DE748191C - Zweistufiges Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

• Zweistufiges Elektronenmikroskop In einem zweistufigen Elektronenmikroskop, besonders also in einem Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (LTbermilzrobl:op), besteht das Bedürfnis, außer dem hochvergrößerten Bild der zweiten Stufe noch ein I)ild geringer Vergrößerung zu haben, welches einerseits eine Bestimmung des gewählten Bildausschnittes ermöglicht, andererseits durch die Bezugnahme auf spezielle Einzelheiten die Vergrößerung zu bestimmen gestattet. Es ist nun bereits bekannt, zur Justierung des Strahles auf eine Blende in Kathodenstrahlröhren diese Blende mit Leuchtmasse zu versehen, um auf diese Weise den Auftreftpunkt der Strahlung kontrollieren zu können; und es ist auch bereits vorgeschlagen worden, in gleicher Weise das Zwischenbild eines Elektronenmikroskops auf einem in der ZwYschenbildebene befindlichen Leuchtschirm sichtbar zu machen. Diese Anordnung erweist sich jedoch beim praktischen Geizrauch des Elektronenmikroskops (übermikroskops) als äußerst unzweckmäßig, da bei der großen Länge des Mikroskops eine gleichzeitige Beobachtung des Bildes der ersten Stufe und desjenigen der zweiten Stufe nicht möglich ist. Man kann nicht erreichen, daß der Beobachter, der das Bild der zweiten Stufe betrachtet, ohne seinen Platz zii wechseln, auch das Bild der ersten Stufe sehen kann. Die Erfindung will diesen .in der Praxi, erlieblichen Mangel beseitigen, indem sie von der Anbringung eines Leuchtschirms in der Zwischenbildebene absieht.
• .Nach der Erfindung ist in einem zweistufi -=en Elektronemnikroskop ein zur Röhrenachse paralleler Leuchtschirm zwischen der Zwischenbildebene und dem Gegenstand angeord-

  n et. und es sind Mittel zur Projektion des

  Zwischenbildes auf den Leuchtschirm vorge-

  sehen. In den Abbildungen sind zwei Elel:-

  troneninikroskope nach der l?rfin@lunZ bei-

  spielsweise schematisch dargestellt, wobei es

  ersichtlich ist, dar, die l-rtiIldtttig Sich 1n elft-

  sprechender Weise auch auf llel:troi)eilmil-

  skope bezieht, bei denen mehr als zwe'

  bildungsstufen vorgesehen sind.

  In Abb. i bedeutet i den zu untersu

  ciel1 Gegenstand, von dein finit Hilfe der

  Linse 2 ein Bild in der Zwischenbildibene 3

  entworfen wird. Dieses Mild der ersten Stufe

  ist durch den Pfeil 4 angedeutet. ('in es

  beobachten zu koiillen, ist eine Alilellkeinrich-

  tung, in der Zeichnung durch das zur Zeichen-

  ebene senkrecht stehende 'Magnetfeld ange-

  deutet, vorgesehen. welche den Strahlengang

  auf den Leuchtschirm 6 zti richten gestattet,

  so (Maß das 7wischenbild dort in der Ste1-

  lang 7 sichtbar wird. Falls es für notwendig

  gehalten wird, kann zur weiteren Kontrolle

  die i)ftnung der Elende 3 auf dem Leuclit-

  :chirni markiert wirr, wie dies durch S ange-

  dcutet ist. plan hat es also durch einfaches

  Ein- undAusschalten der Ahlenkeinrichtung

  il: der Hand, das Zwischenbild entweder auf

  den hontrollschirln 6 71i lenken ()der aber den

  Strahlengang unabgelenkt @ passieren 7u Mas-

  sein, so daß mit Hilfe der Linse c) der zweiten

  Stufe auf dein Leuchtschirm io das zwei-

  stufig ver-rößerte l,'il(1 erscheint. Da der

  Schirm 6 nicht von oben, sondern von der

  Seite betrachtet werden kann, ist es möglich,

  in einfacherWeise hintereinander dent.eucht-

  .chirin io und den Leuchtschirm 6 zu beob-

  achten.

  In ähnlicher Weise arbeitet das in der

  Abb.2 dargestellte Mikroskop. Hier ist die

  Zwischenbildebene 3 geneigt angeordnet. CTrn

  eine Störung des elektrischen Feldes durch

  die Blende zu verhindern, wird zweckmäßig

  ein metallischer Zylinder i i vorgesehen, der

  (lern Rauni tun die Zwischenbildblende herum

  ein konstantes Potential verleiht. Das Zwi-

  schenbild kann nun in einfacher Meise da-

  durch auf den Leuchtschirm 6 geleitet wer-

  den, daß die Blende 3 als elektronenoptischer

  Spiegel geschaltet wird, was dadurch ge-

  schieht, daß sie auf ein genügend negatives

  Potential gebracht wird. Handelt es sich z. B.

  um die Abbildung des Gegenstandes nach der

  Durchstrahlungsinetliode, wobei als Elektro-

  rienquelle eine Glühkathode dient, so genügt

  es im allgemeinen, die Blende 3 auf das

  Potential dieser Kathode zti bringen. Ge-

  i gehenenfalls kann sie auch noch negativer

  *(,Macht werden. z. ß. auf - ;o V gegen Ka-

  thode geladen werden. Der Zvlirider i i ist

  Init einem rlelaronendurchhissi@@eli Fenster

  i2 versehen, welches die Elehtr(-)nenstrahlen

  «ltf den Schirm () gelangen laßi gegl'1>erll'II-

  'alls kann auch der Schirm selber in der ()it-

  n.' i 2 abgebracht .ein. Auch hier hat nian

  `E= durch einfache Poteritialrindertin#,eri in der

  nd, das vergröfel'te Bild auf dein Leucht-

  :. chirm io oder das Zwischenbild auf denn

  I_eticlitscliirm 6 er,;cheineii 71i lassen. ]in

  ersten Fall hat die Blende ,3 (las übliche l'o-

  tcr)tial, inri zweiten Fall (las eben erläuterte

  Z#1)1e"ell)otelltlal. Unter Umstanden kann e#

  7wecknllililg sein, für die Erzleltln- einet" be--

  s,in(lers günstigen Spiegelwirkung weitere

  l-iilfsrlelctrn(ien vorzusehen.

Claims (3)

1. PATENTANSPRÜCHE. i. Zweistufiges I@lelar@>nenmikrosk@-rp, gekennzeichnet (lunch einen zwischen der Zwischenbildebene und dein Gegenstand angeordneten. zur Röhrenachse parallelen Leuchtschirm und durch Mittel zur Projektion des Zwischenbildes auf den I ettclit-'Cl11rIi1.
2. 2. Elel:trone-iniil:rosl:op nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, dar vor der Zwischenbildebene eine Ablenkeinrichtung zur blenkung des Sttahlenganges auf den Leuehtschirin angebracht ist.
3. 3. Flelaronenmil:roskop nach Aiispruch i, dadurch gekennzeichnet. dal3 in oder vor der Zwischenbildebene eine schräg gestellte flächenhafte Blende angeordnet ist, die als elektronenoptischer Spiegel zur Spiegelung des Strahlenganges auf den Leuchtschirm geschaltet werden kann. -1. Elektronenmikroskop nach An-Spruch i oder folgenden, dadurch gekenn- I zeichnet. daß clei- Leuchtschirm finit einer der ()ffnung in der Zwischenbildblende entsprechenden -Markierung versehen -ist. Zur Abgrenzung des Amnelciungsgegenstandes voni Stand der Technik sind ini Erteilungs v erfahren folgende Druckschriften in 1-@etraclit gezogen worden-Annalen der Physik, Bd. i2, 1932, S. 612, 65o: Jahrbuch des Forschungsinstituts der AEG. IV, 1933-35, S. 31.