In dem Hauptpatent 88q.851 wird ein Pumpstand für Hochvakuumanlagen,
bestehend aus Vorvakuum-, Hochvakuum- und gegebenenfalls Zwischenpumpe beschrieben,
in dem zur Vermeidung der Betätigung i .von Ventilen während des Pumpvorganges die
Abmessungen der Verbindungsleitungen von den Vorvakuum- und Zwischenpumpen zum Rezipienten
so gewählt werden, daß die beim Arbeitsdruck in der letzten Stufe, welche mit dem
höchsten Ansaugdruck arbeitet, durch die Verbindungsleitung von dieser Stufe in
die Anlage je Zeiteinheit zurückdiffundierenden Gasmengen erheblich kleiner sind
als die Saugleistung der Pumpe mit dem niedrigsten Arbeitsdruck.In the main patent 88q.851 a pumping station for high vacuum systems,
consisting of fore-vacuum, high-vacuum and, if necessary, intermediate pump,
in which to avoid the actuation of valves during the pumping process the
Dimensions of the connecting lines from the fore-vacuum and intermediate pumps to the recipient
be chosen so that the working pressure in the last stage, which with the
highest suction pressure works, through the connecting line from this stage in
the system per unit of time back-diffusing gas quantities are considerably smaller
than the suction power of the pump with the lowest working pressure.
Die Anordnung hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen, wenn in
dem Pumpstand entweder als Pumpe mit niedrigstem Ansaugdruck oder als Zwischenpumpe
mechanische Pumpen von hoher volumetrischer Leistung, aber geringem Kompressionsverhältnis
angeordnet sind, beispielsweise Drehkolbengebläse nach dem Rootsprinzip oder Strömungsmaschinen.The arrangement has proven to be particularly advantageous when in
the pumping station either as a pump with the lowest suction pressure or as an intermediate pump
mechanical pumps of high volumetric capacity but low compression ratio
are arranged, for example rotary piston blowers according to the Roots principle or turbo machines.
Man könnte diese Maschinen zusammen mit der Pumpe von höchstem Arbeitsdruck
in Betrieb setzen, welche normalerweise eine nach dem Verdrängerprinzip arbeitende
Vakuumpumpe oder ein Wasserdampfstrahlsauger sein dürfte; dann aber würde die Pumpe
mit niedrigem Ansaugdruck wegen ihrer außerordentlich hohen Ansaugleistung sehr
große Antriebsmotore erfordern, welche für das Arbeiten beim Arbeitsdruck, der in
der Regel unter ro Torr liegen dürfte, nicht benötigt werden. Dagegen kann die mechanische
Pumpe großer volumetrischer Leistung leicht mit einem schwächeren Motor angetrieben
werden, wenn sie erst nach Erreichung eines bestimmten Unterdruckes entweder von
Hand oder durch- ein druckbetätigtes Regelorgan eingeschaltet wird.One could use these machines together with the pump of the highest working pressure
put into operation, which normally works on the positive displacement principle
Vacuum pump or a steam ejector is likely to be; but then the pump would
with low suction pressure because of their extraordinarily high suction capacity
require large drive motors which are suitable for working at the working pressure in
should usually be below ro Torr, are not needed. The mechanical
Pump of large volumetric capacity easily driven by a weaker motor
if they only after reaching a certain negative pressure either of
Hand or by a pressure-actuated control element is switched on.
Hierbei ist es von besonderem Vorteil, wenn in der von der letzten
Stufe zum Rezipienten führenden Leitung kein Ventil zu betätigen ist, da keine Fehlbedienung
vorkommen kann, welche beispielsweise zum Durchbrennen des Antriebsmotors der mechanischen
Pumpe großer volumetrischer Leistung führen könnte. Auch während des Betriebes hat
die Anordnung besondere Vorteile bei Stromausfällen, da dann die Pumpe großer Saugleistung
gemäß ihrer großen Schwungmasse ruhig auslaufen kann oder bei Gasausbrüchen oder
Lufteinbrüchen, da in diesem Fall die zusätzliche Luftmenge zum erheblichen Teil
durch die ventillose Leitung wieder von der Auspuffseite auf die Ansaugseite der
Stufe großer vo-lumetrischer Saugleistung zurückströmt und auf diese Weise zu hohe
Druckdifferenz an der Stufe, die zur Überbeanspruchung ihres Antriebsmotors führen
könnte, vermieden wird. Abb.1 stellt eine erfindungsgemäße Schaltung aus zwei Pumpen,
Abb. 2 eine solche aus drei Pumpen dar.It is of particular advantage here if in the last one
Step to the line leading to the recipient, no valve needs to be actuated, as there is no operating error
can occur, which for example to burn out the drive motor of the mechanical
Pump with large volumetric capacity. Even during operation
the arrangement has particular advantages in the event of power failures, since the pump then has a large suction capacity
due to its large centrifugal mass, it can run out quietly or in the event of gas outbreaks or
Air ingress, as in this case the additional air volume to a considerable extent
through the valveless line again from the exhaust side to the intake side of the
Level of high volumetric suction power flows back and in this way too high
Pressure difference at the stage, which lead to overstressing of your drive motor
could be avoided. Fig.1 shows a circuit according to the invention consisting of two pumps,
Fig. 2 shows one of three pumps.
In Abb. 1 isst 1 eine rotierende Vakuumpumpe mit ölabdichtung des
schädlichen Raumes, z ein Drehkolbengebläse nach dem Rootsprinzip, 3 die relativ
enge Verbindungsleitung zwischen der Pumpe hohen Arbeitsdruckes und dem vakuumdichten
Behälter q.. Die Druckleitung 5 des Rootsgebläses 2 führt in die Leitung 3, während
der Behälter q. :durch die weite Leitung 6 von der Pumpe 2 evakuiert wird.In Fig. 1, 1 eats a rotating vacuum pump with an oil seal
harmful space, z a rotary piston blower according to the Roots principle, 3 the relative
narrow connection line between the high working pressure pump and the vacuum-tight
Container q .. The pressure line 5 of the Roots blower 2 leads into the line 3, while
the container q. : is evacuated through the wide line 6 from the pump 2.
In Abb. 2 ist 1 eine rotierende Vakuumpumpe wie in Abb. 1, 2 eine
Strömungsmaschine, 3 eine Diffusionspumpe, ¢ ist der Behälter, 5 die enge Verbindungsleitung,
6 die Leitung von der Strömungsmaschine zur Pumpe 1 und 7 die Leitung. von der Strömungsmaschine
zur Diffusionspumpe.In Fig. 2, 1 is a rotating vacuum pump as in Fig. 1, 2
Flow machine, 3 a diffusion pump, ¢ is the container, 5 the narrow connecting pipe,
6 the line from the flow machine to the pump 1 and 7 the line. from the turbomachine
to the diffusion pump.
An Stelle der mechanischen Pumpe i kann beispielsweise auch ein Wasserdampfstrahlsauger,
an Stelle des Systems aus der Strömungsmaschine 2 und der Diffusionspumpe 3 beispielsweise
eine Anordnung von zwei Drehkolbengebläsen treten.Instead of the mechanical pump i, for example, a steam ejector,
instead of the system consisting of the turbomachine 2 and the diffusion pump 3, for example
an arrangement of two positive displacement blowers occur.
Zwischen den Pumpen können besondere Zwischenbehälter angeordnet werden,
ebenso mag es in besonderen Fällen zweckmäßig sein, daß auch von der Leitung 7 eine
Verbindungsleitung zum Behälter q. führt.Special intermediate tanks can be arranged between the pumps,
it may also be useful in special cases that one of the line 7
Connection line to the tank q. leads.