DK141557B - Apparat til fremstilling af ensidigt lukkede roer af halvledermateriale - Google Patents

Description

141557

Patent nr. 137.550 angår et apparat til fremstilling af ensidigt lukkede rør af halvledermateriale ved udskillelse af halvledermaterialet fra en gasformig for-bindelse på et hult rørformet bærelegeme, som er lukket 5 ved en ende og opvarmes ved direkte strømgennemgang, i hvilket bærelegemes indre der er anbragt en stav af grafit eller et af materialerne glaskul, spektralkul eller pyrografit, hvilken stav er elektrisk ledende forbundet med bærelegemet, og det ejendommelige ifølge hovedpaten-10 tet er, at staven er skruet ind i en i den lukkede ende af bærelegemet tilvejebragt udsparing. Udsparingen kan f.eks. som vist på fig.l og 2 i hovedpatentet være en boring, som gennemtrænger den lukkede ende af bærelegemet, og boringen er lukket ved hjælp af en midterdel af 15 en i tværsnit paddehatteformet indskruet eller indpresset kappe.

Opfindelsen angår et apparat ifølge hovedpatentet, hvor udsparingen er udformet på den ovenfor angivne måde, og det ejendommelige er, at kappen på den udvendige side 20 har form som et fra midten udgående skråt tag.

Det ligger inden for opfindelsens rammer, at de skrå flader forløber fra midten af kappen til anlægsfladen på bærelegemets udvendige side.

Ved et særligt fordelagtigt udførelseseksempel i-25 følge opfindelsen er der foruden de skrå flader udført en afrunding ved det sted, hvor kappekanten og bærelegemets udvendige væg mødes, hvorved sikres en bedre af-trækning af det færdige siliciumrør.

Kappen i apparatet ifølge opfindelsen har over for 30 den i hovedpatentet som afdækning af grafitrøret forudsete flade grafitkappe den fordel, at der ved den på forhånd tilvejebragte skrå kappeform opnås en ensartet temperaturfordeling over den samlede flade. Derved kan der ved fremstillingen af ensidigt lukkede siliciumrør ved 35 hjælp af sådanne apparater også sikres en ensartet siliciumudskillelse, og de tilvejebragte Siliciumrør har en ensartet vægtykkelse. Den skrå afsliphing ved kanten af

Claims (3)

141557 kappen efter sammensætningen af grafitdelene, som ved ap-paratet ifølge hovedpatentet benyttes til at forhindre Store temperaturforskelle hen til kanten ved opvarmningen, kan reduceres til et minimum. 5 En yderligere fordel frem for den flade kappe er den langt større mekaniske stabilitet. Opfindelsen forklares nærmere med henvisning til figuren, som er vist på tegningen. Figuren viser et tværsnit gennem overdelen af et bærelegeme med stav og tilpasset 10 kappe. Herved betegnes med henvisningstallet 10 grafitstaven, med 11 bærelegemet af grafit, mens gevind 12 og 14 er vist skematisk. Den i grafitstaven indpassede kappe, som afslutter det hule bærelegeme udadtil, bærer henvisningstallet 13 og har form som et skråt tag, der 15 udgår fra midten 15. De i figurens tværsnit med 16 betegnede steder, hvor kappekanten 13 og bærelegemets udvendige væg 11 mødes, er afrundet ved hjælp af afslip-ning, hvilket er vist ved hjælp af indtegnede punkterede linier 17. 20 Udskillelsen af røret af halvledermateriale, især af silicium, sker på kendt måde, som det allerede er beskrevet i hovedpatentet.

1. Apparat til fremstilling af ensidigt lukkede rør 25 af halvledermateriale ifølge patent nr. 137.550, og ved hvilket udsparingen er en boring, som gennemtrænger den lukkede ende af bærelegemet, og boringen er lukket ved hjælp af en midterdel af en i tværsnit paddehatteformet indskruet eller indpresset kappe, kendetegnet 30 ved, at kappen på den udvendige side har form som et fra midten udgående skråt tag.

2. Apparat ifølge krav 1, kendetegnet ved, at de skrå flader forløber fra midten af kappen til anlægsfladen på bærelegemets udvendige side.

3. Apparat ifølge krav 1 og 2, kendetegnet ved, at der foruden de skrå flader er udført en afrunding