DE914295C

DE914295C - Magnetische Linse fuer Elektronenstrahlroehren, insbesondere Elektronenmikroskope

Info

Publication number: DE914295C
Application number: DEA9010D
Authority: DE
Inventors: Dr-Ing Ernst Brueche; Dr Phil Ernst Kinder
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1940-04-14
Filing date: 1940-04-14
Publication date: 1954-07-01

Description

Es ist bekannt, bei Elektronenmikroskopen magnetische Linsen zu verwenden, die die Form von mit Polschuhen versehenen Spulen besitzen. Diese Anordnungen sind einerseits verhältnismäßig kompliziert herzustellen. Andererseits bereitet es vielfach Schwierigkeiten, bei Verwendung mehrerer derartiger magnetischer Linsen eine gute Zentrierung des Systems zu erhalten.
Die Erfindung betrifft eine magnetische Linse, bei der diese Schwierigkeiten beseitigt sind. Erfindungsgemäß besteht die magnetische Linse, insbesondere für Elektronenmikroskope, aus einem an den Enden konisch zugespitzten Metallrohr, über das eine Spule geschoben ist. Das Metallrohr besteht aus einem ferromagnetischen Werkstoff. Auf Grund der Rotationssymmetrie des Aufbaues zeichnet sich der Gegenstand der Erfindung dadurch aus, daß er in äußerst einfacher Weise herstellbar ist. Zudem bildet sich an beiden Enden des Metallrohres eine Linse aus, so daß eine äußerst einfache, gut zentrierte Anordnung geliefert wird, die aus zwei einzelnen Linsen besteht. Die Zentrierung der beiden Linsen zueinander wird auch durch äußere mechanische Einflüsse nicht gestört werden.
In den Fig. z und 2 sind in zum Teil schematischer Weise Ausführungsbeispiele nach der Erfindung dargestellt. Die Fig. i zeigt eine Anordnung, bei der das Rohr i aus ferromagnetischem Werkstoff an den Enden zugespitzte Ansätze 2, 6 besitzt. Das Metallrohr selbst ist von einer Spule 3_ um- ' geben. Sowohl in der Öffnung 8 als auch in der Öffnung 9 der Ansätze :2 und 6 bildet sich eine Linse aus.
In manchen Fällen hat es sich als besonders zweckmäßig erwiesen, das Metallrohr i noch mit einem weiteren Metallrohr zu umgeben, wie es in der Fig. 2 zu sehen ist. Das Rohr i entspricht dem in der Fig. i dargestellten Rohr. Es ist also wiederum mit nach den Enden zugespitzten Ansätzen 2, 6 versehen, die Öffnungen 8, 9 besitzen. Unter Zwischenfügung der Spule 3 ist auf das Rohr i ein weiteres Rohr 4 aufgesetzt. Dieses Rohr 4, das ebenfalls aus ferromagnetischem Werkstoff besteht, ist mit zugespitzten Ansätzen 5, 7 versehen, die in geringem Abstand von den Ansätzen 2, 6 angeordnet sind. Die Öffnungen io, i i der Ansätze 5, 7 liegen in einer Linie mit den Öffnungen 8, 9 der Ansätze 2, 6. Diese Anordnung zeichnet sich dadurch aus, daß die an den Enden der Rohre gebildeten Linsen verhältnismäßig kurz sind.
Die Herstellung der erfindungsgemäßen Linse kann in äußerst einfacher Weise erfolgen: Die Fabrikation eines mit zugespitzten Ansätzen versehenen Rohres bereitet keine Schwierigkeiten, zumal die Anordnung völlig rotationssymmetrisch ist. Bei der Anordnung nach Fig. i wird dann auf das fertige Metallrohr die Spule 3 aufgebracht. Soll die Anordnung entsprechend der Ausführungsform nach Fig. 2 ausgebildet werden, so ist es nur erforderlich, ein weiteres Rohr auf die Spule 3 aufzusetzen. Dieses kann beispielsweise dadurch erfolgen, daß das äußere Rohr aus zwei Halbzylindern hergestellt wird und diese nach dem Aufsetzen miteinander verbunden werden. Man kann aber auch gegebenenfalls das äußere Rohr aus zwei zylinderförmigen Teilen herstellen, die dann mit den entsprechenden Flächen aneinander gesetzt und verbunden werden. Beispielsweise kann der eine Ansatz des äußeren Rohres erst nach Zusammenfügung der gesamten Anordnung an dem äußeren Rohr befestigt werden.
In den Figuren ist angenommen, daß das Rohr i bzw. bei der Anordnung nach der Fig. 2 das Rohr q einen Teil der Gefäßwand bildet, so daß gleichzeitig ein Schutz gegen äußere Störfelder elektrischer oder magnetischer Natur gegeben ist.

Claims

PATENTANSPRÜCFIE: i. Magnetische Linse für Elektronenstrahlröhren, insbesondere Elektronenmikroskope, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einem an den Enden zugespitzten Metallrohr (i) besteht, über das eine Spule (3) geschoben ist.
2. Magnetische Linse nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß auf die Spule ein weiteres zugespitztes Metallrohr derart aufgesetzt ist, daß die einander entsprechenden Öffnungen der Metallrohre in einer Linie liegen.
3. Magnetische Linse nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rohre einen Teil der Gefäßwand bilden.