EP0123860A3 - Elektronenenergie-Analysator mit Vielkanaldetektor - Google Patents

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EP0123860A3
EP0123860A3 EP84102967A EP84102967A EP0123860A3 EP 0123860 A3 EP0123860 A3 EP 0123860A3 EP 84102967 A EP84102967 A EP 84102967A EP 84102967 A EP84102967 A EP 84102967A EP 0123860 A3 EP0123860 A3 EP 0123860A3
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analyzer
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grid
gap
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EP84102967A
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Rene Dr. Franchy
Harald Prof. Dr. Ibach
Heinz-Dieter Bruchmann
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Forschungszentrum Juelich GmbH
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Forschungszentrum Juelich GmbH
Kernforschungsanlage Juelich GmbH
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    • H01J49/48—Static spectrometers using electrostatic analysers, e.g. cylindrical sector, Wien filter
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Abstract

Bei einem Elektronenenergie-Analysator, bei dem die über einen Eingangsspalt in das energiedispersive System gelangenden Elektronen am Ausgang desselben mit einem mit Kanalplatten arbeitenden Vielkanaldetektor simultan analysiert werden, wird der Störpegel durch ein Spalt/­ Gitter-System am Ausgang des Analysators herabgesetzt. Dieses umfaßt ein auf das Potential des Eingangsspalts zu bringendes, möglichst feinmaschiges Gitter (3) am Ausgang des Analysators, das in möglichst geringem Abstand von der oder den Kanalplatte(n) (4) angeordnet ist sowie ein ausblendende Gittermaske, deren Ausblendung der Strahl­ dimension und dem Abstand der Elektroden (2) im Analysa­ tor entspricht. Das Gitter wird auf ein ausreichendes Poten­ tial zum Absaugen von an der Kanalplattenfläche entste­ henden Streuelektronen gebracht. Vorzugsweise wird bei einem Detektor mit Widerstandsplatte (6) am Ausgang der Kanalplatte(n) (4) eine Spalt-Maske (5) zwischen Wider­ standsplatte und Kanalplatte(n) vorgesehen, deren Spaltflä­ che der freien Fläche der Gitter-Maske entspricht.
EP84102967A 1983-03-26 1984-03-17 Elektronenenergie-Analysator mit Vielkanaldetektor Withdrawn EP0123860A3 (de)

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DE3311195 1983-03-26
DE19833311195 DE3311195A1 (de) 1983-03-26 1983-03-26 Elektronenenergie-analysator mit vielkanaldetektor

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EP0123860A2 EP0123860A2 (de) 1984-11-07
EP0123860A3 true EP0123860A3 (de) 1986-01-15

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DE (1) DE3311195A1 (de)

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Inventor name: FRANCHY, RENE, DR.

Inventor name: IBACH, HARALD, PROF. DR.

Inventor name: BRUCHMANN, HEINZ-DIETER