DK1032023T3 - Fremgangsmåde samt anordning til kontinuerlig behandling af genstande - Google Patents

Fremgangsmåde samt anordning til kontinuerlig behandling af genstande

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DK1032023T3
DK1032023T3 DK00102733T DK00102733T DK1032023T3 DK 1032023 T3 DK1032023 T3 DK 1032023T3 DK 00102733 T DK00102733 T DK 00102733T DK 00102733 T DK00102733 T DK 00102733T DK 1032023 T3 DK1032023 T3 DK 1032023T3
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transport path
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processing device
Prior art date
Application number
DK00102733T
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Inventor
Thomas Lauinger
Armin Aberle
Richard Auer
Guido Halbach
Manuel Kanne
Hanno Paschke
Jens Moschner
Original Assignee
Schott Solar Gmbh
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
    • H10P72/33—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H10P72/3314—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
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  • Container Filling Or Packaging Operations (AREA)
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