EP1291901A3 - Vorrichtung mit einem Greifer zur Handhabung von Platten - Google Patents

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EP1291901A3
EP1291901A3 EP02019578A EP02019578A EP1291901A3 EP 1291901 A3 EP1291901 A3 EP 1291901A3 EP 02019578 A EP02019578 A EP 02019578A EP 02019578 A EP02019578 A EP 02019578A EP 1291901 A3 EP1291901 A3 EP 1291901A3
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EP
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gripper device
plates
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manipulating
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EP02019578A
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Alfred Binder
Gerhard Kroupa
Martin Matschitsch
Josef Unterweger
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Infineon Technologies AG
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Infineon Technologies AG
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    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0431—Apparatus for thermal treatment
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10P72/76—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for supporting or gripping using mechanical means, e.g. clamps or pinches
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einem Greifer (1) zur Handhabung von Platten, insbesondere zum Handhaben von dünnen Wafern (W), mit einer Aufnahmeplatte (3), welche Düsenbohrungen (4) zum Erzeugen eines hydrodynamischen Unterdrucks aufweist, wobei die Aufnahmeplatte (3) über mechanische Anschläge (5, 6) verfügt, die am Umfangsbereich (7) der zu handhabenden Platte (W) angreifen und diese in ihrer Position fixieren.
EP02019578A 2001-09-10 2002-09-02 Vorrichtung mit einem Greifer zur Handhabung von Platten Withdrawn EP1291901A3 (de)

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