EP0056549A2 - Structure de transducteur électromécanique - Google Patents

Structure de transducteur électromécanique Download PDF

Info

Publication number
EP0056549A2
EP0056549A2 EP81402050A EP81402050A EP0056549A2 EP 0056549 A2 EP0056549 A2 EP 0056549A2 EP 81402050 A EP81402050 A EP 81402050A EP 81402050 A EP81402050 A EP 81402050A EP 0056549 A2 EP0056549 A2 EP 0056549A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
film
piezoelectric
polymer
electrodes
structure according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP81402050A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP0056549A3 (en
EP0056549B1 (fr
Inventor
François Micheron
Jean-Claude Dubois
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson CSF SA filed Critical Thomson CSF SA
Publication of EP0056549A2 publication Critical patent/EP0056549A2/fr
Publication of EP0056549A3 publication Critical patent/EP0056549A3/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP0056549B1 publication Critical patent/EP0056549B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
    • H04R17/005—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers using a piezoelectric polymer

Definitions

  • the invention relates to transducer devices using polymer films capable of exhibiting piezoelectricity phenomena by application of a polarization field.
  • the invention applies in particular to structures composed of piezoelectric polymer films associated with other polymer films, in particular to a structure comprising at least one layer of polar polymer associated with another layer of polymer, such as for equal thickness, the mechanical response to an electrical control voltage is increased compared to that which a homogeneous film of the same polar polymer would produce.
  • Certain films of polar polymers such as polyvinyl chloride (PVC), polyvinyl fluoride (PVF), polyvinylidene fluoride (PVF 2 ) and certain polymers such as PVF 2 - PTFE (polyvinylidene fluoride - polyethylene tetrafluoride), are known to have piezoelectric properties, and find their applications in electroacoustic transducers and sensors for example.
  • PVF 2 - PTFE polyvinylidene fluoride - polyethylene tetrafluoride
  • the piezoelectric properties of these films are described by a tensorial relationship between the components P i of the polarization and the components X jk of the mechanical stresses.
  • a tensor called the tensor of the piezoelectric coefficients D ijk .
  • a piezoelectric polymer has piezoelectric coefficients that are higher as the value of the remanent polarization is high, and as its mechanical flexibility, in a direction considered, is higher .
  • K the electro transducer effect mechanical. More precisely, K 2 is equal to the ratio of the mechanical energy transformed by the piezoelectric effect, to the stored electrical energy.
  • the advantage of the invention with respect to the devices existing in the prior art lies in the maximum coupling of electrical energy, at low voltage, in order to derive the maximum of mechanical energy therefrom.
  • a monolithic device has a certain stiffness which, during an electrical excitation, counteracts the mechanical deformations and. by this fact therefore limits the piezoelectric effects perceived externally.
  • the results can be improved by increasing the value of the electrical energy given to the device.
  • this effect can be achieved by reducing the thickness of the piezoelectric film, but in this case, the mechanical resistance of the device is no longer satisfactory.
  • a device according to the invention makes it possible to maintain good mechanical strength, since the total thickness of the materials is unchanged, to significantly increase the piezoelectric effects by reducing the influence of the stiffness inherent in the piezoelectric layers used and to deliver more electrical energy to the active layers of the device.
  • the present patent application relates to a structure comprising at least one piezoelectric film in which the relative elongation per applied volt, as well as the mechanical energy supplied by applied volt, are greater than those of the homogeneous polar polymer of the same thickness.
  • the subject of the invention is an electromechanical transducer structure comprising electrodes between which an electric voltage is applied and at least one piezoelectric polymer film, characterized in that said film cooperates with at least one element having a less rigidity than that of said film; the voltage applied between said electrodes acting exclusively on said film.
  • the lifting element is a film endowed with great mechanical flexibility, metallized on its two faces.
  • the metalli sations are electrically joined so as not to create any voltage drop between the faces; on these metallizations are deposited layers of piezoelectric polymer subjected to all of the electrical voltage applied to external electrodes.
  • FIG. 1 represents the behavior, during external electrical stresses, of a transducer device according to the prior art, and of a device according to the invention.
  • a device according to the prior art is shown in the left part of the figure, that according to the invention was shown in the right part.
  • a device as it exists in the prior art, consists of a monolithic film of piezoelectric material, for example a polymer, as shown in FIG.
  • a separation line 14 which limits two layers (10 and 11) in the film.
  • a device which will be described more precisely in the following description, comprises a lifting film 1 of flexible non-piezoelectric material, sandwiched between two films of piezoelectric materials 3 and 3 ', as indicated in Figure 1h. Films 3 and 3 'are mechanically integral with film 1.
  • the piezoelectric layers work in flexion, as shown in the figure lc by a device of the prior art and in FIG. 1d by a device according to the invention, it can be seen that the overall differences in thickness of the films, as well as the differences in rigidity at the level of the separation of the different layers, allow to obtain a higher motor torque in the device according to the invention assuming that the excitation voltage is exclusively applied to the layers 3 and 3 '.
  • FIG. 2 represents an embodiment of a device according to the invention.
  • a layer of piezoelectric polymer 3 and 3 ′ is deposited, for example polyvinylidene fluoride PVF 2 .
  • Each of these layers is covered by an electrode 4 and 4 ', connected respectively by connections 5 and 5', to an electric generator delivering a voltage V.
  • the electric energy delivered by this electric generator is only supplied, through metallizations 2 and 2 ', with active layers 3 and 3'.
  • the transformed mechanical energy is greater than in a piezoelectric polymer device of the same thickness, since the capacity of the piezoelectric layers is higher, due to the reduction in thickness.
  • a symmetrical structure is adopted which provides the assembly with a stable shape during the effects of thermal expansion.
  • FIG. 3 represents an alternative embodiment of a device according to the invention in the sense that the layer 1 and the metallizations 2 and 2 ′ are replaced by a single layer of conductive polymer 6. It is indeed advantageous to replace the material metallized by a conductive polymer of the same flexibility.
  • These conductive polymers are generally prepared from an elastomer, in which particles of carbon or of metals are included: copper, silver copper ...
  • the remanent polarizations of the piezoelectric layers 3 and 3 ′ are oriented in the same direction to obtain the most intense traction and compression effects; taking into account that the electric control fields have the same direction. However, by reversing one of the polarizations one can obtain an operation in bending.
  • FIG. 4 represents a variant of FIG. 2.
  • the composite film is identical to that described above and the references are the same.
  • Figure 5 is a variant of Figure 2 under the same conditions as Figure 4.
  • This conductive polymer therefore acts as an electrode for the piezoelectric layers 3 and 3 '.
  • FIG. 6 represents the evolution of d p s characteristics of a device according to the invention. For flexion operation, it suffices to change the direction of a polarization.
  • the gain in relative elongation of a composite film compared to a homogeneous film is represented by the ordinate G of the curve of FIG. 6.
  • the magnitude on the abscissa ⁇ represents the ratio of the sum of the thicknesses of the piezoelectric films 3 and 3 ′, to the total thickness of the laminated structure.
  • the coefficient ⁇ represents the flexibility ratio of the active piezoelectric material composing the layers 3 to 3 ′, to the flexibility of elastic material, composing the layer 1 or 6.
  • FIG. 6 shows the variation of the gain as a function of the ratio of the thicknesses according to certain values of the coefficient ⁇ .
  • ⁇ the gain G is minimal whatever the value of the quantity
  • the piezoelectric layers are polyvinylidene fluoride PVF 2 deposited on the intermediate polymer by dipping. PVF 2 is dissolved in dymethyl formamide DMF in an amount of 100 to 200 g / 1.
  • the intermediate polymer film is coated by passage through a tank of PVF 2 + DMF solution. The solvent is evaporated at the temperature of 70 to 80 ° C by jets of hot air, or radiation of electrical resistances. The low temperature favors the appearance of the non-oriented y phase.
  • the film can then be stretched, by a factor of 2 to 3 at 90 - 100 ° C: phase Y is therefore transformed into oriented ⁇ phase; if the composite film is not stretched, its mechanical and piezoelectric properties will be isotropic in its plane.
  • the composite film is then metallized on its two faces, using for example the deposition of aluminum under vacuum. It is then polarized between these latter electrodes, by applying an electric field of 0.5 to 1 MV / cm in the PVF 2 layers, at 80 ° C. for a few minutes: the polarization configuration essentially depends on the results that the 'we wish to obtain.
  • the voltage generator in FIGS. 2 to 5 is then replaced by a bias voltage generator.
  • the thicknesses of the achievable piezoelectric layers are greater than or equal to 1 ⁇ m.
  • using a conductive intermediate polymer the same polymers can be used, loaded with particles of carbon or metal.
  • the flexible material has been specially described as a polymer having a low stiffness. It is also possible, without departing from the scope of the invention, to use all extensible materials such as foams for example.
  • the invention relates to all the applications of piezoelectric films and transducers, in particular electroacoustic such as speakers, headphones, various transmitters.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

L'invention se rapporte aux transducteurs piézoélectriques utilisant des films de matériaux susceptibles de présenter des effets de piézoélectricité par application d'un champ de polarisation.
L'invention a pour objet un film composite dans lequel une couche de matériau souple (1), dont les faces sont métallisées (2, 2') et réunies électriquement est enserré entre deux couches de matériau piézoélectrique (3, 3').
L'invention s'applique notamment aux matériaux polymère et couvre tous les domaines de l'électroacoustique.

Description

  • L'invention se rapporte à des dispositifs transducteurs utilisant des films de polymères susceptibles de présenter des phénomènes de piézoélectricité par application d'un champ de polarisation.
  • L'invention s'applique notamment à des structures composées de films polymères piézoélectriques associés à d'autres films polymères, en particulier à une structure comportant au moins une couche de polymère polaire associée à une autre couche de polymère, telle que à épaisseur égale, la réponse mécanique à une tension électrique de commande est accrue par rapport à celle que produirait un film homogène de même polymère polaire.
  • Certains films de polymères polaires tels que le chlorure de polyvinyle (PVC), le polyfluorure de vinyle (PVF), le polyfluorure de vinylidène (PVF2) et certains polymères comme PVF 2 - PTFE (polyfluorure de vinylidène - polytétrafluorure d'éthylène), sont connus pour présenter des propriétés piézoélectriques, et trouvent leurs applications dans des transducteurs et capteurs électroacoustiques par exemple.
  • 'D'une façon générale, les propriétés piézoélectriques de ces films sont décrites par une relation tensorielle entre les composantes Pi de la polarisation et les composantes Xjk des contraintes mécaniques. On définit alors un tenseur appelé tenseur des coefficients piézoélectriques Dijk. En première approximation, dans le cas d'une polarisation rémanente uniaxiale, un polymère piézoélectrique présente des coefficients piézoélectriques d'autant plus élevés que la valeur de la polarisation remanente est grande, et que sa souplesse mécanique, dans une direction considérée, est plus élevée.
  • Par exemple, dans le cas du polyfluorure de vinylidène, pour une polarisation rémanente de P = 6.10-2 Cm-2 perpendiculaire au film d'épaisseur 20µm, on obtient un coefficient piézoélectrique dans une direction parallèle au film de 20 pCN et un allongement relatif dans la même direction du plan du film de 10-6 par volt appliqué. On définit également, par le facteur de couplage électromécanique K, l'effet transducteur électromécanique. Plus précisément, K2 est égal au rapport de l'énergie mécanique transformée par effet piézoélectrique, à l'énergie électrique stockée.
  • Dans le cas du polyfluorure de vinylidène cité plus haut en exemple, le coefficient de couplage électromécanique vaut : K2 = 1,2 x 10-2.
  • Dans la plupart des applications de transducteurs électroacoustiques, haut parleur, écouteur, émetteur pour sonar ou échographie, la tension d'excitation disponible est limitée, mais non l'intensité.
  • L'intérêt de l'invention par rapport aux dispositifs existant dans l'art antérieur, réside, dans le couplage maximum d'énergie électrique, à basse tension, pour en tirer le maximum d'énergie mécanique.
  • En effet, un dispositif monolithique possède une certaine raideur qui, lors d'une excitation électrique, contrarie les déformations mécaniques et. limite donc, par ce fait, les effets piézoélectriques perçus extérieurement. On peut améliorer les résultats en augmentant la valeur de l'énergie électrique cédée au dispositif. Pour un même matériau piézoélectrique, cet effet peut s'effectuer en réduisant l'épaisseur du film piézoélectrique mais dans ce cas, la résistance mécanique du dispositif n'est plus satisfaisante.
  • Un dispositif conforme à l'invention permet de conserver une bonne résistance mécanique, étant donné que l'épaisseur totale des matériaux est inchangée, d'augmenter notablement les effets piézoélectriques en réduisant l'influence de la raideur inhérente aux couches piézoélectriques utilisées et de délivrer plus d'énergie électrique aux couches actives du dispositif.
  • La présente demande de brevet concerne une structure comprenant au moins un film piézoélectrique dans lequel l'allongement relatif par volt appliqué, ainsi que l'énergie mécanique fournie par volt apliqué, sont supérieurs à ceux du polymère polaire homogène de même épaisseur.
  • En conséquence, l'invention a pour objet une structure de transducteur électromécanique comprenant des électrodes entre lesquelles est appliquée une tension électrique et au moins un film polymère piézoélectrique, caractérisée en ce que ledit film coopère avec au moins un élément présentant une rigidité moindre que celle dudit film ; la tension appliquée entre lesdites électrodes agissant exclusivement sur ledit film.
  • A titre d'exemple non limitatif, l'élément sustentateur est un film doté d'une grande souplesse mécanique, métallisé sur ses deux faces. Les métallisations sont électriquement réunies afin de ne créer aucune chute de tension entre les faces ; sur ces métallisations, sont déposées des couches de polymère piézoélectrique soumises à la totalité de la tension électrique appliquée à des électrodes externes.
  • L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description suivante et des figures annexées parmi lesquelles :
    • - la figure 1 représente les comportements respectifs d'un dispositif transducteur suivant l'art antérieur et d'un dispositif suivant l'invention ;
    • - la figure 2 représente un mode de réalisation d'un dispositif conforme à l'invention ;
    • - la figure 3 représente une variante de réalisation d'un dispositif conforme à l'invention ;
    • - la figure 4 est une variante de la figure 2 ;
    • - la figure 5 est une variante de la figure 3 ;
    • - la figure 6 représente l'évolution des caractéristiques d'un dispositif selon l'invention.
  • La figure 1 représente les comportements, lors de sollicitations extérieures électriques, d'un dispositif transducteur suivant l'art antérieur, et d'un dispositif suivant l'invention.
  • Un dispositif selon l'art antérieur est représenté dans la partie gauche de la figure, celui conforme à l'invention était représenté dans la partie droite.
  • Un dispositif, tel qu'il existe dans l'art antérieur est constitué d'un film monolithique de matériau piézoélectrique, par exemple un polymère, tel que le montre la figure la. Pour visualiser les effets de déformation mécanique, on imagine une ligne de séparation 14 qui limite deux couches (10 et 11) dans le film.
  • Un dispositif conforme à l'invention, qui sera décrit plus précisémment dans la suite de la description, comporte un film sustentateur 1 de matériau souple non piézoélectrique, enserré entre deux films de matériaux piézoélectriques 3 et 3', comme il est indiqué figure lh. Les films 3 et 3' sont mécaniquement solidaires du film 1.
  • Lorsque, par l'intermédiaire d'électrodes appropriées, les couches piézoélectriques travaillent en flexion, comme il est représenté sur la figure lc par un dispositif de l'art antérieur et sur la figure ld par un dispositif selon l'invention, on voit que les différences d'épaisseur globales des films, ainsi que les différences de rigidité au niveau de la séparation des différentes couches, permettent d'obtenir un couple moteur plus important dans le dispositif selon l'invention en supposant que la tension d'excitation soit exclusivement appliquée aux couches 3 et 3'.
  • Lors d'un travail en traction compression d'un dispositif selon l'art antérieur, comme il est montré figure le, la raideur du matériau limite les effets mécaniques dûs aux excitations électriques. On peut alors songer à réduire l'épaisseur du film pour augmenter l'énergie électrique cédée, sous des valeurs de tension identique, mais dans ce cas la résistance mécanique devient insuffisante.
  • Le même effet sur un dispositif conforme à l'invention est montré figure lf. L'épaisseur des films piézoélectriques 3 et 3' peut être réduite notablement, car la résistance mécanique globale est renforcée par la présence du film sustentateur 1. L'énergie électrique cédée à ce film sustentateur doit être nulle, ce qui peut se réaliser en métallisant les surfaces de contact entre les couches 1 et 3 et les couches 1 et 3' puis en réunissant électriquement ces métallisations. Outre cette condition, il est prévu que la souplesse mécanique du film sustentateur soit inférieure à celle des polymères piézoélectriques utilisés afin que les allongements engendrés par ceux-ci ne soient pas fortement réduits par la nécessité d'allonger l'élément sustentateur.
  • La figure 2 représente un mode de réalisation d'un dispositif conforme à l'invention.
  • Une couche de matériau souple 1, qui peut être un polymère, est métallisée sur ses deux faces principales 2 et 2' réunies électriquement. Sur chacune de ces métallisations, on dépose une couche de polymère piézoélectrique 3 et 3', par exemple le polyfluorure de vinylidène PVF2. Chacune de ces couches est recouverte d'une électrode 4 et 4', reliées respectivement par les connexions 5 et 5', à un générateur électrique délivrant une tension V. L'énergie électrique délivrée par ce générateur électrique est uniquement fournie, par le biais des métallisations 2 et 2', aux couches actives 3 et 3'. A tension égale, l'énergie mécanique transformée est plus importante que dans un dispositif de polymère piézoélectrique de même épaisseur, puisque la capacité des couches piézoélectriques est plus forte, du fait de la réduction d'épaisseur. Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, on adopte une structure symétrique qui assure à l'ensemble une forme stable lors des effets de dilatation thermique.
  • La figure 3 représente une variante de réalisation d'un dispositif conforme à l'invention dans le sens où la couche 1 et les métallisations 2 et 2' sont remplacées par une couche unique de polymère conducteur 6. Il est en effet avantageux de remplacer le matériau métallisé par un polymère conducteur de même souplesse. Ces polymères conducteurs sont préparés en général à partir d'un élastomère, dans lequel sont inclues des particules de carbone, ou de métaux : cuivre, cuivre argenté...
  • Il faut noter que dans le cas des figures 2 et 3, les polarisations rémanantes des couches piézoélectriques 3 et 3' sont orientées dans le même sens pour obtenir des effets de traction compression les plus intenses ; compte-tenu que les champs électriques de commande sont de même sens. Cependant, en inversant l'une des polarisations on peut obtenir un fonctionnement en flexion.
  • La figure 4 représente une variante de la figure 2. Le film composite est identique à celui décrit plus haut et les références sont les mêmes. On peut accroître l'énergie électrique fournie pour une tension donnée V, donc l'énergie mécanique transformée, en appliquant cette tension en parallèle sur les couches piézoélectriques comme il est indiqué par l'intermédiaire des connexions 5 et 5'.
  • La figure 5 est une variante de la figure 2 dans les mêmes conditions que la figure 4. Ce polymère conducteur fait donc office d'électrode pour les couches piézoélectriques 3 et 3'.
  • Dans les dispositifs de la figure 4 et celui de la figure 5, les polarisations remanentes des couches 3 et 3' doivent être de sens contraire, par des effets de traction -compression.
  • La figure 6 représente l'évolution dps caractéristiques d'un dispositif selon l'invention. Pour un fonctionnement en flexion, il suffit de changer le sens d'une polarisation. Le gain en allongement relatif d'un film composite par rapport à un film homogène est représenté par l'ordonnée G de la courbe de la figure 6. La grandeur en abscisse φ représente le rapport de la somme des épaisseurs des films piézoélectriques 3 et 3', à l'épaisseur totale de la structure stratifiée.
  • Le coefficient σ représente le rapport de souplesse du matériau actif piézoélectrique composant les couches 3 à 3', à la souplesse de matériau élastique, composant la couche 1 ou 6.
  • La figure 6 montre la variation du gain en fonction du rapport des épaisseurs suivant certaines valeurs du coefficient σ . On constate que si o = 1, le gain G est minime quelle que soit la valeur de la grandeur
  • Les courbes sont difficilement exploitables en pratique pour les différences trop grandes entre souplesses et épaisseurs des matériaux. Elles sont alors indiquées en lignes pointillées dans ces régions.
  • Un exemple de dispositif selon l'invention peut être réalisé de la façon suivante, à titre non limitatif.
  • Les couches piézoélectriques sont du polyfluorure de vinylidène PVF 2 déposées sur le polymère intermédiaire par trempage. Le PVF2 est mis en solution dans le dyméthyl formamide DMF à raison de 100 à 200 g/1. Le film de polymère intermédiaire est enrobé par passage dans une cuve de solution PVF 2 + DMF. Le solvant est évaporé à la température de 70 à 80° C par jets d'air chaud, ou rayonnement de résistances électriques. La basse température favorise l'apparition de la phase y non orientée. Le film peut ensuite être étiré, d'un facteur 2 à 3 à 90 - 100°C : la phase Y est donc transformée en phase β orientée ; si le film composite n'est pas étiré, ses propriétés mécaniques et piézoélectriques seront isotropes dans son plan. Le film composite est ensuite métallisé sur ses deux faces, en utilisant par exemple le dépôt d'Aluminium sous vide. Il est ensuite polarisé entre ces dernières électrodes, par application d'un champ électrique de 0,5 à 1 MV/cm dans les couches de PVF2, à 80° C pendant quelques minutes : la configuration de polarisation dépend essentiellement des résultats que l'on désire obtenir. Le générateur de tension des figures 2 à 5 est alors remplacé par un générateur de tension de polarisation. Les épaisseurs de couches piézoélectriques réalisables sont supérieures ou égales à 1 µm. Dans le cas de la variante décrite, utilisant un polymère intermédiaire conducteur, on peut utiliser les mêmes polymères, chargés en particules de carbone ou de métal.
  • Le matériau souple a été spécialement décrit comme un polymère ayant une faible raideur. On peut également employer sans sortir du cadre de l'invention, tous les matériaux extensibles comme des mousses par exemple.
  • L'invention concerne toutes les applications des films piézoélectriques et des transducteurs, notamment électroacoustiques comme les haut-parleurs, écouteurs, émetteurs divers.

Claims (9)

1. Structure de transducteur électromécanique comprenant au moins deux électrodes de commande (4, 4') et au moins un film polymère piézoélectrique (3, 3'), caractérisée en ce qu'elle comporte un film sustentateur (16) accolé audit film polymère piézoélectrique ; ledit film sustentateur (16) étant fait d'un matériau non piézoélectrique ayant une rigidité mécanique inférieure à celle dudit film piézoélectrique ; l'ensemble comprenant ledit film sustentateur et ledit film polymère piézoélectrique étant disposé entre lesdites électrodes ; les faces dudit film sustentateur étant maintenues équipotentielles par un moyen électriquement conducteur.
2. Structure suivant la revendication 1, caractérisée en ce que le film - sustentateur (1, 6) est un polymère électriquement conducteur.
3. Structure suivant la revendication 1, caractérisée en ce que ledit film sustentateur (6) est une couche de matériau polymère dont les faces sont revêtues de métallisation (2, 2') électriquement interconnectées.
4. Structure suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins deux films polymères piézoélectriques (3, 3') encadrant ledit film sustentateur (1, 6) ; lesdites électrodes (4, 4') encadrant lesdits films de matériau polymère piézoélectrique (3, 3').
5. Structure suivant la revendication 4, caractérisée en ce que les polarisations rémanentes des couches piézoélectriques sont de même direction et de même sens.
6. Structure suivant la revendication 4, caractérisée en ce que les polarisations rémanentes des couches piézoélectriques sont de même direction et de sens contraire.
7. Structure suivant l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que le film polymère piézoélectrique est le polyfluorure de vinylidène.
8. Structure suivant la revendication 3, caractérisée en ce que lesdites électrodes (4, 4') sont reliées à une première borne (5) ; lesdites métallisations (2, 2') sont reliées à une seconde borne (5') ; deux films polymères piézoélectriques encadrant ledit film sustentateur et étant encadrés par lesdites électrodes.
9. Structure suivant la revendication 2, caractérisée en ce que lesdites électrodes (4, 4') sont reliées à une première borne (5) ; le polymère conducteur central (6) étant relié à une seconde borne (5') ; deux films polymères piézoélectriques encadrant ledit film sustentateur et étant encadrés par lesdites électrodes.
EP19810402050 1981-01-16 1981-12-22 Structure de transducteur électromécanique Expired EP0056549B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8100780A FR2498406A1 (fr) 1981-01-16 1981-01-16 Structure de transducteur electromecanique
FR8100780 1981-01-16

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0056549A2 true EP0056549A2 (fr) 1982-07-28
EP0056549A3 EP0056549A3 (en) 1982-08-04
EP0056549B1 EP0056549B1 (fr) 1985-03-27

Family

ID=9254236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP19810402050 Expired EP0056549B1 (fr) 1981-01-16 1981-12-22 Structure de transducteur électromécanique

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0056549B1 (fr)
JP (1) JPS57138300A (fr)
DE (1) DE3169622D1 (fr)
FR (1) FR2498406A1 (fr)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2519503A1 (fr) * 1981-12-31 1983-07-08 Thomson Csf Transducteurs piezoelectriques polymeres et procede de fabrication
EP0057982B1 (fr) * 1981-02-06 1985-12-11 EMI Limited Dispositif sensible aux ondes de pression
EP0420190A3 (en) * 1989-09-26 1992-04-22 Atochem North America, Inc. Ultrasonic contact transducer and array

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3816774A (en) * 1972-01-28 1974-06-11 Victor Company Of Japan Curved piezoelectric elements
GB1515287A (en) * 1974-05-30 1978-06-21 Plessey Co Ltd Piezoelectric transducers
GB1593271A (en) * 1976-09-21 1981-07-15 Standard Telephones Cables Ltd Electro-acoustic transducers
DE2803168C3 (de) * 1978-01-25 1982-10-21 Friedemann Dipl.-Ing. Dr. 8069 Jetzendorf Meggl Elektromechanischer Wandler

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0057982B1 (fr) * 1981-02-06 1985-12-11 EMI Limited Dispositif sensible aux ondes de pression
FR2519503A1 (fr) * 1981-12-31 1983-07-08 Thomson Csf Transducteurs piezoelectriques polymeres et procede de fabrication
EP0086922A1 (fr) * 1981-12-31 1983-08-31 Thomson-Csf Procédé de fabrication de transducteurs piézo-électriques polymères
EP0420190A3 (en) * 1989-09-26 1992-04-22 Atochem North America, Inc. Ultrasonic contact transducer and array

Also Published As

Publication number Publication date
EP0056549A3 (en) 1982-08-04
EP0056549B1 (fr) 1985-03-27
FR2498406A1 (fr) 1982-07-23
DE3169622D1 (en) 1985-05-02
JPS57138300A (en) 1982-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0168313B1 (fr) Transducteur piézoélectrique et capteur de pression utilisant un tel transducteur
EP0086922B1 (fr) Procédé de fabrication de transducteurs piézo-électriques polymères
FR2645349A1 (fr) Structure piezoelectrique stratifiee et procede pour sa formation
FR2496380A1 (fr) Dispositif piezoresistif a commande electrique
JP3093849B2 (ja) 可撓性積層圧電素子
CA1124373A (fr) Detecteur pyroelectrique dans l'infrarouge
EP3443602B1 (fr) Generateur d'electricite comprenant un convertisseur magneto-electrique
EP2673873A1 (fr) Dispositif de conversion d'energie mecanique en energie electrique optimise
FR3082997A1 (fr) Procede de transfert de couche(s) de materiau depuis un premier substrat sur un deuxieme substrat
FR3029815A1 (fr) Hydrophone piezoelectrique a perforations et antenne comprenant une pluralite d'hydrophones
CH656010A5 (fr) Dispositif miniature sensible au champ magnetique et appareil de mesure du champ magnetique comportant un tel dispositif.
FR2730853A1 (fr) Procede pour polariser une feuille de materiau ferroelectrique de grande surface
FR2556165A1 (fr) Reseau d'hydrophones en polymere a couches multiples
EP0056549B1 (fr) Structure de transducteur électromécanique
FR3012702A1 (fr) Convertisseur d'une variation d'energie a recuperer en une difference de potentiels
EP0375570B1 (fr) Dispositif d'absorption des vibrations comportant un élément piézoélectrique
EP3598512A1 (fr) Dispositif de detection pyroelectrique a membrane suspendue contrainte
EP2251919B1 (fr) Transistor organique à effet de champ
FR2701188A1 (fr) Procédé de fabrication de composant piézoélectrique.
FR2836552A1 (fr) Capteur d'acceleration
FR3087007A1 (fr) Dispositif de detection pyroelectrique a membrane rigide
FR3083004A1 (fr) Dispositif transducteur piezoelectrique et procede de realisation d'un tel dispositif
FR2965991A1 (fr) Dispositif acoustique d'isolation galvanique
FR2511571A1 (fr) Transducteur electroacoustique a condensateur a dielectrique solide polarise
EP2198312B1 (fr) Dispositif electrostatique d'amortissement d'un mouvement de vibrations mecaniques d'un mobile resonant

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE GB NL SE

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE GB NL SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19820823

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE GB NL SE

REF Corresponds to:

Ref document number: 3169622

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19850502

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Effective date: 19851223

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Effective date: 19860701

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee
NLV4 Nl: lapsed or anulled due to non-payment of the annual fee
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19860902

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Effective date: 19881121

EUG Se: european patent has lapsed

Ref document number: 81402050.9

Effective date: 19860902