EP0590193A1 - Ultraschall-Wandleranordnung mit einer akustischen Anpassungsschicht - Google Patents

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EP0590193A1
EP0590193A1 EP92116764A EP92116764A EP0590193A1 EP 0590193 A1 EP0590193 A1 EP 0590193A1 EP 92116764 A EP92116764 A EP 92116764A EP 92116764 A EP92116764 A EP 92116764A EP 0590193 A1 EP0590193 A1 EP 0590193A1
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EP
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acoustic
ultrasonic transducer
transducer
transducer arrangement
adaptation layer
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EP92116764A
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Clemens Dr. Ing. Fiebiger
Erhard Ing. Grad. Schmidt
Karl Dipl.-Phys. Prestele
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Siemens AG
Siemens Corp
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Siemens AG
Siemens Corp
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/067—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface which is used as, or combined with, an impedance matching layer
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators

Definitions

  • the invention relates to an ultrasound transducer arrangement with an electroacoustic transducer part and at least one acoustic adaptation layer arranged in a sound path.
  • adaptation layers are used in order to reduce reflections at the interfaces of two materials with different acoustic impedance in the sound path or in the direction of sound emission and / or sound reception outside of an object to be examined, or to transmit the sound energy from the transducer part to a medium to be examined and back with as little loss as possible .
  • at least one adaptation layer is arranged between the two materials.
  • adaptation layers are used to acoustically adapt the electroacoustic transducer part to an examination object.
  • an acoustic sump or damping body can also be adapted to the transducer part directly or with at least one adaptation layer.
  • Adaptation layers made of a synthetic resin such as Epoxy resin, in which the smallest particles of a mineral or metallic material are embedded.
  • the acoustic impedance of the matching layer is essentially dependent on the amount and the material of the added particles.
  • a uniform distribution of the particles in the synthetic resin cannot always be achieved over larger volume ranges.
  • the reproducibility of the function-determining acoustic properties is limited.
  • u. U. Inhomogeneities and imperfections have to be accepted.
  • Many suitable resins are also sensitive to external influences, in particular they swell when exposed to moisture. As a result, there is a risk that the adhesive surfaces of the matching layers become detached.
  • the invention is based on the object of specifying an acoustic adaptation layer which is insensitive to external influences and whose function-determining acoustic properties are easily reproducible.
  • the acoustic adaptation layer consists of a paracrystalline carbon.
  • Paracrystalline carbon also known as amorphous carbon, has the type of crystallinity that produces diffuse X-ray reflections due to the smallness of the strictly periodic areas. That is why it is also called X-ray amorphous.
  • Paracrystalline carbon is insensitive to external influences, in particular water absorption and water permeability are negligible. Due to the largely homogeneous and pore-free structure, the function-determining acoustic properties easily reproducible.
  • paracrystalline carbon is electrically conductive, this property can be used for contacting the converter part or for shielding purposes. A relatively high sound velocity of this material leads, particularly at high frequencies of the order of 5 to 10 MHz, to greater, ie also easier to handle, thicknesses of the adaptation layer.
  • the acoustic transducer part comprises a polarized piezoceramic.
  • Polarized piezoceramic has a relatively high acoustic impedance on the order of 35 MRayl.
  • the speed of sound and the attenuation of the paracrystalline carbon are reproducible within narrow limits and specified by the production. These properties result in an acoustic impedance of approx. 7 MRayl. It is therefore well suited for matching layers that connect the piezoceramic acoustic transducer part to a medium with low acoustic impedance in the order of 1.5 MRayl, such as Water or body tissues.
  • the electroacoustic transducer part is designed for medical applications.
  • Medical use is understood to mean both a therapeutic and a diagnostic use.
  • Paracrystalline carbon has particularly favorable acoustic properties for this adaptation problem, the wave resistance and the speed of sound are in a favorable range.
  • the negligible sound attenuation of the paracrystalline carbon is advantageous for medical applications.
  • the acoustic adaptation layer borders directly on a radiating surface of the transducer part.
  • a combination of piezoceramic and paracrystalline carbon is particularly advantageous because the coefficients of thermal expansion of the piezoceramic and paracrystalline carbon are approximately the same. This ensures a high alternating load resistance of the transducer arrangement, which is of particular importance in the case of power transducers for therapeutic purposes.
  • the electrical conductivity of paracrystalline carbon is used for contacting and / or for shielding.
  • the paracrystalline carbon is a glass-like carbon.
  • Glassy carbon is available under various trade names with wall thicknesses up to 4 mm in many desired shapes.
  • the ultrasonic transducer arrangement 4 comprises an electroacoustic transducer part 8.
  • the electroacoustic transducer part 8 consists of a round piezoelectric ceramic disk 10 which is provided with electrodes 12 and 13 on opposite flat sides.
  • the piezoelectric ceramic disk 10 has an acoustic impedance of approximately 35 MRayl.
  • the high acoustic impedance of the transducer part 8 is matched to an ultrasound propagation medium 14 with an acoustic matching layer 16. Water with an acoustic impedance of approximately 1.5 MRayl is used here as the ultrasound propagation medium 14.
  • the acoustic matching layer 16 consists of a glassy carbon, such as e.g. is sold under the name SIGRADUR-K.
  • the acoustic adaptation layer 16, like the transducer part 8, is designed as a round disk.
  • the adaptation layer 16 is electrically conductively connected to the electrode 13 of the electroacoustic transducer part 8, for example by soldering or gluing.
  • the diameter of the acoustic adaptation layer 16 is larger here than the diameter of the electroacoustic transducer part 8, so that the ultrasound transducer arrangement can be placed from the outside onto a projection 18 running around the opening 6. Since the vitreous carbon is impermeable to water and gases, an edge seal 20 made of silicone material arranged on the side of the adaptation layer 16 is sufficient to prevent the liquid ultrasound propagation medium 14 from penetrating into the interior of the housing 2.
  • the electrical conductivity of the acoustic adaptation layer 16 enables electrodes to be easily contacted when the adaptation layer 16 is directly adjacent to the transducer part 8.
  • the acoustic adaptation layer 16 is used here to contact the electrode 13 lying in the radiation direction via the housing 2.
  • an electrical connection 24 is connected directly to the electrode 12 and a second electrical connection 26 to the housing 2, which is connected to the electrode 13 in an electrically conductive manner via the acoustic adaptation layer 16.
  • the electroacoustic transducer part 8 consists of a transducer array 30, which consists of a plurality of similar piezoelectric ceramic cuboids arranged next to one another.
  • the ceramic blocks are each with an opposite side Provide electrodes 12 and 13.
  • the electrodes 12 are each individually connected to electrical connections (not shown here).
  • the elementary transducers thus formed from the ceramic cuboids can be activated individually, so that an examination object 32 can be scanned electronically with ultrasound beams in order to produce a sectional image.
  • the acoustic impedance of the examination object, i.e. body tissue, is around 1.5 MRayl.
  • the electrodes 12 of all elementary transducers are connected to a damping body 34 which ensures that the elementary transducers briefly decay and decay.
  • the damping body 34 can also be acoustically adapted to the piezoelectric ceramic material of the transducer array 30 via an adaptation layer made of glass-like carbon.
  • an adaptation layer 16 made of vitreous carbon is arranged for acoustic adaptation, the thickness of which is approximately a quarter of the wavelength of an ultrasonic wave in the adaptation layer 16.
  • the adaptation layer 16 is glued directly to the electrodes 13 and additionally serves for the acoustic adaptation of the common electrical signal supply on the radiation side.
  • a thin plastic layer 36 covers the adaptation layer 16 in order to achieve a further broadband adaptation to body tissue in the case of medical diagnostic converters.

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Abstract

Bei einer Ultraschall-Wandleranordnung (4) mit einem elektroakustischen Wandlerteil (8,30) und mindestens einer in einem Schallweg angeordneten akustischen Anpassungsschicht (16) besteht die akustische Anpassungsschicht (16) aus einem parakristallinen Kohlenstoff. <IMAGE>

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Ultraschall-Wandleranordnung mit einem elektroakustischen Wandlerteil und mindestens einer in einem Schallweg angeordneten akustischen Anpassungsschicht.
  • In der Ultraschalltechnik werden Anpassungsschichten verwendet, um im Schallweg oder in Schallabstrahlungs- und/oder Schallempfangsrichtung außerhalb eines Untersuchungsobjekts Reflexionen an Grenzflächen zweier Materialien mit unterschiedlicher akustischer Impedanz zu verringern bzw. um die Schallenergie möglichst verlustfrei von Wandlerteil in ein zu untersuchendes Medium und zurück zu übertragen. Dazu wird mindestens eine Anpassungsschicht zwischen den beiden Materialien angeordnet. In der Praxis werden Anpassungsschichten zur akustischen Anpassung des elektroakustischen Wandlerteils an ein Untersuchungsobjekt verwendet. Zusätzlich kann auch ein akustischer Sumpf oder Dämpfungskörper direkt oder mit mindestens einer Anpassungsschichten an den Wandlerteil angepaßt werden.
  • Eine Ultraschall-Wandleranordnung der eingangs genannten Art ist in der US-PS 4 717 851 beschrieben. Zur akustischen Anpassung des elektroakustischen Wandlerteils an ein Untersuchungsobjekt oder ein akustisches Fortpflanzungsmedium werden Anpassungsschichten im Schallweg angeordnet, deren akustische Impedanz zwischen der des Wandlerteils und der des Untersuchungsobjekts oder Fortpflanzungsmediums liegt.
  • Üblich sind Anpassungsschichten aus einem Kunstharz, wie z.B. Epoxidharz, worin kleinste Teilchen eines mineralischen oder metallischen Materials eingebettet sind. Die akustische Impedanz der Anpassungsschicht ist dabei im wesentlichen abhängig von der Menge und dem Material der hinzugefügten Teilchen. Es kann jedoch nicht in jedem Fall über größere Volumenbereiche eine gleichmäßige Verteilung der Teilchen im Kunstharz erreicht werden. Dadurch ist die Reproduzierbarkeit der funktionsbestimmenden akustischen Eigenschaften begrenzt. Hinzu kommt, daß u. U. Inhomogenitäten und Störstellen in Kauf genommen werden müssen. Viele an sich geeignete Harze sind außerdem empfindlich gegen äußere Einflüsse, insbesondere quellen sie bei Feuchtigkeitseinwirkungen. Dadurch besteht die Gefahr, daß sich Klebeflächen der Anpassungsschichten ablösen.
  • Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine akustische Anpassungsschicht anzugeben, die unempfindlich gegen äußere Einflüsse ist und deren funktionsbestimmende akustische Eigenschaften gut reproduzierbar sind.
  • Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die akustische Anpassungsschicht aus einem parakristallinen Kohlenstoff besteht. Parakristalliner Kohlenstoff, der auch als amorpher Kohlenstoff bezeichnet wird, besitzt jene Art von Kristallinität, die wegen der Kleinheit der strikt periodischen Bereiche diffuse Röntgenreflexe erzeugt. Deshalb wird er auch als röntgenamorph bezeichnet. Parakristalliner Kohlenstoff ist unempfindlich gegen äußere Einflüsse, insbesondere sind die Wasseraufnahme und Wasserpermeabilität vernachlässigbar. Durch die weitgehend homogene und porenfreie Struktur sind die funktionsbestimmenden akustischen Eigenschaften gut reproduzierbar. Zudem ist parakristalliner Kohlenstoff elektrisch leitfähig, diese Eigenschaft kann zur Kontaktierung des Wandlerteils oder zu Abschirmzwecken genutzt werden. Eine relativ hohe Schallgeschwindikgeit dieses Materials führt insbesondere bei hohen Frequenzen in der Größenordnung von 5 bis 10 MHz zu größeren, d.h. auch besser handhabbaren Dicken der Anpassungsschicht.
  • Eine vorteilhafte Ausgestaltung zeichnet sich dadurch aus, daß der akustische Wandlerteil eine polarisierte Piezokeramik umfaßt. Polarisierte Piezokeramik besitzt eine relativ hohe akustische Impedanz in der Größenordnung von 35 MRayl. Die Schallgeschwindigkeit und die Dämfung des parakristallinen Kohlenstoffs sind in engen Grenzen reproduzierbar und durch die Herstellung vorgegeben. Aufgrund dieser Eigenschaften ergibt sich eine akustische Impedanz von ca. 7 MRayl. Damit eignet er sich gut für Anpassungsschichten, die den piezokeramischen akustischen Wandlerteil an ein Medium mit niedriger akustischer Impedanz in der Größenordnung von 1,5 MRayl, wie z.B. Wasser oder Körpergewebe, anpassen sollen.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist der elektroakustische Wandlerteil für medizinische Anwendungen ausgebildet. Unter medizinischer Anwendung ist sowohl eine therapeutische wie eine diagnostische Verwendung zu verstehen. Parakristalliner Kohlenstoff weist für dieses Anpassungsproblem besonders günstige akustische Eigenschaften auf, der Wellenwiderstand und die Schallgeschwindigkeit liegen in einem günstigen Bereich. Insbesondere die vernachlässigbar geringe Schalldämpfung des parakristallinen Kohlenstoffs ist für medizinische Anwendungen vorteilhaft.
  • Bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung grenzt die akustische Anpassungsschicht unmittelbar an eine abstrahlende Oberfläche des Wandlerteils. Dabei ist eine Kombination von Piezokeramik und parakristallinem Kohlenstoff insbesondere deshalb vorteilhaft, weil die thermischen Ausdehnungskoeffizienten der Piezokeramik und des parakristallinen Kohlenstoffs ungefähr gleich sind. Damit ist eine hohe Wechsellastfestigkeit der Wandleranordnung gegeben, die bei Leistungsschallwandlern für Therapiezwecke von besonderer Bedeutung ist. Zusätzlich wird die elektrische Leitfähigkeit von parakristallinen Kohlenstoff für die Kontaktierung und/oder für eine Abschirmung ausgenutzt.
  • Bei einer weiteren, vorteilhaften Ausgestaltung ist der parakristalline Kohlenstoff ein glasartiger Kohlenstoff. Glasartiger Kohlenstoff ist unter verschiedenen Handelsbezeichnungen mit Wandstärken bis zu 4 mm in vielen gewünschten Formen erhältlich.
  • Zwei Ausführungsbeispiele werden im folgenden anhand von zwei Figuren erläutert. Es zeigen:
    • FIG 1
    eine Ultraschall-Wandleranordnung mit einem Einzelwandler für therapeutische Anwendungen und
    FIG 2
    eine Ultraschall-Wandleranordnung mit einem Wandlerarray zu Diagnosezwecken.
  • In beiden Ausführungsbeispielen, also sowohl für die therapeutische Ultraschall-Wandleranordnung nach FIG 1 als auch für die diagnostische Ultraschall-Wandleranordnung nach FIG 2 ist ein glasartiger Kohlenstoff benutzt, der unter der Bezeichnung SIGRADUR-K von der Firma Sigri in Meitingen oder unter der Bezeichnung "Glassy Carbon" von der Fa. Tokai Carbon Co., Ltd. Tokyo, Japan hergestellt und vertrieben wird. Die für die Anwendung als akustische Anpassungsschicht relevanten Materialdaten von Glassy Carbon bei einer Materialdichte von 1 mm sind:
    Dichte: 1,54 g/cm³
    Akustische Impedanz: 7,2 MRayl
    Schallgeschwindigkeit: 4,7 km/s
    mechanische Güte: > 500
    Thermischer Ausdehnungskoeffizent: 3,5 ppm/K
    Spezifischer elektrischer Widerstand: 50 Ohm µm.
  • In FIG 1 ist in einer Schnittdarstellung ein Teil eines Metallgehäuses 2 dargestellt, worin eine Ultraschall-Wandleranordnung 4 für Therapiezwecke in einer Öffnung 6 befestigt ist. Die Ultraschall-Wandleranordnung 4 umfaßt einen elektroakustischen Wandlerteil 8. Der elektroakustische Wandlerteil 8 besteht aus einer runden piezoelektrische Keramikscheibe 10, die an gegenüberliegenden Flachseiten jeweils mit einer Elektrode 12 und 13 versehen ist. Die piezoelektrische Keramikscheibe 10 besitzt eine akustische Impedanz von ungefähr 35 MRayl. In einer Schallabstrahlrichtung ist die hohe akustische Impedanz des Wandlerteils 8 an ein Ultraschall-Fortpflanzungsmedium 14 mit einer akustischen Anpassungsschicht 16 angepaßt. Als Ultraschall-Fortpflanzungsmedium 14 dient hier Wasser mit einer akustischen Impedanz von ungefähr 1,5 MRayl. Die akustische Anpassungsschicht 16 besteht aus einem Glaskohlenstoff, wie er z.B. unter der Bezeichnung SIGRADUR-K vertrieben wird. Die akustische Anpassungsschicht 16 ist ebenso wie der Wandlerteil 8 als runde Scheibe ausgebildet.
  • Die Anpassungsschicht 16 ist vollflächig mit der Elektrode 13 des elektroakustischen Wandlerteils 8 elektrisch leitfähig verbunden, z.B. durch Löten oder Kleben.
  • Der Durchmesser der akustischen Anpassungsschicht 16 ist hier größer als der Durchmesser des elektroakustischen Wandlerteils 8, so daß die Ultraschall-Wandleranordnung von außen auf einen in der Öffnung 6 umlaufenden Vorsprung 18 aufgesetzt werden kann. Da der glasartige Kohlenstoff undurchlässig ist gegen Wasser und Gase, genügt eine seitlich an der Anpassungsschicht 16 angeordnete Randabdichtung 20 aus Silikonmasse um zu verhindern, daß das flüssige Ultraschall-Fortpflanzungsmedium 14 in das Innere des Gehäuses 2 eindringen kann.
  • Die elektrische Leitfähigkeit der akustischen Anpassungsschicht 16 ermöglicht eine einfache Kontaktierung von Elektroden, wenn die Anpassungsschicht 16 unmittelbar an den Wandlerteil 8 angrenzt. So wird hier die akustische Anpassungsschicht 16 benutzt, die in Abstrahlrichtung liegende Elektrode 13 über das Gehäuse 2 zu kontaktieren. Eine Kontaktstelle 22, die durch die Auflagefläche der Anpassungsschicht 16 auf dem Vorsprung 8 gebildet ist, stellt die leitende Verbindung zum Gehäuse 2 her. Um dem elektroakustischen Wandlerteil 8 ein Anregungssignal zuführen zu können, ist ein elektrischer Anschluß 24 direkt mit der Elektrode 12 und ein zweiter elektrischer Anschluß 26 mit dem Gehäuse 2 verbunden, das über die akustische Anpassungsschicht 16 elektrisch leitfähig mit der Elektrode 13 verbunden ist.
  • Bei der in FIG 2 in einem Längsschnitt gezeigten Ultraschall-Wandleranordnung 4 besteht der elektroakustische Wandlerteil 8 aus einem Wandlerarray 30, das aus einer Vielzahl von gleichartigen, nebeneinander angeordneten piezoelektrischen Keramikquadern besteht. Die Keramikquader sind an gegenüberliegenden Seiten jeweils mit einer Elektrode 12 und 13 versehen. Die Elektroden 12 sind jeweils einzeln mit elektrischen Anschlüssen verbunden (hier nicht gezeigt). Die so aus den Keramikquadern gebildeten Elementarwandler lassen sich individuell aktivieren, so daß ein Untersuchungsobjekt 32 elektronisch zur Erstellung eines Schnittbildes mit Ultraschallstrahlen abgetastet werden kann. Die akustische Impedanz des Untersuchungsobjekts, also von Körpergewebe, liegt in der Größe von 1,5 MRayl.
  • Die Elektroden 12 aller Elementarwandler sind mit einem Dämpfungskörper 34 verbunden, der ein kurzes An- und Abklingen der Elementarwandler sicherstellt. Je nach verwendetem Material für den Dämpfungskörper 34 kann auch der Dämpfungskörper 34 über eine Anpassungsschicht aus glasartigem Kohlenstoff akustisch an das piezoelektrische Keramikmaterial des Wandlerarrays 30 angepaßt sein.
  • Im Schallweg zwischen dem Wandlerarray 30 und dem Untersuchungsobjekt 32 ist zur akustischen Anpassung eine Anpassungsschicht 16 aus glasartigem Kohlenstoff angeordnet, deren Dicke ungefähr ein Viertel der Wellenlänge einer Ultraschallwelle in der Anpassungsschicht 16 beträgt. Die Anpassungsschicht 16 ist unmittelbar mit den Elektroden 13 verklebt und dient zusätzlich zur akustischen Anpassung der gemeinsamen elektrischen Signalzuführung auf der Abstrahlseite. Eine dünne Kunststoffschicht 36 bedeckt die Anpassungsschicht 16, um im Falle medizinisch diagnostischer Wandler eine weitere möglichst breitbandige Anpassung an Körpergewebe zu erreichen.

Claims (7)

  1. Ultraschall-Wandleranordnung mit einem elektroakustischen Wandlerteil (8,30) und mindestens einer in einem Schallweg angeordneten akustischen Anpassungsschicht, dadurch gekennzeichnet, daß die akustische Anpassungsschicht (16) aus einem parakristallinen Kohlenstoff besteht.
  2. Ultraschall-Wandleranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der akustische Wandlerteil (8,30) eine polarisierte piezoelektrische Keramik umfaßt.
  3. Ultraschall-Wandleranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der elektroakustische Wandlerteil (8) als Einzelwandler ausgebildet ist.
  4. Ultraschall-Wandleranordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der elektroakustische Wandlerteil (8) als Wandlerarray (30) ausgebildet ist.
  5. Ultraschall-Wandleranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der elektroakustische Wandlerteil (8,30) für medizinische Anwendungen ausgebildet ist.
  6. Ultraschall-Wandleranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die akustische Anpassungsschicht (16) unmittelbar an eine abstrahlende Oberfläche (13) des Wandlerteils (8,30) grenzt.
  7. Ultraschall-Wandleranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der parakristalline Kohlenstoff ein glasartiger Kohlenstoff ist.
EP92116764A 1992-09-30 1992-09-30 Ultraschall-Wandleranordnung mit einer akustischen Anpassungsschicht Withdrawn EP0590193A1 (de)

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