EP0951617B1 - Micropumpe mit eingebautem zwischenstück - Google Patents

Micropumpe mit eingebautem zwischenstück Download PDF

Info

Publication number
EP0951617B1
EP0951617B1 EP97954671A EP97954671A EP0951617B1 EP 0951617 B1 EP0951617 B1 EP 0951617B1 EP 97954671 A EP97954671 A EP 97954671A EP 97954671 A EP97954671 A EP 97954671A EP 0951617 B1 EP0951617 B1 EP 0951617B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
plate
upper plate
micropump
fact
machining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP97954671A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0951617A1 (de
Inventor
Gilles Rey-Mermet
Harald Van Lintel
Didier Maillefer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Debiotech SA
Original Assignee
Westonbridge International Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Westonbridge International Ltd filed Critical Westonbridge International Ltd
Publication of EP0951617A1 publication Critical patent/EP0951617A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0951617B1 publication Critical patent/EP0951617B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive

Definitions

  • the invention relates to a micropump and its manufacturing process, this micropump comprising at least one base plate, at least one upper plate and an intermediate plate interposed between the two other plates and made of a machinable material so as to define a pumping, at least one fluid inlet control member for connecting the pumping chamber with at least one inlet of the micropump, and at least one fluid outlet control member for connecting the pumping chamber with at least one an outlet from the micropump, the pumping chamber comprising a movable wall machined in the intermediate plate, said movable wall being able to move in two opposite directions during the suction or expulsion of said fluid in the pumping chamber, the upper plate being provided with at least one orifice connecting a cavity with at least part of the movable wall, actuation means fixed on the free face of the upper plate being provided to move said movable wall in order to cause a periodic variation in the volume of the pumping chamber, said actuating means comprising an actuating plate made of a material which can be machined so as to
  • one of the elements of the actuation means is constituted by an intermediate part which is intended to bring the piezoelectric device into contact with the movable wall of the chamber pumping.
  • the fabrication by micro-machining of this intermediate part and its mounting in the micropump device require great precision in order to obtain a micropump operating in a safe and regular manner.
  • FIG. 1 represents one of the embodiments of the micropump described in the aforementioned document.
  • This micropump comprises a base plate 82, an intermediate plate 86, an upper plate 88, actuating elements 87 intended to cooperate with the piezoelectric device 80 and an intermediate piece 84 in the form of a pushpin connected by its flat head to the elements d actuation 87.
  • the objective of the present invention is to provide a micropump having an intermediate part whose manufacture is simplified while making it possible to obtain a micropump operating in a reliable and constant manner.
  • said actuating plate is made of a material which can be machined so as to define said cavity, an intermediate piece machined in the upper plate being fixed on the actuating plate of so as to establish contact with the movable wall.
  • the manufacture of the intermediate piece from the upper plate avoids manufacturing the intermediate piece independently of all the other elements of the micropump so that this intermediate piece integrates perfectly into the micropump as will be explained later .
  • FIGS. 1 and 2 represent only the central part of a micropump as it is delimited by the zone A of FIG. 1.
  • the central part of this micropump comprises a base plate 1 and an upper plate 2 which are preferably made of glass such as Pyrex. Between these two plates 1 and 2 is interposed the intermediate plate 3 which delimits, with the base plate 1, the pumping chamber 4.
  • the central part of the intermediate plate 3 constitutes a movable wall 5 intended to allow the variation of the volume of the pumping chamber 4 under the action of a piezoelectric device 6 surmounting the micropump.
  • An actuating plate 7 is inserted and fixed between the piezoelectric device 6 and the upper plate 2 by creating a cavity 8 between the actuating plate 7 and the upper plate 2.
  • a free face 9 of the upper plate 2 is preferably fixed, by anodic welding to a portion of the actuating plate 7, on either side of the cavity 8.
  • the face free 10 of the actuating plate 7 is connected to the piezoelectric device, in the extension of the central part of the cavity 8.
  • the central part of the actuating plate 7 constitutes a mobile zone 11.
  • the cavity 8 is extended at the level of the upper plate 2 by a connection orifice 12 of annular shape surrounding an intermediate part 13 produced from the same original part as the upper plate 2.
  • the cavity 8 also has an annular shape and surrounds a portion of the mobile area 11 fixed to the intermediate piece 13.
  • the upper plate 2 is in simple contact, without fixing, with the wall mobile 5 (zone 16 forming a stopper) so as to block any movement of the mobile wall 5 beyond this contact zone.
  • This fixing is preferably avoided by virtue of an insulating layer covering the zone 16 forming a stopper of the upper plate 2, this layer being for example made of silicon oxide.
  • the upper plate 2 and the intermediate plate 3 are fixed, preferably by anodic welding, to one another in the contact zones located outside with respect to the intermediate cavity 14.
  • the plates intermediaries 3 and actuation 7 are preferably made of a semiconductor such as silicon.
  • the actuation means consisting in particular of the piezoelectric device 6, the intermediate piece 13 and the movable wall 5 are centered around the same axis.
  • the intermediate part 13 and the upper plate 2 come from the same initial plate, it is understood that the manufacture of the micropump device is considerably simplified, that the problems of tolerance and compatibility between the various constituent elements of this micropump are strongly minimized or even eliminated.
  • the thickness of the intermediate piece 13 being necessarily identical to the thickness of the upper plate 2, during assembly, the adjustment between the pieces of the micropump device is then possible with a high degree of precision.
  • the first preferred embodiment illustrated in FIG. 2 provides that the intermediate plate 3 and the actuation plate 7 delimit a sealed space, composed of the cavity 8, the connection orifice 12 and the intermediate cavity 14, a partial vacuum that can be set up within this sealed space.
  • the sealing of the aforementioned space is made possible by the very high precision adjustment between the parts making up the micropump (mobile zone 11 of the actuating plate 7, upper plate 2, intermediate part 13, and mobile wall 5) .
  • the strict identity between the thickness of the intermediate piece 13 and the upper plate 2 is a very important characteristic for obtaining a good fit between the pieces, which allows the aforementioned space to be sealed.
  • the presence of a partial vacuum in the sealed space 8, 12, 14 makes it possible to pull the movable wall 5 of the pumping chamber 4 in the direction of the upper plate 2.
  • the sealed space 8, 12, 14 cannot be placed under partial vacuum, but a conduit 15 connects this sealed space outside the micropump.
  • this conduit 15 is produced in the upper part of the actuating plate 7 and communicates with the cavity 8 by connecting the latter with the outside of the part of the micropump shown in FIG. 3 so that the 'space defined above has a pressure equal to that of the outer space into which the conduit 15 opens, this pressure may be atmospheric pressure.
  • a favorable solution as long as the manufacturing technique provides, in the case of the first manufacturing process, that the machining of the connection orifice 12 is obtained by electroerosive machining process or EDM (Etectro Discharge Machining) , by ultrasonic or UD (Ultrasonic Drilling) machining process or by chemical attack on the glass.
  • EDM Electronic Detectro Discharge Machining
  • UD Ultrasonic Drilling
  • connection orifice 12 and the intermediate piece 13 in two stages, it is possible, by machining the connection orifice 12 and the intermediate piece 13 in two stages, to obtain better precision on the ribs of the various elements of the micropump. so that it presents a more reliable operation.
  • the partial machining of the upper plate 2 is carried out by an electro-erosive machining process (EDM) or by an ultrasonic machining process (UD).
  • EDM electro-erosive machining process
  • UD ultrasonic machining process
  • connection orifice 12 and of the intermediate piece 13 is practiced by chemical attack on the upper plate 2.
  • the metal layer or layers can be located on one or the other of the two faces of the upper plate 2: on the face undergoing the partial creation of the orifice 12 and of the part 13 or on the machined face upon completion of the creation of this orifice but in all cases this or these metal layers are on the side opposite to the actuation plate 7.
  • FIG. 4A a layer of chromium 2a, followed by a layer of copper 2b, is deposited on the upper plate 2.
  • FIG. 4B the upper plate 2 is machined so as to partially create the connection orifice 12 of the intermediate part 13, this partial machining not relating to the entire thickness of the upper plate 2.
  • FIG. 4C which corresponds to step c) of the second manufacturing process, the actuating plate 7, already machined and having the cavity 8, is fixed to the upper plate 2, for example by anodic welding on the side opposite to that carrying the metal layers.
  • FIG. 4C which corresponds to step c) of the second manufacturing process
  • 4D illustrates step d) of the second manufacturing process and shows that an additional machining of the upper plate 2 makes it possible to complete the creation of the annular connection orifice 12 surrounding the intermediate piece 13 so that the connection orifice 12 communicates with the cavity 8 and that the intermediate piece 13 is integral with the actuation plate 7 at the level of the central zone of the mobile zone 11.
  • a third method of manufacturing a micropump making it possible to minimize the thickness tolerances, in particular at the level of the upper plate 2 and of the intermediate piece 13, will now be presented in relation to FIGS. 5A to 5F.
  • the retaining layer 18 allows the production, by machining in one step, of the connection orifice 12 and of the intermediate piece 3 while allowing the upper plate 2 and the intermediate piece 13 to remain completely made aligned during the manufacturing process.
  • the retaining layer is a polymer or a metal and the plates constituting the micropump device are fixed together, if necessary, by anodic welding.
  • a partial vacuum is established within the sealed space formed by the cavity 8, of the connection orifice 12 and of the intermediate cavity 14.
  • a pipe 15 is connected connecting the sealed space formed by the cavity 8, the connection orifice 12 and the intermediate cavity 14 , this space being delimited by the intermediate plate 3 and the actuation plate 7, outside the micropump.
  • the intermediate part 13 is fixed to the movable wall 5, for example by welding anodic.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Claims (25)

  1. Mikropumpe mit zumindest einem Grundplättchen (1), zumindest einem oberen Plättchen (2) und einem Zwischenplättchen (3), das zwischen den beiden anderen Plättchen (1, 2) angeordnet ist und aus einem bearbeitbaren Material gebildet ist, so daß eine Pumpkammer (4), zumindest ein Teil zum Steuern des Eintretens eines Fluids zum Verbinden der Pumpkammer (4) mit zumindest einem Eingang der Mikropumpe und zumindest ein Teil zum Steuern des Austretens des Fluids zum Verbinden der Pumpkammer (4) mit zumindest einem Austritt der Mikropumpe gebildet sind, wobei die Pumpkammer eine in das Zwischenplättchen eingearbeitete bewegliche Wand (5) aufweist, welche sich während des Ansaugens des Fluids in die Pumpkammer (4) und der Austreibung derselben aus dieser heraus in zwei gegenläufige Richtungen zu bewegen vermag, wobei das obere Plättchen mit zumindest einer Öffnung (12) versehen ist, die einen Hohlraum (8) mit zumindest einem Teil der beweglichen Wand (5) verbindet, wobei Betätigungsmittel (6, 7, 13), welche an der freien Oberfläche (9) des oberen Plättchens (2) befestigt sind, vorgesehen sind, um die bewegliche Wand (5) zu bewegen, um eine periodische Veränderung des Volumens der Pumpkammer (4) zu bewirken, wobei die Betätigungsmittel ein Betätigungsplättchen (7) umfassen, das aus einem bearbeitbaren Material gebildet ist, wodurch ein beweglicher Bereich (11) vorgegeben wird, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß das Betätigungsplättchen (7) aus einem bearbeitbaren Material besteht, um den Hohlraum (8) zu bilden; wobei ein Zwischenteil (13), das in das obere Plättchen (2) eingearbeitet ist, an dem Betätigungsplättchen (7) derart befestigt ist, daß es mit der beweglichen Wand (5) in Berührung kommt.
  2. Mikropumpe nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß das Zwischenteil (13) an der beweglichen Wand (5) befestigt ist.
  3. Mikropumpe nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß das Zwischenplättchen (3) und das Betätigungsplättchen (7) einen dichten Raum (8, 12, 14) abgrenzen.
  4. Mikropumpe nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man im Herzen des dichten Raums (8, 12, 14) teilweise einen Leerraum vorsieht.
  5. Mikropumpe nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß eine Leitung (15) den dichten Raum (8, 12, 14) mit dem Außenraum der Mikropumpe verbindet.
  6. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß Mittel (16, 17) die Verschiebbarkeit der beweglichen Wand (5) einschränken.
  7. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Betätigungsmittel (6, 7, 13) insbesondere aus einer piezoelektrischen Vorrichtung (6) gebildet sind.
  8. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß das Grundplättchen (1) und das obere Plättchen (2) aus einem Glas wie etwa Pyrex gebildet sind.
  9. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß das Zwischenplättchen (3) und das Betätigungsplättchen (7) aus einem Metall wie etwa Silizium gebildet sind.
  10. Mikropumpe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Betätigungsmittel (6), das Zwischenteil (13) und die bewegliche Wand (5) um eine gemeinsame Achse herum zentriert sind.
  11. Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe, wie sie im Anspruch 1 beschrieben ist, bei welchem man die folgenden Schritte durchführt:
    a) Bearbeiten des Betätigungsplättchens (7) in einer solchen Weise, daß man den Hohlraum (8) erzeugt,
    b) Befestigen des Betätigungsplättchen (7) an dem oberen Plättchen (2),
    c) Bearbeiten des oberen Plättchens (2) in einer solchen Weise, daß die Verbindungsöffnung (12) und das Zwischenteil (13) erzeugt werden,
    d) Befestigen der Einheit oberes Plättchen (2)-Betätigungsplättchen (7) an der Einheit Zwischenplättchen (3)- Grundplättchen (1), und
    e) Befestigen einer Betätigungsvorrichtung wie etwa einer piezoelektrischen (6), an dem Betätigungsplättchen (7).
  12. Verfahren nach Anspruch 11, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Bearbeitung für die Verbindungsöffnung (12) mittels eines elektroerosiven Bearbeitungsverfahrens oder EDM (Bearbeitung mit elektrischer Entladung), mittels eines Bearbeitungsverfahrens mit Ultraschall oder UD (Ultraschallbohren) oder mittels chemischen Angreifens des Glases erfolgt.
  13. Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe wie sie im Anspruch 1 beschrieben ist, bei welchem man die folgenden Schritte durchführt:
    a) Bearbeiten des Betätigungsplättchens (7) in einer solchen Weise, daß der Hohlraum (8) erzeugt wird,
    b) Bearbeiten des oberen Plättchens (2) in einer solchen Weise, daß die Verbindungsöffnung (12) und das Zwischenteil (13) teilweise erzeugt werden,
    c) Befestigen des Betätigungsplättchens (7) an dem oberen Plättchen (2),
    d) Bearbeiten des oberen Plättchens (2) in einer solchen Weise, daß man die Erzeugung der Verbindungsöffnung (12) und des Zwischenteils (13) vollendet,
    e) Befestigen der Einheit oberes Plättchen (2)-Betätigungsplättchen (7) an der Einheit Zwischenplättchen (3) - Grundplättchen (1),
    f) Befestigen einer Betätigungsvorrichtung wie etwa einer piezoelektrischen (6), an dem Betätigungsplättchen (7).
  14. Verfahren nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die teilweise Bearbeitung des oberen Plättchens (2) mittels eines elektroerosiven Bearbeitungsverfahrens oder EDM (Bearbeitung mit elektrischer Entladung) oder mittels eines Bearbeitungsverfahrens mit Ultraschall oder UD (Ultraschallbohren) erfolgt.
  15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Vollendung der Erzeugung der Verbindungsöffnung (12) und des Zwischenteils (13) mittels chemischen Angreifens des oberen Plättchens (2) erfolgt.
  16. Verfahren nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man auf einer Oberfläche des oberen Plättchens (2) eine oder mehrere metallische Schichten (2a, 2b) aufbringt, bevor man mit der Erzeugung der Verbindungsöffnung (12) und des Zwischenteils (13) beginnt, wobei die metallische Schicht oder die metallischen Schichten entfernt werden, nachdem man die Verbindungsöffnung (12) und das Zwischenteil (13) erzeugt hat.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Schicht oder die metallischen Schichten auf derjenigen Oberfläche des oberen Plättchens (2) aufgebracht werden, die Ziel der teilweisen Erzeugung der Verbindungsöffnung (12) und des Zwischenteils (13) ist.
  18. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichent, daß die metallische Schicht oder die metallischen Schichten auf derjenigen Oberfläche des oberen Plättchens (2) aufgebracht sind, die beim Vollenden der Erzeugung der Verbindungsöffnung (12) und des Zwischenteils (13) bearbeitet wird.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man eine Chromschicht (2a) und anschließend eine Kupferschicht (2b) aufbringt.
  20. Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe, wie sie im Anspruch 1 beschrieben ist, bei welchem man die folgenden Schritte durchführt:
    a) Aufbringen einer Erhaltungsschicht (18) auf einer Oberfläche des oberen Plättchens (2),
    b) Bearbeiten des oberen Plättchens (2) an der Oberfläche, die der mit der Erhaltungsschicht (18) in Verbindung stehenden Oberfläche entgegengesetzt ist, in einer solchen Weise, daß die Verbindungsöffnung (12) und das Zwischenteil (13) erzeugt werden, wobei die Erhaltungsschicht (18) ebenfalls, allerdings höchstens teilweise, bearbeitet werden kann,
    c) Befestigen des Betätigungsplättchens (7) an der Oberfläche des oberen Plättchens (2), die der in Verbindung mit der Erhaltungsschicht (18) stehenden Oberfläche entgegengesetzt ist,
    d) Entfernen der Erhaltungsschicht (18),
    e) Befestigen der Einheit oberes Plättchen (2) - Betätigungsplättchen (7) an der Einheit Zwischenplättchen (3) - Grundplättchen (1), und
    f) Befestigen einer Betätigungsvorrichtung, wie etwa einer piezoelektrischen (6), an dem Betätigungsplättchen (7).
  21. Verfahren nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Erhaltungsschicht (18) ein Polymer oder ein Metall ist.
  22. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 19, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß die Plättchen durch Anodenschweißen befestigt werden.
  23. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 20, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man beim Befestigen der Einheit oberes Plättchen (2) - Betätigungsplättchen (7) an der Einheit Zwischenplättchen (3) - Grundplättchen (1) das Zwischenteil (13) an der beweglichen Wand (5) befestigt.
  24. Verfahren nach Anspruch 21, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man maschinell eine Leitung (15) erzeugt, die den dichten Raum (8, 12, 14), der von dem Zwischenplättchen (3) und dem Betätigungsplättchen (7) begrenzt wird, mit dem Außenraum der Mikropumpe verbindet.
  25. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 22, gekennzeichnet durch die Tatsache, daß man im Herzen des dichten Raums (8, 12, 14) einen teilweise Leerraum vorsieht.
EP97954671A 1996-12-31 1997-12-19 Micropumpe mit eingebautem zwischenstück Expired - Lifetime EP0951617B1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9616278 1996-12-31
FR9616278A FR2757906A1 (fr) 1996-12-31 1996-12-31 Micropompe avec piece intermediaire integree
PCT/EP1997/007278 WO1998029661A1 (fr) 1996-12-31 1997-12-19 Micropompe avec piece intermediaire integree

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0951617A1 EP0951617A1 (de) 1999-10-27
EP0951617B1 true EP0951617B1 (de) 2003-01-29

Family

ID=9499354

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP97954671A Expired - Lifetime EP0951617B1 (de) 1996-12-31 1997-12-19 Micropumpe mit eingebautem zwischenstück

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6309189B1 (de)
EP (1) EP0951617B1 (de)
JP (1) JP2001507425A (de)
CN (1) CN1245547A (de)
AU (1) AU5955798A (de)
CA (1) CA2276401A1 (de)
DE (1) DE69718820T2 (de)
ES (1) ES2189994T3 (de)
FR (1) FR2757906A1 (de)
WO (1) WO1998029661A1 (de)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000314381A (ja) * 1999-03-03 2000-11-14 Ngk Insulators Ltd ポンプ
US7601270B1 (en) * 1999-06-28 2009-10-13 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US6629820B2 (en) * 2001-06-26 2003-10-07 Micralyne Inc. Microfluidic flow control device
GB0123054D0 (en) * 2001-09-25 2001-11-14 Randox Lab Ltd Passive microvalve
US7311693B2 (en) * 2001-11-26 2007-12-25 Nilimedix Ltd. Drug delivery device and method
US6736796B2 (en) 2001-11-26 2004-05-18 Nili-Med Ltd. Fluid drug delivery device
US7291126B2 (en) * 2001-11-26 2007-11-06 Nilimedix Ltd. Drug delivery device and method
CN100335784C (zh) * 2003-12-05 2007-09-05 清华大学 微型薄膜泵
DE10360709A1 (de) * 2003-12-19 2005-10-06 Bartels Mikrotechnik Gmbh Mikropumpe und klebstoffreies Verfahren zur Verbindung zweier Substrate
US8202267B2 (en) 2006-10-10 2012-06-19 Medsolve Technologies, Inc. Method and apparatus for infusing liquid to a body
US8708961B2 (en) 2008-01-28 2014-04-29 Medsolve Technologies, Inc. Apparatus for infusing liquid to a body
US8353864B2 (en) 2009-02-18 2013-01-15 Davis David L Low cost disposable infusion pump
US8197235B2 (en) 2009-02-18 2012-06-12 Davis David L Infusion pump with integrated permanent magnet
FR2952628A1 (fr) * 2009-11-13 2011-05-20 Commissariat Energie Atomique Procede de fabrication d'au moins une micropompe a membrane deformable et micropompe a membrane deformable
EP2333340A1 (de) * 2009-12-07 2011-06-15 Debiotech S.A. Flexibles Element für Mikropumpe
EP2469089A1 (de) * 2010-12-23 2012-06-27 Debiotech S.A. Elektronisches Steuerungsverfahren und System für eine piezoelektrische Pumpe
JP5682513B2 (ja) * 2011-09-06 2015-03-11 株式会社村田製作所 流体制御装置
DE102012221832A1 (de) * 2012-11-29 2014-06-05 Robert Bosch Gmbh Dosierpumpe, Pumpenelement für die Dosierpumpe sowie Verfahren zum Herstellen eines Pumpenelements für eine Dosierpumpe
DE102018120782B3 (de) * 2018-08-24 2019-08-22 Bartels Mikrotechnik Gmbh Mikrogebläse
WO2021108421A1 (en) 2019-11-25 2021-06-03 Aita Bio Inc. Micropump and method of fabricating the same

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH679555A5 (de) * 1989-04-11 1992-03-13 Westonbridge Int Ltd
DE3925749C1 (de) * 1989-08-03 1990-10-31 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung Ev, 8000 Muenchen, De
US5096388A (en) * 1990-03-22 1992-03-17 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Microfabricated pump
DE69106240T2 (de) * 1990-07-02 1995-05-11 Seiko Epson Corp Mikropumpe und Verfahren zur Herstellung einer Mikropumpe.
SG44800A1 (en) * 1993-12-28 1997-12-19 Westonbridge Int Ltd A micropump
CH689836A5 (fr) * 1994-01-14 1999-12-15 Westonbridge Int Ltd Micropompe.
DE4422972A1 (de) * 1994-06-30 1996-01-04 Bosch Gmbh Robert Mikroventil mit elektromagnetischem Antrieb
US5961298A (en) * 1996-06-25 1999-10-05 California Institute Of Technology Traveling wave pump employing electroactive actuators
US6116863A (en) * 1997-05-30 2000-09-12 University Of Cincinnati Electromagnetically driven microactuated device and method of making the same

Also Published As

Publication number Publication date
US6309189B1 (en) 2001-10-30
FR2757906A1 (fr) 1998-07-03
AU5955798A (en) 1998-07-31
JP2001507425A (ja) 2001-06-05
CA2276401A1 (en) 1998-07-09
CN1245547A (zh) 2000-02-23
WO1998029661A1 (fr) 1998-07-09
EP0951617A1 (de) 1999-10-27
ES2189994T3 (es) 2003-07-16
DE69718820D1 (de) 2003-03-06
DE69718820T2 (de) 2004-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0951617B1 (de) Micropumpe mit eingebautem zwischenstück
EP1003973B1 (de) Mikropumpe mit einem einlasssteuerorgan zum selbstansaugen
EP0739451B1 (de) Mikropumpe
EP0148480B1 (de) Durch Unterdruck geöffnetes Ventil
EP2326486B1 (de) Verfahren zur herstellung einer aus einem verbundmaterial hergestellten komponente und zugehörige vorrichtung
EP0500458B1 (de) Verfahren zur Herstellung einer hohlen Schauffel für eine Turbomaschine
FR2659696A1 (fr) Pompe a membrane avec une membrane faconnee.
EP0392978A1 (de) Mikropumpe mit konstantem Durchfluss
FR2489464A1 (fr) Joint mecanique d'etancheite frontale
FR2864059A1 (fr) Microsoupape integree et procede de fabrication d'une telle microsoupape
FR2624922A1 (fr) Dispositif de detection de rupture d'une membrane de pompe a membrane
FR2690483A1 (fr) Pompe à pistons radiaux, notamment pompe de carburant pour moteur à combustion interne.
FR2800147A1 (fr) Joint metallique statique et procede de fabrication
EP1477684B1 (de) Molekular, Turbomolekular oder Hybridpumpe mit intergriertem Ventil
EP0726408A1 (de) Vibrationsdämpfende hydraulische Stütze und deren Herstellungsverfahren
FR2706948A1 (de)
WO1991001464A1 (fr) Clapet anti-retour, notamment pour micropompe et micropompe munie d'un tel clapet
FR2487091A1 (fr) Dispositif de commande electro-hydraulique
FR2550305A1 (fr) Soupape rotative pour engrenages de direction assistee
FR2566846A1 (fr) Membrane pour pompe a commande ou actionnement hydraulique
EP0599738A1 (de) Fluiddichte Kolbenpumpe
WO2019092353A1 (fr) Procédé de réalisation d'une liaison électrique étanche dans un boitier céramique et tube intensificateur d'image comportant un tel boitier
FR3155446A1 (fr) Outillage et procede pour positionner et mettre en forme un film adhesif en vue de son collage dans une cavite d’une piece
CH683634A5 (fr) Clapet intégré et micropompe comprenant un tel clapet.
EP0809770A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum dichten verbinden eines mechanischen verbindungselements an einer gerätewand aus glas

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19990629

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE ES FR GB IT NL

17Q First examination report despatched

Effective date: 20010518

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Designated state(s): DE ES FR GB IT NL

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REF Corresponds to:

Ref document number: 69718820

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20030306

Kind code of ref document: P

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)
REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FG2A

Ref document number: 2189994

Country of ref document: ES

Kind code of ref document: T3

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20031030

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: 732E

NLS Nl: assignments of ep-patents

Owner name: DEBIOTECH S.A.

Effective date: 20051102

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: TP

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 20111228

Year of fee payment: 15

Ref country code: ES

Payment date: 20111216

Year of fee payment: 15

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20111222

Year of fee payment: 15

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20111227

Year of fee payment: 15

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: V1

Effective date: 20130701

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 69718820

Country of ref document: DE

Effective date: 20130702

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130701

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130702

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20121219

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20131219

Year of fee payment: 17

REG Reference to a national code

Ref country code: ES

Ref legal event code: FD2A

Effective date: 20140307

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20121220

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20131220

Year of fee payment: 17

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20141219

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20150831

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20141219

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20141231