EP0359336A3 - Vorrichtung zur Mikrowellenübertragung - Google Patents

Vorrichtung zur Mikrowellenübertragung Download PDF

Info

Publication number
EP0359336A3
EP0359336A3 EP19890202301 EP89202301A EP0359336A3 EP 0359336 A3 EP0359336 A3 EP 0359336A3 EP 19890202301 EP19890202301 EP 19890202301 EP 89202301 A EP89202301 A EP 89202301A EP 0359336 A3 EP0359336 A3 EP 0359336A3
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
waveguide
microwave transmission
areas
decoupling
microwave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP19890202301
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0359336A2 (de
EP0359336B1 (de
Inventor
Georg Dr. Gärtner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Philips Intellectual Property and Standards GmbH
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Patentverwaltung GmbH
Philips Gloeilampenfabrieken NV
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Philips Patentverwaltung GmbH, Philips Gloeilampenfabrieken NV, Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Philips Patentverwaltung GmbH
Publication of EP0359336A2 publication Critical patent/EP0359336A2/de
Publication of EP0359336A3 publication Critical patent/EP0359336A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0359336B1 publication Critical patent/EP0359336B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/30—Auxiliary devices for compensation of, or protection against, temperature or moisture effects ; for improving power handling capability

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Waveguide Connection Structure (AREA)
  • Other Liquid Machine Or Engine Such As Wave Power Use (AREA)

Abstract

Die Mikrowellenübertragung zwischen Hohlleiterbereichen (a, b) verschiedenen Innengasdrucks und/oder unterschiedlicher Füllgaszusammensetzung, d.h. das Ein- oder Auskoppeln von Mikrowellen von einem derartigen Hohlleiterbereich in einen anderen, wird dadurch verbessert, daß zwischen den Hohlleiterbereichen (a, b) mindestens eine Pumpstufe (6, 7, 8, 9) angeordnet ist. Ein Hohlleiter (1) zwischen Hohlleiterbereichen (a, b), ist vorzugsweise über die Mikrowellenleistung praktisch nicht auskoppelnde Schlitze (2, 3, 4, 5) mit den Pumpstufen (6, 7, 8, 9) verbunden.
EP89202301A 1988-09-16 1989-09-13 Vorrichtung zur Mikrowellenübertragung Expired - Lifetime EP0359336B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3831453 1988-09-16
DE3831453A DE3831453A1 (de) 1988-09-16 1988-09-16 Vorrichtung zur mikrowellenuebertragung

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0359336A2 EP0359336A2 (de) 1990-03-21
EP0359336A3 true EP0359336A3 (de) 1991-03-27
EP0359336B1 EP0359336B1 (de) 1995-12-06

Family

ID=6363043

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP89202301A Expired - Lifetime EP0359336B1 (de) 1988-09-16 1989-09-13 Vorrichtung zur Mikrowellenübertragung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5028897A (de)
EP (1) EP0359336B1 (de)
JP (1) JPH02147847A (de)
DE (2) DE3831453A1 (de)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19529760C1 (de) * 1995-08-12 1996-11-14 Alcatel Kabel Ag Anordnung zur Übertragung von Hochfrequenz-Energie
EP1087458A3 (de) * 1999-09-17 2002-08-07 Spinner GmbH Elektrotechnische Fabrik Bandpassfilter
JP4636663B2 (ja) * 2000-10-11 2011-02-23 四国計測工業株式会社 高温高圧容器への化学反応促進用マイクロ波供給装置
DE102011111884B3 (de) * 2011-08-31 2012-08-30 Martin Weisgerber Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung von thermodynamisch kaltem Mikrowellenplasma
DE102012204447B4 (de) * 2012-03-20 2013-10-31 Forschungsverbund Berlin E.V. Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines Plasmas
US9928993B2 (en) 2015-01-07 2018-03-27 Applied Materials, Inc. Workpiece processing chamber having a rotary microwave plasma antenna with slotted spiral waveguide

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2407069A (en) * 1942-09-15 1946-09-03 Gen Electric Dielectric wave guide system
GB644749A (en) * 1948-09-08 1950-10-18 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to electromagnetic wave guides
DE1031383B (de) * 1956-04-19 1958-06-04 Philips Nv Vorrichtung zum Ventilieren eines Wellenleitersystems
US4688007A (en) * 1985-09-03 1987-08-18 The Johns Hopkins University Air inlet for internal cooling of overmoded waveguide
EP0252548A1 (de) * 1986-07-05 1988-01-13 Philips Patentverwaltung GmbH Verfahren zur Herstellung von elektrisch leitenden Formkörpern durch plasmaaktivierte chemische Abscheidung aus der Gasphase

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3287674A (en) * 1964-07-16 1966-11-22 Jr George H Stiegler Pressurized waveguide shut-off
US3778799A (en) * 1972-03-28 1973-12-11 Cables De Lyon Geoffroy Delore Safety device for pipe lines under gas pressure
US4286240A (en) * 1979-12-03 1981-08-25 Varian Associates, Inc. Circular electric mode microwave window

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2407069A (en) * 1942-09-15 1946-09-03 Gen Electric Dielectric wave guide system
GB644749A (en) * 1948-09-08 1950-10-18 Standard Telephones Cables Ltd Improvements in or relating to electromagnetic wave guides
DE1031383B (de) * 1956-04-19 1958-06-04 Philips Nv Vorrichtung zum Ventilieren eines Wellenleitersystems
US4688007A (en) * 1985-09-03 1987-08-18 The Johns Hopkins University Air inlet for internal cooling of overmoded waveguide
EP0252548A1 (de) * 1986-07-05 1988-01-13 Philips Patentverwaltung GmbH Verfahren zur Herstellung von elektrisch leitenden Formkörpern durch plasmaaktivierte chemische Abscheidung aus der Gasphase

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
INSTRUMENTS AND CONTROL SYSTEMS. vol. 38, no. 9, September 1965, RADNOR US Seiten 135 - 139; H.D.BAUMANN: "Why limit outlet velocities in reducing valves? " *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 10, no. 104 (E-397)(2161) 19 April 1986, & JP-A-60 244102 (MITSUBISHI DENKI K.K.) 04 Dezember 1985, *

Also Published As

Publication number Publication date
DE58909526D1 (de) 1996-01-18
US5028897A (en) 1991-07-02
EP0359336A2 (de) 1990-03-21
EP0359336B1 (de) 1995-12-06
DE3831453A1 (de) 1990-03-22
JPH02147847A (ja) 1990-06-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3679609D1 (de) Kopplungsvorrichtung zwischen einem metallhohlleiter, einem dielektrischen wellenleiter und einem halbleiterelement und mischer mit solcher vorrichtung.
DE19636890C1 (de) Übergang von einem Hohlleiter auf eine Streifenleitung
DE68912963D1 (de) Integrierter Hochfrequenzschaltkreis des Planartyps mit mindestens einem Mesa Bauelement, und sein Herstellungsverfahren.
EP0107061A2 (de) Informationskarte und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE69007968D1 (de) Derivate von polyhydroxylierten molekülen, welche die einführung von mindestens einer verzweigung in ein oligonukleotid erlauben.
ATA242287A (de) Verzahnung zur loes- und verschiebbaren verbindung sowie drehmomentuebertragung zwischen zwei koaxial ineinander angeordneten bauteilen
EP0211019B1 (de) Aus wenigstens zwei teilen bestehendes gehäuse
DE58905785D1 (de) Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen gewindestufe.
EP0359336A3 (de) Vorrichtung zur Mikrowellenübertragung
CA2300937A1 (en) Waveguide filter
DE3874467D1 (de) Monolithischer mikrowellen-phasenschieber mit mehreren ausgaengen, zwischen welchen in einem grossen frequenzbereich eine konstante phasendifferenz erhalten wird.
DE3685538D1 (de) Integrierende regelung einer abhaengigen variablen in einem system mit mindestens zwei unabhaengigen variablen, die die abhaengige variable beeinflussen.
DE3771648D1 (de) Halbleiterbauelement mit mindestens einem leistungs-mosfet.
DE69020691D1 (de) Schnittstellenschaltung zwischen einem Mikroprozessor und mehreren Leistungsstufen, insbesondere zur Steuerung von Elektroeinspritzern.
EP0356611B1 (de) Bestrahlungsgerät
EP0279910A3 (de) Pumpe mit modularem Aufbau
DE59300837D1 (de) Vorrichtung zur Leistungregelung von wenigstens zwei hydrostatischen Verstellpumpen.
EP0646729A1 (de) Als Blechformteil ausgebildete Leiteinrichtung
DE59802577D1 (de) Fliessfähige mehrkomponentengemische zur wachstumsförderung der erdreich-mikroorganismenflora und ihrer anwendung
EP0268778A3 (de) Sichtgeräte in Modulbauweise für Kampfwagen
EP0099443A3 (de) Hochdruckautoklav
EP1130341A3 (de) Anschlussvorrichtung für eine Heizungspumpe
DE3764040D1 (de) 1,4-distryrylbenzolverbindungen und deren mischungen mit anderen 1,4-distryrylbenzolverbindungen.
EP0380050A3 (de) Anordnung des Stators von exzentrischen Spiralpumpen
EP0243764A3 (de) Einrichtung zum Einleiten von Gasen

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): DE FR GB IT SE

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): DE FR GB IT SE

17P Request for examination filed

Effective date: 19910923

17Q First examination report despatched

Effective date: 19930811

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FR GB IT SE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRE;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.SCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 19951206

Ref country code: GB

Effective date: 19951206

Ref country code: FR

Effective date: 19951206

REF Corresponds to:

Ref document number: 58909526

Country of ref document: DE

Date of ref document: 19960118

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Effective date: 19960306

EN Fr: translation not filed
GBV Gb: ep patent (uk) treated as always having been void in accordance with gb section 77(7)/1977 [no translation filed]

Effective date: 19951206

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Effective date: 19970603