EP2197017A3 - Verfahren zur Bestimmung von Verzeichnungen in einer teilchenoptischen Vorrichtung - Google Patents

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Families Citing this family (83)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0718706D0 (en) 2007-09-25 2007-11-07 Creative Physics Ltd Method and apparatus for reducing laser speckle
EP2197018A1 (de) 2008-12-12 2010-06-16 FEI Company Verfahren zur Bestimmung von Verzeichnungen in einer teilchenoptischen Vorrichtung
US11726332B2 (en) 2009-04-27 2023-08-15 Digilens Inc. Diffractive projection apparatus
US9335604B2 (en) 2013-12-11 2016-05-10 Milan Momcilo Popovich Holographic waveguide display
US8233204B1 (en) 2009-09-30 2012-07-31 Rockwell Collins, Inc. Optical displays
US11320571B2 (en) 2012-11-16 2022-05-03 Rockwell Collins, Inc. Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view with uniform light extraction
US11300795B1 (en) 2009-09-30 2022-04-12 Digilens Inc. Systems for and methods of using fold gratings coordinated with output couplers for dual axis expansion
US10795160B1 (en) 2014-09-25 2020-10-06 Rockwell Collins, Inc. Systems for and methods of using fold gratings for dual axis expansion
US8659826B1 (en) 2010-02-04 2014-02-25 Rockwell Collins, Inc. Worn display system and method without requiring real time tracking for boresight precision
US9274349B2 (en) 2011-04-07 2016-03-01 Digilens Inc. Laser despeckler based on angular diversity
US10670876B2 (en) 2011-08-24 2020-06-02 Digilens Inc. Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
EP2748670B1 (de) 2011-08-24 2015-11-18 Rockwell Collins, Inc. Tragbare datenanzeige
WO2016020630A2 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Milan Momcilo Popovich Waveguide laser illuminator incorporating a despeckler
US8903207B1 (en) 2011-09-30 2014-12-02 Rockwell Collins, Inc. System for and method of extending vertical field of view in head up display utilizing a waveguide combiner
US8749890B1 (en) 2011-09-30 2014-06-10 Rockwell Collins, Inc. Compact head up display (HUD) for cockpits with constrained space envelopes
US9507150B1 (en) 2011-09-30 2016-11-29 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a bent waveguide assembly
US9715067B1 (en) 2011-09-30 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Ultra-compact HUD utilizing waveguide pupil expander with surface relief gratings in high refractive index materials
US8937772B1 (en) 2011-09-30 2015-01-20 Rockwell Collins, Inc. System for and method of stowing HUD combiners
US8634139B1 (en) 2011-09-30 2014-01-21 Rockwell Collins, Inc. System for and method of catadioptric collimation in a compact head up display (HUD)
US9366864B1 (en) 2011-09-30 2016-06-14 Rockwell Collins, Inc. System for and method of displaying information without need for a combiner alignment detector
EP2584584A1 (de) 2011-10-19 2013-04-24 FEI Company Verfahren zur Einstellung eines STEM mit Aberrationskorrektor
US20150010265A1 (en) 2012-01-06 2015-01-08 Milan, Momcilo POPOVICH Contact image sensor using switchable bragg gratings
KR101999988B1 (ko) * 2012-03-08 2019-07-15 앱파이브 엘엘씨 고 공간 분해능에서 물질의 스트레인을 측정하기 위한 시스템 및 공정
US8830588B1 (en) 2012-03-28 2014-09-09 Rockwell Collins, Inc. Reflector and cover glass for substrate guided HUD
US9523852B1 (en) 2012-03-28 2016-12-20 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
EP2842003B1 (de) 2012-04-25 2019-02-27 Rockwell Collins, Inc. Holographisches weitwinkeldisplay
EP2704177B1 (de) 2012-09-04 2014-11-26 Fei Company Verfahren zur Untersuchung und Korrektur von Aberrationen in einem Linsensystem mit geladenen Teilchen
US9933684B2 (en) 2012-11-16 2018-04-03 Rockwell Collins, Inc. Transparent waveguide display providing upper and lower fields of view having a specific light output aperture configuration
DE102013101445B9 (de) * 2013-02-14 2022-01-05 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zur Ermittlung von Verzeichnungseigenschaften eines optischen Systems in einer Messvorrichtung für die Mikrolithographie
US9674413B1 (en) 2013-04-17 2017-06-06 Rockwell Collins, Inc. Vision system and method having improved performance and solar mitigation
US9727772B2 (en) 2013-07-31 2017-08-08 Digilens, Inc. Method and apparatus for contact image sensing
US9244281B1 (en) 2013-09-26 2016-01-26 Rockwell Collins, Inc. Display system and method using a detached combiner
US10732407B1 (en) 2014-01-10 2020-08-04 Rockwell Collins, Inc. Near eye head up display system and method with fixed combiner
US9519089B1 (en) 2014-01-30 2016-12-13 Rockwell Collins, Inc. High performance volume phase gratings
US9244280B1 (en) 2014-03-25 2016-01-26 Rockwell Collins, Inc. Near eye display system and method for display enhancement or redundancy
EP2966668B1 (de) 2014-07-10 2016-10-12 Fei Company Verfahren zur Kalibrierung eines Transmissions-Rasterelektronenmikroskops
WO2016020632A1 (en) 2014-08-08 2016-02-11 Milan Momcilo Popovich Method for holographic mastering and replication
WO2016042283A1 (en) 2014-09-19 2016-03-24 Milan Momcilo Popovich Method and apparatus for generating input images for holographic waveguide displays
US10088675B1 (en) 2015-05-18 2018-10-02 Rockwell Collins, Inc. Turning light pipe for a pupil expansion system and method
US9715110B1 (en) 2014-09-25 2017-07-25 Rockwell Collins, Inc. Automotive head up display (HUD)
US10437064B2 (en) 2015-01-12 2019-10-08 Digilens Inc. Environmentally isolated waveguide display
US9632226B2 (en) 2015-02-12 2017-04-25 Digilens Inc. Waveguide grating device
WO2016149817A1 (en) * 2015-03-23 2016-09-29 Techinsights Inc. Methods, systems and devices relating to distortion correction in imaging devices
US10126552B2 (en) 2015-05-18 2018-11-13 Rockwell Collins, Inc. Micro collimator system and method for a head up display (HUD)
US11366316B2 (en) 2015-05-18 2022-06-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10247943B1 (en) 2015-05-18 2019-04-02 Rockwell Collins, Inc. Head up display (HUD) using a light pipe
US10108010B2 (en) 2015-06-29 2018-10-23 Rockwell Collins, Inc. System for and method of integrating head up displays and head down displays
EP3121637B1 (de) * 2015-07-24 2021-09-01 Leica Instruments (Singapore) Pte. Ltd. Mikroskop und verfahren zum erzeugen eines kombinierten bildes aus mehreren einzelbildern eines objekts
KR101714213B1 (ko) * 2015-09-09 2017-03-09 현대오트론 주식회사 렌즈 영상 왜곡 보정 장치
WO2017060665A1 (en) 2015-10-05 2017-04-13 Milan Momcilo Popovich Waveguide display
US10598932B1 (en) 2016-01-06 2020-03-24 Rockwell Collins, Inc. Head up display for integrating views of conformally mapped symbols and a fixed image source
CN105744243B (zh) * 2016-01-21 2017-08-29 上海应用技术学院 基于切交点特征实现的多投影拼接中全自动几何校正方法
JP6895451B2 (ja) 2016-03-24 2021-06-30 ディジレンズ インコーポレイテッド 偏光選択ホログラフィー導波管デバイスを提供するための方法および装置
EP3433658B1 (de) 2016-04-11 2023-08-09 DigiLens, Inc. Holographische wellenleitervorrichtung für die projektion von strukturiertem licht
CN106093108B (zh) * 2016-05-19 2018-10-16 南京航空航天大学 基于间隙缺陷识别的单向纤维增韧复合材料等效导热系数预估方法
GB2555643A (en) * 2016-11-08 2018-05-09 Nokia Technologies Oy Determining an intersection location of an optical axis of a lens with a camera sensor
CN106500969B (zh) * 2016-11-17 2019-07-26 深圳Tcl新技术有限公司 显示屏均匀性测试方法及显示屏均匀性测试系统
EP3548939A4 (de) 2016-12-02 2020-11-25 DigiLens Inc. Wellenleitervorrichtung mit gleichmässiger ausgabebeleuchtung
US10545346B2 (en) 2017-01-05 2020-01-28 Digilens Inc. Wearable heads up displays
US10295824B2 (en) 2017-01-26 2019-05-21 Rockwell Collins, Inc. Head up display with an angled light pipe
DE102017212214A1 (de) * 2017-07-17 2019-01-17 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren zum Aufzeichnen eines Bildes unter Verwendung eines Teilchenmikroskops und Teilchenmikroskop
WO2019049260A1 (ja) * 2017-09-07 2019-03-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 画像処理装置
CN111386495B (zh) 2017-10-16 2022-12-09 迪吉伦斯公司 用于倍增像素化显示器的图像分辨率的系统和方法
CN108022217B (zh) * 2017-11-26 2021-07-30 合肥赛为智能有限公司 一种空中拍摄形变调整方法
JP7456929B2 (ja) 2018-01-08 2024-03-27 ディジレンズ インコーポレイテッド 導波管セルを製造するためのシステムおよび方法
WO2019136476A1 (en) 2018-01-08 2019-07-11 Digilens, Inc. Waveguide architectures and related methods of manufacturing
CN114721242B (zh) 2018-01-08 2025-08-15 迪吉伦斯公司 用于制造光学波导的方法
JP7404243B2 (ja) 2018-01-08 2023-12-25 ディジレンズ インコーポレイテッド 導波管セル内のホログラフィック格子の高スループット記録のためのシステムおよび方法
US11402801B2 (en) 2018-07-25 2022-08-02 Digilens Inc. Systems and methods for fabricating a multilayer optical structure
DE102018124401A1 (de) * 2018-10-02 2020-04-02 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum Aufnehmen eines Bildes mit einem Teilchenmikroskop
WO2020149956A1 (en) 2019-01-14 2020-07-23 Digilens Inc. Holographic waveguide display with light control layer
US20200247017A1 (en) 2019-02-05 2020-08-06 Digilens Inc. Methods for Compensating for Optical Surface Nonuniformity
EP3924759B1 (de) 2019-02-15 2025-07-30 Digilens Inc. Verfahren und vorrichtungen zur herstellung einer holografischen wellenleiteranzeige mit integrierten gittern
US20220283377A1 (en) 2019-02-15 2022-09-08 Digilens Inc. Wide Angle Waveguide Display
JP2022525165A (ja) 2019-03-12 2022-05-11 ディジレンズ インコーポレイテッド ホログラフィック導波管バックライトおよび関連する製造方法
US20200311886A1 (en) * 2019-03-28 2020-10-01 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method for determining an image recording aberration
EP3980825A4 (de) 2019-06-07 2023-05-03 Digilens Inc. Wellenleiter mit durchlässigen und reflektierenden gittern sowie zugehörige herstellungsverfahren
JP2022543571A (ja) 2019-07-29 2022-10-13 ディジレンズ インコーポレイテッド 画素化されたディスプレイの画像解像度および視野を乗算するための方法および装置
US12073541B2 (en) 2019-08-09 2024-08-27 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Methods for high-performance electron microscopy
CN114424316B (zh) * 2019-08-28 2024-12-10 Asml荷兰有限公司 用于多射束sem工具的自参考健康监测系统
JP2022546413A (ja) 2019-08-29 2022-11-04 ディジレンズ インコーポレイテッド 真空回折格子および製造方法
WO2022150841A1 (en) 2021-01-07 2022-07-14 Digilens Inc. Grating structures for color waveguides
KR20230153459A (ko) 2021-03-05 2023-11-06 디지렌즈 인코포레이티드. 진공 주기적 구조체 및 제조 방법

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL9100294A (nl) * 1991-02-20 1992-09-16 Philips Nv Geladen deeltjesbundelinrichting.
DE69402283T2 (de) * 1993-05-21 1997-09-18 Philips Electronics Nv Energiefilter mit Korrektur von chromatischen Aberrationen zweiter ordnung
ES2101465T3 (es) * 1993-09-17 1997-07-01 Essilor Int Procedimiento de medicion absoluta de la estructura geometrica u optica de un componente optico y dispositivo para su puesta en practica.
EP0840939B1 (de) * 1996-05-21 2005-08-03 Fei Company Vorrichtung zur korrektur von linsenfehlern in teilchen-optischer geräte
US5627373A (en) * 1996-06-17 1997-05-06 Hewlett-Packard Company Automatic electron beam alignment and astigmatism correction in scanning electron microscope
JP4176149B2 (ja) * 1996-09-20 2008-11-05 エフ イー アイ カンパニ 粒子光学機器の色収差を補正する補正装置
JP2001509952A (ja) * 1997-11-20 2001-07-24 フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ 粒子光学的装置の色収差を補正するための装置
EP0960429A1 (de) * 1997-12-11 1999-12-01 Philips Electron Optics B.V. Korrektiv zur korrektur von sphärischen fehler in einem korpuskularstrahloptisches gerät
DE69822802T2 (de) * 1997-12-22 2004-08-05 Fei Co., Hillsboro Korrigiervorrichtung zur behebung des chromatischen fehlers in korpuskularoptischen geräten
JP2001274973A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Sanyo Electric Co Ltd 顕微鏡画像合成装置、顕微鏡画像合成方法、顕微鏡画像合成処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
US6552340B1 (en) * 2000-10-12 2003-04-22 Nion Co. Autoadjusting charged-particle probe-forming apparatus
JP3986260B2 (ja) * 2001-01-19 2007-10-03 株式会社東芝 欠陥検査装置及びそれを用いたデバイス製造方法
AU2002358245A1 (en) 2001-10-10 2003-04-22 Applied Materials Isreal Limited Method and device for aligning a charged particle beam column
JP3968421B2 (ja) * 2002-07-01 2007-08-29 独立行政法人産業技術総合研究所 電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体
JP5373251B2 (ja) * 2005-04-05 2013-12-18 エフ イー アイ カンパニ 収差補正手段を備える粒子光学装置
NL1029847C2 (nl) * 2005-09-01 2007-03-05 Fei Co Werkwijze voor het bepalen van lensfouten in een deeltjes-optisch apparaat.
EP1783811A3 (de) * 2005-11-02 2008-02-27 FEI Company Korrektor zur Korrektion von chromatischen Aberrationen in einem korpuskularoptiachen Apparat
JP4790567B2 (ja) 2005-11-30 2011-10-12 日本電子株式会社 ロンチグラムを用いた収差測定方法及び収差補正方法及び電子顕微鏡
EP1796130A1 (de) * 2005-12-06 2007-06-13 FEI Company Verfahren zur Bestimmung der Koeffizienten der Aberrationsfunktion einer Teilchenstrahllinse
JP4801518B2 (ja) * 2006-07-07 2011-10-26 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線顕微方法および荷電粒子線装置
JP5134804B2 (ja) * 2006-10-06 2013-01-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 走査電子顕微鏡および走査電子顕微鏡像の歪み校正
JP4891788B2 (ja) * 2007-01-15 2012-03-07 日本電子株式会社 電子顕微鏡像の歪み補正方法及び輝度補正方法
JP5223208B2 (ja) * 2007-03-01 2013-06-26 株式会社日立製作所 透過型電子顕微鏡
JP5129509B2 (ja) * 2007-05-14 2013-01-30 株式会社日立ハイテクノロジーズ 透過型電子顕微鏡及び撮影方法
EP2197018A1 (de) 2008-12-12 2010-06-16 FEI Company Verfahren zur Bestimmung von Verzeichnungen in einer teilchenoptischen Vorrichtung

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DATABASE INSPEC [online] THE INSTITUTION OF ELECTRICAL ENGINEERS, STEVENAGE, GB; Database accession no. 1963B10390 *
DAVID G LOWE: "Distinctive Image Features from Scale-Invariant Keypoints", INTERNATIONAL JOURNAL OF COMPUTER VISION, KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS, BO, vol. 60, no. 2, 1 November 2004 (2004-11-01), pages 91 - 110, XP019216426, ISSN: 1573-1405 *
HECKMAN F A ET AL: "The reduction of error in magnification determination in electron microscopes", ELECTRON MICROSCOPY. FIFTH INTERNATIONAL CONGRESS 29 AUG. 1962 - 5 SEPT. 1962 PHILADELPHIA, PA, USA, vol. 1, 1962, Electron Microscopy Conference, XP009116862 *
KAYNIG V ET AL: "Probabilistic image registration and anomaly detection by nonlinear warping", COMPUTER VISION AND PATTERN RECOGNITION, 2008. CVPR 2008. IEEE CONFERENCE ON, IEEE, PISCATAWAY, NJ, USA, 23 June 2008 (2008-06-23), pages 1 - 8, XP031297301, ISBN: 978-1-4244-2242-5 *

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