uA, so daß der
Gesamtdynamikbereich 100 dB beträgt.
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Jeder der Lögarithmusverstärker 9 und 11 kann aus einer bekannten
Schaltung bestehen, deren Hauptbauteil eine Lögarithmusverstärker (beispielsweise vom
Typ Ad 640 in der Herstellung von Analog Devices) oder eine Kaskadenverbindung aus
zwei derartigen Verstärkern sein.
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In Fig. 5 ist ein Schaltplan zur Veranschaulichung des Aufbauprinzips
einer Schaltung dargestellt, die sich zur Verwendung im Subtrahierkreis 13 eignet, um
diesen Subtrahierkreis zum Bestimmen der Hyperboltangente des Unterschieds zwischen
den Signalen an seinen ersten und zweiten Eingängen 12A bzw. 12B geeignet zu
machen. Die Schaltung enthält zwei gleiche Bipolartransistoren T&sub1; und T&sub2;, die in einer
Differenzverstärkerkonfiguration miteinander verbunden sind. Die Transistoren T&sub1; und
T&sub2; werden auf derselben konstanten Temperatur gebalten. Die Basisklemmen empfangen
die Spannungen V'&sub1; bzw. V'&sub2;, die den Logarithmen der Meßspannungen V&sub1; bzw. V&sub2;
proportional sind. Die Emitterklemrnen werden zusammen mit einer Stromquelle 53 mit
dem Wert I&sub0; verbunden. Der Betrieb geht wie folgt:
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Allgemein für einen Bipolartransistor:
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Worin:
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Ic der Kollektorstrom ist,
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is ein Leckstrom proportional der Ernitterfläche ist,
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q die Ladung Eins ist,
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k die Boltzmannsche Konstante ist,
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T die absolute Temperatur ist,
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VBE die Basisemitterspannung ist.
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Da is und T gleich sind für beide Transistoren T&sub1; und T&sub2; und da
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ist aus (6) ableitbar, daß:
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Hierin beziehen sich die Suffixe 1 und 2 auf die Transistoren T&sub1; bzw. T&sub2;. Da außerdem
I&sub0; = Ic1 + Ic2 ist, ist aus (7) ableitbar, daß
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Daher ist
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Ic&sub1; - Ic&sub2; = I&sub0; . tan h{q/kT(V'1 - V'2)} (8)
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Aus (8) und (3) ist ableitbar, daß der Kollektorunterschiedsstrom Ic&sub1;-Ic&sub2; in der
Schaltung nach Fig. 5 proportional der zu messenden Menge x ist.
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In Fig. 6 ist ein vollständiger Schaltplan eines Ausführungsbeispiels des
Subtrahierkreises bei Anwendung des Prinzips nach Fig. 4 dargestellt. Die in einer
Differenzverstärkerkonfiguration verbundenen Transistoren sind wiederum mit den
Bezugszeichen T&sub1; und T&sub2; in Fig. 5 bezeichnet. Der erste Eingang 12A ist mit dem
Ausgang des ersten Lögarithmuswandlers 9 und der zweite Eingang 12B mit dem
Ausgang des zweiten Lögarithmuswandlers 11 verbunden. Der
Kollektorunterschiedsstrorn der Transistoren T&sub1; und T&sub2; wird unter Verwendung der mit
den Bezugszeichen IC2 und IC3 bezeichneten Operationsverstärker in eine
Ausgangsspannung u(x) umgesetzt, die zwischen 0 und 2 Volt schwankt und
proportional der zu messenden Menge x ist. Die Emitterspannung der Transistoren T&sub1;
und T&sub2; ist proportional dem Lögarithmus der Summe der Meßsignale I&sub1; und I&sub2; und
daher von Iph, wenn der Detektor 1 ein PSD nach der Beschreibung anhand der Fig. 2
ist. Diese Emitterspannung wird im Operationsverstärker IC5 verstärkt und steht über
einen zweiten Ausgang des Subtrahierkreises 13 als zweite Ausgangsspannung u(i) zur
Verfügung.
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Die Temperatur des beschriebenen Subtrahierkreises 13 wird auf einem
konstanten Wert (etwa 50ºC) durch eine Steuerschaltung 55 gehalten, die mit dem
Subtrahierkreis thermisch verbunden ist. Diese Steuerschaltung enthält einen Transistor
T&sub3;, der als Temperatursensor dient und dessen Ausgangssignal durch den
Operationsverstarker IC4 verstärkt wird, der die Transistoren T&sub4; und T&sub5; steuert, die als
Erwärmungselemente dienen. Die Steuerschaltung 55 ist vorzugsweise zusammen mit
dem Subtrahierkreis in einem Gehäuse angebracht. Die Werte und Typennummern der
Bauteile in einem praktischen Ausführungsbeispiel der Schaltung nach Fig. 5 sind:
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R&sub1;,R&sub2;: 33 X
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R&sub3;,R&sub4;: 16,2 X
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R&sub5;,R&sub6;: 100 kX
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R&sub2;&sub1;: 1 kX
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R&sub2;&sub2;: 50 X
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P&sub1;: 5 kX
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T&sub1; bis T&sub5;: CA3127
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T&sub6;, T&sub7; : BF256A
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R&sub7; : 1 MX
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R&sub8; : 10 kX
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R&sub9; : 7,5 kX
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R&sub1;&sub0; : 100 kX
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R&sub1;&sub1; bis R14:1: kX
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R&sub1;&sub5; : 470 kX
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R&sub1;&sub6;,R&sub1;&sub7;: 1 kX
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R&sub1;&sub8; : 50 X
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R&sub1;&sub9; : 3 kX
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R&sub2;&sub0; : 100 X
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P&sub2; : 2 kX
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P&sub3; :100 kX
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P&sub4; : 5 kX
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P&sub5; : 500 X
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C&sub1; : 10 nF
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C&sub2; : 1 nF
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C&sub3; : 22 nF
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C&sub4; : 2,2 nF