DE954105C - Ionenquelle fuer Massenspektrometer - Google Patents
Ionenquelle fuer MassenspektrometerInfo
- Publication number
- DE954105C DE954105C DEM23629A DEM0023629A DE954105C DE 954105 C DE954105 C DE 954105C DE M23629 A DEM23629 A DE M23629A DE M0023629 A DEM0023629 A DE M0023629A DE 954105 C DE954105 C DE 954105C
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ion source
- ionization
- takes place
- mass spectrometers
- field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/10—Ion sources; Ion guns
- H01J49/16—Ion sources; Ion guns using surface ionisation, e.g. field-, thermionic- or photo-emission
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
- Ionenquelle für Massenspektrometer Die bisher für Massenspektrometer verwendeten Ionenquellen befriedigen nur teilweise.
- Der Grundgedanke der Erfindung besteht darin, den vor einigen Jahren entdeckten Effekt der Ionisierung von Gasmolekülen in elektrischen Feldern der Größenordnung iöe V/cm und höher zur Erzeugung der Ionen im Massenspektrometer anzwwenden.
- Eine Ionenquelle für Massenspektrometer ist daher nach der Erfindung so ausgebildet, daß durch geeignete Elektroden, z. B. Spitzen mit Scheitelradius o, i ,u und Spannungen z. B. Zo kV, elektrische Felder der Größenordnung io$ V/cm und höher erzeugbar sind, daß eine Feldionisation der zu untersuchenden Partikel erfolgt.
- Eine mögliche Ausführungsform ist schematisch in Abb. i dargestellt. Das dort gezeigte System befindet sich im Hochvakuum. Die massenspektrometrisch zu untersuchende Substanz möge sich als Gas oder Dampf geringen Druckes in dem System befinden. A sei eine z. B. zu einer scharfen Spitze auslaufende Elektrode, z. B. aus Wolfram, und befindet sich gegenüber der z. B. geerdeten Blende C auf einem so hohen positiven Potential, daß an der äußersten Spitze von A Felder der Größenordnung ios V/cm und höher entstehen. Bei diesen Feldstärken findet eine Ionisierung der neutralen Gasmoleküle statt. Ein Teil der so erzeugten Ionen gelangt durch die Blenden C in das z. B. magnetische Ablenksystem D des Massenspektrometers und wird nach Durchgang durch eine weitere Blende vor E z. B. von dem Elektrometer E aufgefangen und der Ionenstrom zwischen A und E mit geeigneten empfindlichen Geräten gemessen. Abb. 2 und 3 zeigen eine mögliche Ausführungsform einer Feldemissions-Anode in größerem Maßstab.
- Die Ionisierung findet an der Oberfläche von A statt. Erreicht die Feldstärke im Gasraum vor der Elektrode bereits den Wert der Ionisierungsfeldstärke, so kann eine Ionisierung auch im Gasraum stattfinden. Vermutlich werden i oo °/o der Moleküle, die in den Ionisierungsfeldstärkebereich gelangen, ionisiert. Die Elektrode A kann auch eine andere Form als die einer Spitze haben, z. B. Schneide. Notwendig ist lediglich, daß die Geometrie der Elektrode in Zusammenhang mit der angewendeten Spannung das Auftreten der genannten hohen Feldstärken ermöglicht.
- Da der von A ausgehende Ionenstrahl stark divergent ist, gelangt nur ein Bruchteil der Ionen auf den Auffänger E. Dieser Ionenverlust ist wesentlich geringer, falls das Ionenstrahlbündel durch eine geeignete, z. B. elektrische Linse B beeinflußt wird.
- Falls die Ionisation unmittelbar auf der Oberfläche der kalten Spitze von A stattfindet, kann die Ionisation durch Erhöhung der Temperatur von A erleichtert und durch Erniedrigung der Temperatur von A erschwert werden. Deshalb kann die Anbringung einer Vorrichtung zum Heizen von A zweckmäßig sein. Dies kann z. B. wie bei den Feldemissionsrnikroskopen durch Stromwärme in einem Heizstromkreis durch die beiden Stromzuführungen von A und Wärmeleitung erfolgen. In Abh. 2 zeigt der Pfeil den Verlauf des Heizstromes. Es können aber auch andere bekannte Heizvorrichtungen angewendet werden. Eine Vorrichtung zum Abkühlen der Feldemissions-Anode könnte z. B. den Sinn haben, eine Oberflächendiffusion zu verhindern.
- Die durch Feldionisation erzeugten Ionen haben vergleichsweise eine relativ hohe Energie. Zur Massenspektrometrie kann dies neben Vorteilen auch Nachteile haben, z. B. wird ein stärkeres @blenkfeld in D benötigt. Um derartige Nachteile zu vermeiden, kann der Ionenstrahl durch geeignete elektrische Felder mittels geeigneter Vorrichtungen (in Abb. i nicht eingezeichnet) vor dem Eintreten in das Ablenksystem abgebremst werden.
- Festkörper können nach bisheriger Beschreibung nur dann ionisiert werden, falls sie als Dampf in den hohen Feldstärkebereich gelangen. Eine unmittelbare massenspektrometrische Analyse ist dann möglich, wenn die Elektrode A, an der die hohe Feldstärke liegt, selbst aus dem zu untersuchenden Festkörper besteht. Infolge des hohen Feldes kann eine Ionisierung und Desorption der Festkörpermoleküle (-atome) der jeweiligen Oberflächenschicht erfolgen, d.h. es erfolgt ein allmählicher Abbau der Elektrode.
- Einige Vorteile der beschriebenen Methode sind: i. Die Energie der Ionen ist weitgehend homogen; a. die zur Analyse benötigten Substanzmengen sind außerordentlich gering; 3. die Analyse kann bei sehr gutem Hochvakuum durchgeführt werden; die von der fast punktförmigen Quelle ausgehenden Ionen können gut fokussiert werden; 5. es können Adsorptionsschichten analysiert werden.
Claims (3)
- PATENTA'NSPRGCHE: i. Ionenquelle für Massenspektrometer, dadurch gekennzeichnet, daß elektrische Felder der Größenordnung io$ V/cm und höher mittels Elektroden geeigneter Form und geeigneten Anodenspannungen, z. B. Spitze mit Scheitelradius von o, i ,u und Anodenspannung von 2o kV, erzeugbar sind, so daß eine Feldionisation -der zu untersuchenden Moleküle erfolgt.
- 2. Ionenquelle für Massenspektrometer nach Anspruch i, adadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode, an der die Ionisierung erfolgt, heiz-oder kühlbar ist.
- 3. Ionenquelle für Massenspektrometer nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Ionisierungselektrode (Ionisierungsraum) und dem Feld, in dem die massenspektrometrische Trennung erfolgt, elektrostatische oder elektromagnetische Ionerilinsen angeordnet sind. q.. Ionenquelle für Massenspektrometer nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die gebildeten Ionen, bevor sie in das massenspektrometrische Ablenkfeld gelangen, durch elektrische Felder abbremsbar oder beschleunigbar sind.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEM23629A DE954105C (de) | 1954-07-02 | 1954-07-02 | Ionenquelle fuer Massenspektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEM23629A DE954105C (de) | 1954-07-02 | 1954-07-02 | Ionenquelle fuer Massenspektrometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE954105C true DE954105C (de) | 1956-12-13 |
Family
ID=7299081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEM23629A Expired DE954105C (de) | 1954-07-02 | 1954-07-02 | Ionenquelle fuer Massenspektrometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE954105C (de) |
-
1954
- 1954-07-02 DE DEM23629A patent/DE954105C/de not_active Expired
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69219618T2 (de) | Coronaentladung-ionenquelle | |
| EP0208894B1 (de) | Flugzeit-Massenspektrometer mit einem Ionenreflektor | |
| DE2739829C2 (de) | Anordnung zur Analyse einer Probenschicht durch Beschuß mit elektromagnetischer Strahlung | |
| DE69418063T2 (de) | Zykloidisches massenspektrometer | |
| DE2825760C2 (de) | Einrichtung zum alternativen Nachweis von positiv und negativ geladenen Ionen am Ausgang eines Massenspektrometers | |
| DE2934408A1 (de) | Ionenquelle mit kaltkathode und damit ausgeruestetes massenspektrometer | |
| DE1937482B2 (de) | Mikrostrahlsonde | |
| DE2556291A1 (de) | Raster-ionenmikroskop | |
| US3473020A (en) | Mass analyzer having series aligned curvilinear and rectilinear analyzer sections | |
| DE19635645C2 (de) | Verfahren für die hochauflösende Spektrenaufnahme von Analytionen in einem linearen Flugzeitmassenspektrometer | |
| DE2340372A1 (de) | Doppelfokussierendes massenspektrometer hoher eingangsapertur | |
| US4146787A (en) | Methods and apparatus for energy analysis and energy filtering of secondary ions and electrons | |
| DE1953659C3 (de) | Ionenquelle für die Zerstäubung mit langsamen Ionen | |
| DE954105C (de) | Ionenquelle fuer Massenspektrometer | |
| EP0221339B1 (de) | Ionen-Zyklotron-Resonanz-Spektrometer | |
| EP0431233B1 (de) | Partialdruckmesszelle mit Kaltkathodenionenquelle für die Lecksuche in Vakuumsystemen | |
| DE1498983A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Trennung von Ionen verschiedener spezifischer elektrischer Ladung | |
| DE1673257A1 (de) | Zweidraht-Ionenquelle,insbesondere fuer Massenspektrometer | |
| JPH0475457B2 (de) | ||
| DE102021121570B4 (de) | Vorrichtung, Verfahren und System zur Messung des Vakuumgrads einer Röntgenröhre | |
| DE2363581A1 (de) | Verfahren zur zerstoerungsfreien chemischen analyse | |
| DE1598150A1 (de) | Ionenquelle fuer Massenspektrometer | |
| DE1283567B (de) | Feldemissionsionenquelle | |
| DE1277590B (de) | Ionenquelle fuer ein Massenspektrometer, bestehend aus einem Ionenerzeugungssystem und mehreren als elektrostatische Linse wirkenden Beschleunigungselektroden | |
| DE2414221A1 (de) | Teilchenoptisches geraet fuer die ionenstreuungsspektrometrie und sekundaerionenmassenspektrometrie |