DK1692923T3 - Undulator og fremgangsmåde ved drift af en sådan - Google Patents

Undulator og fremgangsmåde ved drift af en sådan

Info

Publication number
DK1692923T3
DK1692923T3 DK04820401T DK04820401T DK1692923T3 DK 1692923 T3 DK1692923 T3 DK 1692923T3 DK 04820401 T DK04820401 T DK 04820401T DK 04820401 T DK04820401 T DK 04820401T DK 1692923 T3 DK1692923 T3 DK 1692923T3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
undulator
synchrotron radiation
undulators
partial undulators
operating
Prior art date
Application number
DK04820401T
Other languages
English (en)
Inventor
Robert Rossmanith
Uwe Schindler
Original Assignee
Karlsruhe Forschzent
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Karlsruhe Forschzent filed Critical Karlsruhe Forschzent
Application granted granted Critical
Publication of DK1692923T3 publication Critical patent/DK1692923T3/da

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/04—Magnet systems, e.g. undulators, wigglers; Energisation thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
  • Organic Insulating Materials (AREA)
DK04820401T 2003-12-12 2004-11-27 Undulator og fremgangsmåde ved drift af en sådan DK1692923T3 (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10358225A DE10358225B3 (de) 2003-12-12 2003-12-12 Undulator und Verfahren zu dessen Betrieb
PCT/EP2004/013466 WO2005060322A2 (de) 2003-12-12 2004-11-27 Undulator und verfahren zu dessen betrieb

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK1692923T3 true DK1692923T3 (da) 2007-08-20

Family

ID=34625667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK04820401T DK1692923T3 (da) 2003-12-12 2004-11-27 Undulator og fremgangsmåde ved drift af en sådan

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7129807B2 (da)
EP (1) EP1692923B1 (da)
JP (1) JP4445973B2 (da)
AT (1) ATE360976T1 (da)
DE (2) DE10358225B3 (da)
DK (1) DK1692923T3 (da)
WO (1) WO2005060322A2 (da)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006039655A1 (de) 2006-08-24 2008-03-20 Carl Zeiss Smt Ag Beleuchtungssystem für eine Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Beleuchtungssystem, Verfahren zur Herstellung eines mikrostruktuierten Bauelements mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie durch dieses Verfahren hergestelltes mikrostrukturiertes Bauelement
DE102006056052B4 (de) * 2006-11-28 2009-04-16 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Planar-helischer Undulator
DE202007019359U1 (de) 2007-03-01 2012-03-08 Babcock Noell Gmbh Wickelkörper für elektromagnetische Undulatoren
DE102007010414A1 (de) 2007-03-01 2008-09-04 Babcock Noell Gmbh Wickelkörper für elektromagnetische Undulatoren
DE102008024073A1 (de) * 2008-05-17 2009-12-17 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Vorrichtung zur Verringerung des Phasenfehlers eines supraleitenden Undulators
WO2010030250A1 (en) * 2008-09-15 2010-03-18 National University Of Singapore Single-coil superconducting miniundulator
DE102008053162B3 (de) * 2008-10-24 2010-07-29 Karlsruher Institut für Technologie Undulator zur Erzeugung von Synchrotronstrahlung
WO2013023053A1 (en) 2011-08-09 2013-02-14 Cornell University Compact undulator system and methods
JP6369906B2 (ja) 2012-03-09 2018-08-08 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー Ｅｕｖ投影リソグラフィのための照明光学ユニット及びそのような照明光学ユニットを含む光学系
DE102012218076A1 (de) 2012-10-04 2014-04-10 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage für die Projektionslithographie
DE102012214063A1 (de) 2012-08-08 2014-02-13 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Projektionslithographie
DE102012219936A1 (de) 2012-10-31 2014-04-30 Carl Zeiss Smt Gmbh EUV-Lichtquelle zur Erzeugung eines Nutz-Ausgabestrahls für eine Projektionsbelichtungsanlage
DE102013202590A1 (de) 2013-02-19 2014-09-04 Carl Zeiss Smt Gmbh EUV-Lichtquelle zur Erzeugung eines Nutz-Ausgabestrahls für eine Projektionsbelichtungsanlage
DE102013203294A1 (de) 2013-02-27 2014-08-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische Baugruppe zur Polarisationsdrehung
CN108873623B (zh) 2013-06-18 2021-04-06 Asml荷兰有限公司 光刻方法和光刻系统
DE102013212363A1 (de) 2013-06-27 2014-07-31 Carl Zeiss Smt Gmbh Facettenspiegel, insbesondere für die EUV-Projektionslithografie
JP6571092B2 (ja) 2013-09-25 2019-09-04 エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． ビームデリバリ装置及び方法
DE102013223808A1 (de) 2013-11-21 2014-12-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische Spiegeleinrichtung zur Reflexion eines Bündels von EUV-Licht
DE102013223935A1 (de) 2013-11-22 2015-05-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungssystem für die EUV-Belichtungslithographie
DE102014205579A1 (de) 2014-03-26 2015-10-01 Carl Zeiss Smt Gmbh EUV-Lichtquelle für eine Beleuchtungseinrichtung einer mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage
DE102014222884A1 (de) 2014-11-10 2016-05-25 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungseinrichtung für ein Projektionsbelichtungssystem
DE102014215088A1 (de) 2014-07-31 2016-02-04 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungseinrichtung für ein Projektionsbelichtungssystem
DE102014221173A1 (de) 2014-10-17 2016-04-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Strahlungsquellenmodul
DE102014221175A1 (de) 2014-10-17 2016-04-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungsoptik für ein Projektionsbelichtungssystem
CN104409129B (zh) * 2014-11-17 2017-02-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种波荡器
DE102014226917A1 (de) 2014-12-23 2015-12-17 Carl Zeiss Smt Gmbh Beleuchtungssystem für die EUV-Projektionslithographie
DE102014226920A1 (de) 2014-12-23 2016-06-23 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische Komponente
DE102014226918A1 (de) 2014-12-23 2016-06-23 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische Komponente
TWI701517B (zh) 2014-12-23 2020-08-11 德商卡爾蔡司Ｓｍｔ有限公司 光學構件
DE102014226921A1 (de) 2014-12-23 2016-06-23 Carl Zeiss Smt Gmbh Strahlungsquellenmodul
DE102015212878A1 (de) 2015-07-09 2017-01-12 Carl Zeiss Smt Gmbh Strahlführungsvorrichtung
DE102015215216A1 (de) 2015-08-10 2017-02-16 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches System
DE102015220955A1 (de) 2015-10-27 2015-12-17 Carl Zeiss Smt Gmbh Optisches Bauelement
DE102016217426A1 (de) 2016-09-13 2017-08-24 Carl Zeiss Smt Gmbh Strahlteiler

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63226899A (ja) * 1987-03-16 1988-09-21 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 超電導ウイグラ−
JPH02306599A (ja) * 1989-05-19 1990-12-19 Sumitomo Electric Ind Ltd 超電導ヘリカルウィグラ
JP3566830B2 (ja) * 1997-04-25 2004-09-15 日本原子力研究所 円、楕円又は可変偏光の平板型ハイブリッドアンジュレータ

Also Published As

Publication number Publication date
JP4445973B2 (ja) 2010-04-07
EP1692923B1 (de) 2007-04-25
US20060158288A1 (en) 2006-07-20
WO2005060322A3 (de) 2006-02-23
ATE360976T1 (de) 2007-05-15
EP1692923A2 (de) 2006-08-23
DE10358225B3 (de) 2005-06-30
WO2005060322A2 (de) 2005-06-30
DE502004003647D1 (de) 2007-06-06
JP2007514285A (ja) 2007-05-31
US7129807B2 (en) 2006-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK1692923T3 (da) Undulator og fremgangsmåde ved drift af en sådan
EP1847160A1 (en) Ion acceleration system for hadrontherapy
Valdivia Garcia et al. Towards a monochromatization scheme for direct Higgs production at FCC-ee
Raubenheimer LCLS-II: status of the CW X-ray FEL upgrade to the SLAC LCLS facility
Winick et al. Short wavelength FELs using the SLAC Linac
Fuchert et al. A novel undulator concept for electron beams with a large energy spread
Raubenheimer Technical challenges of the LCLS-II CW x-ray FEL
Hajima Emittance compensation in a return arc of an energy-recovery linac
Kant et al. Effect of axial magnetic field on axicon laser-induced electron acceleration
Eriksson et al. The MAX IV synchrotron light source
US20160379793A1 (en) Beam focusing and accelerating system
Aksoy et al. Beam transport and bunch compression at TARLA
Cornacchia A Sub-Picosecond Photon Pulse Facility for SLAC
Nergiz Radiation properties of Turkish light source facility TURKAY
Avreline et al. Acceleration of heavy ions in inverse free electron laser
Li et al. Laser-driven ultrafast antiproton beam
Wu et al. Lattice modification and nonlinear dynamics for elliptically polarized VUV OK-5 FEL source at Duke storage ring
Masunov et al. Undulator linear accelerator as a generator of ribbon high power ion beams
Huse et al. Design and optimization of an electromagnet undulator
Levi An energy recovery Linac is seen as a bright idea
Johnson Ionization Cooling
Ji et al. Design of a compact ion beam transport system for the BELLA ion accelerator
Nikrah et al. Electron energy and electron trajectories in an inverse free-electron laser accelerator based on a novel electrostatic wiggler
Kostka et al. Superconductive undulators with variable polarization direction
Khruschev et al. Tesla superbend for BESSY-2